专利名称：自动化机台的控制方法、装置及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及自动化系统控制技术领域，特别是涉及一种自动化机台的控制方法、 装置和系统。
背景技术：
在目前半导体生产领域，工厂自动化尤为重要。目前工厂自动化主要是将工厂主机、传输控制设备以及工艺设备通过一些中间软件，如工厂接口联系在一起，此种连接方式既能够真实地向工厂主机反映工艺设备机台当前的运行情况，又可以将工厂主机的命令传达到工艺设备一端进而进行相关的工艺处理和相关配置，从而为操作者提供一个简单易懂的操作平台完成自动化操作。随着各种先进技术手段逐渐被用在半导体加工工业中，如何改进对机台控制来提高生产效率，变得越来越重要，例如先进工艺控制(AdvancedProcess Control)软件目前已经被广泛应用。APC软件处于底层软件PMC(Process Module Controller)的上层，通过以太网与 PMC软件相互连接，能实时获得刻蚀机在工艺过程中的各项数据，便于生产人员及时观察实时工艺信息，例如，腔室压力、腔室温度、入射功率、反射功率、工艺气体流量等。及时发现硬件问题，避免工艺浪费或失败，分析报警数据判断出现问题的位置，从而指导设备工程师对硬件进行问题解决。现有的一种自动化机台中采用机械手抓取料盒的过程通常为传输腔的机械手伸向物料盒腔，物料盒腔内有放料位置、取料位置和多个固定位置。在多个固定位置这一侧， 每个固定位置可放置一物料盒，系统自动判断固定位置有无物料盒，并通过相关机械装置有序地将其上的物料盒放入空置的固定位置或将固定位置的物料盒从固定位置取走；而在放料位置和取料位置这一侧，通过相关机械装置驱动物料盒至放料位置，以将物料盒放到机械手上，机械手缩回，完成取料动作，机械手旋转向工艺腔，机械手伸向工艺腔，通过工艺腔各部件的配合将物料盒放到工艺腔，开始工艺；工艺完成后，机械手将完成工艺的物料盒取出，转向物料盒腔，伸向物料盒腔内取料位置，并通过相关机械装置从机械手上取下物料盒，完成放料动作；在LED刻蚀工艺中，上述物料盒腔内的物料盒可具体为托盘，且托盘内承载有多个晶片。通常情况下，自动化机台上供设置有七个传感器，分别为SDC、CP、CM、TC、CDI、PDI、 SDI。其中，CP用于检测物料盒腔内的物料盒所处的工作位置、CM用于检测物料盒腔内的物料盒是否移动，SDC用于检测传输腔的侧门是否关闭，TC用于检测传输腔的盖子是否关闭， CDI、PDI、SDI分别用于检测机械手处于传输腔内不同位置时候手上是否有物料盒。在系统自动运行的情况下，通过系统内精确有序的控制，不会发生撞片的情况。但有些时候需要手动运行系统，现有方法中，操作者通过上述七个传感器感测的结果进行分析判断，是否移动机械手。那么在操作者作出判断之前，需要对七个传感器的感测结果进行分析，这就会花费较长的时间，另外，人为判断容易出现失误，例如，如果机械手上有物料盒、且物料盒腔内的放料位置或取料位置已有物料盒，若操作者还操作机械手进入物料盒腔内，就可能导致机械手中的物料盒撞倒放料位置或取料位置上的物料盒，进而造成自动化机台或者产品的损坏。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种自动化机台的控制方法、装置和系统，能够对传感器的感测结果进行逻辑分析，并将分析结果传递给自动化机台，从而使操作者能够直接根据分析结果进行操作，无需进行人为判断。为了解决上述问题，本发明公开了一种自动化机台的控制方法，包括以下步骤步骤101，判断机械手上是否有物料，若是，则执行步骤102A，反之，则执行步骤 103A ；步骤102A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若是，则执行步骤102B， 反之，则执行步骤104;步骤102B，判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；步骤103A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若是，则执行步骤103B， 反之，则执行步骤104;步骤1(X3B，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；步骤104，发送报警驱动信号。进一步地，在判断机械手上是否有物料之前还包括判断自动化机台的侧门是否关闭，若否，则执行步骤104 ；若自动化机台的侧门已关闭，则判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若否，则执行步骤104 ；若自动化机台的侧门已关闭及自动化机台内的传输腔是否关闭，则判断自动化机台内的物料盒腔是否静止，若是，则执行步骤101，若否，则执行步骤104。