触摸屏幕的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及触摸屏幕。
【背景技术】
[0002]触摸面板是检测利用手指等的触摸，来确定被触摸的位置的位置坐标的装置。触摸面板作为优良的用户接口单元之一而受到瞩目。电阻膜方式、静电电容方式等各种方式的触摸面板被产品化。
[0003]一般地，触摸面板包括内置触摸传感器的触摸屏幕、和根据来自触摸屏幕的信号来确定被触摸的位置坐标的检测装置。
[0004]作为静电电容方式的触摸面板之一，有投射型静电电容(Projected Capacitive)方式的触摸面板(例如参照专利文献I)。
[0005]投射型静电电容方式的触摸面板在即使用厚度是几_左右的玻璃板等保护板覆盖了内置触摸传感器的触摸屏幕的前表面侧的情况下，也能够检测触摸。
[0006]该方式的触摸面板因为能够在前表面配置保护板，所以牢固性优良。另外，即使在戴上了手套时，也能够检测触摸。另外，由于不具有可动部，所以寿命长。
[0007]投射型静电电容方式的触摸面板一般具备构成第I电极的在行方向上延伸地设置的多个行方向布线、和构成第2电极的在列方向上延伸地设置的多个列方向布线。通过检测行方向布线与列方向布线之间的电场变化、即行方向布线与列方向布线的布线间电容(以下简称为布线间电容)的变化，确定被触摸的位置坐标。该检测方式一般被称为互电容检测方式(例如参照专利文献2)。
[0008]另外，在将触摸屏幕安装于显示装置的情况下，通过触摸屏幕中具备的行方向布线以及列方向布线，覆盖显示装置的显示区段。根据布线的配置，显示光的透射变得不均匀、或者外部光的反射率变得不均匀，所以有时发生斑纹(moire)现象、或者布线被视觉辨认等。为了对用户提供高质量的影像，更优选为布线不易被视觉辨认等、难以使用户感觉到触摸屏幕的存在的触摸屏幕。
[0009]现有技术文献
[0010]专利文献
[0011]专利文献1:日本特开2012-103761号公报
[0012]专利文献2:日本特表2003-526831号公报
【发明内容】
[0013]发明所要解决的技术问题
[0014]上述投射型静电电容方式的触摸面板存在如下问题，即在第I电极和第2电极的电场耦合大的情况下，在用手指等指示体触摸了时，不易产生布线间电容的变化，无法增大检测灵敏度。如果减小检测灵敏度，则易于引起误检测。
[0015]本发明是为了解决以上的课题而完成的，其目的在于提供一种行方向布线与列方向布线之间的布线间电容小、并且通过指示体进行了触摸时的布线间电容的变化大的触摸屏幕。另外，次要目的在于提供一种提高了视觉辨认性的触摸屏幕。
[0016]解决技术问题的技术方案
[0017]本发明的触摸屏幕被由包括行方向布线和列方向布线的上下两层构成的网眼状的布线图案覆盖，其特征在于，行方向布线由第I部分、和布线宽度比该第I部分的布线宽度小的第2部分构成，列方向布线的布线宽度小于行方向布线的所述第2部分的行方向的长度，行方向布线和列方向布线在行方向布线的所述第2部分交叉，在行方向布线和列方向布线的交叉部分，在行方向布线与方向布线之间在俯视时形成间隙，还具备在俯视时填补该间隙的浮置布线，浮置布线形成于与行方向布线或者列方向布线相同的层，浮置布线与行方向布线以及列方向布线绝缘。
[0018]发明效果
[0019]根据本发明，通过设置浮置布线，不会降低视觉辨认性，而能够在行方向布线与列方向布线之间按照浮置布线的宽度设置间隔。因此，通过设置浮置布线，能够降低行方向布线与列方向布线之间的布线间电容。另外，进而，能够增大触摸了触摸屏幕时的布线间电容的变化量。因此，相比于未设置浮置布线的情况，能够提高触摸检测灵敏度。
[0020]本发明的目的、特征、方面、以及优点通过以下的详细说明和附图将更加明晰。
【附图说明】
[0021]图1是实施方式I的触摸屏幕的立体图。
[0022]图2是实施方式I的触摸屏幕的俯视图。
[0023]图3是实施方式I的触摸屏幕的下部电极的俯视图。
[0024]图4是图3中的区域A的放大图。
[0025]图5是实施方式I的触摸屏幕的上部电极的俯视图。
[0026]图6是实施方式I的触摸屏幕的下部电极以及上部电极的俯视图。
[0027]图7是示出检测灵敏度和浮置布线宽度的关系的图。
[0028]图8是不具备浮置布线的触摸屏幕的下部电极以及上部电极的俯视图。
[0029]图9是示出最佳浮置布线宽度和透明基板的厚度的关系的图。
[0030]图10是示出浮置布线的断线部和布线间电容的相对值的关系的图。
[0031]图11是实施方式2的触摸屏幕的下部电极的俯视图。
[0032]图12是图11中的区域B的放大图。
[0033]图13是实施方式2的触摸屏幕的上部电极的俯视图。
