专利名称：尤其用于可通过驱动器操纵的阀的位置调节器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种按权利要求1前序部分所述用于可通过驱动器操纵的阀的位置调节器。
由欧洲专利申请EP 0637713A1已知这种可通过驱动器操纵的阀所用的位置调节器。阀装在管通中并通过与阀座配合作用的封闭体一个相应的升程控制介质的流通。一个气动驱动器通过一连杆与封闭体连接。连杆上连接一杠杆，它作用在一个作为位置调节器的位置传感器的电位器上。该电位器检测调节机构的实际位置。在位置调节器的一个调节单元内，将此实际位置与一可预定的额定位置比较。根据获知的偏差，调节单元产生一个用于控制气动驱动器的调节信号。额定值通过一个规格化的信号，例如4至20mA接口或数字式数组电报总线预先存入位置调节器中。也就是说，位置调节器的任务是将预定的调节机构位置额定值转变为气动压力信号，这一信号输入气动驱动器并造成连杆处于相应的位置。
此外已知蝶形阀，其中蝶式活门的打开角借助一个旋转式电位计检测。在这种情况下位置调节器产生一个用于回转驱动器的调节信号，该回转驱动器操纵蝶式活门。
由于它们简单和廉价的技术，往往采用滑块电位器检测位置，这种电位器的优点是在电流消耗低的情况下比较简单地产生一个可计算的电调节信号。例如一个用3V工作的10KΩ电位器最多只消耗300μA。调节机构的往复运动或旋转运动，通过相应的连接件，例如通过旋转杆和可以切换的齿轮传动装置，传给电位器的旋转轴，以及由滑块引出的分压传给一个模拟或数字式调节单元的模拟入口。回转驱动器转角的检测范围通常最大为120°。对于往复式驱动器，检测范围最大15mm。直线运动同样可借助一个转换机构转换为一个最大120°转角的转动。
在许多生产过程和动力工程的领域中，设备的无故障运行取决于所用调节阀完好的工作。因故障部件引起的设备或部分设备停止运行，会严重降低设备生产能力和可能的利用系数。因此，减少停机时间和提高设备可靠性，是设备经济地运行的重要目的。
为了检测旋转位置或直线位置经常采用的电磁式滑块电位器，基于其结构，在长期工作稳定性方面由于接触道磨损和氧化以及在抗振强度方面都存在缺点。经过较长期的准静态工作，它的滑块倾向于粘结。由于机械摩擦，滑块和电阻层随时间的推移磨损，或由于老化和氧化改变了其性能。在电磁式滑块电位器中，旋转运动或直线运动借助一贯通的轴传递。因此，防止环境影响的恰当的外壳包封非常复杂，而且其本身也涉及老化和磨损问题。
由EP 0680614B1已知一种用于检测物体角度位置的设备。在此专利文件中说明的按大磁阻(GMR-)效应的传感器，由交替的硬磁性和软磁性金属层组成。这些层分别只有几个原子层厚并涂覆(aufgesputtert)在硅载体材料上。这些传感器的电阻与作用的磁场方向有密切的关系。因此用GMR传感器能良好地检测磁铁角度位置的变化。
本发明的目的是创造一种尤其用于可通过驱动器操纵的阀的位置调节器，它的特点在于在生产成本低的同时改善了对干扰的不敏感性。
为达到此目的，前言所述类型的位置调节器具有在权利要求1特征部分中所述特征。在从属权利要求中说明了这种位置调节器有利的进一步发展。
采用本发明克服了传统电位器的缺点，因为采用了一种不接触的电位器，它主要由一个磁铁和一个磁阻传感器组成。这种新型位置传感器即使在静态也能提供调节机构准确的实际位置。输出信号原本就很少的非线性也易于补偿。在磁铁与磁阻传感器之间可按简单的方式安装隔板，以实现包封并因而防止环境影响。因此，此位置传感器对污物和恶劣的环境极不敏感。磁铁可在传感器外壳的外部方便地固定在往复式或回转式驱动器上，使其磁力线通过外壳壁作用在磁阻传感器上。在传感器外壳内可组合一个计算电路，它根据磁阻传感器的电阻变化，产生一个与磁铁的转角或直线行程成比例的电压，并因而向调节单元提供一个与实际位置相应的对干扰影响不敏感的信号。