进一步地，在步骤102B判断处在取料位置的物料盒内是否有物料步骤或10 判断处在放料位置的物料盒内是否有物料之前，还包括获取处在取料位置或放料位置的物料盒的编号。为了解决上述问题，本发明还公开了一种自动化机台的控制装置，包括第一判断执行单元，用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号；第二判断执行单元，连接于所述第一判断执行单元，用于在所述第一判断执行单元判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否，则发送报警驱动信号；第三判断执行单元，连接于第二判断执行单元，用于在所述第二判断执行单元判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；第四判断执行单元，连接于所述第一判断执行单元，用于在所述第一判断执行单元判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号；第五判断执行单元，连接于所述第四判断执行单元，用于在所述第四判断执行单元判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置。进一步地，还包括第六判断执行单元，用于判断自动化机台的侧门是否关闭，若否，则发送报警驱动
信号；第七判断执行单元，连接于所述第六判断执行单元，用于在所述第六判断执行单元判断出自动化机台的侧门已关闭后，判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若否，则发送报警驱动信号；第八判断执行单元，分别连接于所述第六判断执行单元、所述第七判断执行单元和第一判断执行单元，用于在所述第六判断执行单元判断出自动化机台的侧门已关闭以及所述第七判断执行单元判断出自动化机台内的传输腔已关闭后，则判断自动化机台内的物料盒腔是否静止，若否，则发送报警驱动信号，若是，则由所述第一判断执行单元判断机械手上是否有物料。进一步地，还包括编号获取单元，用于在第三判断执行单元判断处在取料位置的物料盒内是否有物料或第五判断执行单元判断处在放料位置的物料盒内是否有物料之前，获取物料盒的编号。为了解决上述问题，本发明还公开了一种自动化机台的控制系统，包括控制器，机械手和报警装置，所述控制器分别与所述机械手和报警装置相连接；所述控制器用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；以及用于在判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；所述机械手用于受操作者通过控制器的控制而伸向所述取料位置；或者，受操作者通过控制器的控制而伸向所述放料位置；
所述报警装置用于接收所述报警驱动信号，并根据该报警驱动信号进行报警。与现有技术相比，本发明具有以下优点本发明的一种自动化机台的控制方法、装置和系统，通过对各个腔室及机械手的状态的判定进行逻辑分析来确定是否可以移动机械手，使操作者可以直接根据分析结果来操作机械手。例如，如果可以移动机械手，则操作者会控制机械手移动至物料盒腔内，物料盒进行取料或者放料的过程，反之，则自动化机台会发送报警信号，操作者则会根据报警信号对相应的部分作出调整。可以较快的得出结果，操作者只需要根据控制器的分析结果进行操作，无需人为判断，可以避免因为人为误判所带来的损失，同时降低了操作的时间。
图1是本发明的自动化机台的控制方法实施例一的流程图；图2是本发明的自动化机台的控制方法实施例二的流程图；图3是本发明的自动化机台的控制装置实施例一的结构示意图；图4是本发明的自动化机台的控制装置实施例二的结构示意图；图5是本发明的自动化机台的控制装置实施例三的结构示意图；图6是本发明的自动化机台的控制系统的结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步详细的说明。参照图1，示出本发明的一种自动化机台的控制方法实施例一，包括以下步骤步骤101，判断机械手上是否有物料，若是，则执行步骤102A，反之，则执行步骤 103A ；步骤102A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若是，则执行步骤102B， 反之，则执行步骤104;步骤102B，判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；步骤103A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若是，则执行步骤103B， 反之，则执行步骤104;步骤1(X3B，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；步骤104，发送报警驱动信号。