一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，所述设备结构包括一炉体，在所述炉体内腔的中心处设置一坩埚，在坩埚的两侧对称设有置于炉体内腔的观测加热器和测温加热器；在炉体侧壁上还对称设有一观察窗口和一测温窗口，所述观察窗口还连通一观察孔，且观察孔与炉体内腔相连通；所述测温窗口还连通一测温孔，且测温孔与炉体内腔相连通；所述观察孔与测温孔也呈对称设置，在所述观察孔内部还放置有一信号管，所述信号管一端封闭，一端开口，且所述封闭端底部放置有高熔点氧化物固体，所述高熔点氧化物固体由至少一层耐高温金属材料包裹物包裹。本实用新型的优点在于：该设备结构能够实现工艺稳定性。
【专利说明】
一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构
技术领域
[0001]本实用新型属于晶体生长技术领域，特别涉及一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构。【背景技术】
[0002]在通过将晶体原料熔化成熔体，并使熔体在籽晶的诱导下逐渐定向凝固生长出与籽晶晶格一致的晶体是熔体生长法晶体生长的基本特点。
[0003]在熔体晶体生长法中，通常通过温度测量，并将温度信号反馈为加热功率输入以满足特定的晶体生长环境;特别是在坩埚下降法等引晶过程无法直接观察的工艺过程，温度测量的准确性是保证籽晶部分熔化，实现引晶成功的可靠保证。对于能够在引晶过程中实时观察的晶体生长方法，如导膜法和泡生法等，温度测量的准确性可以保证工艺的稳定性，可避免操作人员和工艺调整技术人员在热场损耗不大的情况下不必因温度测量的基准问题而频繁调整工艺。[〇〇〇4]通常在常温或1000度以下的温度标定是相对容易的。事实上在较低温的区间红外测温仪的测量准确性和一致性也非常的高。但对于蓝宝石晶体等超高温晶体的生长，在温度大于2000° C时，现有技术下的高精度热电偶及热电阻测温计均超出使用温度而无法直接测量，而非接触式的红外光测温容易受炉体观察窗口污染、炉体内部气体的流动和黑度变化、被测物体表面特征等一系列因素的影响，使得所测温度的绝对值缺乏一致性和可靠性。 最好的办法是在晶体实时生长过程中，每炉均对温度的关键点进行实时标定，以发现红外测温仪与实际温度的偏差。
[0005]因此，研发一种能够实现工艺稳定性的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构是非常有必要的。【实用新型内容】
[0006]本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够实现工艺稳定性的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构。
[0007]为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为:一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，该设备结构置于红外测温仪的一侧，其创新点在于:所述设备结构包括一炉体，在所述炉体内腔的中心处设置一坩埚，在坩埚的两侧对称设有置于炉体内腔的观测加热器和测温加热器；在靠近观测加热器一侧的炉体侧壁上设有一观察窗口，所述观察窗口还连通一观察孔，且观察孔与炉体内腔相连通;在靠近测温加热器一侧的炉体侧壁上设有一测温窗口，所述测温窗口还连通一测温孔，且测温孔与炉体内腔相连通； 所述观察窗口与测温窗口呈对称设置，观察孔与测温孔也呈对称设置，且所述测温窗口与红外测温仪相对设置，在所述观察孔内部还放置有一信号管，所述信号管一端封闭，一端开口，形成一 U型结构，封闭端深入到炉体内腔需要被标定温度的位置，开口端与观察窗口靠近;且所述封闭端底部放置有高熔点氧化物固体，所述高熔点氧化物固体由至少一层耐高温金属材料包裹物包裹。
[0008]进一步地，所述信号管由石墨或炭炭材料加工而成。[0009 ]进一步地，所述高熔点氧化物固体为蓝宝石晶体。
[0010]进一步地，所述的耐高温金属材料包裹物外面还包括有至少一层石墨包裹物。
[0011]进一步地，所述的石墨包裹物为高纯石墨纸。
[0012]本实用新型的优点在于:本实用新型用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，从热场结构出发，提出了一种利用氧化物材料固定熔点的特征，将熔点值的温度信号反馈，通过这一信号，校正红外测温仪的温度基准;如果红外测温仪的基准由于仪器原因无法调整时，可将红外测温仪的温度所测值与氧化物材料固定熔点的差值为基础，快速调本次晶体生长的温度工艺数据;因而，极大地提高了工艺的稳定性。【附图说明】
[0013]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细的说明。
