一种触摸显示屏的TFT基板及其制作方法、触摸显示屏与流程

本发明涉及一种触摸屏技术，特别是一种基于混合内嵌式触控的触摸显示屏的TFT基板及其制作方法、触摸显示屏。

背景技术：

目前，Hybrid Incell Touch(混合内嵌式触控)技术是指在TFT基板上利用Com-ITO(公共电极层)形成Tx图形，在CF基板利用背镀ITO形成Rx图形的一种触控技术。目前使用的Hybrid Incell Touch架构在TFT基板上使用类似于GOA的驱动电路驱动Tx逐行扫描；在CF基板上用背镀ITO并通过曝光、显影、刻蚀制程形成Rx图形，通过检测Tx与Rx间电容的变化来确定触控的位置；同时在CF基板连接触控用的柔性线路板(FPC)，使触控的Rx信号与触控芯片的Rx驱动单元连通。在CF基板背镀ITO形成Rx图形的制程需要在中段成盒(Cell)后实施，所以会有破片造成良率损失的风险；同时中段成盒后不能经历高温制程，CF基板背镀ITO阻抗无法做的很低，这样会影响触摸显示屏的性能。CF基板连接触控用的柔性线路板(FPC)还会额外增加一道工序，增加成本的同时也增加了制程风险。

技术实现要素：

为克服现有技术的不足，本发明提供一种触摸显示屏的TFT基板及其制作方法、触摸显示屏，从而实现在TFT基板上制作Rx电极，降低良率损失，提升触控性能，而且也减少了工序。

本发明提供了一种触摸显示屏的TFT基板，包括TFT基板，所述TFT基板上形成有经柔性线路板与触控芯片的Tx驱动单元连接的Tx电极，所述Tx电极上形成有一层绝缘层，在绝缘层上形成图形化的金属层作为Rx电极，所述Rx电极通过柔性线路板与触控芯片的Rx驱动单元连接。

进一步地，所述Rx电极设置在与TFT基板的数据线位置相对应处。

进一步地，所述绝缘层为氮化硅材料制成。

本发明还提供了一种触摸显示屏的TFT基板的制作方法，包括如下步骤：

步骤一、在具有Tx电极的TFT基板上形成一层绝缘层；

步骤二、在绝缘层上形成一层金属层，将金属层图形化后形成Rx电极；

步骤三、将Rx电极通过柔性线路板与触控芯片的Rx驱动单元连接，同时将Tx电极通过柔性线路板与触控芯片的Tx驱动单元连接。

进一步地，所述Rx电极设置在与TFT基板的数据线位置相对应处。

进一步地，所述绝缘层为氮化硅材料。

本发明还提供了一种触摸屏，还包括所述的触摸显示屏的TFT基板。

本发明与现有技术相比，在TFT基板上增加一层金属层作为触控的Rx电极，这样不需要再在CF基板做背镀ITO的图形，可以降低良率损失，提升触控性能；同时由于Rx图形也做在TFT基板上，就不需要在CF基板上额外接柔性线路板；实现在TFT基板上同时将Tx、Rx电极与触控芯片相连接，制作一次柔性线路板连接即可完成触控与显示的连接，达到减少工序的目的。

附图说明

图1是本发明的Tx电极与Rx电极间形成的电场的示意图。

图2是本发明的俯视图。

图3是本发明剖面图。

图4是本发明的制作方法流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。

如图1、图2和图3所示，本发明的一种触控显示屏的TFT基板，包括TFT基板1，所述TFT基板1上形成有经柔性线路板与触控芯片的Tx驱动单元连接的Tx电极2，所述Tx电极2上形成有一层绝缘层4，在绝缘层4上形成图形化的金属层3，所述金属层3作为Rx电极3，所述Rx电极3通过柔性线路板与触控芯片的Rx驱动单元连接，所述Tx电极2由TFT基板的公共电极层(Com ITO)形成。

本发明通过在TFT基板上增加一层M3(Metal 3)金属层3，用其作为Rx信号线，代替CF基板上的背镀ITO(透明导电膜)。这样设计的好处在于，不需要再在CF基板上进行ITO镀膜、光罩、刻蚀工艺，减小了良率损失的风险；由于Rx电极也做在了TFT基板上，可以通过TFT基板的柔性线路板同时将Tx电极、Rx电极与触控芯片的Tx驱动单元、Rx驱动单元相连接，不需要再在CF基板上连接触控用的柔性线路板(FPC)，减少了工序的同时降低了良率损失的风险。

优选地，Rx电极3设置在与TFT基板1的数据线5位置相对应处，使得Rx电极3与扫描线7也交叉设置，在TFT基板的数据线的位置上设置Rx电极，这样不会影响到像素的开口率。

本发明中还可以将触控与显示用的柔性线路板集成在一起，使得触控与显示公用一条柔性线路板。

如图1所示，将Rx电极也设置在TFT基板上，其Tx电极与Rx电极间形成的电场因此并没有受到影响，与CF基板6组装后，电场还是能够覆盖到CF基板6处。

如图4所示，本发明的一种触摸显示屏的TFT基板的制作方法，包括如下步骤：

步骤一S1、在具有Tx电极2的TFT基板1上形成一层绝缘层4；所述具有Tx电极2的TFT基板1采用现有的用于触摸显示屏的TFT基板的制作方法得到，在此不做具体限定；所述绝缘层4可采用现有技术的化学气相沉积工艺得到；

步骤二S2、在绝缘层4上形成一层金属层3，将金属层3图形化后形成Rx电极；所述金属层3可采用物理气相沉积工艺形成，金属层3图形化可采用光罩、刻蚀等现有工艺制作形成，在此不做具体限定。

步骤三S3、将Rx电极通过柔性线路板与触控芯片的Rx驱动单元连接，同时将Tx电极通过柔性线路板与触控芯片的Tx驱动单元连接，实现在TFT基板上同时将Tx、Rx电极与触控芯片相连接，减少了工序。

所述Rx电极3设置在与TFT基板1的数据线5位置相对应处。

本发明中绝缘层4采用氮化硅材料。

本发明还提供了一种触摸显示屏，包括触摸显示屏的TFT基板，其适用于混合内嵌式触控的触摸显示屏，由于结构与上述的触摸显示屏的TFT基板，在此不再赘述。

虽然已经参照特定实施例示出并描述了本发明，但是本领域的技术人员将理解：在不脱离由权利要求及其等同物限定的本发明的精神和范围的情况下，可在此进行形式和细节上的各种变化。