按简单的方式可在磁铁与传感器之间保持一个最小距离，以便尤其在GMR传感器的情况下避免损坏硬磁性层，因为在这种传感器类型中，磁场强度不允许超过15KA/m。通过这种新型位置传感器的这种非接触式原理，免除了滑块电位器刮擦或粘结的问题。在电位计受到持续振动的应用情况下，这种非接触原理呈现出如在准静态时同样的优点，在准静态时电位器位置长时间不改变，而滑块电位器的滑块由于在行程内小的调节扰动而被埋入电阻层并有可能在那里被钩住。若磁铁构成与调节机构连接的位置传感器的运动部分，则它无需机械套管(mechanische Durchfuehrung)便可通过其在磁阻传感器内的磁场与调节运动耦合。通过相应的连接件，可用简单的方式保证运动部分准确地作旋转或直线运动。
若磁铁设计为永久磁铁，则可以实现特别简单的结构，因为磁铁不需要供电以及不增加位置传感器的电流需求。
若采用一个所谓的各向异性磁阻传感器，则可以获得一种有利地显著增大电阻的磁阻传感器。在层的磁化相对于在传感器层内流动的测量电流的流动方向旋转时，在这种传感器类型中产生电阻改变，这种改变可以是普通的各向同性电阻的几个百分点。从而使测量信号有足够大的信号噪声比。
若使用所谓的大磁阻(GMR-)传感器，则带来的优点是，电阻改变在一个大的范围内与场强无关以及仅仅对磁场的方向灵敏地作出反应。电阻与磁场方向的关系类似于余弦函数并因而在一个大的范围内近似直线。
按有利的方式，此同一种传感器结构既适用于作为旋转驱动器的附件也适用于作为往复驱动器的附件，无需进行结构性改变。为此，GMR传感器按这样的方式装在外壳的边缘区内，即，此同一种传感器为了检测相对转动至少能近似定位于在此情况下所设的磁铁的旋转轴线上，以及为了检测相对移动可与在此情况下所设的一个磁铁一起定位在一个基本上垂直于上述旋转轴线的平面内。其中在传感器与面朝磁铁的外壳壁之间的距离优选地约为5mm。由此保证遵守在磁铁与传感器之间所要求的最小距离。由于可应用于旋转和往复驱动器所以降低了后勤和仓储管理的成本，因为只须储存一种类型的GMR传感器。
若在GMR传感器的外壳内安装一温度补偿电路，则在温度波动时可达到更高的测量精度。为了特别有效地补偿温度，GMR传感器的电桥电阻可同时利用来作为温度补偿电路的测量电阻。由此完全消除了测量电阻与GMR传感器之间的热耦合问题。
按一种有利的方式，将GMR传感器装在印刷电路板的一侧并将温度补偿电路设在同一块印刷电路板的另一侧。因此通常有比GMR传感器构件的外壳更大的外壳的温度补偿电路构件，不一定要设在GMR传感器与位置传感器外壳面朝磁铁的外侧之间以及不影响它们的间距。所以在GMR传感器构件外壳的上边缘与外壳外侧之间允许有更小的距离。
若在GMR传感器的外壳上设一个辅助定心装置用于在装配时调整磁铁与传感器的相对位置，则可用小量的费用实现磁铁相对于GMR传感器的准确定位。此辅助定心装置可设计为一个能装在磁铁上并在装配后重新取走的成型件，在装配时它形状封闭地装入GMR传感器外壳上的槽内。在磁铁和GMR传感器固定后，重新取走此成型件。
运动部分与传感器外壳在机械上形状封闭的设计，保证了磁铁与传感器在空间位置上准确地配置。在这里两个部分结合成一完整的位置传感器可力封闭地(kraftschluessig)进行。按另一种方案，位置传感器也可以构成机械上一体的完整的位置传感器块，它包括具有磁铁的运动部分、GMR传感器和电子计算装置(Auswerteelektronik)，并保证在磁铁与GMR传感器之间有规定的间距。原则上既能在机械上又能在电学上与运动部分完全分开的有源电子计算装置，可以用小的结构形式实现一种对于电和机械的干扰影响能方便地予以屏蔽、能抗干扰且坚固耐用的位置传感器电子装置。其中磁铁本身无需机械地穿过一隔板到达GMR传感器外壳，而可与GMR传感器处于一个共同的屏蔽室内，该屏蔽室可防止静电和电磁干扰。为了在极端干扰区内使用，一个也包围着磁铁的相应的外部屏蔽装置可设计为一种可在需要时补充的构件。
