一种洁净真空传输系统及其控制器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及工业制造自动化领域，具体涉及一种洁净真空传输系统及其控制器。
【背景技术】
[0002]现有的洁净真空传输系统的控制器主要为可编程控制器(Pr0gra_ableLogicController，简称PLC)。洁净真空传输系统要求实时性好，可靠性高，可编程能力强，所以通常选用中型可编程控制器作为控制系统。中型可编程控制器由电源模块、CPU模块、数字量输入模块、数量输出模块、位控模块、通信模块、模拟量输入模块、模拟量输出模块组成。各模块之间需要通过PLC专用背板进行直列安装。通常所有模块加起来尺寸可以达到360X100X150 (长X宽X高)毫米，非常占空间。中型可编程控制器通常支持的编程语言为梯形图、结构化文本、语句表、流程图、功能块图等。就编程灵活性而言，结构化文本和标准C语言较接近，灵活性最高，实现基本的逻辑控制和简单的算法比较容易，但是如果要实现复杂的算法就比较困难，而且编码的复杂度也很高。中型可编程控制器与其他系统进行通信时需要进行通信模块扩展、比如以太网、串口都需要另外增加相应的通信模块来实现对相应的通信协议的支持。由此产生体积大、重量大、各类通信协议扩展不方便，无法做高级算法运算的缺点。
【发明内容】
[0003]有鉴于此，有必要针对现有技术中存在的问题，提供一种洁净真空传输系统及其控制器，具备扩展性能强、运算速度快、体积小、重量轻的特点。
[0004]为实现上述目的，本发明采用以下技术方案:
[0005]一种洁净真空传输系统控制器，包括通过CAN总线依次连接的IRC主控制器、脉冲板、用户1板和系统1板。
[0006]所述IRC主控制器用于控制脉冲板发出PWM信号；
[0007]所述脉冲板用于根据IRC主控制器的指令，发出不同的PWM信号。
[0008]所述IRC主控制器上装载有嵌入式Linux操作系统。
[0009]所述用户1板和系统1板用于将脉冲板发出的PWM信号连接到洁净真空传输系统，并通过改变用户1板和系统1板各输出口与脉冲板各输出口的连接关系，对脉冲板的输出信号进行逻辑编程。
[0010]一种洁净真空传输系统，包括以上所述的洁净真空传输系统控制器，还包括IPC上位机、真空设备、真空规、加热系统、泵系统、系统1接口板、用户1接口板、纠偏传感器和驱动系统；IPC上位机通过以太网与所述洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，IPC上位机还通过Dvicenet总线与真空设备、真空规和加热系统连接；所述洁净真空传输系统控制器的系统1板通过系统1接口板与驱动系统通信连接，驱动系统与所述洁净真空传输系统控制器的脉冲板通信，所述洁净真空传输系统控制器的用户1板通过用户1接口板与纠偏传感器、泵系统和真空设备连接。
[0011]还包括示教盒，所述示教盒与洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，用于对IRC主控制器的控制过程进行示教作业。
[0012]本发明提供的洁净真空传输系统及其控制器，通过使用所述控制器取代笨重的中型可编程控制器，保证了扩展性能和运算速度，同时大大减小了设备体积，减轻了重量。
【附图说明】
[0013]图1是本发明洁净真空传输系统控制器的结构示意图。
[0014]图2是本发明洁净真空传输系统的整体结构示意图。
【具体实施方式】
[0015]下面将结合附图和具体的实施例对本发明的技术方案进行详细说明。
[0016]请参阅图1，本发明实施例提供的一种洁净真空传输系统控制器，包括通过CAN总线依次连接的IRC主控制器、脉冲板、用户1板和系统1板。
[0017]所述IRC主控制器用于控制脉冲板发出不同的PWM信号。在IRC主控制器上装载有嵌入式Linux操作系统，能够在嵌入式Linux环境下开发适用于不同尺寸晶圆传输的控制软件。
[0018]所述脉冲板用于根据IRC主控制器的指令，发出不同的PWM信号。
[0019]所述用户1板和系统1板用于将脉冲板发出的PWM信号连接到洁净真空传输系统，通过改变用户1板和系统1板各输出口与脉冲板各输出口的连接关系，能够对脉冲板输出的PWM信号进行逻辑编程。用户1板和系统1板上集成了部分PLC的逻辑功能，因此，传统PLC的一些逻辑编程功能也可以通过用户1板和系统1板实现。
