一种无损伤检测pss的装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；暗室内设有承载台、第二驱动装置、平行光源发生器、与平行光源发生器连接的调焦装置、及设置在暗室内壁上的光学收集器，样品盒和暗室间设有第一驱动装置，第一驱动装置上设有样品传动装置，第一驱动装置包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，上下驱动机构用于将样品盒内不同高度样品取出，水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置将样品送至暗室内承载台上。该装置在不破坏样本的前提下，方便、准确的获取样本信息，具有成本低、反应迅速，能全面监控生产的优点，适用于生产管控。
【专利说明】
一种无损伤检测PSS的装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种检测装置，具体涉及一种无损伤检测PSS的装置，属于PSS制程检测领域。
【背景技术】
[0002]LED作为一种新型光源，具有节能、环保、寿命长的优势，在资源日益匮乏的今天得到广泛关注。LED的发光效率依赖于PSS衬底微观形貌及均匀性。PSS即图案化蓝宝石衬底，可减少LED外延中的位错密度，改善晶体质量，提高LED的发光效率。但是PSS的结构受制程影响极其敏感，需要针对PSS的微观结构进行制程管控。
[0003]目前，普遍采用SEM(扫描电子显微镜)和AFM(原子力显微镜)两种检测方式，但是SEM需要将样品破坏，观察断面，此方法耗时长，成本高，不适用于生产管控;AFM测试通过探针探测扫描PSS表面形貌，但是其探针使用寿命短，需要经常更换，维护费用昂贵，同样不适用于生产管控。
【发明内容】
[0004]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种无损伤检测PSS的装置，检测样品无损伤、耗时短，可批量测试，管控方便。
[0005]为了实现上述目的，本实用新型采用的一种无损伤检测PSS的装置，包括机架、分别安装在机架上的样品盒和暗室、及设置在机架外侧的图像输出装置；
[0006]所述暗室内设有承载台、第二驱动装置、设置在第二驱动装置上的平行光源发生器、与平行光源发生器连接的调焦装置、及设置在暗室内壁上的光学收集器，所述第二驱动装置驱动平行光源发生器水平移动，所述调焦装置调节平行光源发生器产生平行光束聚焦，所述光学收集器收集PSS样品反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置，所述图像输出装置接收反射光束信息并转变成图像信息输出；
[0007]所述样品盒和暗室间设有第一驱动装置，所述第一驱动装置上设有样品传动装置，所述第一驱动装置包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，所述上下驱动机构用于将样品盒内不同高度样品取出，所述水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置将样品送至暗室内承载台上。
[0008]作为改进，所述平行光源发生器设置在承载台正上方。
[0009]作为改进，所述调焦装置安装在平行光源发生器上。
[0010]作为改进，所述样品传动装置一端与第一驱动装置连接，另一端延伸至暗室内，且与承载台配合。
[0011]作为改进，所述暗室设置在机架上靠近图像输出装置的一端。
[0012]与现有技术相比，本实用新型装置利用光反射性质，发射一束入射光扫描PSS表面，该束光经过PSS表面区域会产生对应的反射光，收集该束反射光并进行数字化处理，最终输出PSS样本形貌及均匀性信息。该装置在不破坏样本的前提下，方便、准确的获取样本信息，具有成本低、反应迅速，能全面监控生产的优点，适用于生产管控。
【附图说明】
[0013]图1为本实用新型的结构不意图；
[0014]图2为本实用新型在实施例一中的检测结果；
[0015]图3为本实用新型的实施例二中的检测结果；
[0016]图中:1、机架，2、样品盒，3、第一驱动装置，4、样品传动装置，5、承载台，6、平行光源发生器，7、调焦装置，8、图像输出装置，9、第二驱动装置，10、暗室，11、光学收集器。
【具体实施方式】
[0017]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限制本实用新型的范围。
[0018]除非另有定义，本文所使用的所有的技术术语和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同，本文中在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。
[0019]如图1所示，一种无损伤检测PSS的装置，包括机架1、分别安装在机架I上的样品盒2和暗室1、及设置在机架I外侧的图像输出装置8;
[0020]所述暗室10内设有承载台5、第二驱动装置9、设置在第二驱动装置9上的平行光源发生器6、与平行光源发生器6连接的调焦装置7、及设置在暗室内壁上的光学收集器11，所述第二驱动装置9驱动设置在承载台5正上方的平行光源发生器6水平移动，完成承载台5上的PSS样品整体形貌的扫描;所述调焦装置7安装在平行光源发生器6上且可调节平行光源发生器6产生平行光束聚焦在PSS表面;所述光学收集器11收集PSS样品表面反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置8，所述图像输出装置8接收反射光束信息并转变成图像信息输出，生产人员通过图像信息判断样品的形貌、图案化程度；
