触摸板及其制造方法

专利名称：触摸板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及触摸板。更具体地说，本发明涉及这样一种触摸板及其制造方法，在该触摸板中执行感测操作的单元被分割成多个部分，多个电极被划分在这些部分中，并且这些电极通过一条路径线彼此连接，以提高触摸灵敏度。
背景技术：
本申请要求2010年3月16日提交的韩国专利申请No. 10-2010-0023445的优先权和权益，此处以引证的方式并入其内容，就像在此进行了完整阐述一样。近年来，越来越需要这样一种触摸板，其中通过手或者独立输入手段来感知触摸部分并且能够响应于该触摸来传送附加信息。这种触摸板被附接到液晶显示器的外表面上。根据触摸感知的类型，触摸板分为电阻式触摸板、电容式触摸板和红外(IR)触摸板。由于诸如制造便利性和灵敏度的因素，电容式触摸板得到了更多的关注。下文中，将参照附图详细说明常规的电容式触摸板。图1是例示了常规的触摸板的平面图，而图2是图1的区域A的放大图。如图1和2所示，常规的电容式触摸板包括基板10和在基板10上彼此交叉地设置的多行第一电极11与多行第二电极12。触摸板包括连接到柔性印刷电路板(FPC) 50的焊盘电极40，该柔性印刷电路板50包括位于基板10 —侧的触摸控制器51。第一电极11 的行与第二电极12的行通过路径线(routing line) 25连接到焊盘电极40。第一电极11的行和第二电极12的行以条的形式进行交叉。或者，如图中所示，这些行的第一电极11和这些行的第二电极12在各自的感测区域中呈现菱形图案的形式，第二电极12形成为具有与相邻的菱形图案一体的薄连接图案，并且第一电极11通过相邻的菱形图案的连接金属图案21和相对于互连图案位于不同层中的金属被电连接起来。触摸控制器51由集成电路(IC)形成，其设置为在一侧具有作为与显示设备的操作部连接的连接部的输入针，而在另一侧具有向第一电极11和第二电极12施加信号的输出针(未示出，其与焊盘电极40接触)。第一电极11的行与第二电极12的行的各自的端部连接到路径线25，由此连接到焊盘电极40。在图1中，第一电极11的两端连接到路径线25。设计这种结构，使得第一电极11 的两端能够接收信号，以便减少其两端之间在RC延迟上的差异。在某些情况下，路径线可以仅连接到第一电极11的一端。对于所有这些情况下的常规触摸板，至少一条路径线连接到第一电极11和第二电极12中的每一个电极。同时，如图2所示，在最近大量生产的触摸板中，构成第一电极11和第二电极12 的菱形图案具有6至IOmm的对角线，并且彼此相邻的第一电极11和第二电极12之间的距离为300 μ m或更大。
图3是例示了由常规触摸板的多点触摸(multi-touch)导致的故障的图。通过输入手段(例如手指)来触摸常规的触摸板。通过手指以椭圆或圆周运动迅速地触摸该触摸板表面几次，并确认是否感测到该触摸。结果，所画的线被部分地中断，如图3所示。此外，发生了这样一种幻影错误(ghost error)，其中当触摸不同区域时检测到了手指未触摸的区域。这种故障是由于触摸前后电容的微小变化所导致的，其理由如下。图1和2的电容式触摸板通过对系统设定预定阈值电荷并判定待被触摸的具有超过设定值的电荷的区域来检测触摸的存在。在这种情况下，会在彼此隔开的第一电极11和第二电极12之间生成边缘场，并且手指改变了其间存在的边缘场。实际上，当触摸第一电极11和第二电极12之间设置的区域时，显著改变了初始边缘场，而当触摸第一电极11的中心或第二电极12的中心时，由于初始边缘场的轻微变化因而在触摸前后电荷变化较小，电荷没有超过阈值电荷。结果，发生了触摸中断。此外，触摸前后电荷的变化在第一电极11和第二电极12之间的区域较大，并且随着与触摸位置的中心越来越接近而使触摸灵敏度提高。但是，手指触摸的区域可能是IOmm 或更小，随着被触摸的部分变得与第一电极11和第二电极12之间的中间区域更远(与第一电极11的中心或第二电极12的中心更近)，因此恶化了其触摸灵敏度。具体地，预定区域的相对触摸灵敏度恶化并且在形成电极的区域部分中不能进行触摸检测。此外，由于在多点触摸时的触摸检测故障而可能发生幻影现象，其原因被认为是触摸灵敏度的恶化。这种常规的触摸板具有以下问题。常规的触摸板包括彼此交叉的多个第一电极和第二电极，并且将第一电极和第二电极之间的边缘场感生的电荷的变化与系统中设定的阈值电荷进行比较，来检测触摸的存在。在这种情况下，当与手指的接触面积相比第一电极和第二电极的临界值较高时， 触摸灵敏度随着与电极中心越来越接近而恶化。此时，由于在触摸时电极中心处的电荷低于阈值电荷而不能检测到触摸。这在多点触摸时被看成是故障或幻影。在某些情况下，为了增大第一电极和第二电极之间的边缘场在触摸前后的变化， 还可以在手指接触的面板表面上以及在第一电极和第二电极上方设置具有预定厚度或更大厚度的绝缘膜。然而，绝缘膜的形成需要材料和掩模工艺，因而由于成本的增加及安装触摸板的设备的变化而不利地造成了不便。

发明内容
因此，本发明旨在提供一种触摸板及其制造方法，其基本避免了由于相关技术的限制和缺点造成的一个或更多个问题。本发明涉的一个目的是提供一种触摸板及其制造方法，在该触摸板中，执行感测操作的单元被分割成多个部分，多个电极被划分在这些部分中，并且这些电极通过一条路径线彼此连接，以提高触摸灵敏度。为了实现这些目的和其它优点，按照本发明的目的，作为具体和广义的描述，本发明提供了一种触摸板，该触摸板包括多个第一电极图案，其由多个第一连接图案串联连接；多个第二电极图案，其由多个第二连接图案串联连接；以及多条路径线；其中，所述多个第一电极图案中的至少两个被连接到所述多条路径线中的至少一条。在本发明的一个实施方式中，一种触摸板包括多个第一电极图案，其由多个第一连接图案串联连接；多个第二电极图案，其由多个第二连接图案串联连接；多条路径线；以及多个连接部，其中，所述多个第一电极图案中的至少两个被连接到所述多个连接部中的一个，并且所述多条路径线中的至少一条被电连接到所述多个连接部中的一个。在本发明的一个实施方式中，一种触摸板包括多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；以及至少一个冗余图案，其中，所述第一序列的电极通过所述至少一个冗余图案连接到所述第二序列的电极。在本发明的一个实施方式中，一种触摸板包括多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；多个第二电极序列，其包括由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第三序列和由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第四序列；至少一个第一冗余图案；以及至少一个第二冗余图案，其中，所述第一序列的电极通过所述至少一个第一冗余图案连接到所述第二序列的电极，并且所述第三序列的电极通过所述至少一个第二冗余图案连接到所述第四序列的电极。在本发明的一个实施方式中，一种触摸板包括基板；多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；多个第二电极序列，其包括由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第三序列和由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第四序列； 至少一个第一冗余图案；至少一个第二冗余图案；多条第一路径线；多条第二路径线；多个第一连接部；以及多个第二连接部，其中，所述第一序列和所述第二序列被电连接到所述多个第一连接部中的一个，所述第三序列和所述第四序列被电连接到所述多个第二连接部中的一个，所述多条第一路径线中的至少一条被连接到所述多个第一连接部中的所述一个； 所述多条第二路径线中的至少一条被连接到所述多个第二连接部中的所述一个，所述第一序列的电极通过所述至少一个第一冗余图案连接到所述第二序列的电极，并且所述第三序列的电极通过所述至少一个第二冗余图案连接到所述第四序列的电极。应当理解，本发明的上述一般描述和下述详细描述是示例性和说明性的，且旨在提供所要求保护的本发明的进一步解释。


