一种实现单层透明导电ITO膜互容的触摸屏的制作方法

一种实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏
技术领域
1.本实用新型涉及触摸屏技术领域，具体涉及一种实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏。


背景技术：

2.传统双层透明导电ito膜触控方案：通过两层透明导电ito膜，中间一层cop基材结构制备电容触控传感器。
3.双层透明导电ito膜用于制备触摸屏传感器时厚度较大，需要采用双面材料，双面湿线蚀刻工艺完成制备时所需材料成本高，制备工艺多。


技术实现要素：

4.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：
6.一种实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏，包括透明基材、一层设置在透明基材上的透明导电层，以及覆盖在透明导电层上的超薄的内部绝缘层；所述透明导电层包括：
7.第一电路，沿横向连续设置；
8.第二电路，以第一电路为间隔沿纵向分段设置，并被分成多个导电膜段；每个导电膜段处的内部绝缘层上设置有通孔，所述通孔的中心线倾斜设置；
9.所述触摸屏还包括横跨两个相邻导电膜段之间的内部绝缘层并穿过通孔连接这两个相邻导电膜段的ito导电桥。
10.进一步地，所述通孔的中心线与透明导电层所在平面所成坡度夹角最小为30
°
；该夹角越小越好，目前制程条件下，该夹角最小为30
°
。
11.进一步地，所述通孔的中心线与透明导电层所在平面所成坡度夹角为30
°
～60
°
；该夹角在30
°
～60
°
时，基本能够保证ito膜成功镀膜。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果是：
13.针对双层透明导电ito膜的不足，通过单层透明导电ito膜采用架桥方式实现了触摸屏的互容功能，减薄了产品厚度，减少了材料成本，只需要单面湿线蚀刻工艺即可实现。
附图说明
14.图1为本实用新型的侧面剖视图一；
15.图2为本实用新型桥墩处台阶的结构示意图；
16.图3为本实用新型桥墩楔形部的示意图。
具体实施方式
17.下面结合附图对本实用新型的一种优选实施方式作详细的说明。
18.互电容屏是在玻璃表面用ito制作横向电路与纵向电路，它与自电容屏的区别在于，两组电路交叉的地方将会形成电容，也即这两组电路分别构成了电容的两极。当手指触摸到电容屏时，影响了触摸点附近两个电路之间的耦合，从而改变了这两个电路之间的电容量。检测互电容大小时，横向的电路依次发出激励信号，纵向的所有电路同时接收信号，这样可以得到所有横向和纵向电路交汇点的电容值大小，即整个触摸屏的二维平面的电容大小。根据触摸屏二维电容变化量数据，可以计算出每一个触摸点的坐标。因此，屏上即使有多个触摸点，也能计算出每个触摸点的真实坐标。
19.如图1所示，触控屏包括依次叠置的透明基材10、透明导电层、超薄的内部绝缘层13、外部绝缘层15、ito导电桥14，透明导电层即透明导电ito膜。
20.透明导电层包括横向连续设置的第一电路11以及纵向间断设置的第二电路12，第二电路12被第一电路11分割为导电膜段121，也可以说，每两个相邻的导电膜段121之间存在一个第一电路11；第一电路11和第二电路12组成透明导电图形线路。
21.触控屏还包括位于内部绝缘层13和外部绝缘层15之间的ito导电桥14，每个导电膜段121在内部绝缘层13上对应一个通孔131，两个相邻通孔131之间的内部绝缘层13形成桥墩，ito导电桥14横跨桥墩且两端分别穿过通孔131与导电膜段121连接，使各导电膜段121串联，通过此架桥能够实现单层透明导电层上透明导电图形线路的互容。
22.具体实现方案：在透明基材10上磁控溅射形成单层的透明导电ito膜，在单层透明导电ito膜上蚀刻出透明导电图形线路，在单层的透明导电ito膜上铺设内部绝缘层13，在内部绝缘层13开通孔131形成桥墩结构，然后通过镀膜技术在内部绝缘层13上镀上一层ito膜，经过湿线制程蚀刻出ito导电桥，连接两个相邻的导电膜段121。
23.如图2、3所示，内部绝缘层13上镀ito膜时，由于内部绝缘层13具有一定的厚度，桥墩状结构相当于台阶a，ito膜镀膜时容易断裂；ito导电桥进入通孔131的坡度要平缓，越平缓越有利于镀膜成功。故通孔131向外倾斜设置，这里的“外”是相对第一电路11来说的，靠近第一电路11为“内”，远离第一电路11为“外”。
24.通孔131倾斜设置后，在内部绝缘层13的两端处形成桥墩楔形部；一般来说，内部绝缘层13越薄，桥墩楔形部的高度越低，经过低曝光能量低显影制程条件优化形成的桥墩楔形部的楔形角越小，越有利于ito膜镀膜成功，目前制程条件能够得到的最小楔形角α为30
°
，随着该工艺的进度，楔形角可能会进一步降低。一般来说，α不能超过60
°
，才能够基本保证ito膜镀膜成功。
25.在内部绝缘层13上开孔时形成低角度坡度并避免ito膜镀膜时断层，是实现ito导电桥关键，进而通过ito导电桥实现单层透明导电ito膜上透明导电图形线路的互容。
26.本实施例中，透明基材10选用cop基材。
27.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
28.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包
含一个独立技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为了清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。


技术特征：
1.一种实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏，包括透明基材、一层设置在透明基材上的透明导电层，以及覆盖在透明导电层上的内部绝缘层；其特征在于：所述透明导电层包括：第一电路，沿横向连续设置；第二电路，以第一电路为间隔沿纵向分段设置，并被分成多个导电膜段；每个导电膜段处的内部绝缘层上设置有通孔，所述通孔的中心线向外倾斜设置；所述触摸屏还包括横跨两个相邻导电膜段之间的内部绝缘层并穿过通孔连接这两个相邻导电膜段的ito导电桥。2.根据权利要求1所述的实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏，其特征在于：所述通孔的中心线与透明导电层所在平面所成坡度夹角最小为30
°
。3.根据权利要求1或2所述的实现单层透明导电ito膜互容的触摸屏，其特征在于：所述通孔的中心线与透明导电层所在平面所成坡度夹角为30
°
～60
°
。

技术总结
本实用新型涉及触摸屏技术领域，公开了一种实现单层透明导电ITO膜互容的触摸屏，包括透明基材、设置在透明基材上的透明导电层，以及覆盖在透明导电层上的内部绝缘层；所述透明导电层包括：第一电路，沿横向连续设置；第二电路，以第一电路为间隔沿纵向分段设置，并被分成多个导电膜段；每个导电膜段处的内部绝缘层处设置有通孔，所述通孔的中心线倾斜设置；所述触摸屏还包括横跨两个相邻导电膜段之间的内部绝缘层并穿过通孔连接这两个相邻导电膜段的ITO导电桥；通过单层透明导电ITO膜采用架桥方式实现了触摸屏的互容功能，减薄了产品厚度，减少了材料成本，只需要单面湿线蚀刻工艺即可实现。即可实现。即可实现。


技术研发人员：杨光 陈庆中
受保护的技术使用者：安徽精卓光显技术有限责任公司
技术研发日：2021.06.25
技术公布日：2022/1/28