本方法中，取料位置是指物料盒腔内从机械手上取出物料盒时物料盒所处的位置，放料位置是指物料盒腔内将其中的物料盒放入机械手中时物料盒所处的位置。其中，前述的各步骤中的判断采用设置于自动化机台的各个腔内的传感器来实现，操作者在控制机械手运动之前，需通过机台内的各个传感器来判断机械手上是否有物料盒，以及当前物料盒腔内的物料盒所处的位置。各传感器将判断信号传输给自动化机台的控制器，控制器对各个传感器的信号进行逻辑分析，从而得出是否可以移动机械手进行操作的分析结果，并通过机械手可伸向所述取料位置的通知信号或者机械手可伸向所述放料位置的通知信号通知操作者，以告知操作者可通过控制器控制直接根据分析结果来操作机械手。例如，如果可以移动机械手，则操作者会控制机械手移动至物料盒腔内，从机械手中取物料盒或者将物料盒放入机械手中，否则，自动化机台会发送报警信号，操作者会根据报警信号对相应的部分作出调整。例如，当机械手上有物料盒，而处在取料位置的物料盒时，此时会发送报警驱动信号，则操作者需要等待取料位置空置的状态到来，再进行后续的操作。在判断是否移动机械手的过程中，直接通过系统进行逻辑判断，无需进行人为判断，节省了人为判断的时间且避免了因为人为的误判而带来的损失。例如，当机械手上有物料盒、在放料位置也有物料盒的情况下，此时是不允许移动机械手至物料盒腔内的，但是如果因为操作者的失误而出现误判，移动了机械手，则可能会出现机械手的物料盒撞到放料位置的物料盒的情况。这里需要说明的是，操作者操作机械手是伸入物料盒腔内的取料位置、还是伸入放料位置，通过判断机械手上是否有物料盒即已知晓当机械手上有物料盒时，机械手伸入物料盒腔内的取料位置，并从机械手中取物料盒，若取料位置有物料盒则等待取料位置空置的状态到来；或者，当机械手上没有物料盒时，机械手伸入物料盒腔内的放料位置，并将物料盒放入机械手中，若放料位置没有物料盒则等待放料位置有物料盒的状态到来。参照图2，示出本发明的一种自动化机台的控制方法实施例二，包括以下步骤步骤201，判断自动化机台的侧门是否关闭，若是，则执行下一步操作；反之，则执行步骤207 ；步骤202，判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若是，则执行下一步操作，反之， 则执行步骤207 ；步骤203，判断自动化机台内的物料盒是否静止，若是，则执行下一步操作，反之， 则执行步骤207 ；步骤204，判断机械手上是否有物料，若是，则执行步骤205A，反之，则执行步骤 206A ；步骤205A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若是，则执行步骤205B， 反之，则执行步骤207;步骤205B，判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则执行步骤207，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；步骤206A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若是，则执行步骤206B， 反之，则执行步骤207;步骤206B，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则执行步骤207，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；步骤207，发送报警驱动信号。本实施例中，在判断机械手上是否有物料之前还包括判断其它的条件，如自动化机台的侧门是否关闭、传输腔的盖子是否关闭等，使自动化机台的各方面都处于正常情况下才能运行机械手，这样可以保证自动化机台操作的安全性，避免给操作者或者其他的人员及设备带来安全隐患。进一步地，在前述实施例一和实施例二的判断过程中，还需获取物料盒的具体编号。例如，在判定物料盒处于放料位置后，还需获取目前处于放料位置的物料盒的编号，例如是1号物料盒还是2号物料盒；同样，在判定物料盒处于取料位置后，也需获取目前处于取料位置的物料盒的编号。因为，通常在自动化机台的一次工作过程中，可以执行操作的物料盒数量是一定的，通过获取物料盒的具体编号，可以准确地了解每次工作的进程。同时， 可以按照物料盒的编号顺序来移动物料盒，避免出现漏掉某一物料盒的情况，提高自动化机台的精确度。下面结合具体的实例对前述实施例进行详细的说明。假设自动化机台内包括物料盒腔、传输腔及工艺腔三个腔室，其中，物料盒腔内包括五个物料盒。