[0020]本发明实施例是在现有的洁净真空传输系统的机械构型和功能需求的基础上设计的一款针对洁净环境中晶圆搬运的控制系统。通过上述设计取代现有技术中的中型可编程控制器，极大的减小了整个控制系统的体积。把各类通信功能和接口整合到用户1板和系统1板上，可以解决洁净真空传输系统中各类通信协议较多的问题，不需要像中型可编程控制器一样通过增加通信模块来扩展通信，既节省了成本又减小了体积。通过脉冲板取代中型可编程控制器的位控模块，在保证了性能、提高了定位精度的同时也减小了体积，在扩展性能上与PLC —样，可以根据洁净真空传输系统的控制规模的大小而进行扩展。
[0021]请参阅图2，本发明提供的一种洁净真空传输系统包括上述洁净真空传输系统控制器，还包括IPC上位机、真空设备、真空规、加热系统、泵系统、系统1接口板、用户1接口板、纠偏传感器和驱动系统。IPC上位机通过以太网与所述洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，IPC上位机还通过DeviceNET总线与真空设备、真空规和加热系统连接。所述洁净真空传输系统控制器的系统1板通过系统1接口板与驱动系统通信连接，驱动系统与所述洁净真空传输系统控制器的脉冲板之间通信连接，所述洁净真空传输系统控制器的用户1板通过用户1接口板与纠偏传感器、泵系统和真空设备连接。
[0022]作为改进，所述洁净真空传输系统还包括示教盒，所述示教盒与洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，用于对IRC主控制器的控制过程进行示教作业。根据实际工况需要，操作人员可以利用示教盒对IRC主控制器的运动控制过程进行示教编程；当系统自动运行时，IRC主控制器则遵循已示教的动作和路径自行控制相关功能模块完成生产。
[0023]本发明实施例提供的结晶真空传输系统多用于洁净领域的半导体行业中晶圆的搬运。此外，还可以应用于电子、航天、医疗等工业自动化行业中各种小型工件在真空和大气两种环境下的搬运及运输的控制系统上。针对于不同行业的应用不同，只需要根据负载的大小选择合适的驱动系统，将用户1板与相应的驱动系统相连，以及选择满足不同要求的真空设备即可。
[0024]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种洁净真空传输系统控制器，其特征在于:包括通过CAN总线依次连接的IRC主控制器、脉冲板、用户1板和系统1板。
2.根据权利要求1所述的洁净真空传输系统控制器，其特征在于:所述IRC主控制器用于控制脉冲板发出PWM信号； 所述脉冲板用于根据IRC主控制器的指令，发出不同的PWM信号。
3.根据权利要求2所述的洁净真空传输系统控制器，其特征在于:所述IRC主控制器上装载有嵌入式Linux操作系统。
4.根据权利要求2所述的洁净真空传输系统控制器，其特征在于:所述用户1板和系统1板用于将脉冲板发出的PWM信号连接到洁净真空传输系统，并通过改变用户1板和系统1板各输出口与脉冲板各输出口的连接关系，对脉冲板的输出信号进行逻辑编程。
5.一种洁净真空传输系统，其特征在于:包括权利要求1至4任一所述的洁净真空传输系统控制器，还包括IPC上位机、真空设备、真空规、加热系统、泵系统、系统1接口板、用户1接口板、纠偏传感器和驱动系统；IPC上位机通过以太网与所述洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，IPC上位机还通过Dvicenet总线与真空设备、真空规和加热系统连接；所述洁净真空传输系统控制器的系统1板通过系统1接口板与驱动系统通信连接，驱动系统与所述洁净真空传输系统控制器的脉冲板通信，所述洁净真空传输系统控制器的用户1板通过用户1接口板与纠偏传感器、泵系统和真空设备连接。
6.根据权利要求5所述的洁净真空传输系统，其特征在于:还包括示教盒，所述示教盒与洁净真空传输系统控制器的IRC主控制器连接，用于对IRC主控制器的控制过程进行示教作业。
【专利摘要】本发明提供了一种洁净真空传输系统及其控制器，所述洁净真空传输系统控制器包括通过CAN总线依次连接的IRC主控制器、脉冲板、用户IO板和系统IO板。所述洁净真空传输系统，包括以上所述的洁净真空传输系统控制器，还包括IPC上位机、真空设备、真空规、加热系统、泵系统、系统IO接口板、用户IO接口板、纠偏传感器和驱动系统。本发明提供的洁净真空传输系统及其控制器，通过使用所述控制器取代笨重的中型可编程控制器，保证了扩展性能和运算速度，同时大大减小了设备体积，减轻了重量。
【IPC分类】G05B19-418
【公开号】CN104635653
【申请号】CN201310567349
【发明人】徐方, 邓德智, 曲道奎, 邹风山, 褚明杰, 陈廷辉
【申请人】沈阳新松机器人自动化股份有限公司
【公开日】2015年5月20日
【申请日】2013年11月14日