技术总结
本发明公开了一种气体传感器的测试系统，该系统包括测试室、控制器、真空泵、压力传感器、伺服阀；所述真空泵与测试室之间通过管道连通，管道上安装有伺服阀，所述测试室内安装有压力传感器，所述测试室内存储有配置好的标准浓度测试气体；所述控制器用于控制管道上伺服阀的通断和真空泵的启停；所述压力传感器用于检测测试室的气压并传送给所述控制器。通过本发明提高了受压能力，延长使用的寿命，避免了阀的错误动作对压力控制的影响，使被控容腔的压力变化更加平稳等。
技术研发人员：赵飚;钟胜
受保护的技术使用者：桂林市晶准测控技术有限公司
文档号码：201610744382
技术研发日：2016.08.28
技术公布日：2017.02.15