为了使调节单元不承受在位置传感器调节机构处可能存在的高温，按有利的方式可将调节单元设在与GMR传感器的外壳分开的第二外壳内。在这种情况下，位置传感器和调节单元通过一种用于传输调节机构实际位置的媒介，例如通过电缆，互相连接起来。直线运动或旋转运动的检测直接在驱动器或调节机构上通过在传感器外壳内的位置传感器来进行，传感器外壳用相应的连接组件固定。传感器外壳也可由一个位置传感器的外壳构成，在此用于分开的结构的外壳内只装有位置传感器的电路部分。位置调节器的调节单元可离开一些距离地例如安装在装配管上或类似的辅助装配装置上，并通过电缆接头与位置传感器连接和通过一根或两根气动管道与气动驱动器连接。若调节机构的环境条件超过针对此调节单元的规定值，则比较合理的是将位置传感器和调节单元装在分开的外壳内。这种情况例如发生在，由于热流动介质使阀或驱动器处于高温下；在阀或驱动器处于强烈摇摆或振动的情况下；或，当在阀或驱动器处只存在较小的位置用于安装整个位置调节器时。
此新型位置调节器的另一些优点包括，由于其低的功率需求和能方便地集成的保护电路可使用于有爆炸危险的地区；宽的供电电压公差范围；由于组合有屏蔽装置和EMI过滤器可将外部的干扰影响减少到最低程度；在馈电电流小的情况下使温度影响降到最小程度；磁滞的最小化及其稳定的复现性作为在磁铁与GMR传感器之间的转角以及场强的函数。
由于GMR传感器的同型元件的参数差异(Exemplarstreuung)造成的磁滞和小量非线性的小的波动，在应用于作为位置调节器中的位置传感器时是无关紧要的。当实际位置应作为信息通过位置调节器输给设备的另一些部件时，输出信号可根据已知的该GMR传感器的线性和磁滞特性线方便地修正和有效地过滤。为此，在需要时可将GMR传感器由给定元件的特性所决定的(exemplarspezifischen)修正数据储存在位置调节器的一个微控制器内。为了简化线性及磁滞误差的修正，针对给定元件检测以及储存五个在标准条件下提取的特征支持值就够了，这些支持值例如可位于特性线最大斜度变化的位置上。为了准确地修正，全部有所要求分辩率的特性线也可以储存在一可连续读出的、借助GMR传感器转交的以及通过识别标记与GMR传感器相配置的存储介质内。存储介质的内容可例如在装配GMR传感器时输入微控制器内。
下面借助附图所示本发明的实施方式详细说明本发明及其扩展设计和优点。附图中
图1表示一调节阀；图2表示一位置传感器的线路方框图；图3表示一个用于温度补偿的电路；图4表示一个放大和偏移调整电路；图5表示带有图3和图4所示电路的扁平组件；图6表示用于图5所示扁平组件的金属屏蔽罩；图7表示金属屏蔽罩展开后的俯视图；图8表示金属屏蔽罩展开后的侧视图；图9表示一个GMR传感器的外壳；图10表示用于图9所示外壳的挡盖；图11表示角度位置传感器的下侧视图12表示图11所示角度位置传感器的侧视图；图13表示直线位置传感器的下侧视图；以及图14表示图13所示直线位置传感器的侧视图。
按图1，在一个未进一步表示的工程技术设备的管道1中加装一阀2，它通过一个与阀座3配合工作的封闭体4相应的升程运动控制介质5的流通。该升程由一气动驱动器6产生并借助一阀杆7传给封闭体4。驱动器6通过一支架8与阀2的外壳连接。在支架8上安装一位置传感器9，该位置传感器在输入侧通过一个在阀杆7上导引的连接段10检测升程并产生一个与该升程相应的模拟的输出信号11。在气动驱动器6内有一块基本上水平延伸的薄膜，该薄膜将一个上部腔与一下部腔隔开。下部腔通过管道12与调节单元13连接，调节单元装在一个与位置传感器9的外壳分开的外壳中。在上部腔内装有一弹簧，它逆下部腔的压力作用并在无压力状态下将阀2关闭。通过控制在调节单元13中的阀，可以将经管道14供入的具有压力P的进气通过管道12引入下部腔内，或经管道15向周围排气。