炉管工艺的派工控制方法与流程

本发明涉及一种长时间批次处理工艺的派工控制方法，且尤其涉及一种炉管工艺的派工控制方法。

背景技术：

在半导体工艺中，炉管设备(Furnace equipment)为长时间且多批次的生产设备。若炉管设备的单次工艺的批量(Batch size)无法满足所述炉管设备的最大产量，则会造成所述炉管设备的产能损失。因此，在半导体工艺中，炉管设备的派工控制方法扮演相当重要的角色。

以半导体代工厂为例，同一世代下有许多不同客户的产品。而所述产品因为设计不同，其炉管条件也随之改变，以符合各产品的设计需求。因此，为了因应不同的炉管条件，更增加炉管设备的派工上的困难。在产品和炉管条件的组合下，如何满足炉管设备的最大产量，以避免造成炉管设备产能的损失将成为重要的一门课题。

技术实现要素：

本发明提供一种炉管工艺的派工控制方法，其可满足炉管设备的最大产量，且避免造成炉管设备产能的损失。

本发明提供一种炉管工艺的派工控制方法，包括下列步骤。决定有效派工区间。有效派工区间定义为炉管到炉管的前N站设备之间，其中N为大于0的整数。决定进入炉管的批次形成站点。当多个批货进入炉管的前N站设备时，依照批货的第一批货的优先权进行派工。第一批货具有最高优先权以及第一炉管条件。于有效派工区间中，搜索具有第一炉管条件(recipe)的第二批货。提高第二批货的优先权，使得第二批货与第一批货在批次形成站点时为同一批次。当第一批货进入批次形成站点时，于批次形成站点进行派工。

在本发明的一实施例中，决定上述有效派工区间的方法包括依据炉管的 产能与生产时间来决定炉管的前N站设备的N值。

在本发明的一实施例中，决定进入炉管的批次形成站点的方法如下。当第一批货进入炉管之前有等待时间(Q-time)限制，则批次形成站点为炉管的前一站。

在本发明的一实施例中，决定进入炉管的批次形成站点的方法如下。当第一批货进入炉管之前没有等待时间限制，则批次形成站点为炉管当站。

在本发明的一实施例中，于上述有效派工区间中未搜索到具有第一炉管条件的第二批货时，还包括以下步骤。在炉管的前N+1站设备中搜索具有第一炉管条件的第三批货。提高第三批货的优先权，使得第三批货与第一批货在批次形成站点时为同一批次。

在本发明的一实施例中，当第一批货进入批次形成站点时，于批次形成站点进行派工的步骤如下。确认可生产的炉管设备。依照批货清单进行排序并确认各批货的炉管条件。依照批货清单中的第一批货的优先权进行派工。当批货清单中的具有第一炉管条件的批货满足炉管的批量，则于批次形成站点开始派工，且进行生产。

在本发明的一实施例中，当第一批货进入批次形成站点时，于批次形成站点进行派工的步骤如下。确认可生产的炉管设备。依照批货清单进行排序并确认各批货的炉管条件。依照批货清单中的第一批货的优先权进行派工。当批货清单中的具有第一炉管条件的批货无法满足炉管的批量，则于批次形成站点之前搜索具有第一炉管条件的第四批货。提高第四批货的优先权。

在本发明的一实施例中，在提高第四批货的优先权之后，还包括判断加速第四批货到批次形成站点的时间是否符合第一批货的工艺时间，以决定是否等待第四批货到批次形成站点。

在本发明的一实施例中，其中批货清单中的具有第一炉管条件的批货无法满足炉管的批量包括批货清单中的具有第一炉管条件的批货大于或小于炉管的批量。

在本发明的一实施例中，当批货清单中的具有第一炉管条件的批货大于炉管的批量，则将批货进行分割。

基于上述，在有效派工区间中，本发明可搜索具有第一炉管条件的第二批货以及第三批货，并提高其优先权，使得第二批货、第三批货以及第一批货在批次形成站点时为同一批次，以同时进入炉管中。因此，本发明便可满 足炉管设备的最大产量，且避免造成炉管设备产能的损失，进而提升整体产能。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1为本发明一实施例的炉管工艺的派工控制方法的流程图。

图2为图1的步骤S200的流程图。

图3为图1的步骤S300的流程图。

图4为图1的步骤S400的流程图。

【附图符号说明】

S100、S200、S201～S203、S300、S301～S306、S400、S401～S408：步骤

具体实施方式

图1为本发明一实施例的炉管工艺的派工控制方法的流程图。图2为图1的步骤S200的流程图。图3为图1的步骤S300的流程图。图4为图1的步骤S400的流程图。

请参照图1，本实施例的炉管工艺的派工控制方法包括下列步骤。首先，进行步骤S100，决定有效派工区间。所述有效派工区间可定义为炉管到炉管的前N站设备之间，其中N为大于0的整数。举例来说，当N值为3，所述有效派工区间则是从炉管到炉管的前3站设备算起，也就是总共3站设备的区间。在一实施例中，上述炉管的前N站设备中的N值可依据炉管的产能与生产时间以及前N站设备的各设备的产能与生产时间来决定。具体地说，当炉管的产能与生产时间以及前N站设备的各设备的产能与生产时间较满，则N值较小。反之，当炉管的产能与生产时间以及前N站设备的各设备的产能与生产时间较空，则N值较大。所述N值可以依据即时设备的产能与生产时间情况来进行调整，本发明不以此为限。另外，在半导体工艺中，在进入炉管设备之前，批货通常必须先移除残余的微粒，即进行清洗动作。因此，在一实施例中，炉管的前N站设备可例如是清洗设备，但本发明不限于此。

