出线结构的制作方法
【专利摘要】公开了一种出线结构，包括：出线孔轴，适于通过法兰连接驱动装置；以及轴检测装置，位于出线孔轴的轴承上，用于对所述驱动装置的位置进行检测；其中，所述出线孔轴为空心轴。本实用新型提出的出线结构适用于传感器校准与测试的转台系统，将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题，并能实现对转台系统的故障报警。
【专利说明】
出线结构
技术领域
[0001]本实用新型属于半导体器件设备测试技术领域，更具体地，涉及一种用于防止测试过程中绕线的出线结构。
【背景技术】
[0002]加速度计以及陀螺仪是惯性导航和惯性制导系统的基本测量元件之一，加速度计以及陀螺仪本质上是一个振荡系统，安装于运动载体的内部，可以用来测量载体的运动加速度。磁力计是测量磁场的仪器。随着微电子技术的突飞猛进地发展，加速度计、陀螺仪以及磁力计已经广泛的被应用到航天，军事，工业，汽车，民用领域，尤其在民用领用，随着互联网终端的普及，加速度计、陀螺仪以及磁力计市场非常广泛。在加速度计、陀螺仪以及磁力计生产制造过程中，半导体器件设计生产厂家需要对设计生产制造后的加速度计、陀螺仪以及磁力计进行校准与测试，通常是利用重力场翻滚实验装置来校准和测试生产的加速度计、陀螺仪以及磁力计。现有的用于加速度计、陀螺仪以及磁力计校准与测试的转台系统在测试过程中测试信号线会出现绕线的问题。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于提供一种出线结构。
[0004]根据本实用新型的一方面，提供一种出线结构，包括:出线孔轴，适于通过法兰连接驱动装置；以及轴检测装置，位于出线孔轴的轴承上，用于对所述驱动装置的位置进行检测;其中，所述出线孔轴为空心轴。
[0005]优选地，所述轴检测装置包括传感器固定板，传感器和轴挡片；其中，所述传感器固定板为所述传感器提供固定平台；所述传感器具有凹槽;所述轴挡片与所述出线孔轴相连，在跟随出线孔轴转动时穿过传感器的凹槽;所述传感器用于对所述驱动装置进行原点检测以及限位检测。
[0006]优选地，所述传感器固定板通过法兰与所述出线孔的轴承连接。
[0007]优选地，所述传感器包括第一至第三传感器，第一至第三传感器分别具有第一至第三凹槽;所述第一传感器用于对所述驱动装置进行原点检测；所述第二和第三传感器用于对所述驱动装置进行限位检测。
[0008]优选地，所述第一传感器位于预设位置，第一至第三传感器依次沿逆时针方向设置。
[0009]优选地，所述第一至第三传感器以预设间隔设置在所述传感器固定板上。
[0010]优选地，当所述第一传感器检测到轴挡片位于第一传感器的凹槽内时，所述驱动装置位于原点位置。
[0011]优选地，所述出线孔轴的孔径大于预设阈值。
[0012]本实用新型提出的出线结构适用于传感器校准与测试的转台系统，将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题，并能实现对转台系统的故障报目O
【附图说明】
[0013]通过以下参照附图对本实用新型实施例的描述，本实用新型的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚，在附图中:
[0014]图1示出了根据本实用新型实施例的出线结构的示意图；
[0015]图2示出了根据本实用新型实施例的转台系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0016]以下将参照附图更详细地描述本实用新型的各种实施例。在各个附图中，相同的元件采用相同或类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。
[0017]本实用新型可以各种形式呈现，以下将描述其中一些示例。
[0018]图1示出了根据本实用新型实施例的出线结构的示意图。如图1所示，所述出线结构100，适于通过法兰连接驱动装置200，包括出线孔轴10和轴检测装置11。
[0019]其中，出线孔轴10为空心轴。
[0020]在本实施例中，出线孔轴1适于通过法兰连接驱动装置20连接。所述出线孔轴1的孔径大于预设阈值。
[0021]轴检测装置11，位于出线孔轴10的轴承上，用于对所述驱动装置20的位置进行检测。
