装置的测温器混接。和/或，若当前温控装置的温度不为断连温度，且每个温控装置的温度均保持不变，则输出当前温控装置的加热器故障。
[0034]步骤S4，当前温控装置检测结束。
[0035]下面对本发明实施例提供的加热异常检测方法的原理进行具体描述。具体地，可以理解，在对当前温控装置进行加热预设时间，而未对其他温控装置进行加热的情况下，存在以下情况:(一)，在当前温控装置的测温器未与其他温控装置的测温器混接时，则检测到其他温控装置的温度保持不变，因此，若当前温控装置的测温器断连，则检测到当前温控装置的温度为断连温度；若当前温控装置的加热器故障，则检测到当前温控装置的温度不为断连温度，且同样保持不变。(二)，在当前温控装置的测温器与其他温控装置中一个的温控器混接时，对当前温控装置进行加热实际上实现对与其混接的温控装置进行加热，则与当前温控装置混接的温控装置的温度上升至当前温控装置的预设温度，而检测到当前温控装置和其他温控装置的温度保持不变。由上可知，可以采用步骤S3中的方式来判断当前温控装置是否发生测温器断连、测温器混接和加热器故障的问题。
[0036]可以理解，由于可能受到其他因素的影响，检测到的温控装置的温度可能会存在一定的误差或偏差，因此，上述中的“温控装置的温度保持不变”可以理解为温控装置的温度无明显上升。
[0037]下面结合图3举例对本发明实施例提供的加热异常检测方法进行详细描述。具体地，假设温控装置的数量为四个，且分别称之为A、B、C和D，温控装置A的预设温度为At，四个温控装置A?D的测温器的断连温度均为P，为实现对温控装置A进行加热异常检测，包括以下步骤:
[0038]步骤S10，初始化四个温控装置A?D的温度为0°C。
[0039]步骤S11，使温控装置A加热与预设温度At对应的5分钟预设时间，预设温度At大于0°C。
[0040]步骤S12，检测各个温控装置A?D的温度。
[0041 ] 步骤S13，判断温控装置A的温度是否上升至At，若是，则温控装置A检测结束，若否，则进入步骤S14。
[0042]步骤S14，根据检测到的四个温控装置A?D的温度，若温控装置A的温度为断连温度P，且温控装置B、C和D的温度保持不变，则输出温控装置A的测温器断连；若温控装置B、C和D中任意一个的温度上升至预设温度At，其他温控装置的温度保持不变，则输出温控装置A的测温器与该温控装置的测温器混接；若温控装置A的温度不为断连温度，且温控装置A?D的温度均保持不变，则输出温控装置A的加热器故障。
[0043]在上述具体工作过程中，通过步骤S14实现同时对温控装置是否存在测温器断连、测温器混接和加热器故障的问题进行检测，但是，并不局限于此，也可以按照一定的顺序依次实现对是否存在测温器断连、测温器混接和加热器故障的问题进行检测。例如，先判断是否存在测温器混接的问题，若是，则检测结束，若否，再同时判断是否存在测温器断连和加热器故障的问题。再如，可以依次判断是否存在测温器断连、测温器混接和加热器故障的问题，若在上一个问题不存在，再检测是否存在下一个问题；若上一个问题存在，则检测结束。
[0044]上述温控装置的加热异常检测方法采用自动检测方式，这可以提高工艺过程的自动化，从而可以提高检测效率。并且，上述加热异常的检测方法应用在对工艺腔室加热之前或之后的半导体加工设备空闲的时间，这与现有技术中在工艺时发生异常造成工艺可靠性和稳定向差相比，可以消除在工艺时温控装置发生异常的隐患，从而可以提高工艺的可靠性和稳定性。
[0045]优选地，每个温控装置的初始温度预设为其加热最低温度，以实现不会对工艺腔室进行加热，这不仅可以避免加热功率的浪费，而且还可以避免若温控装置出现上述异常而影响后续加热工艺腔室工艺的均匀性。
[0046]进一步优选地，在步骤S2中还包括，若当前温控装置的检测温度上升至与该预设时间对应的预设温度，则使当前温控装置的温度恢复至其初始温度，即，使当前温控装置的温度恢复至其加热最低温度，以避免对后续加热工艺腔室工艺产生影响。
[0047]另外优选地，在步骤S4之后，还包括步骤S5，根据输出的测温器断连、测温器混接或加热器故障信息，对当前温控装置进行维护；并且，在步骤S5之后，针对至少两个未检测的温控装置，执行步骤S2?S4 ;针对最后一个未检测的温控装置，执行步骤S2?S3，并且，在步骤S3中，若当前温控装置的温度为断连温度，则输出该当前温控装置的测温器断连；和/或，若当前温控装置的温度不为断连温度，且保持不变，则输出当前温控装置的加热器故障。这可以实现对每个温控装置进行检测，因而进一步保证各个温控装置正常工作，从而可以进一步提尚工艺的可靠性和稳定性。
[0048]具体地，假设温控装置的数量为N个，N为大于等于2的整数，为实现对每个温控装置进行检测，则需要进行N次检测；若已完成η次检测，η为小于N的整数，则剩余温控装置的数量为Ν-η个，但随着检测次数的增加至(N-1)次，剩余温控装置的数量逐渐减少至I个，此时，由于在(N-1)次检测过程中已检测出其他温控装置与最后一个温控装置是否存在测温器混接，并在存在混接时已完成进行维护，因此，在第N次检测过程中的步骤S3中不需要检测是否存在测温器混接，仅需要采用上述方式判断最后一个温控装置是否存在测温器断连和/或加热器故障的问题，因此这可以减小检测时间，从而可以提高检测效率。
[0049]下面基于上述四个温控装置A?D进行具体说明。定义温控装置B?D的预设温度分别为Bt、Ct和Dt，其对应的预设时间分别为5分钟。由于上述过程已实现温控装置A的检测，并借助步骤S4可实现对其进行维护，也就是说，此时，温控装置A不存在异常，其他未检测的温控装置为三个，分别为温控装置B、C和D，针对该未检测的温控装置B、C和D执行步骤S2?S4，如图4所示，其工作过程与上述温控装置A的检测过程相类似，在此不再赘述，二者不同点仅在于:当前温控装置为B，其他温控装置为C和D，同时还包括步骤S4。
[0050]在对温控装置B进行检测并维护之后，此时，温控装置B不存在异常，其他未检测的温控装置为两个，分别为温控装置C和D。针对该未检测的温控装置C和D执行步骤S2?S4，如图5所示，其工作过程与温控装置B的检测过程相类似，在此不再赘述，二者不同点仅在于:当前温控装置为C，其他温控装置为D。
[0051]在对温控装置C进行检测并维护之后，此时，温控装置C不存在异常，其他未检测的温控装置为最后一个，为温控装置Dο针对该最后一个未检测的温控装置D执行步骤S2?S3，如图6所示，其工作过程与上述温控装置B和C的检测过程相类似，在此不再赘述，三者不同点仅在于:当前温控装置为D，在步骤S3中，若温控装置D的温度为断连温度P，则输出该温控装置D的测温器断连；若温控装置D的温度保持不变，则输出温控装置D的加热器故障。
[0052]在本实施例中，每个温控装置的预设时间设置为:在该预设时间下加热至的预设温度大于环境温度10°C以上，这不仅保证检测精度，而且还可以避免加工功率的浪费。
[0053]优选地，在进行步骤S3的同时开始对下一个温控装置进行检测，这可以