机台上供设置有七个传感器，分别为SDC、CP、CM、TC、CDI、PDI、SDI。其中， SDC用于检测自动化机台的侧门是否关闭，CP用于检测物料盒腔内处于当前物料盒的位置、编号及是否有物料、CM用于检测物料盒腔内的物料盒是否移动，TC用于检测传输腔的盖子是否关闭，CDI、PDI、SDI用于检测机械手处于传输腔内不同位置时候手上是否有物料。 进一步地，通常情况下，物料盒在物料盒腔内运动时，是放在物料盒腔内的相关机械装置上的，通过相关机械装置的驱动来实现物料盒的移动，因此CM可通过检测该相关机械装置是否移动来确定物料盒是否移动，且CP可通过检测该相关机械装置所在位置来判断当前物料盒的位置。 SDC检测自动化机台的侧门是否关闭，并输出信号给自动化机台的控制器。例如， 输出“1”表示关闭，“0”表示开启。TC检测传输腔的盖子是否关闭，并输出信号给自动化机台的控制器。例如，输出 “1”表示关闭，“0”表示开启。CM检测物料盒腔内的物料盒是否移动，并输出信号给自动化机台的控制器。同样， 输出“ 1 ”表示正在移动，“0”表示停止。控制器根据接收到的输出信号来进行判断。当SDC、TC、CM其中一个或几个输出信号为“0”，则控制器会通知控制器发送报警信号，并停止操作。只有当三个传感器输出信号都为“1”时，即，侧门关闭、传输腔盖子关闭、物料盒腔内的物料盒正在移动时，说明自动化机台目前正在处于正常工作状态。⑶I、PDI、SDI检测机械手上是否有物料，并数据信号给自动化机台的控制器，同样，输出“ 1”表示有物料，“ 0 ”表示无物料。CP用于检测物料盒腔内当前物料盒处于什么位置及具体编号，并输出信号给自动化机台的控制器。CP需要同时检测位置和编号，假设，物料盒腔内的物料盒处于取料位置， 输出“Q”，处于放料位置，输出“F”，因为此处有五个物料盒，则处于取料位置的物料盒编号用“QN”表示，处于放料位置的物料盒编号用“FN”表示，其中N为物料盒的编号，本实施例中N = 1、2、3、4、5。以编号为1的物料盒为例，那么CP的输出信号可以有以下几种方式Ql 编号为1的物料盒处于取料位置；Fl 编号为1的物料盒处于放料位置；
其中，在取料位置，需要机械手将手中的物料盒放入取料位置，因此，如果取料位置有物料盒，则控制器会通知控制器发送报警信号。同样，在放料位置，需要将物料盒放入机械手中，因此，如果放料位置无物料盒，则逻辑单元会通知控制器发送报警信号。如果⑶I、PDI、SDI其中之一输出“ 1 ”，说明机械手上有物料盒，此时，某一物料盒处于取料位置时候，则控制器发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，操作者根据此信号来移动机械手使机械手将手中的物料盒放入该取料位置。对于CP输出的其余信号，控制器都会发送报警信号，并停止操作。如果⑶I、PDI、SDI均输出“0”，说明机械手上无物料盒，此时，某一物料盒处于放料位置，则控制器发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，操作者根据此信号来移动机械手使机械手从放料位置取物料盒。对于CP输出的其余信号，控制器都会发送报警信号， 并停止操作。通过⑶I、PDI、SDI判断机械手上是否有物料，并通过位于物料盒腔内的传感器CP 来判断当前物料盒所处的位置，以此发出通知信号，通知操作者根据该通知信号可通过控制器控制移动机械手执行取料或者放料操作。因为人为判断的时候需要对多个结果进行分析比较，容易出错，而且所花费的时间较长，本发明的机械手的控制方法和自动化机台的控制方法通过增加的控制器来对结果执行逻辑分析，可以较快的得出结果，操作者只需要根据控制器的分析结果执行操作，无需人为判断，可以避免因为人为误判所带来的损失，同时降低了操作的时间。参照图3，示出本发明实施例一的自动化机台的控制装置100，包括第一判断执行单元31、第二判断执行单元32、第三判断执行单元33、第四判断执行单元34及第五判断执行单元；35。第一判断执行单元31，用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号。第二判断执行单元32，连接于所述第一判断执行单元31，用于在所述第一判断执行单元31判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否， 则发送报警驱动信号。第三判断执行单元33，连接于第二判断执行单元32，用于在所述第二判断执行单元32判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号。第四判断执行单元34，连接于所述第一判断执行单元31，用于在所述第一判断执行单元31判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号。第五判断执行单元35，连接于所述第四判断执行单元34，用于在所述第四判断执行单元34判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号。参照图4，示出本发明实施例二的自动化机台的控制装置100，进一步地，还包括第六判断执行单元36、第七判断执行单元37及第八判断执行单元38。第六判断执行单元36，用于判断自动化机台的侧门是否关闭，若否，则发送报警驱动信号。