调节单元13将通过信号11获得的在调节技术中可称为调节机构的阀杆7的实际位置，与通过数据接口16从数组总线17输入的额定值进行比较，并通过相应地调整在管道12中的气流，调节可能存在的调节差。连接段10通过一杠杆臂实现，该杠杆臂插在两个装在阀杆7的销钉之间并因而跟随阀杆7的往复运动。一块固定在此杠杆上的磁铁18可转动地支承在位置传感器9的其中还包括一GMR传感器的外壳内，并通过杠杆使磁铁作与阀杆7的升程对应的旋转运动。位置传感器9固定在支架8上并因而承受有可能高的环境温度，而调节单元13可远离支架8固定在不那么恶劣的环境中，例如固定在一根图1中未表示的装配管内。由此扩展了通常含有气动控制用灵敏阀的位置调节器的使用范围。
图2表示一个集成在位置传感器9(图1)中带有GMR传感器的计算电路的原理简图。原则上GMR传感器取决于磁场方向的电阻改变的计算电路，由一个用于向测量电桥供电和用于温度补偿的电路20(它本身还包含测量电桥)以及一个用于信号预处理的电路21组成，该信号预处理包括对由电路20提供的电桥输出信号dU形成偏置(offsetbildung)和增强。电路21产生一个例如数值范围从0.1至2.5V的输出信号22，它代表调节机构的实际位置。此输出信号22与图1中的信号11对应。在图2中未表示另一些电路部分，例如EMI过滤器和冗余的电流和电压限制器，它们处于电路的连接支线内，用于抗干扰和避免可能招致爆炸危险的不可允许的工作状态。整个计算电路的特点在于小于300μA的特别小的电流需求。
图3是电路20(图2)的详细图，电路20用于对GMR传感器30进行温度补偿和供电。GMR效应限决于温度。电桥输出电压dU可用下列公式近似dU(α,T)=12·ΔRR0(T0)·[1+TkΔR/Ro_hn·(T-T0)+TkΔR/Ro_Q·(T-T0)2]·Ub(T)·cos(α)+UoffdU(T)~Ub·[f(T)]]]>式中α-在磁场方向与GMR传感器之间的夹角，T-GMR传感器30的温度，T0-20℃R0-20℃时的电阻，TkΔR/R0-lin和TkΔR/R0-Q-补偿温度，以及Uoff-偏置电压。
为了防止GMR传感器30的电桥输出电压dU随温度下降，相应地提高电桥的供电电压Ub。这一功能通过图3中所示的电路实现。此电路在没有电阻Rkomp的情况下意味着是电流Ib恒定的电源，该电流通过一个电阻R1和在一个分压器处的电压调整，该分压器由电阻R4和R5以及R3构成。分压器被馈予一电压Vref＝2.5V。因为GMR传感器电桥的电阻Rsen随温度增大，但在电桥输出处随磁场方向改变的电压dU大约下降两倍，所以此电压增高不足以通过恒定电源使电桥输出电压dU的幅值与温度无关地保持为常数。因此，此电压增高通过借助于电阻Rkomp的正反馈按这样的方式调整，即，使得通过此正反馈平衡在传感器电桥处传感器效应的衰减。GMR传感器30的电桥电阻在此本身用作温度传感器。为了最佳地补偿温度，Rkomp按下式确定Rkomp=Rsell(T0)·(R3R4+R3R5+R4R5)R1(R4+R5)·1(1C-1D)]]>(1[1-50TkΔR/Ro_lin+2500TkΔR/Ro_Q]-1[1+60TkΔR/Ro_lin+3600TkΔR/Ro_Q])]]>其中C＝[1-50TkΔR/Ro_lin+2500TkΔR/Ro-Q][I-50TkRsen_lin+2500TkRsen_Q]D＝[1+60TkΔR/Ro_lin+3600TkΔR/Ro_Q][I+60TkRsen_lin+3600TkRsen_Q]
此电路的特点在于，在恰当选择电阻R1、R3、R4和R5的情况下，在温度补偿有高精度的同时，电流消耗量特别低。