[0021]所述样品盒2和暗室10间设有第一驱动装置3，所述第一驱动装置3上设有样品传动装置4，所述第一驱动装置3包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，所述上下驱动机构用于将样品盒2内不同高度样品取出，所述水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置4将样品送至暗室10内承载台5上，最后PSS样品由第一驱动装置3从暗室内的承载台5平移到暗室外的样品盒2上，以此完成PSS样品的形貌及均匀性检测。
[0022]作为实施例的改进，所述样品传动装置4一端与第一驱动装置3连接，另一端延伸至暗室10内，且与承载台5配合，实现PSS样品在样品盒2与承载台5间输送更便捷。
[0023]作为实施例的改进，所述暗室10设置在机架I上靠近图像输出装置8的一端，结构设计合理，使用方便。
[0024]实施例一
[0025]利用本实用新型装置来区分不同试样，通过机台E测试的结果进行说明，其中试样I为单抛蓝宝石平片、试样2和试样3均为PSS样品(图2)，试样2和试样3的区别在于试样2相比于试样3图案颗粒小，且排布较密集。
[0026]测试过程始终保持三个样品采用同等参数设置，实例中唯一的不同在于试样本身，按照正常流程测试结束后，得到试样1、试样2、试样3的反射值分别用数字表示为C1、C2、C3，且从数据来看有C1>C2>C3;之所以出现这样的结果原因是试样I拥有类似于镜面反射的表面，故其反射值最大;试样2和试样3均比试样I粗糙，存在散射和漫反射，故发射信息接收不完全，其反射值自然较小，然而试样2表面图案并没有较大颗，所能存在的漫反射和散射不如试样3比例多，所以介于试样I和试样3间。
[0027]通过三组试样的测试可以清楚地作出判断:测试样品若在机台E上得到的反射值与C1、C2、C3存在大小关系，那么该样品的图案化程度也会与试样1、试样2、试样3存在着联系。因此，生产人员可根据样品检测结果准确判断图案化程度。
[0028]实施例二
[0029]本实施例测试用的机台和方法与实例一相同，不同之处在于本实例介绍的是在PSS加工过程中出现异常图案，然后利用本新型介绍的方法去判定。如图3所示，PSS加工过程中会出现图中a、b和c三种情形，通过测试得到其反射值分别为Ca、Cb、Cc，且反射值间存在一种序列关系，根据这三个反射值的关系也可以得到图2所得三种不同图案的PSS衬底。
[0030]通过对比图3中三组试样的测试可以知道:测试样品均在同等生产条件下进行加工，其反射值得差异，反映了其具有的图案也存在差异，可以根据反射值判断当前生产是否按照预期进行。因此，本实用新型的检测装置，在不破坏样本的前提下，可方便、准确的获取样本信息，具有成本低、反应迅速，能全面监控生产的优点，适用于生产管控。
[0031]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，包括机架(I)、分别安装在机架(I)上的样品盒(2)和暗室(10)、及设置在机架(I)外侧的图像输出装置(8); 所述暗室(10)内设有承载台(5)、第二驱动装置(9)、设置在第二驱动装置(9)上的平行光源发生器(6)、与平行光源发生器(6)连接的调焦装置(7)、及设置在暗室内壁上的光学收集器(11)，所述第二驱动装置(9)驱动平行光源发生器(6)水平移动，所述调焦装置(7)调节平行光源发生器(6)产生平行光束聚焦，所述光学收集器(11)收集PSS样品反射光束，并将反射光束信息传递到图像输出装置(8)，所述图像输出装置(8)接收反射光束信息并转变成图像信息输出； 所述样品盒(2)和暗室(10)间设有第一驱动装置(3)，所述第一驱动装置(3)上设有样品传动装置(4)，所述第一驱动装置(3)包括上下驱动机构和水平旋转驱动机构，所述上下驱动机构用于将样品盒(2)内不同高度样品取出，所述水平旋转驱动机构通过驱动样品传动装置(4)将样品送至暗室(10)内承载台(5)上。2.根据权利要求1所述的一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，所述平行光源发生器(6)设置在承载台(5)正上方。3.根据权利要求1或2所述的一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，所述调焦装置(7)安装在平行光源发生器(6)上。4.根据权利要求1所述的一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，所述样品传动装置(4)一端与第一驱动装置(3)连接，另一端延伸至暗室(10)内，且与承载台(5)配合。5.根据权利要求1所述的一种无损伤检测PSS的装置，其特征在于，所述暗室(10)设置在机架(I)上靠近图像输出装置(8)的一端。
【文档编号】G01B11/24GK205537541SQ201620262797
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年3月31日
【发明人】涂亮亮, 刘亚坤, 林建男, 魏明德
【申请人】徐州同鑫光电科技股份有限公司