[0022]在本实施例中，所述轴检测装置包括传感器固定板111、传感器112(图中未示出该标记)和轴挡片113;其中，所述轴挡片113与所述出线孔轴10相连，在跟随出线孔轴10转动时穿过传感器112的凹槽;所述传感器112用于对所述驱动装置进行原点检测以及限位检测。
[0023]所述传感器112包括第一至第三传感器(1121-1123)，第一至第三传感器分别具有第一至第三凹槽;所述第一传感器1121用于对所述驱动装置进行原点检测；所述第二和第三传感器(1123-1123)用于对所述驱动装置200进行限位检测。
[0024]在本实施例中，所述第一传感器1121位于预设位置，第一至第三传感器依次(1121-1123)沿逆时针方向设置。所述第一至第三传感器(1121-1123)以预设间隔设置。
[0025]当所述第一传感器1121检测到轴挡片112位于第一传感器1121的凹槽内时，所述驱动装置位于原点位置。
[0026]其中，所述第一传感器1121用于对驱动装置进行原点检测。在转台系统工作之前，先对转台系统进行检测，将驱动装置置于原点位置，即轴挡片113位于第一传感器1121的凹槽中。
[0027]所述第二传感器1123和第三传感器1123用于对驱动装置进行限位检测。在转台系统工作时，对轴运动装置进行限位检测，当轴挡片113旋转至第二传感器1123或者第三传感器1123时，所述第二传感器1123或者第三传感器1123向上位机发送将触发信号，所述触发信号表征转台系统发生故障，此时，上位机根据接收到的触发信号控制转台系统停止工作。
[0028]本实施例的出线结构100适用于传感器校准与测试的转台系统。所述转台系统包括外轴运动框201，沿第一自由度转动；内轴运动框202，设置于外轴运动框内，沿第二自由度转动;校准测试平台300，所述校准测试平台固定于所述内轴运动框202中，用于为待测传感器提供固定平台；所述外轴运动框201和内轴运动框202受控运动以使得校准测试平台300移动到校准测试所需的各个位置以及达到校准测试所需的各个速度。
[0029]所述转台系统还包括第一出线结构100，通过法兰与外轴运动框201连接;第二出线结构400，通过法兰与内轴运动框202连接。
[0030]本实用新型提出的出线结构适用于传感器校准与测试的转台系统，将测试信号线引到转台系统外，解决了转动过程中信号线被缠绕的问题，并能实现对转台系统的故障报塾目ο
[0031]依照本实用新型的实施例如上文所述，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地利用本实用新型以及在本实用新型基础上的修改使用。本实用新型的保护范围应当以本实用新型权利要求所界定的范围为准。
【主权项】
1.一种出线结构，包括: 出线孔轴，适于通过法兰连接驱动装置；以及 轴检测装置，位于出线孔轴的轴承上，用于对所述驱动装置的位置进行检测； 其中，所述出线孔轴为空心轴。2.根据权利要求1所述的出线结构，其中，所述轴检测装置包括传感器固定板、传感器和轴挡片； 其中，所述传感器固定板为所述传感器提供固定平台； 所述传感器具有凹槽； 所述轴挡片与所述出线孔轴相连，在跟随出线孔轴转动时穿过传感器的凹槽； 所述传感器用于对所述驱动装置进行原点检测以及限位检测。3.根据权利要求2所述的出线结构，其中，所述传感器固定板通过法兰与所述出线孔的轴承连接。4.根据权利要求2所述的出线结构，其中，所述传感器包括第一至第三传感器，第一至第三传感器分别具有第一至第三凹槽； 所述第一传感器用于对所述驱动装置进行原点检测； 所述第二和第三传感器用于对所述驱动装置进行限位检测。5.根据权利要求4所述的出线结构，其中，所述第一传感器位于预设位置，第一至第三传感器依次沿逆时针方向设置。6.根据权利要求5所述的出线结构，其中，所述第一至第三传感器以预设间隔设置在所述传感器固定板上。7.根据权利要求4所述的出线结构，其中，当所述第一传感器检测到轴挡片位于第一凹槽内时，所述驱动装置位于原点位置。8.根据权利要求1所述的出线结构，其中，所述出线孔轴的孔径大于预设阈值。
【文档编号】G01C25/00GK205506071SQ201620117051
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年2月5日
【发明人】吴欢欢, 符强, 魏建中
【申请人】杭州士兰微电子股份有限公司