附图被包括在本申请中以提供对本发明的进一步理解，并结合到本申请中且构成本申请的一部分，附图示出了本发明的实施方式，且与说明书一起用于解释本发明的原理。 附图中图1是例示了常规触摸板的平面图；图2是图1的区域A的放大图；图3是例示了由常规触摸板的多点触摸导致的故障的图4是例示了根据第一实施方式的触摸板的平面图；图5A是例示了单位单元及其相邻区域的平面图，而图5B是例示了路径线与该单位单元的对应关系的平面图；图6是例示了根据本发明的第二实施方式的触摸板的平面图；图7A和7B是例示了根据本发明的第三和第四实施方式的触摸板的平面图；图8A和8B是例示了第一实施方式及其修改后的实施方式的平面图；图9A到9D是例示了根据第一实施方式的制造触摸板的方法的截面图；图IOA到IOD是例示了根据第一实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图IlA到IlD是例示了根据第二实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图12A到12D是例示了根据第三实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图13A到13C是例示了根据第四实施方式的制造触摸板的方法的截面图；图14A到14C是例示了根据第四实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图15A到15C是例示了根据第五实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图16A到16C是例示了根据第六实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图17A到17D是例示了根据第七实施方式的制造触摸板的方法的截面图；图18A到18D是例示了根据第七实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图19A到19D是例示了根据第八实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图20A到20D是例示了根据第九实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图21A到21C是例示了根据第十实施方式的制造触摸板的方法的截面图；图22A到22C是例示了根据第十实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图23A到23C是例示了根据第十一实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图24A到24C是例示了根据第十二实施方式的制造触摸板的方法的平面图；图25是示出了触摸灵敏度的从第一电极和第二电极的中心到第一电极和第二电极之间的中心的变化的图；以及图沈是示出了与电极的宽度相对应的感测区域百分比(％ )的图。
具体实施例方式此后，参照附图来详细描述根据本发明的触摸板及其制造方法。对于根据本发明的触摸板，执行电容式感测的常规单位单元被分成面积比输入手段所触摸的面积小的多个电极，并在各单位单元处执行扫描信号的施加和感测。基于这样的结构，相邻的间隔开的电极与电极中心之间设置的两个区域被包含在输入手段的一个触摸部分中而没有增加扫描信号的施加，由此提高了触摸灵敏度。也就是说，当诸如手指的输入手段触摸时，将多个电极划分到各个单位单元中的操作导致了相邻电极之间高初始边缘场的生成和电容的巨大变化，由此与在各个单位单元处设置一个感测电极的常规结构相比，呈现出显著提高的触摸灵敏度。在这种情况下，虽然在大型面板中各单位单元的尺寸增加，但是对单位单元进行划分并因而能够提高触摸灵敏度。沿第一方向设置的η个电极的组通过路径线连接，由此施加扫描信号所需要的路径线的数量是一致的，因此与在一个感测区域中设置一个电极的结构相比，不需要额外的路径线，并且也不需要增大非显示区。结果，能够实现窄的边框(bezel)。通过划分单位单元，可以提高单位单元的触摸灵敏度，由此无需增大用于施加扫描信号所需的路径线的非显示区。结果，能够实现窄的边框。在下面的实施方式中，各单位单元具有一个常规感测区域的尺寸，而该感测区域被分为至少四个部分，并且电极在所划分的部分中彼此间隔开。以下，根据优选实施方式来详细描述触摸板及其制造方法。*设备的第一实施方式*图4是例示了根据第一实施方式的触摸板的平面图。图5A是例示了图4的单位单元及其相邻区域的平面图。图5B是例示了路径线与该单位单元的对应关系的平面图。如图4到5B所示，根据第一实施方式的触摸板包括基板100上沿第二方向设置的多个第一传感器1100，其中第一传感器(或第一电极序列)1100包括基板100上沿第一方向彼此间隔开的多个第一电极(或第一电极图案)111和连接两个相邻的第一电极111 的多个第一桥接图案(或第一连接图案)121 ；沿第一方向设置的多个第二传感器(或第二电极序列)1200，其中第二传感器1200包括沿第二方向彼此间隔开的多个第二电极(或第二电极图案)112和连接两个相邻的第二电极112的多个第二桥接图案(或第二连接图案)114 ；第一路径线141，其连接到相邻η (其中η是2或更大的整数)个第一电极的端部； 以及第二路径线151，其连接到相邻m(其中m是2或更大的整数)个第二传感器的端部。第一方向和第二方向彼此交叉，并且分别可以是X和Y轴，反之亦然，如图所示。此外，第一电极111和第二电极112位于不同的位置，各第一桥接图案121和各第二桥接图案114彼此交叉。基板100包括在中部的实现显示和触摸操作的有源区(A/A)和外围的非显示区。有源区(A/A)包括以矩阵形式设置的多个单位单元，并在有源区(该单位单元的最外侧矩阵)和非显示区之间的界面处连接到第一路径线114的一端和第二路径线151 的一端。在各自的单位单元处，有源区连接到不同的第一路径线141和不同的第二路径线 151。此外，第一路径线141的另一端与第二路径线151的另一端分别连接到设置在非显示区的一侧的焊盘电极145和146。该焊盘电极145和146连接到包括触摸控制器的柔性印刷电路(FPC)上，以便从外部触摸控制器接收电信号并传输感测信号。附图中例示了这样一个示例，其中连接到第一路径线141的第一传感器1100的数量(η)是2，并且连接到第二路径线151的第二传感器1200的数量(m)是2。在某些情况下，η和m可以是3或更大的整数，并且可以相同或不同。各个单位单元包括由一条路径线分组的n(其中，η是2或更大的整数)个第一电极111和由一条路径线分组的m(其中，m是2或更大的整数)个第二电极112。在这种情况下，根据各单位单元处的第一电极111和第二电极112的初始数量(S卩，η和m)的乘积来产生边缘场电容。由各单位单元处相邻的第一电极111和第二电极112之间的至少四个边缘场来产生初始电容。此外，当通过诸如手指或笔的输入手段触摸时，形成触摸区域，使得它覆盖产生电容并且在触摸时电容的变化因此较大的至少两个区域。因此，与在各单位单元处设置一个感测电极的常规结构相比，电容的变化较大，由此提高了触摸灵敏度。
此外，确保一个触摸部分的区域，使得该触摸部分完全覆盖第一电极111或第二电极112，由此避免了形成电极111或112的区域中触摸灵敏度的恶化。因此，触摸灵敏度的均勻性得到提高。结果，即使在多点触摸时，也可以通过足够的边缘场来获取电容变化， 因此可以防止幻影错误。同时，可以在连接到第一路径线141的第一传感器1100之间设置连接相邻的第一传感器1100的至少一个第一冗余图案115。第一冗余图案115与第一电极111 一体形成，
并沿第二方向设置。此外，可以在连接到第二路径线151的第二传感器1200之间设置连接相邻的第二传感器1200的至少一个第二冗余图案116。第二冗余图案116与第二电极112 —体形成，
