一种陶瓷电容式压力控制系统的制作方法

本发明涉及的一种陶瓷电容式压力控制系统，属于半导体设备领域。

背景技术：
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压力传感器是现代测量和自动化系统的重要技术之一，其具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定可靠、便于集成化的优点，可广泛应用于压力、高度、加速度、流速、压强的测量与控制。在众多压力传感器材料中，陶瓷是一种公认的高弹性、抗腐蚀、抗磨损、抗冲击和振动的材料。陶瓷电容式压力传感器的热稳定特性可以使它的工作温度范围高达-40～135°C，而且具有测量的高精度、高稳定性。

技术实现要素：
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本发明所要解决的技术问题是：提供一种可以准确的检测并控制密闭容器的气压的一种陶瓷电容式压力控制系统。

针对以上技术问题，本发明涉及的一种陶瓷电容式压力控制系统，包括封闭容器，安装在封闭容器内的陶瓷电容式压力传感器和连接在压力传感器上的控制开关，所述压力传感器具有陶瓷盖板和陶瓷基板，所述陶瓷基板上设置有平板电极，所述所述陶瓷盖板与陶瓷基板之间设有控制间距的隔离墩，所述控制开关连接有用于调节电源的电源控制模块和用于控制封闭容器换气的电磁控制阀，所述压力传感器外围设有用于放置压力传感器的测试腔。

作为优选，为了提高检测精度，所述述隔离墩是由环形的LTCC陶瓷薄膜制成，薄膜的厚度为20～50微米。

作为优选，为了提高对气压的检测效率，所述隔离墩围绕在平板电极的外面，与平板电极同心。

作为优选，所述测试腔上设置有用于与密闭容器联通的导气孔。

作为优选，为了防止密闭容器内压力过低，所述电磁控制阀外侧还连接有用于为密闭容器增压的增压泵。

作为优选，为了避免压力传感器损坏时密闭容器压力过大，所述密闭容器上还设有快速降压的机械式减压阀。

与现有技术相比，本发明的有益之处是：可以实时的检测出密闭容器的气压状况，可以根据实际要求来调节密闭容器的内部压力，结构简单，安装方便。适用范围广，可以有效提高密闭容器使用过程中的安全性。

附图说明：

下面结合附图对本发明进一步说明。

图1是陶瓷电容式压力控制系统结构示意图；

图2是陶瓷基板平面示意图。

图中：1、封闭容器；1-1、机械式减压阀；2、压力传感器；2-1、陶瓷盖板；2-2、陶瓷基板；2-3、平板电极；2-4、隔离墩；3、控制开关；3-1、电源控制模块；3-2、电磁控制阀；3-3、增压泵；4、测试腔；4-1、导气孔。

具体实施方式：

本发明涉及的一种陶瓷电容式压力控制系统，如图1和图2所示：包括封闭容器1，安装在封闭容器1内的陶瓷电容式压力传感器2和连接在压力传感器2上的控制开关3，所述压力传感器2具有陶瓷盖板2-1和陶瓷基板2-2，所述陶瓷基板2-2上设置有平板电极2-3，所述所述陶瓷盖板2-1与陶瓷基板2-2之间设有控制间距的隔离墩2-4，所述控制开关3连接有用于调节电源的电源控制模块3-1和用于控制封闭容器1换气的电磁控制阀3-2，所述压力传感器2外围设有用于放置压力传感器2的测试腔4。

作为优选，为了提高检测精度，所述述隔离墩2-4是由环形的LTCC陶瓷薄膜制成，薄膜的厚度为20～50微米。

作为优选，为了提高对气压的检测效率，所述隔离墩2-4围绕在平板电极2-3的外面，与平板电极2-3同心。

作为优选，所述测试腔4上设置有用于与密闭容器联通的导气孔4-1。

作为优选，为了防止密闭容器1内压力过低，所述电磁控制阀3-2外侧还连接有用于为密闭容器1增压的增压泵3-3。

作为优选，为了避免压力传感器2损坏时密闭容器1压力过大，所述密闭容器1上还设有快速降压的机械式减压阀1-1。

需要强调的是：以上仅是本发明的使用方式的介绍与描述，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。