一种加热异常检测方法

文档序号:9921615
一种加热异常检测方法
【技术领域】
[0001]本发明属于微电子加工技术领域,具体涉及一种加热异常检测方法。
【背景技术】
[0002]等离子体反应腔室的温度参数是影响刻蚀、沉积等工艺结果的重要参数之一。为了实现温度的均匀性,通常需要多个温控装置对反应腔室的不同区域进行温控。
[0003]图1为典型的反应腔室的腔体横向截面示意图。请参阅图1,反应腔室10为矩形腔室,为实现对反应腔室10的不同区域进行温控,在反应腔室10的四个拐角A?D位置处分别设置有温控装置11,每个温控装置11包括加热器111、热电偶112、过温开关113和温控器(图中未示出)等。其中,加热器111用于加热反应腔室10,热电偶112用于检测当前反应腔室10的温度,并将该温度发送至温控器,温控器用于根据热电偶112检测的温度输出控制信号,以控制继电器来控制是否向加热器111供电;过温开关113用于在反应腔室10温度过高时断开,以切断加热器111与电源连接,以对反应腔室10进行保护。
[0004]在对反应腔室10进行加热时,需要四个温控装置11同时工作,并且,在四个温控装置11加热过程中实时检测是否发生异常,若是,则发出报警提示,以告知操作人员进行维护。然而,在实际应用中,虽然在发生异常时会发出报警提示,但是由于其不能判断并输出发生该异常的原因,例如,热电偶断连、热电偶混接和加热器故障等,因而需要操作人员耗费较长的时间进行检查,因而造成维护周期较长,从而造成产率和经济效益低。

【发明内容】

[0005]本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提出了一种加热异常检测方法,可以缩短维护周期,从而可以提高产率和经济效益。
[0006]为解决上述问题之一,本发明提供了一种加热异常检测方法,应用于多个温控装置,每个温控装置包括测温器和加热器,该检测方法包括以下步骤:
[0007]步骤SI,预设各个温控装置的温度为初始温度;
[0008]步骤S2,使一个温控装置加热预设时间,之后检测各个温控装置的温度,之后判断当前温控装置的温度是否上升至与该预设时间对应的预设温度,所述预设温度大于各个所述温控装置的初始温度,若是,进入步骤S4 ;若否,进入步骤S3 ;
[0009]步骤S3,根据检测的各个温控装置的温度,若当前温控装置的温度为断连温度,其他温控装置的温度保持不变,则输出当前温控装置的测温器断连;和/或,若当前温控装置的温度保持不变,另一个温控装置的温度上升为当前测温装置的预设温度,则输出该另一个温控装置的测温器与当前温控装置的测温器混接;和/或,若当前温控装置的温度不为断连温度,且每个温控装置的温度均保持不变,则输出当前温控装置的加热器故障;
[0010]步骤S4,当前温控装置检测结束。
[0011 ] 其中,每个所述温控装置的初始温度预设为其加热最低温度。
[0012]其中,在所述步骤S2中还包括,若当前温控装置的检测温度上升至与该预设时间对应的预设温度,则使当前温控装置的温度恢复至其初始温度。
[0013]其中,在所述步骤S4之后,还包括步骤S5,根据输出的测温器断连、测温器混接或加热器故障的信息,对当前温控装置进行维护;并且,在步骤S5之后,针对至少两个未检测的温控装置,执行步骤S2?S5 ;针对最后一个未检测的温控装置,执行步骤S2?S4,并且,在步骤S3中,若当前温控装置的温度为断连温度,则输出该当前温控装置的测温器断连;和/或,若当前温控装置的温度不为断连温度,且保持不变,则输出当前温控装置的加热器故障。
[0014]其中,在所述步骤S4之后,重复执行步骤SI?S4,以对下一个未检测的温控装置进行检测,直至实现对每个温控装置进行检测。
[0015]其中,在进行步骤S3的同时开始对下一个温控装置进行检测。
[0016]其中,每个所述温控装置的预设时间设置为:在该预设时间下加热至的预设温度大于环境温度10°C以上。
[0017]其中,在所述步骤S2中还包括,若当前温控装置的检测温度未上升至与该预设时间对应的预设温度,则发出报警信号。
[0018]其中,采用自动检测方式或者手动检测方式进行检测。
[0019]其中,所述测温器包括热电偶。
[0020]本发明具有以下有益效果:
[0021]本发明提供的加热异常检测方法,其步骤SI中,预设各个温控装置的温度为初始温度,之后通过步骤S2,可以判断出当前温控装置是否异常,若是,则进入步骤S4,当前温控装置检测结束,若否,则进入步骤S3,通过步骤S3,可以判断并输出发生异常的原因,该原因包括测温器断连和/或测温器混接和/或加热器故障。因此,本发明提供的加热异常检测方法可以判断并输出异常发生的原因,这与现有技术相比,可以便于操作人员根据该原因进行维护,从而可以缩短维护周期,进而可以提高产率和经济效益。
【附图说明】
[0022]图1为典型的反应腔室的腔体横向截面示意图;
[0023]图2为本发明实施例提供的加热异常的检测方法的流程图;
[0024]图3为对温控装置A进行检测的过程示意图;
[0025]图4为对温控装置B进行检测的过程示意图;
[0026]图5为对温控装置C进行检测的过程示意图;以及
[0027]图6为对温控装置D进行检测的过程示意图。
【具体实施方式】
[0028]为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案,下面结合附图来对本发明提供的加热异常检测方法进行详细描述。
[0029]为便于理解本发明,本发明中每个温控装置包括测温器和加热器,“温控装置的温度”是指温控装置中加热器加热的温度;“检测温控装置的温度”是指各个温控装置利用其测温器检测其的温度。另外,本发明提供的加热异常检测方法是基于各个温控装置的加热器未发生混接的前提下进行的。
[0030]图2为本发明实施例提供的加热异常的检测方法的流程图。请参阅图2,本实施例提供的加热异常检测方法,应用于多个温控装置,该检测方法包括以下步骤:
[0031]步骤SI,预设各个温控装置的温度为初始温度,也就是说,初始化各个温控装置的温度。
[0032]步骤S2,使一个温控装置(即为当前温控装置)加热预设时间,之后检测各个温控装置的温度,之后判断当前温控装置的温度是否上升至与该预设时间对应的预设温度,换言之,预设温度为当前温控装置加热预设时间之后的温度,并且,预设温度大于各个温控装置的初始温度,若是,此时,当前温控装置正常,则进入步骤S4 ;若否,此时,当前温控装置发生异常,则进入步骤S3。
[0033]步骤S3,根据检测的各个温控装置的温度,若当前温控装置的温度为断连温度,其他温控装置的温度保持不变,则输出该当前温控装置的测温器断连。所谓断连温度是指温控装置的测温器断连时的温度,例如,测温器为热电偶,根据热电偶的特性,其断连温度为其量程的最大温度(即为其极值温度)。和/或,若当前温控装置的温度保持不变,另一个温控装置的温度上升为当前测温装置的预设温度,则输出该另一个温控装置的测温器与当前温控
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