一种露点仪检定装置的制造方法
【专利摘要】一种露点仪检定装置包括空气、空压机、一级干燥器、二级干燥器、转子流量计、精密露点仪、被检露点仪、放空管；其中：空气依次通过空压机、一级干燥器、二级干燥器与转子流量计连接，转子流量计经三通分别送入精密露点仪和被检露点仪，被检露点仪与放空管连接；本实用新型的优点：本实用新型所述露点仪检定装置具有检测效率高、测试精度高等特点，能够满足露点仪的检定工作要求，对露点仪的自动化检定有一定的指导意义。
【专利说明】
一种露点仪检定装置
技术领域
[0001]本实用新型涉及露点仪检测技术领域，尤其涉及了一种露点仪检定装置。
【背景技术】
[0002]露点仪是测量气体中的水蒸气露点温度的仪器。在等压的条件下使气体中水蒸气冷却至凝聚相出现，通过控制露层传感器露层的温度，使气体中的水蒸气与水(或冰)的平展表面呈热力学相平衡状态，准确测量此时露层的温度，即为该气体的露点温度。
[0003]露点仪主要应用于半导体、微电子、冶金、化纤等工艺过程及军工、航天等领域，通过对有关环境露点温度监测与控制，以实现相关作业环境条件能够满足相关的要求，进一步保证生产工艺及流程。因此，对露点仪的检定，并对其溯源和测量不确定度的研究具有重要意义。
【发明内容】
[0004]本实用新型的目的是通过对露点仪进行计量检定，为相关露点仪使用单位提供公正准确的测量数据，特提供了一种露点仪检定装置。
[0005]本实用新型提供了一种露点仪检定装置，其特征在于:所述露点仪检定装置包括空气1、空压机2、一级干燥器3、二级干燥器4、转子流量计5、精密露点仪6、被检露点仪7、放空管8;其中:空气I依次通过空压机2、一级干燥器3、二级干燥器4与转子流量计5连接，转子流量计5经三通分别送入精密露点仪6和被检露点仪7，被检露点仪7与放空管8连接。
[0006]作为优选的技术方案，还包括截止阀和测控计算机，所述截止阀位于一级干燥器3和二级干燥器4之间，所述测控计算机连接于精密露点仪6和被检露点仪7。
[0007]作为优选的技术方案，所述一级干燥器3内置分子筛，所述二级干燥器4采用不锈钢内胆抛光处理。
[0008]作为优选的技术方案，所述转子流量计5与所述精密露点仪6采用聚四氟乙烯管连接。
[0009]本实用新型的优点:
[0010]本实用新型所述露点仪检定装置具有检测效率高、测试精度高等特点，能够满足露点仪的检定工作要求，对露点仪的科学检定工作有一定的指导意义。
【附图说明】
[0011 ]下面结合附图及实施方式对本实用新型作进一步详细的说明:
[0012]图1为一种露点仪检定装置原理结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]露点仪检定装置的工作流程为:空压机2将空气I送入干燥器，压缩空气先经内置可更换及反复烘烤分子筛的一级干燥器3做一级干燥，再送不锈钢内胆抛光处理的二级干燥器4，在二级干燥器4前端加一个截止阀，长时间不使用时可置截止状态，定期吹扫干燥器，可以起到良好的系统维护效果。这样出来的气体足以保证获得稳定可靠低露点温度。检定装置可采用多路供气，可以通过调节阀控制每一路供气流量，转子流量计5测量管路的气体流量，转子流量计5—般在露点仪的进口前的管路中进行测量，多数要求(I?1 ) L / M i η的流量，实际检测工作中可根据被检露点仪流量要求调节。
[0014]气体经三通分别送入精密露点仪6和被检露点仪7，被检露点仪7出口放空时，需接一不短于2m的放空管8，防止外界环境空气通过测量室进入被检露点仪。测控计算机分别记录精密露点仪6和被检露点仪7的测量值，并通过这两个值进行比较对被检露点仪7进行检定。
[0015]检定装置采用SWAGEL0K(美国)进口联合接头、调压阀、卡套，配合不锈钢管，尤其在检定装置各分路供气端处，可以最大限度减少空气中水分渗透入干湿混合气体管路。在必要的软管连接处，采用聚四氟乙烯管，以减少空气中水分渗透，通过减少取样管的体积和连接头，以减少水分进入的可能性。
[0016]可以理解的是，以上关于本实用新型的具体描述，仅用于说明本实用新型而并非受限于本实用新型实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本实用新型的保护范围之内。
【主权项】
1.一种露点仪检定装置，其特征在于:所述露点仪检定装置包括空气(I)、空压机(2)、一级干燥器(3 )、二级干燥器(4 )、转子流量计(5 )、精密露点仪(6 )、被检露点仪(7 )、放空管(8);其中:空气(I)依次通过空压机(2)、一级干燥器(3)、二级干燥器(4)与转子流量计(5)连接，转子流量计(5 )经三通分别送入精密露点仪(6 )和被检露点仪(7 )，被检露点仪(7 )与放空管(8)连接。2.根据权利要求1所述露点仪检定装置，其特征在于:还包括截止阀和测控计算机，所述截止阀位于一级干燥器(3)和二级干燥器(4)之间，所述测控计算机连接于精密露点仪(6)和被检露点仪(7)。3.根据权利要求1所述露点仪检定装置，其特征在于:所述一级干燥器(3)内置分子筛，所述二级干燥器(4)采用不锈钢内胆抛光处理。4.根据权利要求1所述露点仪检定装置，其特征在于:所述转子流量计(5)与所述精密露点仪(6)采用聚四氟乙烯管连接。
【文档编号】G01N25/66GK205538780SQ201620325854
【公开日】2016年8月31日
【申请日】2016年4月18日
【发明人】黄泉善
【申请人】黄泉善