并沿第一方向设置。可以形成第一冗余图案115和第二冗余图案116两者或其中一个。此外，第一冗余图案115可以形成于相邻的第一传感器1100中的至少一个中，并且可以形成于所有单位单元处的第一路径线141的局部部分或整个部分中。类似地，第二冗余图案116可以形成于第二传感器1200中的至少一个中。连接第一冗余图案115和第二冗余图案116，使得第一冗余图案115和第二冗余图案116分别与第一电极111和第二电极112交叉。在这种情况下，当由于诸如静电的因素一个第一电极111在各单元中发生开路(open)时，信号传输到通过第一冗余图案115而连接的另一个第一电极111，由此防止了产生静电的相应的第一传感器1100中的线路故障。 因此，可以有效地检测到产生静电的相应第一传感器1100中的触摸。第二冗余图案116具有类似于第一冗余图案115的功能。此外，第一冗余图案115和第二冗余图案116在产生静电时使得能够重新传送 (rerouted)信号，并加强了施加有相同信号的相邻的第一传感器1100之间和相邻的第二传感器的1200之间的电连接，由此有利地减小了 RC延迟。如果合适，在第一传感器1100和第二传感器1200当中，具有较长边的传感器可以包括更多的冗余图案。同时，上述第一和第二冗余图案还形成于所划分的单位单元处的第一传感器或第二传感器中，以防止静电和信号延迟，并且如果合适，可以省去上述第一和第二冗余图案。如上所述，被划分的第一电极111和第二电极112具有临界尺寸(电极的最长长度，即，图中的对角线长度)，为约0. 5mm至约5. 5mm。更优选的是，第一电极和第二电极具有约Imm至约3mm的尺寸。第一电极111和第二电极112的尺寸被设计成使得其小于输入手段所触摸到的区域的尺寸。此外，相邻的第一电极111和第二电极112间隔开约10 μ m到约30 μ m的距离。相邻冗余图案115或116之间的距离和相邻电极111和112之间的距离也在约 10 μ m至Ij约30 μ m的范围内。 此外，第一电极111和第二电极112是透明电极，并通过对这些透明电极进行构图而形成在同一层中。在这种情况下，透明电极可以由氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化锑锌(AZO)、ZnO和SnO2中的至少一种构成。或者，电极可以由包括其组合的叠层构成。
此外，连接第二电极112的第二桥接图案114在同一层中与第二电极112 —体形成以作为透明电极。在这种情况下，包括透明电极的第二桥接图案114可以具有约ΙΟμπι至约500 μ m的宽度。第一桥接图案121可以由金属构成，或者第一桥接图案或第二桥接图案可以包括包含金属和透明电极的叠层。此时，第一桥接图案121具有3至约20 μ m的宽度。在这种情况下，上限20 μ m指的是不可见的最大宽度，而下限3 μ m指的是可以利用图案实现的最小宽度。在未来的技术中提高分辨率时，下限可以减小。第一桥桥接图案121具有连接被间隔开的相邻第一电极 111的长度。此外，第一桥接图案121由从钼(Mo)、铜(Cu)、银(Ag)、铬(Cr)、铝(Al)、铝钕 (AlNd)、钼钛(MoTi)及其组合中选择出的金属组成，或者由包括其组合的叠层组成。此外，第一绝缘膜(由图9C中的标号“135”表示)还可以设置在构成第一桥接图案121的金属与第一电极111及第二电极112之间。第一绝缘膜135包括从厚度为约0. 1 μ m至约1 μ m的氮化物膜(SiNx)、氧化物膜 (SiOx)和氮氧化物膜(SiNxOy)以及有机薄膜中选择出的一种。例如，有机薄膜可以例如由包括光学丙烯酸树脂(photoacrylic resin)、环氧树脂等各种树脂构成。在这种情况下，当在基板100上形成第一桥接图案121时，在绝缘膜135上形成第一电极111和第二电极112。另选地，在形成第一电极111和第二电极112之后，可以在绝缘膜135上形成构成第一桥接图案121的金属。在同一层内用与构成第一桥接图案121的金属相同的金属来形成第一路径线141 和第二路径线151。第一电极111和第二电极112可以是多边形或圆形的形式。优选的是，第一电极和第二电极具有等边多边形的形状，由此能够对基板面积进行优化并且电极位置是有利的。虽然在上述实施方式中第一电极111和第二电极112的形状是等边长的菱形，但并不限于此，并且可从不同的多边形或圆形中选择。此外，还可以在包括第一和第二电极的基板上设置第二绝缘膜。在这种情况下，第二绝缘膜可以从厚度为约0. 1 μ m到约1 μ m的氮化物膜、氧化物膜、氮氧化物膜(SiNxOy) 和有机薄膜中选择。例如，有机薄膜可以从包括光学丙烯酸树脂、环氧树脂等各种树脂中选择。在这种情况下，第二绝缘膜(由图17D中的标号“对5”表示)有助于可见度和灵敏度。然而，第二绝缘膜245的形成还需要用于使焊盘电极145和146露出的掩模工艺，并且通过考虑到可见度、灵敏度以及通过省去而获得的优点方面的工艺优点来决定第二绝缘膜对5的形成。同时，还可以在包括第一电极111和第二电极112的基板上设置用作绝缘膜的偏振板。在这种情况下，偏振板优选地具有约135 μ m到约270 μ m的厚度。对于本发明的触摸板，可以通过将各单位单元划分成至少四个部分来增大相邻第一和第二电极之间的初始边缘电容，并且可以通过增大触摸时电容的变化来将用作单独的绝缘膜的偏振板的厚度减到最小。优选的是，第一电极111和第二电极112的面积小于输入手段所触摸的一个部分的面积，并且在输入手段触摸的一个部分中设置数量上为两个或更多的第一电极111和第二电极112中的至少一种。在输入手段触摸的一个部分中第一和第二电极之间的边缘场导致的电容变化大于在单个第一电极或第二电极的情况下的电容变化。同时，如所说明的，还可以在第一路径线141和η (η为2或更大的整数)个相邻第一传感器1100的端部之间设置同一层中用与透明电极相同的材料形成的第一连接部(由图IlD中的标号“117”表示)。此外，还可以在第二路径线141和m(其中，m为2或更大的整数)个相邻第二传感器1200的端部之间设置同一层中用与透明电极相同的材料形成的第二连接部(由图IlD中的标号“118”表示)。在这种情况下，第一连接部117通过共用第二方向上的η个第一传感器1100来形成，而第二连接部118通过共用第一方向上的m个第二传感器1200来形成。在这种情况下，由透明电极构成的第一连接部117和第二连接部118 可以设置在有源区中，并且可以在该有源区和非显示区之间的界面上具有接触孔13恥。*设备的第二实施方式*图6是例示了根据本发明的第二实施方式的触摸板的平面图。如图6所示，根据第二实施方式的触摸板还包括彼此相邻的第一电极211和第二电极212之间的虚设图案230。在这种情况下，虚设图案230的宽度为约10 μ m到约240 μ m, 而第一电极211和虚设图案230之间的距离以及第二电极212和虚设图案230之间的距离为约10 μ m至Ij约30 μ m。虚设图案230浮置并且不连接到路径线上，提供该虚设图案230以防止在第一电极211和第二电极212之间的交叉处观察到由间隔开的第一电极211和第二电极212的位置导致的图案。在这种情况下，虚设图案230由与第一电极211和第二电极212以及第二桥接图案213相同的材料(即，透明电极材料)构成。虚设图案230和彼此相邻的第一电极211或第二电极212之间的约10 μ m至约30 μ m的距离防止观测到第一电极211和第二电极212的图案并防止电容感测上的恶化。设置虚设图案230的原因如下。例如，当测试到触摸板的表面上朝向该板以各种角度形成的反射时，在第一电极211和第二电极212彼此间隔开预定宽度或更大宽度的情况下，可能在外表面上发生反射。此外，当第一电极211和第二电极212彼此非常靠近时， 其间界面上会发生衍射，由此导致界面曝光。为此，虚设图案230被设计成处于浮置状态， 而不施加任何电信号，以防止露出第一电极211和第二电极212的图案。这里没有详细描述的标号214是指第一冗余图案，标号241和251分别是指连接到两个第一电极211的第一路径线和连接到两个第二电极212的第二路径线。此外，标号240是将第一路径线连接到两个第一电极211的连接部，而标号250是连接第二路径线和这两个第二电极121的连接部。没有描述的元素被限定为如同第一实施方式。*设备的第三和第四实施方式*路径条件并不限于上述两种。也就是说，3个或更多个第一传感器1100和第二传感器1200的组可以对应于一条路径线。图7A是例示了根据本发明的第三实施方式的触摸板的平面图。图7B是例示了根据本发明的第四实施方式的触摸板的平面图。如图7A所示，对于根据第三实施方式的触摸板，沿第二方向(Y轴方向)设置的三个相邻的第一电极311共用一条第一路径线341，而沿第一方向(X轴方向)设置的三个相邻的第二电极312共用一条第二路径线351。