第七判断执行单元37，连接于所述第六判断执行单元36，用于在所述第六判断执行单元36判断出自动化机台的侧门已关闭后，判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若否，则发送报警驱动信号。第八判断执行单元38，分别连接于所述第六判断执行单元36、所述第七判断执行单元37和第五判断执行单元35，用于在所述第六判断执行单元36判断出自动化机台的侧门已关闭以及所述第七判断执行单元37判断出自动化机台内的传输腔已关闭后，则判断自动化机台内的物料盒腔是否静止，若否，则发送报警驱动信号，若是，则由所述第一判断执行单元31判断机械手上是否有物料。参照图5，进一步地，该自动化机台的控制装置100还包括编号判断单元20，用于在第三判断执行单元33判断处在取料位置的物料盒内是否有物料或第五判断执行单元35 判断处在放料位置的物料盒内是否有物料之前，获取物料盒的编号。参照图6，示出本发明的自动化机台的控制系统200，包括控制器40、机械手50和报警装置60。控制器40包括前述自动化机台的控制装置100实施例一和实施例二中的判断执行单元。用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；以及用于在判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置。机械手50用于接收所述控制器40所发送的机械手伸向所述取料位置的通知信号；并根据该机械手伸向所述取料位置的通知信号，伸向所述取料位置；或者，用于接收所述控制器所发送的机械手伸向所述放料位置的通知信号，并根据该机械手伸向所述放料位置的通知信号，伸向所述放料位置；报警装置60用于接收所述报警驱动信号，并根据该报警驱动信号进行报警。本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上对本发明所提供的一种自动化机台的控制方法、装置和系统进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式
及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。
权利要求
1.一种自动化机台的控制方法，其特征在于，包括以下步骤步骤101，判断机械手上是否有物料，若是，则执行步骤102A，反之，则执行步骤103A ；步骤102A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若是，则执行步骤102B，反之，则执行步骤104;步骤102B，判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；步骤103A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若是，则执行步骤103B，反之，则执行步骤104;步骤103B，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则执行步骤104，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；步骤104，发送报警驱动信号。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，在判断机械手上是否有物料之前还包括判断自动化机台的侧门是否关闭，若否，则执行步骤104 ；若自动化机台的侧门已关闭，则判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若否，则执行步骤 104 ；若自动化机台的侧门已关闭及自动化机台内的传输腔是否关闭，则判断自动化机台内的物料盒腔是否静止，若是，则执行步骤101，若否，则执行步骤104。
3.如权利要求1或2所述的方法，其特征在于，在步骤102B判断处在取料位置的物料盒内是否有物料步骤或10 判断处在放料位置的物料盒内是否有物料之前，还包括获取处在取料位置或放料位置的物料盒的编号。
