输液膜厚度测控系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及输液膜测量技术领域，具体涉及一种输液膜厚度测控系统。
【背景技术】
[0002]输液膜厚度是输液膜研究和工业应用中的一个重要参数。输液膜的电阻率、电阻温度系数、磁阻、霍尔系数、热电系数、光学反射率、趋肤效应等参数均与输液膜厚度有密切的关系，测量这些参数必须知道输液膜的厚度。而且，人们在设计具有一定功髓的输液膜时，对其厚度往往有比较严格的要求，这就需要在输液膜沉积过程中对膜厚进行实时的监控。
[0003]在真空系统中输液膜沉积时对膜厚进行实时监测的方法常用的主要有石英晶体振荡法、光学法、反射高能电子衍射法等。其中，石英晶体振荡法可用于监测光学膜、电学膜等多种膜的沉积;光学法主要用于光学膜的沉积}反射高能电子衍射法多用于分子束外延设备中，监测晶体材料的沉积，价格十分昂贵。目前，相应于上述方法的膜厚监控设备一般采用单片机，用数码管显示膜厚和输液膜沉积速率，不够直观。膜厚监测设备价格昂贵，使用的测量方法一般都是单一的（即多用石英晶体振荡法），而且，只能进行单探头测。
【发明内容】
[0004]为解决上述问题，本发明提供了一种输液膜厚度测控系统，通过单光子探测器和石英晶体探头的协同使用，实现了对输液膜的精确的测量，在整个检测过程中生成了一个动态的仿真模型，方便了工作人员的观察，进一步提高了检测的精确度，且显示屏自带图形绘制模块和回归计算模块，使得检测结果更加直观。
[0005]为实现上述目的，本发明采取的技术方案为：
[0006]输液膜厚度测控系统，包括石英晶体探头、振荡信号数据采集电路、单光子探测器、探测电路、摄像头、图像采集电路、中央控制器、第一挡板驱动模块和第二挡板驱动模块，石英晶体探头通过振荡信号数据采集电路与中央控制器的输入端相连，单光子探测器通过探测电路与中央控制器的输入端相连，摄像头通过图像采集电路与中央控制器的输入端相连，第一挡板驱动模块和第二挡板驱动模块与中央控制器的输出端相连，还包括
[0007]物理模块建立模块，与中央控制器的输出端相连，用于接收中央控制器发送的石英晶体探头、单光子探测器和摄像头采集的数据，并将这些数据进行处理后生成待输液膜的物理模型；
[0008]计算模块，与中央控制器的输出端相连，用于接收中央控制器发送的石英晶体探头、单光子探测器和摄像头采集的数据，并根据预设的算法对这些数据进行求解，得出待测输液膜的厚度值，并将所得的厚度值发送到显示屏予以显示，发送到数据库进行储存；
[0009]人机操作模块，与中央控制器的输出端相连，用于输入控制命令和数据调用命令。
[0010]优选地，还包括一数据库，用于储存石英晶体探头、单光子探测器和摄像头所采集到的数据，物理模型建立模块所建立的物理模型数据以及计算模块所得的计算结果数据。
[0011]优选地，还包括一显示屏，用于显示计算模块的计算结果以及石英晶体探头、单光子探测器和摄像头所采集到的数据。
[0012]优选地，所述显示屏内设有
[0013]图形绘制模块，用于绘制并监测根据所述监测数据得出的各种曲线图；
[0014]回归计算模块，用于通过不同函数对实测数据曲线进行回归计算。
[0015]优选地，所述图形绘制模块根据输入的监测数据，生成随时间、空间变化的时空效应曲线即时态曲线和空间效应曲线，所述时态曲线显示了各监测点的原始数据或转移数据随时间的变化情况，所述空间效应曲线突出了同一时间不同测点的监测结果随单光子探测器推进的变化规律。
[0016]优选地，所述振荡信号数据采集电路由振荡器、计数器、驱动器和继电路、移位寄存器经电路连接构成。
[0017]优选地，所述探测电路由单光子探测电路、计数器、移位寄存器经电路连接构成。
[0018]优选地，所述中央控制器为可编程控制器。
[0019]优选地，所述人机操作模块与显示屏为单独设计。
[0020]本发明具有以下有益效果：
[0021]通过单光子探测器和石英晶体探头的协同使用，实现了对输液膜的精确的测量，在整个检测过程中生成了一个动态的仿真模型，方便了工作人员的观察，进一步提高了检测的精确度，且显示屏自带图形绘制模块和回归计算模块，使得检测结果更加直观。
【附图说明】
[0022]图I为本发明实施例输液膜厚度测控系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为了使本发明的目的及优点更加清楚明白，以下结合实施例对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
[0024]如图I所示，本发明实施例提供了一种输液膜厚度测控系统，包括石英晶体探头、振荡信号数据采集电路、单光子探测器、探测电路、摄像头、图像采集电路、中央控制器、第一挡板驱动模块和第二挡板驱动模块，石英晶体探头通过振荡信号数据采集电路与中央控制器的输入端相连，单光子探测器通过探测电路与中央控制器的输入端相连，摄像头通过图像采集电路与中央控制器的输入端相连，第一挡板驱动模块和第二挡板驱动模块与中央控制器的输出端相连，还包括
[0025]物理模块建立模块，与中央控制器的输出端相连，用于接收中央控制器发送的石英晶体探头、单光子探测器和摄像头采集的数据，并将这些数据进行处理后生成待输液膜的物理模型；
[0026]计算模块，与中央控制器的输出端相连，用于接收中央控制器发送的石英晶体探头、单光子探测器和摄像头采集的数据，并根据预设的算法对这些数据进行求解，得出待测