第一电极311和第二电极312在其一端设置有第一共用部340和第二共用部350， 使得这些电极与其它相邻电极一起共用第一路径线341和第二路径线342。这里没有详细描述的标号“321”指的是第一桥接图案，而标号“313”和“315”分别是指第二桥接图案和第一冗余图案。如图所示，第一冗余图案315可以设置在共用第一路径线341的各个单元处，或者可以设置在沿第二方向设置的相邻第一电极311之间的各区域中。在这种情况下，第一冗余图案315可以与第一电极311 —体形成。在其它实施方式中可以在共用第二路径线351的各个单元处设置至少一个第二冗余图案。如图7B所示，对于根据第四实施方式的触摸板，沿第二方向(Y轴方向)设置的四个相邻的第一电极411共用一条第一路径线441，而沿第一方向(X轴方向)设置的四个相邻的第二电极412共用一条第二路径线451。第一电极411和第二电极412在其一端设置有第一共用部440和第二共用部450， 使得这些电极与相邻其它电极一起共用第一路径线441和第二路径线451。这里没有详细描述的标号“421”指的是第一桥接图案，而标号“413”和“415”分别是指第二桥接图案和第一冗余图案。因此，触摸板不限于前述沿一个方向的两个或四个共用路径条件，而是连接到一条第一路径线的第一传感器1100的数量(η)可以是2或更大的整数，并且连接到一条第二路径线的第二传感器1200的数量(m)可以是2或更大的整数。在这种情况下，各单位单元处设置的第一和第二电极的尺寸满足上述临界尺寸条件。因此，在各个单位单元处设置由各自的路径线分组的η(其中η为2或更大的整数)个第一电极和m(其中m为2或更大的整数)个第二电极。在这种情况下，根据各单位单元处的第一电极111和第二电极112的初始数量(即，η和m)的乘积，产生边缘场中的电容，并且初始电容因此较大。此外，在触摸时电容的变化较大，由此提高了触摸灵敏度。因此，全部触摸区域中的电荷超过系统中设定的阈值电荷，由此与在各个单位单元处设置一个感测电极的常规结构相比，表现出提高的触摸灵敏度。*修改后的设备的实施方式*图8A和8B是例示了第一实施方式及其修改后的实施方式的平面图。图8A例示了仅包括第一冗余图案115 (区域C)的第一实施方式，而图8B例示了包括第一冗余图案165(区域C)和第二冗余图案166(区域E)的一个示例，该第二冗余图案166设置在通过第二路径线151连接的第二传感器1200的相邻第二电极162之间。针对一条共用路径线设置的第一冗余图案165和第二冗余图案166可以在数量上是一个或更多个，并且可以以局部部分或整个部分形成。在图8A中，区域B是没有形成冗余图案的部分，并且图8A例示了选择性设置冗余图案的一个示例。在图8B中，第一冗余图案165(区域C)或第二冗余图案166(区域E)以整体部分形成，第一冗余图案165和第二冗余图案166分别连接相邻的第一传感器1100的第一电极161和相邻的第二传感器1200的第二电极162。
*制造方法的第一实施方式*图9A到9D是例示了根据本发明的第一实施方式的制造触摸板的方法的截面图。 图IOA到IOD是例示了根据本发明的第一实施方式的制造触摸板的方法的平面图。将详细描述根据第一实施方式的制造触摸板的方法。首先，制备其中限定了矩阵形式的多个单元的基板100。基板100包括设置有所述单元的有源区A/A以及外围的非显示区，在该非显示区中形成了第一和第二路径线以及焊盘电极。在基板100上沉积金属并选择性地去除该金属，如图9A及IOA所示，形成彼此间隔开同时沿第一方向穿过各单元(见图4中的D)的多个第一桥接图案121，并在非显示区中形成连接到沿第一方向设置的单元的一端的第一路径线141和连接到沿第二方向设置的单元的一端的第二路径线151。此外，在非显示区中形成被划分成η个部分的对应于第一路径线141的一端的第一路径接触线140和被划分成m个部分的对应于第二路径线151的一端的第二路径接触线150，并且在非显示区的一侧形成连接到第一路径线141和第二路径线152的另一端的焊盘电极145和146。该金属可以从钼(Mo)、铜(Cu)、银(Ag)、铬(Cr)、铝(Al)、铝钕(AlNd)和钼钛 (MoTi)、其组合以及其组合的叠层中选择。然后，在基板100上沉积透明电极，并选择性地去除该透明电极，如图9B及IOB所示，并且在第一桥接图案121、第一路径接触线140、第二路径接触线150以及焊盘电极145 和146上形成第一透明接触电极122和第二透明接触电极147。然后，形成第一绝缘膜135，使得它覆盖第一桥接图案121以及第一路径线141和第二路径线151，然后选择性地去除该第一绝缘膜135，并且如图9C及IOC所示，在第一桥接图案121上形成第一接触孔135a，使得它露出第一透明接触电极122的两端，形成第二接触孔13 和135d以露出第一路径接触线140和第二路径接触线150的一端上的第一透明接触电极122，并形成第三接触孔135c以部分地露出焊盘电极145和146上的第二透明接触电极147。第一绝缘膜135可以包括厚度为约0. 1 μ m至约1 μ m的氮化物膜(SiNx)、氧化物膜(SiOx)和氮氧化物膜(SiNxOy)以及有机薄膜中的至少一种。有机薄膜可以从诸如光学丙烯酸树脂、环氧树脂等各种树脂中选择。然后，埋设第一至第三接触孔13fe、135b、135d和135c，在第一绝缘膜135上沉积透明电极并选择性地去除该透明电极，如图9D和IOD所示，形成沿第一方向设置的第一电极111，使得它们通过第一接触孔13 连接到相邻的第一桥接图案121，形成沿第二方向设置的第二电极112，使得它们与第一电极111间隔开，并且形成连接相邻的两个第二电极 112的第二桥接图案114。同时，第一电极111的端部和第二电极112的端部分别通过第二接触孔13 和135d接触第一路径线141和第二路径线151，并且还在焊盘区域中的第二透明接触电极147上形成焊盘透明电极148。如在上述设备的实施方式中所述，在各单元处，沿第二方向设置n(n为2或更大的整数)个第一电极并沿第一方向设置m(m为2或更大的整数)个第二电极。*制造方法的第二实施方式*图IlA到IlD是例示了根据第二实施方式的制造触摸板的方法的平面图。
根据制造根据第二实施方式的触摸板的方法，第一和第二路径线的一端设置有由透明电极构成的连接部，与上述第一实施方式相比，该连接部可以实现路径线的共用部分的厚度减小。此外，为了共用第一和第二传感器，在形成第一连接部117和第二连接部118 的同时，形成了由透明电极构成的第一连接部117和第二连接部118，沿第二方向连接η个第一电极并沿第一方向连接m个电极，由此减少了第一路径线141和第二路径线151与第一连接部117和第二连接部118之间的接触部分的电阻。将详细描述制造根据第二实施方式的触摸板的方法。首先，制备其中限定了矩阵形式的多个单元的基板(见图9A)。在基板100上沉积金属并随后选择性地去除该金属，如图IlA所示，形成沿第一方向彼此间隔开同时穿过这些单元(见图4中的D)的多个第一桥接图案121，并在非显示区中形成连接到沿第一方向设置的单元的一端的第一路径线141和连接到沿第二方向设置的单元的一端的第二路径线151。此外，在非显示区中形成对应于第一路径线141的一端的第一路径接触部181、对应于第二路径线151的一端的第二路径接触部182以及在非显示区的一侧连接到第一路径线141和第二路径线152的另一端的焊盘电极145和146。然后，在基板100上沉积透明电极，并选择性地去除该透明电极，如图IlB所示，并且在第一桥接图案121上形成第一透明接触电极(122)。然后，形成第一绝缘膜(图9C中的13 ，使得它覆盖第一桥接图案121以及第一路径线141和第二路径线151，然后选择性地去除该第一绝缘膜，如图IlC所示，形成露出第一桥接图案121上的第一透明接触电极122的两端的第一接触孔135a，形成露出第一路径接触部181和第二路径接触部182的第二接触孔13 和135d，并且形成露出焊盘电极145 和146的第三接触孔135c。然后，埋设第一至第三接触孔13fe、i;35b、135d和1:35c，在第一绝缘膜1；35上沉积透明电极并选择性地去除该透明电极，如图IlD所示，形成沿第一方向设置的第一电极 111，使得它们通过第一接触孔13 连接到相邻的第一桥接图案121，形成沿第二方向设置的第二电极112，使得它们与第一电极111间隔开，并且形成连接相邻的两个第二电极112 的第二桥接图案114。