GMR传感器30(图3)的输出信号dU与图4中表示的对其进行放大和偏置调整的电路匹配。一个用供电电压Ucc＝3V工作的运算放大器40，与一个包括电阻Roff和R9在内并在其上被施加有一个基准电压Uref＝2.5V的分压器一起，共同用于偏置调整。在运算放大器40输出侧获得的输出电压被输送给一个差分放大器41，该差分放大器用于调整放大。该差分放大器41同样用供电电压Ucc＝3V工作。以此方式，将存在的微分信号dU从约3mV放大到1.2V并提高到1.3V的平均电位。对应于图1中的信号11的一个输出信号42具有从0.1至2.5V的数值范围。一个放大器电阻Rgain按这样的方式确定其大小，即，使GMR传感器30(图3)输出信号dU的数值范围可比照输出信号42的数值范围。此电路的特点仍在于特别小的电流消耗。在该位置传感器与一用于将电路部分工作所需的电能与信息信号共同传输的数组总线结合使用时，这一点尤为重要。即便在位置调节器采用一个4至20mA的接口时，电路部分低的电流消耗也有其特殊意义，因为这种位置调节器只须约4mA的工作电流就够了。
图5表示一个GMR传感器50和一个计算电路在一块印刷电路板52上空间布局方案。GMR传感器50装在本图中为了更清楚地说明表示成透明的印刷电路板52背对的下侧上，而计算电路的构件51则装配在上侧。由此做到在确定GMR传感器50的上边缘与外壳外侧之间的距离时不必考虑计算电路较高的构件51。在印刷电路板52的前缘处配备四个焊片53，电缆55的电缆端54焊在焊片上。电缆的两根芯线用于输出出口信号(图1中的11)，另外两根芯总用于向位置传感器的电子电路部分供电。
作为所述带有一个GMR传感器50的实施方式的替换方案，传感器也可设计为所谓的各向异性磁阻传感器。计算电路的电路原理可与之无关地保持不变。
如此装备的扁平组件56装入一金属屏蔽罩60内，该屏蔽罩在图6中表示其处于折叠状态，而在图7和8中表示处于展开状态。
在这些图中用同样的附图标记表示相同的部分。为了位置正确地安放扁平组件56，设有三个焊接用插销61、62和63，它们插入印刷电路板52上与此对应的孔内并在那里在装配时焊接。在焊接印刷电路板52后，折叠好金属屏蔽罩和将电缆55嵌入接线片64、65和66内并在那里用夹紧力固定。在GMR传感器50的所在区内，金属屏蔽罩60内开设一个基本上半圆形的缺口67，以便磁场能穿过金属屏蔽罩60并达到GMR传感器50。缺口68用于金属屏蔽罩60在外壳90内的准确定位，外壳90表示在图9中。缺口68在插入外壳90时被推套在一肋上，在图9中该肋被外壳上侧覆盖。在完成定心后，此肋处于缺口68的槽69内。GMR传感器50的外壳90例如用塑料或非铁磁性的能使扁平组件56免受环境影响的材料制成。与此同时，此外壳90提供位置传感器在使用地点固定的可能性。为了方便地固定在标准化的连接装置上，设有两个螺钉的安装孔91和92以及在外壳90上装有一定位销93。在图9中定位销93被遮盖，仅在从下方描述外壳的图11和13中可以看到。由于这些固定的可能性，在任何情况下均可实现位置传感器相对于调节机构的稳定的配置。
在装备有扁平组件56并折叠好的金属屏蔽罩60插入外壳90中后，外壳90用一个在图10中表示的挡盖100封闭，该挡盖具有与外壳内侧对应的导片101至104。
基于电磁相容性的理由，亦即为避免计算电路受电磁干扰的影响和防止电磁波的辐射，金属屏蔽罩60装在扁平组件56与外壳90之间。作为所表示的实施方式的替换方案，电磁屏蔽通过塑料外壳的金属化或通过使用添加金属纤维的塑料实现。不过在这种情况下所采用的材料不应影响GMR传感器的工作，在GMR传感器的区域内不存在铁磁特性。
扁平组件56为了更好地受保护和为了在有爆炸危险的区域内使用，可在外壳90内加一种绝缘填料。
用于连接位置传感器与调节单元的四芯电缆55可根据使用状况设计为简单屏蔽或双重屏蔽。电缆屏蔽与扁平组件56和/或金属屏蔽罩60的电连接可按简单的方式实现。