[0034]图14是图13中的区域C的放大图。
[0035]图15是实施方式2的触摸屏幕的下部电极以及上部电极的俯视图。
[0036]图16是示出实施方式3的触摸屏幕中的布线的单位图案的图。
[0037]图17是实施方式3的触摸屏幕的下部电极的俯视图。
[0038]图18是图17中的区域D的放大图。
[0039]图19是实施方式3的触摸屏幕的上部电极的俯视图。
[0040]图20是图19中的区域E的放大图。
[0041]图21是实施方式3的触摸屏幕的下部电极以及上部电极的俯视图。
[0042](符号说明)
[0043]1:触摸屏幕；8:端子；10:透明基板；11:层间绝缘膜；12:保护膜；20:下部电极；21:行方向布线；21a:浮置布线；21b、21c ；33a:断线部；22:列方向虚设布线；断线部；22:列方向虚设布线；30:上部电极；31:列方向布线；32:断线部布线；33:行方向虚设布线；40:虚设引出布线；E1:第I部分；E2:第2部分；Wl、W2、Wc:布线宽度；M2:行方向的长度。
【具体实施方式】
[0044]<实施方式1>
[0045]< 结构 >
[0046]首先，使用图1以及图2，对本实施方式的触摸屏幕I的层构造进行说明。本实施方式中的触摸屏幕I是投影型静电电容方式的触摸屏幕。
[0047]图1是本实施方式的触摸屏幕I的层构造的立体图。触摸屏幕I的上表面层是由透明的玻璃材料或者透明的树脂构成的透明基板10。在透明基板10的背面，形成上部电极
30 ο
[0048]另外，在透明基板10的背面，以覆盖上部电极30的方式，形成层间绝缘膜11。层间绝缘膜11是硅氮化膜或者硅氧化膜等透明的绝缘膜。在层间绝缘膜11的背面，形成下部电极20。
[0049]另外，在层间绝缘膜11的背面，以覆盖下部电极20的方式，形成保护膜12。与层间绝缘膜11同样地，保护膜12是硅氮化膜等具有透光性的绝缘性的膜。
[0050]上部电极30具备由IT0(Indium Tin Oxide，铟锡氧化物)等透明布线材料或者销等金属布线材料构成的多根列方向布线31。另外，下部电极20具备由与列方向布线31相同的原材料构成的多根行方向布线21。
[0051]另外，在图1以及图2中，为便于图示，列方向布线31以及行方向布线21未图示为具有后述网眼状的构造。
[0052]在本实施方式中，使列方向布线31以及行方向布线21成为铝系合金层和其氮化层的多层构造。由此，能够减小布线电阻，并且能够提高可检测区段的光的透射率。
[0053]另外，在行方向布线21的上层配置了列方向布线31，但也可以使它们的位置关系相反，在列方向布线31的上层配置行方向布线21。
[0054]使用者用手指等指示体触摸成为触摸屏幕I的表面的透明基板10来进行操作。如果指示体触摸了透明基板10，则透明基板10下部的行方向布线21与列方向布线31之间的布线间电容变化。通过检测该电容变化，能够确定在可检测区段内的哪个位置处被触摸。
[0055]图2是本实施方式的触摸屏幕I的俯视图。触摸屏幕I的可检测区段由在横方向(行方向)延伸的多个行方向布线21、和在其跟前侧在俯视时重叠且在纵方向(列方向)延伸的多个列方向布线31构成。
[0056]行方向布线21的每一个通过引出线Rl?R6与用于和外部的布线连接的端子8连接。另外，列方向布线31的每一个也同样地通过引出线Cl?CS，与用于和外部的布线连接的端子8连接。
[0057]引出线R4、R5沿着可检测区段的外周配置。另外，引出线R3、R6沿着可检测区段的外周配置，在到达引出线R4或者引出线R5之后，沿着引出线R4、R5配置。这样，引出线Rl?R6被紧挨可检测区段的外周侧配置。另外，引出线Cl?CS也同样地，从接近端子8的引出线起，依次紧挨可检测区段的外周侧地配置。
[0058]这样，通过尽可能紧挨可检测区段的外周侧而配置引出线Rl?R6、C1?CS，能够抑制安装触摸屏幕I的显示装置与引出布线之间的边缘电容。因此，通过成为这样的引出布线的配置，能够降低从安装触摸屏幕I的显示装置发生的电磁噪声对引出布线造成的影响。
[0059]另外，在列方向布线31的引出线C8、和行方向布线21的引出线R6并行前行的部分中，在引出布线之间，设置提供接地等基准电位的虚设引出布线40。
[0060]通过这样设置虚设引出布线40，能够大幅降低引出线CS与引出线R6之间的布线间电容，所以即使在该部分有手指等指示体的触摸的情况下，也能够防止误检测。
[0061]接下来，使用图3?6，说明行方向布线21以及列方向布线31的详细的构造。图3是将行方向布线21和列方向布线31在俯视时重叠的区域周边放大了的下部电极20的俯视图。图4是图3中的区域A的放大图。另外，图5是将