三光机的手动二轴移动机构的制作方法
【专利摘要】本实用新型涉及三光机上的手动二轴移动机构，在基座的上表面固定有Y轴直线导轨，在Y轴滑台的下表面固定有Y轴直线轴承与Y轴被动带轮，在Y轴滑台的上表面固定有X轴直线导轨与X轴被动带轮，在X轴滑台的下表面固定有X轴直线轴承；在X轴滑台的上表面固定有快速手柄，在快速手柄上设有气阀按钮；在Y轴滑台安装有XY轴微调手柄，在XY轴微调手柄上设有X轴主动带轮与Y轴主动带轮；在基座上安装有Y轴滑台气缸锁紧组件，在Y轴滑台上安装有X轴滑台气缸锁紧组件。本实用新型实现了Y轴滑台与X轴滑台的快速定位与微调定位。
【专利说明】
三光机的手动二轴移动机构
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种三光机上的二轴机构，本实用新型尤其是涉及一种三光机的手动一■轴移动机构。
【背景技术】
[0002]第三光检查系统(即三光机)用于半导体晶片粘贴及金线键合工艺后，对引线框或基板的外观检查。使用时，需要将待检查的引线框或基板快速并且精确地移动到指定的位置。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种可以实现快速定位与微调定位的三光机的手动二轴移动机构。
[0004]按照本实用新型提供的技术方案，所述三光机的手动二轴移动机构，包括基座、Y轴滑台与X轴滑台，在基座的上表面固定有Y轴直线导轨，在Y轴滑台的下表面固定有Y轴直线轴承与Y轴被动带轮，在Y轴滑台的上表面固定有X轴直线导轨与X轴被动带轮，X轴直线导轨与Y轴直线导轨呈垂直设置，在X轴滑台的下表面固定有X轴直线轴承，Y轴直线轴承与Y轴直线导轨配合，X轴直线轴承与X轴直线导轨配合;在X轴滑台的上表面固定有快速手柄，在快速手柄上设有气阀按钮;在Y轴滑台安装有XY轴微调手柄，在XY轴微调手柄上设有X轴主动带轮与Y轴主动带轮，在X轴主动带轮与X轴被动带轮上安装有X轴同步带，在Y轴主动带轮与Y轴被动带轮上安装有Y轴同步带;在基座上安装有Y轴滑台气缸锁紧组件，在Y轴滑台上安装有X轴滑台气缸锁紧组件，Y轴滑台气缸锁紧组件与X轴滑台气缸锁紧组件均受控于快速手柄上的气阀按钮。
[0005]所述XY轴微调手柄包括内轴、内轴套、外轴套、X轴微调旋钮与Y轴微调旋钮，在内轴的下端部固定有所述的Y轴主动带轮，在内轴的上端部固定有Y轴微调旋钮，在内轴外转动套接有内轴套，在内轴套外转动套接有外轴套，在外轴套的下端部固定有所述的X轴主动带轮，在外轴套的上端部固定有X轴微调旋钮，在内轴套的上端部外圆上固定有固定环，在固定环的上表面设有上碟形弹簧，上碟形弹簧与Y轴微调旋钮相接触，在固定环的下表面设有下碟形弹簧，下碟形弹簧与X轴微调旋钮相接触。
[0006]所述X轴滑台气缸锁紧组件包括X轴气缸安装板、X轴挡板、X轴气缸与X轴压块，X轴气缸安装板固定在Y轴滑台的上表面，在X轴气缸安装板上固定有X轴挡板与X轴气缸，在X轴气缸的活塞杆端部固定有X轴压块，X轴压块在X轴气缸的作用下与X轴挡板配合压紧所述的X轴同步带。
[0007]所述Y轴滑台气缸锁紧组件包括Y轴气缸安装板、Y轴挡板、Y轴气缸与Y轴压块，Y轴气缸安装板固定在基座的上表面，在Y轴气缸安装板上固定有Y轴挡板与Y轴气缸，在Y轴气缸的活塞杆端部固定有Y轴压块，Y轴压块在Y轴气缸的作用下与Y轴挡板配合压紧所述的Y轴同步带。
[0008]本实用新型实现了Y轴滑台与X轴滑台的快速定位与微调定位，本实用新型结构简单、操作方便。
【附图说明】
[0009]图1是本实用新型的结构示意图。
[0010]图2是本实用新型中XY轴微调手柄的结构示意图。