4.一种自动化机台的控制装置，其特征在于，包括第一判断执行单元，用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号；第二判断执行单元，连接于所述第一判断执行单元，用于在所述第一判断执行单元判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否，则发送报警驱动信号；第三判断执行单元，连接于第二判断执行单元，用于在所述第二判断执行单元判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；第四判断执行单元，连接于所述第一判断执行单元，用于在所述第一判断执行单元判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号；第五判断执行单元，连接于所述第四判断执行单元，用于在所述第四判断执行单元判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置。
5.如权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括第六判断执行单元，用于判断自动化机台的侧门是否关闭，若否，则发送报警驱动信号；第七判断执行单元，连接于所述第六判断执行单元，用于在所述第六判断执行单元判断出自动化机台的侧门已关闭后，判断自动化机台内的传输腔是否关闭，若否，则发送报警驱动信号；第八判断执行单元，分别连接于所述第六判断执行单元、所述第七判断执行单元和第一判断执行单元，用于在所述第六判断执行单元判断出自动化机台的侧门已关闭以及所述第七判断执行单元判断出自动化机台内的传输腔已关闭后，则判断自动化机台内的物料盒腔是否静止，若否，则发送报警驱动信号，若是，则由所述第一判断执行单元判断机械手上是否有物料。
6.如权利要求4或5所述的装置，其特征在于，还包括编号获取单元，用于在第三判断执行单元判断处在取料位置的物料盒内是否有物料或第五判断执行单元判断处在放料位置的物料盒内是否有物料之前，获取物料盒的编号。
7.一种自动化机台的控制系统，其特征在于，包括控制器，机械手和报警装置，所述控制器分别与所述机械手和报警装置相连接；所述控制器用于判断机械手上是否有物料，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出机械手上有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒已处在取料位置后，则判断处在取料位置的物料盒内是否有物料，若否，则发送机械手伸向所述取料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述取料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述取料位置；以及用于在判断出机械手上没有物料后，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若否，则发送报警驱动信号；用于在判断出物料盒腔内的物料盒处在放料位置后，判断处在放料位置的物料盒内是否有物料，若是，则发送机械手伸向所述放料位置的通知信号，反之，则发送报警驱动信号，所述机械手伸向所述放料位置的通知信号用于通知操作者可通过控制器控制机械手伸向所述放料位置；所述机械手用于受操作者通过控制器的控制而伸向所述取料位置；或者，受操作者通过控制器的控制而伸向所述放料位置；所述报警装置用于接收所述报警驱动信号，并根据该报警驱动信号进行报警。
全文摘要
本发明提供了一种自动化机台的控制方法，包括101，判断机械手上是否有物料，若是，执行骤102A，反之，执行103A；102A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在取料位置，若是，执行102B，反之，执行104；102B，判断取料位置的物料盒内是否有物料，若否，发送机械手伸手信号，反之，执行104；103A，判断物料盒腔内的物料盒是否处在放料位置，若是，执行103B，反之，执行104；103B，判断放料位置的物料盒内是否有物料，若是，发送机械手伸手信号，反之，执行104；104，发送报警驱动信号。本发明的控制方法能对结果逻辑分析，避免操作者人为判断造成的误判。本发明还提供一种控制装置及控制系统。
文档编号G05B19/02GK102540910SQ20101059317
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者葛斌 申请人:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司