接着，进行步骤S200，决定进入炉管的批次形成站点。详细地说，当 多个批货欲进入炉管之前，须将所述批货进行分组与排序，从而得到多个批次，以进入炉管。在本实施例中，所述批次形成站点可视为进行上述动作的站点。而所述批次形成站点可依据不同情况而有所不同。具体而言，请同时参照图1与图2，先进行步骤S201，确认所述批货在进入炉管之前是否有等待时间(Q-time)限制。若所述批货没有等待时间限制，则进行步骤S202，以炉管当站为批次形成站点。反之，若所述批货有等待时间限制，则进行步骤S203，以炉管的前一站为批次形成站点。本实施例可藉由上述步骤S201～S203避免因为等待时间限制而导致晶片报废的问题，或是避免因为超过等待时间而使得所述批货必须重制，进而浪费工艺成本。

请再回到图1，进行步骤S300，当多个批货进入炉管的前N站设备时，进行加速优先权的逻辑判断。详细地说，请同时参照图1与图3，先进行步骤S301，当多个批货进入炉管的前N站设备时，依照所述批货的第一批货的优先权进行派工。第一批货具有最高优先权。所谓优先权可例如是判断每一批货是否为特急批货(Super Hot Lot)、急批货(Hot Lot)、相应每一批货的阶段目标(Stage Target)等各种不同状况。依据上述状况可分别定义一权值，且每一批货具有一加总权值，用以进行优先权的排序。在本实施例中，所述第一批货可例如是特急批货。

之后，进行步骤S302，确认第一批货的炉管条件(以下简称为第一炉管条件)和所述炉管的可生产的批量。然后，进行步骤S303，确认在有效派工区间中是否有具有第一炉管条件的第二批货。若有，则进行步骤S304，提高第二批货的优先权，使得第二批货与第一批货在批次形成站点时为同一批次，以同时进入炉管。反之，则进行步骤S305，确认在炉管的前N+1站设备中是否有具有第一炉管条件的第三批货。若有，则进行步骤S306，提高第三批货的优先权，使得第三批货与第一批货在批次形成站点时为同一批次，以同时进入炉管。在一实施例中，第二批货与第三批货可例如是一个或多个批货。

值得一提的是，本发明可藉由步骤S300搜索具有第一炉管条件的第二批货以及第三批货，并提高其优先权，以满足炉管设备的最大产量，且避免造成炉管设备产能的损失，进而提升整体产能。

请再回到图1，进行步骤S400，当上述批货进入批次形成站点时，于批次形成站点进行派工。详细地说，请同时参照图1与图4，先进行步骤S401， 确认可生产的炉管设备。然后，进行步骤S402，依照批货清单进行排序并确认各批货的炉管条件。之后，进行步骤S403，依照批货清单中的第一批货的优先权进行派工。接着，在批货清单中搜索具有第一炉管条件的批货。然后，进行步骤S404，确认具有第一炉管条件的批货是否满足炉管的批量。所谓确认具有第一炉管条件的批货是否满足炉管的批量可例如是确认具有第一炉管条件的批货是否等于炉管的批量。举例来说，当可生产的炉管的批量为100批货，具有第一炉管条件的批货再加上第一批货的数量亦为100批货时，则可视为满足炉管的批量。反之，则可视为无法满足。若满足炉管的批量，则进行步骤S406，于批次形成站点开始派工，且进行生产。

在一实施例中，无法满足的情况分成两种。其一，是指具有第一炉管条件的批货小于炉管的批量。此时进行步骤S405，于批次形成站点之前搜索具有第一炉管条件的第四批货。接着，提高第四批货的优先权。其二，则是指具有第一炉管条件的批货大于炉管的批量。此时则可将所述批货进行分割，以符合炉管单次工艺可处理的最多批货数量。

在进行步骤S405(提高第四批货的优先权)之后，可进行步骤S407，判断加速第四批货到批次形成站点的时间是否符合第一批货的工艺时间。此步骤S407可进一步减少炉管设备产能的损失，进而提升整体产能。若是加速第四批货到批次形成站点的时间不符合第一批货的工艺时间，则不需要等待第四批货，而直接进行步骤S406。反之，若是加速第四批货到批次形成站点的时间符合第一批货的工艺时间，则进行步骤S408，等待第四批货到批次形成站点之后，再开始派工，且进行生产。

综上所述，在有效派工区间中，本发明可搜索具有第一炉管条件的第二批货以及第三批货，并提高其优先权，使得第二批货、第三批货以及第一批货在批次形成站点时为同一批次，以同时进入炉管中。因此，本发明便可满足炉管设备的最大产量，且避免造成炉管设备产能的损失，进而提升整体产能。

虽然本发明已以实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，应可作些许的修改与润饰，故本发明的保护范围当视后附的权利要求的限定为准。