[0011]图3是本实用新型中X轴滑台气缸锁紧组件的结构示意图。
[0012]图4是本实用新型中Y轴滑台气缸锁紧组件的结构示意图。
【具体实施方式】
[0013]下面结合具体实施例对本实用新型作进一步说明。
[0014]该三光机的手动二轴移动机构，包括基座1、Y轴滑台2与X轴滑台3，在基座I的上表面固定有Y轴直线导轨4，在Y轴滑台2的下表面固定有Y轴直线轴承5与Y轴被动带轮，在Y轴滑台2的上表面固定有X轴直线导轨6与X轴被动带轮，X轴直线导轨6与Y轴直线导轨4呈垂直设置，在X轴滑台3的下表面固定有X轴直线轴承7，Y轴直线轴承5与Y轴直线导轨4配合，X轴直线轴承7与X轴直线导轨6配合;在X轴滑台3的上表面固定有快速手柄8，在快速手柄8上设有气阀按钮9;在Y轴滑台2安装有XY轴微调手柄，在XY轴微调手柄上设有X轴主动带轮18与Y轴主动带轮19，在X轴主动带轮18与X轴被动带轮上安装有X轴同步带10，在Y轴主动带轮19与Y轴被动带轮上安装有Y轴同步带11;在基座I上安装有Y轴滑台气缸锁紧组件，在Y轴滑台2上安装有X轴滑台气缸锁紧组件，Y轴滑台气缸锁紧组件与X轴滑台气缸锁紧组件均受控于快速手柄8上的气阀按钮9。
[0015]所述XY轴微调手柄包括内轴12、内轴套13、外轴套14、Χ轴微调旋钮15与Y轴微调旋钮16，在内轴12的下端部固定有所述的Y轴主动带轮19，在内轴12的上端部固定有Y轴微调旋钮16，在内轴12外转动套接有内轴套13，在内轴套13外转动套接有外轴套14，在外轴套14的下端部固定有所述的X轴主动带轮18，在外轴套14的上端部固定有X轴微调旋钮15，在内轴套13的上端部外圆上固定有固定环17，在固定环17的上表面设有上碟形弹簧，上碟形弹簧与Y轴微调旋钮16相接触，在固定环17的下表面设有下碟形弹簧，下碟形弹簧与X轴微调旋钮15相接触。
[0016]所述X轴滑台气缸锁紧组件包括X轴气缸安装板20、Χ轴挡板21、Χ轴气缸22与X轴压块23，X轴气缸安装板20固定在Y轴滑台2的上表面，在X轴气缸安装板20上固定有X轴挡板21与X轴气缸22，在X轴气缸22的活塞杆端部固定有X轴压块23，X轴压块23在X轴气缸22的作用下与X轴挡板21配合压紧所述的X轴同步带10。
[0017]所述Y轴滑台气缸锁紧组件包括Y轴气缸安装板24、Υ轴挡板25、Υ轴气缸26与Y轴压块27，Y轴气缸安装板20固定在基座I的上表面，在Y轴气缸安装板24上固定有Y轴挡板25与Y轴气缸26，在Y轴气缸26的活塞杆端部固定有Y轴压块27，Υ轴压块27在Y轴气缸26的作用下与Y轴挡板25配合压紧所述的Y轴同步带11。
[0018]在Y轴滑台2的上表面固定有X轴气缸22，在基座I的上表面固定有Y轴气缸26，微调定位时，X轴气缸22在气源压力推动下通过X轴压块23与X轴挡板21夹持X轴同步带10，Υ轴气缸26在气源压力推动下通过Y轴压块27与Y轴挡板25夹持Y轴同步带11，使得通过旋转XY轴微调手柄上的X轴微调旋钮15与Y轴微调旋钮16，可分别精确调整X轴滑台3及Y轴滑台2位置。
[0019]XY轴微调手柄的内轴套13固定在Y轴滑台2上，Y轴微调旋钮16与内轴12及Y轴同步带轮11固定，旋动Y轴微调旋钮16可对Y轴滑台2进行精确定位。X轴微调旋钮15与外轴套14及X轴主动带轮18固定，旋动X轴微调旋钮15可对X轴滑台3进行精确定位。在固定环17的上表面设有上碟形弹簧，上碟形弹簧与Y轴微调旋钮16相接触，在固定环17的下表面设有下碟形弹簧，下碟形弹簧与X轴微调旋钮15相接触，通过上碟形弹簧与下碟形弹簧以调整X轴微调旋钮15与Y轴微调旋钮16的阻尼来避免旋钮调整时的过冲与不稳定。