此外，形成连接到第一路径接触部181和第一桥接图案121的第一连接部117，使其将一条第一路径线141连接到η个第一传感器1100，并且形成连接到第二路径接触部182和第二桥接图案114的第二连接部118，使其将一条第二路径线151连接到m 个第二传感器1200。第一连接部117具有这样的形状，其中由连接到第一桥接图案121的相邻第一传感器1100形成的等腰三角形图案与连接到第一连接部117的矩形图案形成一体，同时接触该三角形图案的边。第二连接部118相对于第一连接部118逆时针旋转90度。尽管在图中描述了由透明电极构成的第一连接部117和第二连接部118，可以是仅仅一个连接部由透明电极构成，而其它连接部可以是从路径线的一端分叉的路径接触线，如图IOA至IOD所示。将省略与第一实施方式中相同的元件的描述。*制造方法的第三实施方式*图12A到12D是例示了根据第三实施方式的制造触摸板的方法的平面图。除了利用透明电极对第一冗余图案165和第二冗余图案166进一步进行构图(如图12D所示)之外，根据第三实施方式的触摸板的制造方法与前述第一实施方式的图IOA 至IOC中所示的相同。在这种情况下，在相邻第一电极161之间形成第一冗余图案165，使其与第一电极 161交叉，并在相邻第二电极162之间形成第二冗余图案166，使其与第二电极162交叉。将省略与第一实施方式中相同的元件的描述。*制造方法的第四实施方式*图13A到13C是例示了根据本发明的第四实施方式的制造触摸板的方法的截面图。图14A到14C是例示了根据本发明的第四实施方式的制造触摸板的方法的平面图。将详细描述根据本发明的第四实施方式的制造触摸板的方法。首先，制备其中限定了矩阵形式的多个单元的基板100。基板100包括设置有所述单元的有源区A/A以及外围的非显示区，在该非显示区中形成了第一和第二路径线以及焊盘电极。在基板100上沉积金属并选择性地去除该金属，如图13A和14A所示，形成沿第一方向彼此间隔开同时穿过这些单元(见图4中的D)的多个第一桥接图案121，并在非显示区中形成连接到沿第一方向设置的单元的一端的第一路径线141和连接到沿第二方向设置的单元的一端的第二路径线151。此外，在非显示区中形成被划分成η个部分的对应于第一路径线141的一端的第一路径接触线140和被划分成m个部分的对应于第二路径线151 的一端的第二路径接触线150，并且在非显示区的一侧形成焊盘电极145和146，使得它们连接到第一路径线141和第二路径线152的另一端。然后，形成第一绝缘膜136，使得它覆盖第一桥接图案121以及第一路径线141和第二路径线151，然后选择性去除该第一绝缘膜136，并且如图1 及14B所示，形成露出第一桥接图案121的两端的第一接触孔136a，形成露出第一路径接触线140和第二路径接触线150的一端的第二接触孔136b和136d，并形成部分地露出焊盘电极145和146的第三接触孔136c。然后，埋设第一至第三接触孔136a、136b、136d和136c，在第一绝缘膜136上沉积透明电极并选择性地去除该透明电极，如图13C和14C所示，形成沿第一方向设置的第一电极111，使得它们通过第二接触孔136b连接到相邻的第一桥接图案121，形成沿第二方向设置的第二电极112，使得它们与第一电极111间隔开，并且形成连接相邻的两个第二电极112的第二桥接图案114，使得该第二桥接图案114通过第二接触孔136b接触第二路径接触线150的一端。此外，在焊盘电极145上进一步形成由透明电极构成的透明焊盘电极 148，使得它通过第三接触孔136c而连接。如在设备实施方式中所述，在各单元处，沿第二方向设置η (η为2或更大的整数) 个第一电极并沿第一方向设置m(m为2或更大的整数)个第二电极。第四实施方式与第一实施方式的不同之处在于省去了第一透明接触电极122和第二透明接触电极147。*制造方法的第五实施方式*图15A到15C是例示了根据本发明的第五实施方式的制造触摸板的方法的平面图。根据第五实施方式的触摸板的制造方法，形成第一路径接触部181和第二路径接触部182，而不是第四实施方式中的分叉成多个部分的第一路径线140和第二路径线150， 如图15A所示，在第一路径接触部181和第二路径接触部182上形成包括第二接触孔136b 和136d的绝缘膜136，如图15B所示，并对透明电极进行构图，形成通过第二接触孔136b与第一路径接触部181接触的第一连接部117以及通过第二接触孔136d与第二路径接触部 182接触的第二连接部118，如图15C所示。除形成第一连接部117和第二连接部118的处理之外，第五实施方式与第四实施方式相同，并且省略对相同元件的描述。在这种情况下，第一路径线141和第二路径线151在其一端连接到第一路径接触部181和第二路径接触部182，并且第一路径线141和第二路径线151具有由透明电极构成的连接部，与前述第四实施方式相比，这能够减小路径线的长度。此外，第一连接部117和第二连接部118的三角形设置在有源区中，这使得能够检测到第一连接部117和第二连接部118中的触摸。*制造方法的第六实施方式*图16A到16C是例示了根据第六实施方式的制造触摸板的方法的平面图。除利用透明电极对第一冗余图案165和第二冗余图案166进一步进行构图之外 (如图16C所示)，根据第六实施方式的触摸板的制造方法与前述第四实施方式的图13A至 13B中所示的相同。在这种情况下，在相邻第一电极161之间形成第一冗余图案165，使得其与第一电极161交叉，并在相邻第二电极162之间形成第二冗余图案166，使得其与第二电极162交叉。第一电极161以及连接到该第一电极161的第一桥接图案121沿第一方向设置以构成第一传感器，而第二电极162以及连接到该第二电极162的第二桥接图案164沿与第一方向交叉的第二方向设置以构成第二传感器。将省去与第四实施方式中相同的元件的描述。*制造方法的第七实施方式*图17A到17D是例示了根据本发明的第七实施方式的制造触摸板的方法的截面图。图18A到18D是例示了根据本发明的第七实施方式的制造触摸板的方法的平面图。第七实施方式与第一实施方式的不同之处在于在绝缘膜上形成第一桥接图案，而不是在其下方形成，并且在绝缘膜下方形成第一电极和第二电极以及第二桥接图案。下面将示出更详细的描述。在以矩阵形式限定了多个单元的基板100上沉积透明电极，并选择性地去除该透明电极，如图17A所示，形成彼此间隔开预定距离以便沿第一方向和第二方向(第一方向和第二方向彼此交叉)彼此交叉的多个第一电极111和多个第二电极112，并形成以一体形成的形式连接相邻两个第二电极112的第二桥接图案114。然后，形成第一绝缘膜235，使得它覆盖第二桥接图案114以及第一电极111和第二电极112，然后选择性去除该第一绝缘膜235，如图17B所示，形成沿第二方向露出第二电极的两端的第一接触孔23fe。此时，形成第一绝缘膜235，使得它使焊盘区和路径线区开放，并覆盖第二桥接图案114。或者，可以形成第一绝缘膜235，使得其仅覆盖第二桥接图案 114，以便将第一路径线141和第二路径线151直接连接到第一电极111和第二电极112，而不使用任何接触孔。或者，如图17B所示，第一电极111和第二电极112进一步包括第二接触孔以便在最外端还接触路径线。然后，埋设第一接触孔23 ，并且在第一绝缘膜235上沉积金属，并选择性地去除该金属，如图17C和18C所示，形成连接露出了第一绝缘膜的相邻第一电极111的第一桥接图案121，连接到沿第一方向设置的单元的一端的第一路径线141以及连接到沿第二方向设置的单元的一端的第二路径线151。此外，在焊盘区中，形成连接到第一路径线141和第二路径线141的另一端的焊盘电极145和146。此时，第一路径线141和第二路径线151的一端包括第一路径接触线140和第二路径接触线150，该第一路径接触线140和第二路径接触线150从与共用路径线所施加的电信号的单元相邻的第一传感器1100和第二传感器1200分叉出来。在各单元处，沿第二方向设置n(n为2或更大的整数)个第一电极111，并且沿第一方向设置m(m为2或更大的整数)个第二电极112。在包括第一桥接图案121、第一路径线141和第二线151以及焊盘电极145和146的整个表面上形成第二绝缘膜M5，并且如图 17D及18D所示，在焊盘电极145和146上形成第五接触孔245a，以使其露出来。