一种测量微小流量的传感器的制造方法

文档序号:10953255阅读:291来源:国知局
一种测量微小流量的传感器的制造方法
【专利摘要】本实用新型属于气体流量测量技术,涉及一种测量微小流量的传感器。其特征在于:它由进气端三通(1)、压差传感器(2)、毛细管(3)和出气端三通(4)组成。本实用新型提出了一种测量微小流量的传感器,其实施方便、系统简单、成本低、精度高,能满足测量气体微小流量的要求。
【专利说明】
一种测量微小流量的传感器
技术领域
[0001 ]本实用新型属于气体流量测量技术,涉及一种测量微小流量的传感器。
【背景技术】
[0002]目前测量小流量的传感器有皂泡流量计、质量流量计等,但不满足测量微小流量要求,而且实施困难、系统复杂、价格高、精度低等。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的是:提出一种测量微小流量的传感器,为了实施方便、系统简单、成本低、精度高,能满足测量气体微小流量的要求。
[0004]本实用新型的技术方案是:一种测量微小流量的传感器,包括进气端三通(I)、压差传感器(2)、毛细管(3)和出气端三通(4);进气端三通(I)的测压端口通过焊接与压差传感器(2)的第I感压口连通,进气端三通(I)的出气端口通过焊接与毛细管(3)的一端连通,出气端三通(4)的测压端口通过焊接与压差传感器(2)的第2感压口连通,出气端三通(4)的进气端口通过焊接与毛细管(3)的另一端连通;其特征在于:毛细管(3)为紫铜管,其孔径d=0.1mm?0.7mm,毛细管(3)的长度L = 50mm?150mm;压差传感器(2)采用微压差传感器。
[0005]本实用新型的优点是:提出了一种测量微小流量的传感器,达到了实施方便、系统简单、成本低、精度高,能满足测量气体微小流量的要求。
【附图说明】
[0006]图1是本实用新型的结构示意图。
【具体实施方式】
[0007]下面对本实用新型做进一步详细说明。参见图1,一种测量微小流量的传感器。其特征在于:它由进气端三通(1)、压差传感器(2)、毛细管(3)和出气端三通(4)组成。进气端三通(I)的测压端口通过焊接与压差传感器(2)的第I感压口连通,进气端三通(I)的出气端口通过焊接与毛细管(3)的一端连通,出气端三通(4)的测压端口通过焊接与压差传感器
(2)的第2感压口连通,出气端三通(4)的进气端口通过焊接与毛细管(3)的另一端连通;其特征在于:毛细管(3)为紫铜管,其孔径d = 0.1mm?0.7mm,毛细管(3)的长度L = 50mm?100mm;压差传感器(2)采用微压差传感器。
[0008]本实用新型的一个实施例,毛细管(3)的孔径d= 0.5mm,毛细管(3)的长度L =80mm;压差传感器(2)采用O?5kPa微压差传感器,其精度为1.0级。经实施,此微小流量传感器可测量O?lOmL/min微小气体流量,其精度为1.0级。
【主权项】
1.一种测量微小流量的传感器,包括进气端三通(I)、压差传感器(2)、毛细管(3)和出气端三通(4);进气端三通(I)的测压端口通过焊接与压差传感器(2)的第I感压口连通,进气端三通(I)的出气端口通过焊接与毛细管(3)的一端连通,出气端三通(4)的测压端口通过焊接与压差传感器(2)的第2感压口连通,出气端三通(4)的进气端口通过焊接与毛细管(3)的另一端连通;其特征在于:毛细管(3)为紫铜管,其孔径d = 0.1mm?0.7mm,毛细管(3)的长度L = 50mm?10mm;压差传感器(2)采用微压差传感器。
【文档编号】G01F1/48GK205642475SQ201620417217
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月4日
【发明人】孟祥伟, 赵晶
【申请人】合肥江航飞机装备有限公司
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