在图11至14中表示了磁铁相对于外壳90的空间位置。为了检测转角，一块磁铁94大体在中央处于外壳90内一个基本上半圆形槽95的下方。槽95意味着是一个辅助定心装置，用于调整磁铁94与GMR传感器50的相对位置，GMR传感器处于外壳90内。为此，在槽95内可放入一个形状闭合的定位工具，工具内装有磁铁94。在将磁铁固定安装在一个图11和12中未进一步表示的运动部分上之后，磁铁94被定心并可取走定位工具。磁铁94的旋转轴线在图11中垂直于图纸平面。磁铁94的可旋转性用箭头96表示。在图12中该旋转轴线通过磁铁94的中心沿水平方向延伸。图13和14表示用于检测直线运动的磁铁97的布局。直线运动用一移动箭头98表示。磁铁97在这里与装在外壳90内部的GMR传感器50一起基本上处于一个垂直于上述旋转轴线的平面内，这一平面平行于图13的图纸平面。仍可通过设计为与槽95和与磁铁97形状封闭的定位工具，较容易地使磁铁准确定位。通过选择GMR传感器50在其外壳90内的布局，使得此同一个GMR传感器既适用于检测转角又适用于检测直线运动，无需对其外壳作结构性改变。磁铁94和97装在以及为了防止环境影响浇注在一个图中未表示的塑料件内。磁铁94和97在图中未表示的运动部分中的导引在结构上与具体的安装条件相适应，所以调节机构的旋转或直线运动转变为与之对应的磁铁94或97的旋转或直线运动。
权利要求
1.一种尤其用于可通过驱动器(6)操纵的阀(2)的位置调节器，它包括一个用于检测调节机构(7)实际位置的位置传感器(9)和一个调节单元(13)，后者用于将实际位置与可预定的额定位置进行比较并产生调节信号，其特征在于作为位置传感器(9)采用一块磁铁(18)和一个磁阻传感器(50)，它们对应于调节机构(7)的运动可彼此相对转动或移动。
2.按照权利要求1所述的位置调节器，其特征在于所述磁铁(18)设计为永久磁铁。
3.按照权利要求1或2所述的位置调节器，其特征在于所述传感器设计为所谓的各向异性的磁阻传感器。
4.按照权利要求1或2所述的位置调节器，其特征在于所述传感器设计为所谓的大磁阻(GMR-)传感器。
5.按照权利要求4所述的位置调节器，其特征在于所述GMR传感器(50)按这样的方式装在外壳(90)的边缘区内，即，为了检测相对运动，此传感器(50)至少能近似定位于在此情况下所设的磁铁(94)的旋转轴线上；以及，为了检测相对移动，此传感器可与在此情况下所设的磁铁(97)一起定位在一个基本上垂直于上述旋转轴线的平面内。
6.按照权利要求5所述的位置调节器，其特征在于在所述GMR传感器(50)的外壳内装有一温度补偿电路。
7.按照权利要求6所述的位置调节器，其特征在于所述GMR传感器(30)的电桥电阻是温度补偿电路的测量电阻。
8.按照权利要求6或7所述的位置调节器，其特征在于所述GMR传感器(50)装在印刷电路板(52)下侧，而温度补偿电路则设在该印刷电路板的上侧。
9.按照权利要求5至8中任一项所述的位置调节器，其特征在于在所述GMR传感器(50)的外壳(90)上设有一个辅助定心装置(95)，用于在装配时调整磁铁(94、97)与传感器(50)的相对位置。
10.按照权利要求5至9中任一项所述的位置调节器，其特征在于所述调节单元(13)设在与GMR传感器(50)的外壳(90)分开的第二外壳内。
全文摘要
本发明涉及一种尤其用于可通过驱动器操纵的阀的位置调节器，它包括一个用于检测调节机构(7)实际位置的位置传感器(9)和一个调节单元(13)，后者用于将实际位置与可预定的额定位置进行比较并产生调节信号。作为位置传感器采用一块有磁阻传感器，优选地有GMR传感器的磁铁(18)。此位置传感器(9)与传统的滑块电位器相比对污物和磨损不太敏感。因此这种位置调节器故障率低。
文档编号G05B19/29GK1422369SQ01807596
公开日2003年6月4日 申请日期2001年4月2日 优先权日2000年4月4日
发明者沃尔夫冈·克莱门斯, 克劳斯·菲布尔科恩, 格哈德·克莱伯特, 克劳斯·路德维格, 安德烈－海因里希·迈恩霍夫, 霍尔格·施马迪克 申请人:西门子公司