沿一个方向彼此连接的第一电极161和第一桥接图案121构成了第一传感器 1100，而沿另一个方向彼此连接的第二电极162和第二桥接图案164构成了第二传感器 1200。*制造方法的第八实施方式*图19A到19D是例示了根据第八实施方式的制造触摸板的方法的平面图。在根据第八实施方式的触摸板的制造方法中，使用用于透明电极的材料在这些路径区域和单元之间的界面处形成第一连接部217和第二连接部218，而不使用第七实施方式中的多条第一路径线140和第二路径线150，如图19A所示。形成第一绝缘膜235，使得它沿第一方向穿过第二桥接图案114，如图19B所示。然后，如图19C所示，形成通过第一路径接触部281直接接触第一连接部217的第一路径线141以及通过第二路径接触部282直接接触第二连接部218的第二路径线151。在图19D中，像前述第七实施方式一样，通过仅露出焊盘区来形成设置有第五接触孔Mfe的第二绝缘膜对5。在这种情况下，第一路径线141和第二路径线151在其一端连接到第一路径接触部281和第二路径接触部282，并且第一路径线141和第二路径线151具有由透明电极构成的连接部，与前述第七实施方式相比，这能够减小路径线的长度。此外，第一连接部217和第二连接部218的三角形设置在有源区中，这使得能够检测到第一连接部217和第二连接部218中的触摸，由此增大有源区。*制造方法的第九实施方式*图20A到20D是例示了根据第九实施方式的制造触摸板的方法的平面图。除图20A中的步骤中利用透明电极对第一冗余图案165和第二冗余图案166进一步进行构图之外，根据第九实施方式的触摸板的制造方法与前述第七实施方式相同。即，在相邻第一电极161之间形成第一冗余图案165，使得其与第一电极161交叉， 并在相邻第二电极162之间形成第二冗余图案166，使得其与第二电极162交叉。将省略与第七实施方式中相同的元件的描述。
*制造方法的第十实施方式*图21A到21C是例示了根据本发明的第十实施方式的制造触摸板的方法的截面图。图22A到22C是例示了根据本发明的第十实施方式的制造触摸板的方法的平面图。将详细描述根据第十实施方式的制造触摸板的方法。首先，制备其中限定了矩阵形式的多个单元的基板100。基板100包括设置有所述单元的有源区A/A以及其外围的非显示区，在该非显示区中形成了第一和第二路径线以及焊盘电极。在基板100上沉积金属并选择性地去除该金属，如图21A及22A所示，形成彼此间隔开并沿第一方向穿过这些单元的多个第一桥接图案121以及连接到沿第一方向设置的单元的一端的第一路径线141和连接到沿第二方向设置的单元的一端的第二路径线151， 使得第一路径线141和第二路径线151在非显示区中交叉。此外，在非显示区中形成被划分成η个部分的对应于第一路径线141的一端的第一路径接触线140和被划分成m个部分的对应于第二路径线151的一端的第二路径接触线150，并且在非显示区的一侧形成焊盘电极145和146，使得其连接到第一路径线141和第二路径线152的另一端。然后，形成第一绝缘膜335，使得它覆盖第一桥接图案121以及第一路径线141和第二路径线151，然后选择性地去除该第一绝缘膜335，如图21B及22B所示，以使第一绝缘膜33仅在第一桥接图案121、第一路径线141和第二路径线151的部分上保留。在这种情况下，第一绝缘膜335开放以露出焊盘电极145和146。然后，在第一绝缘膜136上沉积透明电极并选择性地去除该透明电极，如图21C和 22C所示，沿第一方向形成第一电极111，使得第一电极从第一桥接图案121的一端延伸到另一第一桥接图案121的另一端，形成沿第二方向设置的第二电极112，使得它们与第一电极111间隔开，并且形成连接相邻的两个第二电极112的第二桥接图案114。此外，还在焊盘区上形成透明焊盘电极148，使得它覆盖焊盘电极145和146。选择性地去除第一绝缘膜335，并对其进行构图以使得仅剩下要形成第一桥接图案121的区域，由此使不产生电短路的所有区域开放。在这种情况下，第一绝缘膜335仅形成在对应于绝缘膜的第一桥接图案12的区域中，以便减少感测区中绝缘膜的使用，由此提高透光率。如上在设备实施方式中所述，在各单元处，沿第二方向设置n(n为2或更大的整数)个第一电极并沿第一方向设置m(m为2或更大的整数)个第二电极。前述第十实施方式与第四实施方式的不同之处在于，仅在第一桥接图案以及第一路径线141和第二路径线151的一部分中选择性地形成第一绝缘膜335。在这种情况下，第一电极111和第二电极112可直接接触第一路径接触线140和第二路径接触线150而不使用第一绝缘膜。*制造方法的第i^一实施方式*图23A到23C是例示了根据本发明的第十一实施方式的制造触摸板的方法的平面图。根据第十一实施方式的触摸板的制造方法，分别形成第一路径接触部181和第二路径接触部182，而不是第十实施方式中的分叉成多个部分的第一路径线140和第二路径线150，如图23A所示，对透明电极进行构图，形成通过第二接触孔136b与第一路径接触部181接触的第一连接部217以及通过第二接触孔136d与第二路径接触部182接触的第二连接部218，如图23C所示。除形成第一连接部217和第二连接部218的处理之外，第十一实施方式与第十实施方式相同，并且省略了相同元件的描述。在这种情况下，第一路径线141和第二路径线151在其一端连接到第一路径接触部181和第二路径接触部182，并且第一路径线141和第二路径线151具有由透明电极构成的连接部，与前述第四实施方式相比，这能够减小路径线的长度。此外，第一连接部217和第二连接部218的三角形设置在有源区中，这使得能够检测到第一连接部217和第二连接部218中的触摸。*制造方法的第十二实施方式*图24A到24C是例示了根据第十二实施方式的制造触摸板的方法的平面图。除将第一冗余图案165和第二冗余图案166进一步构图为透明电极之外(如图 24C所示)，根据第十二实施方式的触摸板的制造方法与前述第十实施方式的图21A至21B 中所示的相同。在这种情况下，在相邻第一电极161之间形成第一冗余图案165，使得其与第一电极161交叉，并在相邻第二电极162之间形成第二冗余图案166，使得其与第二电极162交叉。将省略与第十一实施方式中相同的元件的描述。在前述实施方式中，触摸板的最外层还可以设置有附加绝缘膜，以提高灵敏度和光学效应，或者设置有光学片，以呈现特定的功能。下面将描述触摸板的触摸灵敏度。图25是示出了触摸灵敏度从第一电极和第二电极的中心到第一电极和第二电极之间的中心的变化的图，而图沈是示出了与电极的宽度相对应的感测区域百分比(％)的图。如图25所示，当第一电极111和第二电极112的临界尺寸(对角线长度)分别为 3mm和6mm时，对触摸感测进行测试，同时在从第一电极111的中心到第二电极112的中心的范围内移动手指。从图25中可以看出，当临界尺寸为6mm时，在第一电极和第二电极之间的中心处灵敏度较高(约80% )，而第一电极的中心和第二电极的中心则呈现显著恶化的灵敏度。具体地，在阈值电荷变化设定为电荷的大约20% (AQ)的情况下，当电荷变化等于或大于阈值电荷变化时，认为是“触摸”，否则，认为是“非触摸”。此时，尽管在第一电极的中心和第二电极的中心发生了触摸，但它不能被感测到。在系统中设定阈值电荷变化。当设定值较高时，与前述条件相比，在第一电极的中心和第二电极的中心处触摸感测的恶化严重。另一方面，当第一电极111和第二电极112的临界尺寸为3mm时，第一电极111和第二电极112其中之一处于触摸部分中，因此可以感测到任何部分。手指触摸的一个区域约为5mm，并对包括第一电极111和第二电极112的第一基板 100上被涂敷的厚度为300 μ m的偏振板500执行测试。在图沈和25中的测试中，根据电极尺寸计算感测区域百分比，当第一和第二电极的临界尺寸为3mm时，实现完整的感测，而当第一和第二电极的临界尺寸为6mm时，灵敏度在第一电极的中心处和第二电极的中心处恶化，并且只能在约80%的区域中进行感测。影响触摸灵敏度的因素是触摸前后的电荷的变化。也就是说，在触摸前后的电荷的变化影响触摸灵敏度。这与要被触摸的区域密切相关。更具体地说，随着要被接触的区域增加，第一电极和第二电极的电荷变化和互电容增加。