生产控制支援装置以及生产控制支援方法

文档序号:9564129阅读:353来源:国知局
生产控制支援装置以及生产控制支援方法
【技术领域】
[0001] 本发明的实施方式涉及生产控制支援装置以及生产控制支援方法。
【背景技术】
[0002] 以往,作为生产线的控制方式,公知有针对生产线内的半成品数量设置上限(称 为WIP(W 〇rk-In-Pr〇cesS,在制品)上限)的方式。作为决定WIP上限的方法,存在利用生 产模拟器的方法、和利用现场的生产线的制造实际值的方法这两个方法。
[0003] 在利用生产模拟器的方法中,存在计算耗费时间的问题。另一方面,在利用实际值 的方法中,在生产周期(从投入到产出的时间)长的生产线中,存在施加生产控制的时机延 迟的问题。生产周期也称作周转时间(TAT:Turn Around Time)。

【发明内容】

[0004] 本发明的生产控制支援装置,是针对多个工序串联连接的生产线的生产控制支援 装置,在一个工序中包括:缓冲部,用于供半成品等待由加工装置进行的处理;以及并行处 理用的多个加工装置,其中的任一个加工装置对在上述缓冲部中待机的半成品进行处理, 在该生产控制支援装置中,具备待机率计算部,当针对上述生产线内的半成品数量设置有 上限值的情况下,计算上述上限值与待机率之间的关系,该待机率是指:因上述半成品的个 数达到上述上限值,上述半成品未被投入生产线而在上述生产线的近前待机的概率,上述 待机率计算部,基于存在于各工序的加工装置的台数、到达上述生产线的半成品的时间间 隔、上述时间间隔的偏差值、各工序的1台装置处理一个半成品所需的时间、上述所需的时 间的偏差值,计算根据上述上限值的范围分别赋予的不同函数,由此针对上述范围的每个 计算上述上限值与上述待机率之间的关系,将各范围的函数结合而得的函数根据上述上限 值的增加而上述待机率的值单调减小。
[0005] 本发明的生产控制支援方法,是针对多个工序串联连接的生产线的生产控制支援 方法,在一个工序中包括:缓冲部,用于供半成品等待由加工装置进行的处理;以及并行处 理用的多个加工装置,其中的任一个加工装置对在上述缓冲部中待机的半成品进行处理, 在该生产控制支援方法中,计算机执行待机率计算步骤,当针对上述生产线内的半成品数 量设置有上限值的情况下,计算上述上限值与待机率之间的关系,该待机率是指:因上述半 成品的个数达到上述上限值,上述半成品未被投入生产线而在上述生产线的近前待机的概 率,上述待机率计算步骤,基于存在于各工序的加工装置的台数、到达上述生产线的半成品 的时间间隔、上述时间间隔的偏差值、各工序的1台装置处理一个半成品所需的时间、上述 所需的时间的偏差值,计算根据上述上限值的范围分别赋予的不同函数,由此针对上述范 围的每个计算上述上限值与上述待机率之间的关系,将各范围的上述函数结合而得的函数 根据上述上限值的增加而上述待机率的值单调减小。
【附图说明】
[0006] 图1是本发明的实施方式所涉及的生产控制支援装置的框图。
[0007] 图2是图1的生产控制支援装置的动作的流程图。
[0008] 图3是本发明的实施方式所涉及的生产线的模型的示意图。
[0009] 图4是用于对待机率计算部的动作进行说明的图。
[0010] 图5是示出上限值与生产率的关系的图表的图。
[0011] 图6是示出上限值与周转时间的关系的图表的图。
[0012] 图7是图1的生产控制支援装置的变形例所涉及的框图。
[0013] 图8是图1的生产控制支援装置的其他变形例所涉及的框图。
[0014] 图9是图1的生产控制支援装置的另外的变形例所涉及的框图。
[0015] 图10是图1的生产控制支援装置的硬件框图。
【具体实施方式】
[0016] 作为本发明的实施方式的生产控制支援装置是针对多个工序串联连接的生产线 的生产控制支援装置,一个工序包括:缓冲部,用于供半成品等待由加工装置进行的处理; 以及并行处理用的多个加工装置,其中的任一个加工装置对在上述缓冲部中待机的半成品 进行处理。上述生产控制支援装置具备待机率计算部。对于上述待机率计算部,当针对上 述生产线内的半成品数量设置有上限值的情况下,计算上述上限值与待机率之间的关系, 该待机率是指:因上述半成品的个数达到上述上限值,上述半成品未被投入生产线而在上 述生产线的近前待机的概率。上述待机率计算部,基于存在于各工序的加工装置的台数、到 达上述生产线的半成品的时间间隔、上述时间间隔的偏差值、各工序的1台装置处理一个 半成品所需的时间、上述所需的时间的偏差值,计算根据上述上限值的范围分别赋予的不 同的函数,由此针对上述范围的每个计算上述上限值与上述待机率之间的关系,将各范围 的函数结合而得的函数根据上述上限值的增加而上述待机率的值单调减小。
