一种扫描电子显微镜的样品台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及测试领域，特别涉及一种扫描电子显微镜的样品台。
【背景技术】
[0002]现有的扫描电子显微镜的样品台通常为圆形平面样品台，仅能放置上下表面较为平整的样品，无法较好的固定不规则的样品。对于需要观察不规则样品的平面或者断面时，无法将样品立起。而且，每次样品固定需在样品台上贴层导电胶，造成耗材浪费。
[0003]因而现有技术还有待改进和提高。
【实用新型内容】
[0004]鉴于上述现有技术的不足之处，本实用新型的目的在于提供一种扫描电子显微镜的样品台，可固定不同类型、凹凸不平的样品。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采取了以下技术方案:
[0006]—种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。
[0007]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述固定块的数量为两个，两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。
[0008]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块、固定块和基台一体成型设置。
[0009]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述样品台上设置有固定孔，所述固定孔与基台的上表面垂直，所述固定孔穿过所述定位挡块和基台。
[0010]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块和固定块之间的间距为5mm。
[0011]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述基台上还设置有压块，所述压块为长方体，所述压块设置在所述矩形凹槽内，所述压块对应所述固定块的螺纹孔的位置设置有档槽，所述档槽与所述螺纹孔连通。
[0012]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述档槽的开口面积大于所述螺纹孔的开口面积。
[0013]所述的扫描电子显微镜的样品台中，所述定位挡块和固定块之间的间距为30mm。
[0014]相较于现有技术，本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使用范围广泛。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台的第一实施例的正视图。
[0016]图2为本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台的第一实施例的俯视图。
[0017]图3为本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例的正视图。
[0018]图4为本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例的俯视图。
[0019]图5为本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台的第二实施例中，设置有定位凹槽和凸起部的样品台的俯视图。
【具体实施方式】
[0020]本实用新型提供一种扫描电子显微镜的样品台，为使本实用新型的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本实用新型进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0021]请参阅图1和图2，本实用新型提供的扫描电子显微镜的样品台，包括基台10，所述基台10的上表面上设置有定位挡块20、固定块30和压紧螺丝(图中未示出)，所述定位挡块20和固定块30均为长方体，所述定位挡块20和固定块30间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽40，所述固定块30内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔310，所述螺纹孔310与所述矩形凹槽40连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔310将样品固定在所述矩形凹槽40内。
[0022]由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使得扫描电子显微镜可观察各种样品，使用范围广泛。
[0023]进一步的，所述定位挡块20、固定块30和基台10—体成型设置。优选的，所述定位挡块20、固定块30和基台10通过3D打印一体成型，当然，也可以在长方体的基台10上铣出两个矩形凹槽形成所述样品台，本实用新型不做限定。
[0024]所述基台10为正方体基台，旋转基台10不仅可改变观察样品的方向，而且不会影响基台10的固定。优选的，所述基台10的边长为50mm。所述定位挡块20和固定块30等高，避免高度不已损坏显微镜。进一步的，所述样品台的长和宽均为50mm，高为15mm(固定块和基台的高度之和)。