因此，与在各单位单元处设置一个感测电极的常规结构不同，触摸板具有这样结构，其中，单位单元被分成至少四个部分，因此第一电极或第二电极设置在各部分中。因此，当要被触摸的第一电极和第二电极的尺寸减小时，手指触摸的区域至少比常规结构高4 倍。为此，触摸前后的互电容的电荷变化较大，由此增加了触摸灵敏度。此外，如上所述，电极尺寸减小，但各单元处被划分的电极接收信号，而它们通过一条路径线分组成两个或更多个电极，由此消除了增加触摸控制器所提供的信号数量的必要性。此外，该路径线的数量没有增加，由此消除了增大设置在非有源区中的路径线的区域，进而增大边框边缘的必要性。此外，大面板还具有与小型号面板相同的路径条件(信号的数量和所提供的路径线)，并且触摸灵敏度因此可以通过控制单元的划分级别来保证。前述实施方式中描述的触摸板可设置在显示板或显示设备上。该显示板可以选自 (或显示设备可以包括)液晶显示板、有机发光显示板、电泳显示板和等离子体显示板。在这种情况下，触摸板可以与显示板一体形成。显示板的一个基板可以用作形成有第一电极和第二电极的基板。在这种情况下，该基板(用作触摸板基板的基板)对应于显示表面。当显示板的一个基板用作触摸板的基板时，可在触摸板上形成附接到显示板上的偏振板。在这种情况下，如上所述，在根据本发明的触摸板中，可以通过划分单元来提高各区域的触摸灵敏度，由此即使偏振板具有约135 μ m到约270 μ m的足够小的厚度也能够进行触摸感测。在本发明的实施方式中，路径接触线、路径接触部和连接部中的至少一个可被称为连接部件。根据本发明的触摸板及其制造方法具有以下优点。首先，具有预定尺寸以进行电容式感测的常规单位单元被划分成面积小于输入手段所触摸的一个触摸区域的多个电极，并且在各单位单元处执行扫描信号的施加。基于这样的结构，间隔开的相邻电极之间设置的区域和电极中心设置的区域被包括在输入手段的一个触摸部分中而没有增加扫描信号的施加，由此提高了触摸灵敏度。也就是说，当诸如手指的输入手段触摸时，将多个电极划分为各个单位单元导致了相邻电极之间高初始边缘场的生成和电容的巨大变化，由此与在各个单位单元处设置一个感测电极的常规结构相比，呈现出显著提高的触摸灵敏度。第二，触摸灵敏度在形成有电极的区域没有恶化。因此，在各区域中提高了触摸灵敏度的均勻性。第三，即使在多点触摸时也能够通过足够的边缘场获得电容变化，由此防止幻影错误。
第四，尽管在大面板中各单位单元的尺寸增加，并由此单位单元中划分的电极数量增加，但第一方向上的n(n为2或更大的整数)个传感器和第二方向上的m(m是2或更大的整数)个传感器被分组并连接到路径线上。因此，当触摸板应用于大面板时，与一个感测区域中设置一个电极的结构相比，施加扫描信号所需要的路径线的数量是一致的，因此无需额外的路径线，并且消除了增加非显示区的必要性。结果，能够实现窄的边框。第五，不必增加需要偏振板的触摸板的厚度，以便提高灵敏度。因此，可节省成本。 也就是说，即使用最小厚度执行最优功能也能够确保足够的触摸灵敏度。第六，可通过划分单元来提高触摸灵敏度，而不需要修改控制器。也就是说，生成了 4倍或更多倍的边缘场，因此触摸前后的电容的变化较大，由此显著提高了触摸灵敏度， 而不会增加信号的施加。对于本领域技术人员明显的是，可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下对本发明做出各种修改和变型。因此，本发明旨在涵盖落入所附权利要求及其等同物的范围内的本发明的这些修改和变型。
权利要求
1.一种触摸板，该触摸板包括多个第一电极图案，其由多个第一连接图案串联连接；多个第二电极图案，其由多个第二连接图案串联连接；以及多条路径线；其中，所述多个第一电极图案中的至少两个第一电极图案被连接到所述多条路径线中的至少一条路径线。
2.根据权利要求1所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案和所述多条路径线中的至少一条路径线形成在同一层上。
3.根据权利要求1所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案包括从钼(Mo)、铜(Cu)、银(Ag)、铬(Cr)、铝(Al)、铝钕(AlNd)和钼钛(MoTi)中选择出的至少一种金属，或包括含有所述至少一种金属的叠层。
4.一种触摸板，该触摸板包括多个第一电极图案，其由多个第一连接图案串联连接；多个第二电极图案，其由多个第二连接图案串联连接；多条路径线；以及多个连接部，其中，所述多个第一电极图案中的至少两个第一电极图案被连接到所述多个连接部中的一个连接部，并且所述多条路径线中的至少一条路径线被电连接到所述多个连接部中的所述一个连接部。
5.根据权利要求4所述的触摸板，其中所述多个连接部中的所述至少一个连接部是路径接触线。
6.根据权利要求5所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案、所述多条路径线中的至少一条路径线和所述路径接触线形成在同一层上。
7.根据权利要求5所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案、所述多条路径线中的所述至少一条路径线和所述路径接触线由从钼(Mo)、铜(Cu)、 银(Ag)、铬(Cr)、铝(Al)、铝钕(AlNd)和钼钛(MoTi)中选择出的至少一种金属形成，或由包含所述至少一种金属的叠层形成。
8.根据权利要求4所述的触摸板，其中所述多个连接部中的所述至少一个连接部具有被构图的形状。
9.根据权利要求8所述的触摸板，其中所述多个第一电极图案中的至少一个第一电极图案、所述多个第二电极图案中的至少一个第二电极图案和所述多个连接部中的所述至少一个连接部形成在同一层上。
10.根据权利要求8所述的触摸板，其中所述多个第一电极图案中的至少一个第一电极图案、所述多个第二电极图案中的至少一个第二电极图案和所述多个连接部中的所述至少一个连接部由透明材料形成。
11.一种触摸板，该触摸板包括多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；以及至少一个冗余图案，其中，所述第一序列的电极通过所述至少一个冗余图案连接到所述第二序列的电极。
12.根据权利要求11所述的触摸板，其中所述多个第一电极的所述第一序列、所述多个第一电极的所述第二序列和所述至少一个冗余图案形成在同一层上。
13.根据权利要求11所述的触摸板，其中所述多个第一电极的所述第一序列、所述多个第一电极的所述第二序列和所述至少一个冗余图案由透明材料形成。
14.一种触摸板，该触摸板包括多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；多个第二电极序列，其包括由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第三序列和由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第四序列； 至少一个第一冗余图案；以及至少一个第二冗余图案，其中，所述第一序列的电极通过所述至少一个第一冗余图案连接到所述第二序列的电极，并且所述第三序列的电极通过所述至少一个第二冗余图案连接到所述第四序列的电极。
15.根据权利要求14所述的触摸板，其中所述多个第一电极序列、所述多个第二电极序列和所述至少一个第二冗余图案形成在同一层上，并且所述至少一个第一冗余图案形成在不同层上。
16.根据权利要求14所述的触摸板，其中所述多个第一电极序列、所述多个第二电极序列和所述至少一个第二冗余图案由透明材料形成。
17.根据权利要求14所述的触摸板，其中所述至少一个第一冗余图案由从钼(Mo)、铜 (Cu)、银(Ag)、铬(Cr)、铝(Al)、铝钕(AlNd)和钼钛(MoTi)中选择出的至少一种金属形成， 或由包含所述至少一种金属的叠层形成。