[0017] 本发明的实施方式涉及生产控制支援装置以及自动控制方式,能够应用于在由半 导体制造中所代表的、多个工序串联连接的生产线中针对生产线内的半成品数量(批量 数)设置上限(称为WIP上限)的控制方式。以下,参照附图对本发明的实施方式进行说 明。
[0018] 图1是本发明的实施方式所涉及的生产控制支援装置的框图。图2是图1的生产 控制支援装置的动作的流程图。图3是本实施方式所涉及的生产线的模型的示意图。
[0019] 在本实施方式中作为对象的生产线是一个以上的工序串联连接的生产线。假定该 生产线是半导体生产工序的一部分。设半成品是分批的,但并不限定于此。此外,生产线可 以是从投入到产出的全部工序列,也可以是将工序列的一部分分离出来的部分工序列。
[0020] 在图3中,工序1、工序2、……、工序m串联连接。在各工序中,准备有1台以上 用于对批量进行处理的加工装置(以下简称为装置),在这些装置的前级配置有共用的缓 冲部。假定缓冲部的容量无限大。批量暂时被储存于缓冲部,在装置并不为空的情况下,在 缓冲部待机。若任一个装置为空或已经为空,则被投入该装置并被实施处理。在处理结束 后,批量被储存于接下来的工序的缓冲部,或者若已处理的工序是最后的工序则被从生产 线输出。当生产线内的半成品的个数(批量数)达到上限值(WIP上限=k)的情况下,使 到达生产线的批量在生产线近前待机。在本实施方式中,在生产线的近前待机的批量最大 为一个。当批量正在待机的状态下,设为不会新到达批量。图3内记载的各参数将在后面 叙述。此外,在生产线内经由缓冲部而利用各工序对批量处理并朝接下来的工序送出的动 作,以及当达到上限值(WIP上限=k)的情况下使到达生产线的批量在生产线近前待机的 动作是一般的动作,因此并不进行进一步的说明。生产线能够设定WIP上限,能够根据所设 定的WIP上限控制内部的各工序的动作。生产线一般都具备这样的结构。
[0021] 如图1所示,生产控制支援装置具备工序列构成数据存储部11、装置能力数据存 储部12、到达数据存储部13、待机率计算部14、生产率计算部15、WIP计算部16、TAT计算部 17、以及输出装置18。图1的模块的全部或者一部分作为一例可以由处理回路(processing circuitry)构成。处理回路可以由一个或者多个回路(circuitry)构成。例如,待机率计 算部14可以由第1回路(circuitry)构成,生产率计算部15可以由第2回路(circuitry) 构成等。回路(Circuitry)可以指一个电路(circuit),也可以指多个电路(circuit),也 可以指由多个电路(circuit)构成的系统。
[0022] 工序列构成数据存储部11存储表示与工序列相关的信息的工序列构成数据。工 序列构成数据包括工序数、工序的顺序、各工序的并列装置台数等。
[0023] 装置能力数据存储部12存储表示与装置能力相关的信息的装置能力数据。装置 能力数据例如包括各工序的装置的平均批量处理时间及其变差系数。变差系数是用标准偏 差除以平均值而得的值。标准偏差是方差的正的平方根,因此,代替变差系数,也可以使用 标准偏差或者方差。变差系数、标准偏差或者方差是表示偏差的指标的例子。
[0024] 到达数据存储部13存储表示与批量到达相关的信息的到达数据。到达数据例如 包括批量到达生产线的平均到达间隔及其变差系数等。代替变差系数,也可以使用标准偏 差或者方差。
[0025] 这里,对在本实施方式中使用的符号进行定义(参照图3)。
[0026] m :工序数
[0027] sn:第η个(η = 1,…,m)工序中存在的装置台数
[0028] t'。:批量到达生产线的平均时间间隔
[0029] 的变差系数
[0030] tn:第η个工序的1台装置处理1个批量所需的平均时间
[0031] dn:tn的变差系数
[0032] t0(k):在WIP上限为k的情况下,到达各工序的批量的到达间隔(在各工序中共 用的值。假想稳态状态)
[0033] cn:到达第η个工序的批量的相对于到达间隔的变差系数
[0034] PB(k):因生产线内的半成品数量达到ffIP上限(k)而批量在生产线近前待机的概 率(称为待机率)。该值越大则意味着待机时间越长。此外,P B(k)的标号在图3中未示出。
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