[0014]图1为蓝宝石晶体作为标定温度的材料，用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构的示意图。
[0015]图2为图1中信号管的放大示意图。
[0016]图3为图2的信号管的一种改良方式的示意图。【具体实施方式】
[0017]下面的实施例可以使本专业的技术人员更全面地理解本实用新型，但并不因此将本实用新型限制在所述的实施例范围之中。
[0018]实施例1
[0019]本实施例用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，如图1所示，设备结构置于红外测温仪2的一侧，该设备结构包括一炉体11，在炉体11内腔的中心处设置一坩埚6,在坩埚6的两侧对称设有置于炉体内腔的观测加热器8和测温加热器7;在靠近观测加热器8—侧的炉体侧壁上设有一观察窗口 10，该观察窗口 10还连通一观察孔5，且观察孔5 与炉体内腔相连通;在靠近测温加热器7—侧的炉体侧壁上设有一测温窗口 3，该测温窗口 3 还连通一测温孔1，且测温孔1与炉体内腔相连通。
[0020]观察窗口 10与测温窗口 3呈对称设置，观察孔5与测温孔3也呈对称设置，且测温窗口 3与红外测温仪2相对设置，在观察孔5内部还放置有一信号管9,如图2所示，该信号管9由石墨材料12加工而成，且信号管9一端封闭，一端开口，形成一U型结构，封闭端深入到炉体内腔需要被标定温度的位置，开口端与观察窗口 10靠近;且封闭端底部放置有蓝宝石晶体 14，该蓝宝石晶体14由一层耐高温金属13材料包裹物包裹。[〇〇21] 实施例2
[0022]本实施例用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，与实施例1相比，其他结构不变，改变信号管9的结构，如图3所示，该信号管9由石墨材料12加工而成，且信号管9一端封闭，一端开口，形成一U型结构，封闭端深入到炉体内腔需要被标定温度的位置，开口端与观察窗口 10靠近;且封闭端底部放置有蓝宝石晶体14,该蓝宝石晶体14由一层耐高温金属13材料包裹物包裹，在耐高温金属13材料包裹物外包裹一层高纯石墨纸15。
[0023]上述实施例1-2用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，利用氧化物材料固定熔点的特征，将熔点值的温度信号反馈，通过这一信号，校正红外测温仪的温度基准；如果红外测温仪的基准由于仪器原因无法调整时，可将红外测温仪的温度所测值与氧化物材料固定熔点的差值为基础，快速调本次晶体生长的温度工艺数据；因而，极大地提尚了工艺的稳定性。[〇〇24]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征以及本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【主权项】
1.一种用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，该设备结构置于红外 测温仪的一侧，其特征在于:所述设备结构包括一炉体，在所述炉体内腔的中心处设置一坩 埚，在坩埚的两侧对称设有置于炉体内腔的观测加热器和测温加热器;在靠近观测加热器 一侧的炉体侧壁上设有一观察窗口，所述观察窗口还连通一观察孔，且观察孔与炉体内腔 相连通;在靠近测温加热器一侧的炉体侧壁上设有一测温窗口，所述测温窗口还连通一测 温孔，且测温孔与炉体内腔相连通;所述观察窗口与测温窗口呈对称设置，观察孔与测温孔 也呈对称设置，且所述测温窗口与红外测温仪相对设置，在所述观察孔内部还放置有一信 号管，所述信号管一端封闭，一端开口，形成一 U型结构，封闭端深入到炉体内腔需要被标定 温度的位置，开口端与观察窗口靠近;且所述封闭端底部放置有高熔点氧化物固体，所述高 熔点氧化物固体由至少一层耐高温金属材料包裹物包裹。2.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，其 特征在于:所述信号管由石墨或炭炭材料加工而成。3.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，其 特征在于:所述高熔点氧化物固体为蓝宝石晶体。4.根据权利要求1所述的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，其 特征在于:所述的耐高温金属材料包裹物外面还包括有至少一层石墨包裹物。5.根据权利要求4所述的用于蓝宝石晶体生长的红外测温仪温度标定用设备结构，其 特征在于:所述的石墨包裹物为高纯石墨纸。
【文档编号】G01J5/00GK205607535SQ201620277446
【公开日】2016年9月28日
【申请日】2016年4月6日
【发明人】马远, 邱豇, 邱一豇, 吴勇, 周健杰
【申请人】江苏中电振华晶体技术有限公司