一种调节调节阀角度的旋转计数器的制造方法

文档序号:6648596阅读:310来源:国知局
一种调节调节阀角度的旋转计数器的制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种调节调节阀角度的旋转计数器,其包括定子、转子,转子位于定子的上方;定子和转子的中心均通孔;定子的内部设有线圈和电源,定子的侧面设有第一固定螺丝;转子下端的转轴镶嵌在定子的中心通孔内,并且转子与定子转动连接;转轴上还设有与线圈滑动连接的指针;转子的顶部装有电流计,转子的侧面设有第二固定螺丝;电源、线圈、指针、电流计串联连接构成回路。本实用新型的有益效果是:使得调节阀的调节精确可控,提高工作效率以及半导体设备相关参数的稳定性。精确地参照量化了旋转调节的角度,为参数匹配提供了方便。同时,不需要对原有的调节阀进行改进,只需本实用新型套在调节阀上就可以使用,节约了设备的改造成本。
【专利说明】一种调节调节阀角度的旋转计数器

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种调节调节阀角度的旋转计数器。

【背景技术】
[0002]调节阀(Regulator)用于调节半导体设备中相关单元的气体和液体的流量或压力,以及电位等参数。
[0003]其中有部分调节阀(尤其是旋转行程超过360度的),并没有集成指针和刻度,其调节缺乏直接参照,而只能通过对相关参数的检测来反复验证。例如SMC的速度控制阀AS系列(AS1201FM-M5-04)等。
[0004]因为调整缺乏直接参照,对这些调节阀的调节而只能通过对相关参数的检测来反复验证,费时费力,而且由于测量误差等原因,验证也无法保证精确,从而影响半导体设备相关参数的稳定性。
[0005]尤其在需要临时调节并复原的情况下,大部分的时间都用于验证参数是否恢复到基准点,机台将损失额外的正常运行时间。
实用新型内容
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种调节调节阀角度的旋转计数器,解决现有技术的不足。
[0007]本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下:一种调节调节阀角度的旋转计数器,其包括定子、转子,转子位于定子的上方;定子和转子的中心均设有用于套在调节阀上的通孔;定子的内部设有线圈和电源,定子的侧面设有用于固定调节阀底座的第一固定螺丝;转子下端的转轴镶嵌在定子的中心通孔内,并且转子与定子转动连接;线圈环绕在转轴的外侧,转轴上还设有与线圈滑动连接的指针;转子的顶部装有电流计,转子的侧面设有用于固定调节阀旋钮的第二固定螺丝;电源、线圈、指针、电流计串联连接构成回路。
[0008]本实用新型的有益效果是:使得调节阀的调节精确可控,提高工作效率以及半导体设备相关参数的稳定性。精确地参照量化了旋转调节的角度,为参数匹配提供了方便。同时,不需要对原有的调节阀进行改进,只需本实用新型套在调节阀上就可以使用,节约了设备的改造成本。

【专利附图】

【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图;
[0010]图2为本实用新型套在调节阀上的结构示意图;
[0011]图3为本实用新型电路部分的等效电路图。

【具体实施方式】
[0012]以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本实用新型,并非用于限定本实用新型的范围。
[0013]如图1、图2、图3所示,一种调节调节阀角度的旋转计数器,其包括定子1、转子2,转子2位于定子I的上方;定子I和转子2的中心均设有用于套在调节阀上的通孔;定子I的内部设有线圈3和电源4,定子I的侧面设有用于固定调节阀底座9.1的第一固定螺丝5 ;转子2下端的转轴2.1镶嵌在定子I的中心通孔内,并且转子2与定子I转动连接;线圈3环绕在转轴2.1的外侧,转轴2.1上还设有与线圈3滑动连接的指针6 ;转子2的顶部装有电流计7,转子2的侧面设有用于固定调节阀旋钮9.2的第二固定螺丝8 ;电源4、线圈3、指针6、电流计7串联连接构成回路。其中线圈3、指针6、转轴2.1组成一个类似螺旋电位器的结构。调节阀在旋转时(即调节阀的调节阀旋钮9.2转动时),将带动指针6在线圈3上滑动,改变了整个回路的电阻值,并将相应改变的电流值显示在电流计7上,电流计7可通过设置,使其直观显示转动角度值。
[0014]优选:定子I和转子2均采用绝缘材料制成。
[0015]优选:第一固定螺丝5设为两个,两个第一固定螺丝5对称设置在定子I侧面上。这样有利于固定在调节阀上。
[0016]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种调节调节阀角度的旋转计数器,其特征在于:包括定子(I)、转子(2),所述转子(2)位于所述定子(I)的上方;所述定子(I)和转子(2)的中心均设有用于套在调节阀上的通孔;所述定子(I)的内部设有线圈(3)和电源(4),所述定子(I)的侧面设有用于固定调节阀底座的第一固定螺丝(5);所述转子(2)下端的转轴(2.1)镶嵌在所述定子(I)的中心通孔内,并且所述转子(2)与所述定子(I)转动连接;所述线圈(3)环绕在所述转轴(2.1)的外侧,所述转轴(2.1)上还设有与所述线圈(3)滑动连接的指针(6);所述转子(2)的顶部装有电流计(7),所述转子(2)的侧面设有用于固定调节阀旋钮的第二固定螺丝(8);所述电源(4)、线圈(3)、指针(6)、电流计(7)串联连接构成回路。
2.根据权利要求1所述一种调节调节阀角度的旋转计数器,其特征在于:所述定子(I)和转子(2)均采用绝缘材料制成。
3.根据权利要求1或2所述一种调节调节阀角度的旋转计数器,其特征在于:所述第一固定螺丝(5)设为两个,两个所述第一固定螺丝(5)对称设置在所述定子(I)侧面上。
【文档编号】G06M1/04GK204204014SQ201420757690
【公开日】2015年3月11日 申请日期:2014年12月4日 优先权日:2014年12月4日
【发明者】詹云 申请人:武汉新芯集成电路制造有限公司
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