一种气体传感器的测试系统的制作方法

文档序号:11133125阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种气体传感器的测试系统,其特征在于,该系统包括测试室、控制器、真空泵、压力传感器、伺服阀;所述真空泵与测试室之间通过管道连通,管道上安装有伺服阀,所述测试室内安装有压力传感器,所述测试室内存储有配置好的标准浓度测试气体;所述控制器用于控制管道上伺服阀的通断和真空泵的启停;所述压力传感器用于检测测试室的气压并传送给所述控制器。

2.根据权利要求1所述的一种气体传感器的测试系统,其特征在于,所述的控制器还包括:气压或真空度控制设备、气体的质量流控制设备。

3.根据权利要求1所述的一种气体传感器的测试系统,其特征在于,所述测试室内还包括两个以上的气压模拟腔,不同气压模拟腔内的气压不同,每个气压模拟腔内各设有一个压力传感器。

4.根据权利要求1所述的一种气体传感器的测试系统,其特征在于,所述气压模拟腔内气压为负压。

5.根据权利要求4所述的一种气体传感器的测试系统,其特征在于,所述气压模拟腔内气压变化范围为105kPa~109kPa。

6.根据权利要求1或5所述的一种气体传感器的测试系统,其特征在于,该系统还包括数模转换器,所述数模转换器连接于所述压力传感器与所述控制器之间,用于将所述压力传感器输出的模拟信号转换为数字信号。

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