18.一种触摸板，该触摸板包括 基板；多个第一电极序列，其包括由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第一序列和由多个第一连接图案串联连接的多个第一电极的第二序列；多个第二电极序列，其包括由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第三序列和由多个第二连接图案串联连接的多个第二电极的第四序列； 至少一个第一冗余图案； 至少一个第二冗余图案； 多条第一路径线； 多条第二路径线； 多个第一连接部；以及多个第二连接部，其中，所述第一序列和所述第二序列被电连接到所述多个第一连接部中的一个第一连接部，所述第三序列和所述第四序列被电连接到所述多个第二连接部中的一个第二连接部， 所述多条第一路径线中的至少一条第一路径线被连接到所述多个第一连接部中的所述一个第一连接部；所述多条第二路径线中的至少一条第二路径线被连接到所述多个第二连接部中的所述一个第二连接部，所述第一序列的电极通过所述至少一个第一冗余图案连接到所述第二序列的电极，并且所述第三序列的电极通过所述至少一个第二冗余图案连接到所述第四序列的电极。
19.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极序列沿第一方向设置，而所述多个第二电极序列沿与所述第一方向交叉的第二方向设置。
20.根据权利要求19所述的触摸板，其中所述至少一个第一冗余图案与所述第一方向上的所述第一序列的所述电极和所述第二序列的所述电极一体形成。
21.根据权利要求19所述的触摸板，其中所述至少一个第二冗余图案与所述第二方向上的所述第三序列的所述电极和所述第四序列的所述电极一体形成。
22.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极中的至少一个第一电极的中部与所述多个第二电极中的至少一个第二电极的中部之间的距离为约0. 5mm到约 5. 5mm。
23.根据权利要求22所述的触摸板，其中所述多个第一电极中的所述至少一个第一电极的中部与所述多个第二电极中的所述至少一个第二电极的中部之间的距离为约Imm到约 3mm。
24.根据权利要求22所述的触摸板，其中彼此相邻的所述多个第一电极中的所述至少一个第一电极与所述多个第二电极中的所述至少一个第二电极之间的距离为约ΙΟμπι到约 30 μ m。
25.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极和所述多个第二电极是透明电极。
26.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极和所述多个第二电极形成在同一层上。
27.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一连接部中的所述一个第一连接部与所述多个第一电极和所述多个第二电极形成在同一层中，并且由与所述多个第一电极和所述多个第二电极相同的材料形成。
28.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极序列包括由所述多个第一连接图案串联连接的所述多个第一电极的η个序列，其中η为大于3的整数，所述多个第二电极序列包括由所述多个第二连接图案串联连接的所述多个第二电极的m个序列，其中m为大于3的整数，所述η个序列被连接到所述多个第一连接部中的所述一个第一连接部，并且所述m个序列被连接到所述多个第二连接部中的所述一个第二连接部。
29.根据权利要求18所述的触摸板，该触摸板还包括多个焊盘电极，所述多个焊盘电极连接到所述多条第一路径线和所述多条第二路径线。
30.根据权利要求25所述的触摸板，其中所述透明电极由从氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌 (IZO)、氧化锑锌(AZO)、ZnO和SnA中选择出的至少一种材料构成，或由上述材料的叠层构成。
31.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案与所述多个第一电极一体形成，或者所述多个第二连接图案中的至少一个第二连接图案与所述多个第二电极一体形成。
32.根据权利要求31所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的所述至少一个第一连接图案或所述多个第二连接图案中的所述至少一个第二连接图案的宽度为约IOym 到约500 μ m。
33.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案或所述多个第二连接图案中的至少一个第二连接图案由金属构成。
34.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一连接图案中的至少一个第一连接图案或所述多个第二连接图案中的至少一个第二连接图案是金属和透明电极的叠层。
35.根据权利要求33所述的触摸板，其中构成所述多个第一连接图案中的所述至少一个第一连接图案或所述多个第二连接图案中的所述至少一个第二连接图案的金属的宽度为约3μπι至Ij约20 μ m。
36.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述第一连接图案中的至少一个第一连接图案或所述第二连接图案中的至少一个第二连接图案包括从钼(Mo)、铜(Cu)、银(Ag)、铬 (Cr)、铝(Al)、铝钕(AlNd)和钼钛(MoTi)中选择出的至少一种金属，或包括含有所述至少一种金属的叠层。
37.根据权利要求33所述的触摸板，该触摸板还包括第一绝缘层，该第一绝缘层位于构成所述多个第一连接图案中的所述至少一个第一连接图案或所述多个第二连接图案中的所述至少一个第二连接图案的所述金属与所述多个第一电极和第二电极之间。
38.根据权利要求37所述的触摸板，其中所述第一绝缘层包括从氮化物层、氧化物层、氮氧化物层(SiNxOy)以及有机材料层中选择出的一种，所述第一绝缘层的厚度为约 0. 1 μ m 1 μ m。
39.根据权利要求37所述的触摸板，其中所述多个第一电极和第二电极形成在所述第一绝缘层上。
40.根据权利要求18所述的触摸板，该触摸板还包括虚设图案，该虚设图案设置在彼此相邻的所述多个第一电极中的至少一个第一电极与所述多个第二电极中的至少一个第二电极之间。
41.根据权利要求40所述的触摸板，其中所述虚设图案的宽度为约IOym到约 240 μ m0
42.根据权利要求41所述的触摸板，其中所述多个第一电极中的所述至少一个第一电极与所述虚设图案之间的距离为约10 μ m到约30 μ m,并且所述多个第二电极中的所述至少一个第二电极与所述虚设图案之间的距离为约10 μ m到约30 μ m。
43.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述多个第一电极中的至少一个第一电极和所述多个第二电极中的至少一个第二电极具有多边形、菱形或圆形的形状。
44.根据权利要求18所述的触摸板，该触摸板还包括位于所述多个第一电极和所述多个第二电极上的第二绝缘层。
45.根据权利要求44所述的触摸板，其中所述第二绝缘层包括从氮化物层、氧化物层、氮氧化物层(SiNxOy)以及有机材料层中选择出的一种，所述第二绝缘层的厚度为约·0. 1 μ m 1 μ m。
46.根据权利要求18所述的触摸板，该触摸板还包括位于所述多个第一电极和所述多个第二电极上的偏光片。
47.根据权利要求46所述的触摸板，其中所述偏光片的厚度为约135μπι到约270μπι。
48.根据权利要求18所述的触摸板，其中在输入手段所触摸的部分中所述多个第一电极中的至少一个第一电极和所述多个第二电极中的至少一个第二电极之间的边缘场所导致的电容变化大于在所述多个第一电极中的所述至少一个第一电极或所述多个第二电极中的所述至少一个第二电极接地时的电容变化。
49.根据权利要求18所述的触摸板，其中所述触摸板位于显示设备上。
50.根据权利要求49所述的触摸板，其中所述触摸板的基板使用了所述显示设备的一个基板。
全文摘要
触摸板及其制造方法。一种触摸板包括多个第一电极图案，其由多个第一连接图案串联连接；多个第二电极图案，其由多个第二连接图案串联连接；以及多条路径线；其中，所述多个第一电极图案中的至少两个被连接到所述多条路径线中的至少一条。
文档编号G06F3/041GK102193669SQ20101019893
公开日2011年9月21日 申请日期2010年6月4日 优先权日2010年3月16日
发明者安秀昌, 郑江燮, 金哲世, 黄相守 申请人:乐金显示有限公司