[0020]在需要快速移动X轴滑台3与Y轴滑台2时，按下快速手柄8上的气阀按钮9，X轴气缸22拉动X轴压块23放松夹持X轴同步带10，Y轴气缸26拉动Y轴压块27放松夹持Y轴同步带11，此时XY轴微调手柄失效，X轴滑台3与Y轴滑台2即在无负载的情况下可通过推拉快速手柄8以迅速移动平台至需求位置。
【主权项】
1.一种三光机的手动二轴移动机构，包括基座(I)、Y轴滑台(2)与X轴滑台(3)，在基座(I)的上表面固定有Y轴直线导轨(4)，在Y轴滑台(2)的下表面固定有Y轴直线轴承(5)与Y轴被动带轮，在Y轴滑台(2)的上表面固定有X轴直线导轨(6)与X轴被动带轮，X轴直线导轨(6)与Y轴直线导轨(4)呈垂直设置，在X轴滑台(3)的下表面固定有X轴直线轴承(7)，Υ轴直线轴承(5)与Y轴直线导轨(4)配合，X轴直线轴承(7)与X轴直线导轨(6)配合;其特征是:在X轴滑台(3 )的上表面固定有快速手柄(8 )，在快速手柄(8 )上设有气阀按钮(9 );在Y轴滑台(2 )安装有XY轴微调手柄，在XY轴微调手柄上设有X轴主动带轮(18)与Y轴主动带轮(19)，在X轴主动带轮(18)与X轴被动带轮上安装有X轴同步带(10)，在Y轴主动带轮(19)与Y轴被动带轮上安装有Y轴同步带(11);在基座(I)上安装有Y轴滑台气缸锁紧组件，在Y轴滑台(2)上安装有X轴滑台气缸锁紧组件，Y轴滑台气缸锁紧组件与X轴滑台气缸锁紧组件均受控于快速手柄(8)上的气阀按钮(9)。2.如权利要求1所述的三光机的手动二轴移动机构，其特征是:所述XY轴微调手柄包括内轴(12)、内轴套(13)、外轴套(14)、Χ轴微调旋钮(15)与Y轴微调旋钮(16)，在内轴(12)的下端部固定有所述的Y轴主动带轮(19)，在内轴(12)的上端部固定有Y轴微调旋钮(16)，在内轴(12)外转动套接有内轴套(13)，在内轴套(13)外转动套接有外轴套(14)，在外轴套(14)的下端部固定有所述的X轴主动带轮(18)，在外轴套(14)的上端部固定有X轴微调旋钮(15)，在内轴套(13)的上端部外圆上固定有固定环(17)，在固定环(17)的上表面设有上碟形弹簧，上碟形弹簧与Y轴微调旋钮(16)相接触，在固定环(17)的下表面设有下碟形弹簧，下碟形弹簧与X轴微调旋钮(15)相接触。3.如权利要求1所述的三光机的手动二轴移动机构，其特征是:所述X轴滑台气缸锁紧组件包括X轴气缸安装板(20)、Χ轴挡板(21)、Χ轴气缸(22)与X轴压块(23)，Χ轴气缸安装板(20)固定在Y轴滑台(2)的上表面，在X轴气缸安装板(20)上固定有X轴挡板(21)与X轴气缸(22)，在X轴气缸(22)的活塞杆端部固定有X轴压块(23)，Χ轴压块(23)在X轴气缸(22)的作用下与X轴挡板(21)配合压紧所述的X轴同步带(10)。4.如权利要求1所述的三光机的手动二轴移动机构，其特征是:所述Y轴滑台气缸锁紧组件包括Y轴气缸安装板(24)、Υ轴挡板(25)、Υ轴气缸(26)与Y轴压块(27)，Υ轴气缸安装板(20)固定在基座(I)的上表面，在Y轴气缸安装板(24)上固定有Y轴挡板(25)与Y轴气缸(26)，在Y轴气缸(26)的活塞杆端部固定有Y轴压块(27)，Υ轴压块(27)在Y轴气缸(26)的作用下与Y轴挡板(25)配合压紧所述的Y轴同步带(11)。
【文档编号】G01N21/01GK205643135SQ201620459115
【公开日】2016年10月12日
【申请日】2016年5月19日
【发明人】祁云峰, 沈震, 俞旸
【申请人】无锡联发易创科技有限公司