[0025]本实用新型的第一实施例中，如图1和图2所示，所述固定块30的数量为两个，两个固定块30分别设置在所述定位挡块20的左侧和右侧。这样可形成两个矩形凹槽40，可通过扫描电子显微镜同时观察多个样品，提高了观察效率。所述固定块30除构成矩形凹槽40的一侧外，其他侧边均与基台10的边缘平齐。所述固定块30的高度与定位挡块20的高度相等，可避免高度不等引起的显微镜刮伤。优选的，所述固定块30的宽度为15mm，长度为50mm;所述定位挡块20的宽度为10mm，长度为50mm。
[0026]所述定位挡块20和固定块30之间的间距为5mm。换而言之，所述矩形凹槽40的宽度为5mm，长度为50mm。
[0027]进一步的，所述样品台上设置有固定孔210，所述固定孔210与基台10的上表面垂直，所述固定孔210穿过所述定位挡块20和基台10。换而言之，在所述定位挡块20的中心向下打一个固定孔210，螺栓可穿过所述固定孔210将样品台固定在所述电子显微镜上。当然，是固定孔210内也可设置螺纹，通过螺钉将所述样品台固定在电子显微镜上。所述固定孔210的设置，不仅能固定样品台，也能让样品台方便的旋转，便于观察不同的样品。
[0028]请参阅图3和图4，本实用新型的第二实施例中，所述基台10上还设置有压块50，所述压块50为长方体，所述压块50设置在所述矩形凹槽40内，具体的，所述压块50放置在所述矩形凹槽40内；所述压块50对应所述固定块30的螺纹孔310的位置设置有档槽510，所述档槽510与所述螺纹孔310连通。这样，压紧螺丝通过螺纹孔310抵住档槽510，通过旋紧压紧螺丝使得压块50将样品夹住，实现样品的固定，而且，采用压块50使得样品的受力均匀，有效的保护了样品。
[0029]所述档槽510的开口面积大于所述螺纹孔310的开口面积。这样压紧螺丝可很好的伸入到档槽510内。
[0030]进一步的，本实施例中，所述定位挡块20和固定块30之间的间距为30mm。换而言之，所述矩形凹槽40的宽度为30mm，其长度为50mm。本实施例中的样品台的长宽高同样为50X 50 X 15mm。所述定位挡块20和固定块30宽度均为10mm，长度均为50mm。所述压块50的宽度为7mm，长度为50mm。
[0031]更进一步的，请参阅图5，所述压块50与固定块30接触的侧边(即设置有档槽510的侧边)的两端对称设置有横截面为“V”形的定位凹槽520，对应的，所述固定块30对应所述定位凹槽520的位置设置有横截面为倒“V”形的(S卩，与所述定位凹槽520适配的)凸起部320。平时无需压紧样品时，所述压块50放置在矩形凹槽40内，容易掉落;设置定位凹槽520和凸起部320，使得压块50放置在定位凹槽320内时不会掉落，起到对压块50的固定和保护作用。
[0032]可以理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，而所有这些改变或替换都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。
【主权项】
1.一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，其特征在于，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述固定块的数量为两个，两个固定块分别设置在所述定位挡块的左侧和右侧。3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述定位挡块、固定块和基台一体成型设置。4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述样品台上设置有固定孔，所述固定孔与基台的上表面垂直，所述固定孔穿过所述定位挡块和基台。5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述定位挡块和固定块之间的间距为5mm。6.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述基台上还设置有压块，所述压块为长方体，所述压块设置在所述矩形凹槽内，所述压块对应所述固定块的螺纹孔的位置设置有档槽，所述档槽与所述螺纹孔连通。7.根据权利要求6所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述档槽的开口面积大于所述螺纹孔的开口面积。8.根据权利要求6所述的扫描电子显微镜的样品台，其特征在于，所述定位挡块和固定块之间的间距为30mm。
【专利摘要】本实用新型公开了一种扫描电子显微镜的样品台，包括基台，所述基台的上表面上设置有定位挡块、固定块和压紧螺丝，所述定位挡块和固定块均为长方体，所述定位挡块和固定块间隔设置以形成用于容纳样品的矩形凹槽，所述固定块内设置有与所述压紧螺丝适配的螺纹孔，所述螺纹孔与所述矩形凹槽连通，所述压紧螺丝通过所述螺纹孔将样品固定在所述矩形凹槽内。由此，只需将样品放置在矩形凹槽内，旋紧所述压紧螺丝即可固定样品，操作简单方便，而且，可以固定竖直放置的样品，也可固定表面凹凸不平、不同类型的样品，使用范围广泛。
【IPC分类】G01Q30/20, G01Q10/00
【公开号】CN205263127
【申请号】CN201521125182
【发明人】刘强
【申请人】深圳市美信检测技术股份有限公司
【公开日】2016年5月25日
【申请日】2015年12月30日