互电容方式触摸面板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及通过互电容方式感知在触摸面板上手指等操作物体所接触的面板上的位置的互电容方式触摸面板。
【背景技术】
[0002]电容方式的触摸面板主要有表面型和投影型这两种，通过测定触摸面板的表面与手指等操作物体接触时所产生的电容的变化而能够确定检测点。表面型只能检测一个点，针对于此，投影型利用以与X方向和Y方向交叉的方式排列的电极来测定电容的变化，能够确定检测点的坐标，因此对于大多电子设备来说采用投影型。
[0003]另外，在投影型中，有电容的变化的检测方式不同的自电容(Self capacitance)方式和互电容(Mutual capacitance)方式。通过测定X电极和Y电极的互电容，从而在检测到互电容改变了的情况下，直接确定出其检测点的互电容方式相比自电容方式在多点检测的应用中更为优越。因此，在采用假设多点检测的用户接口的电子设备中，使用互电容方式(例如，参照专利文献1)。
[0004]在此，关于以往的互电容方式触摸面板的电极构造，表示于图9的示意图。如图9所示，触摸面板501具备:沿X方向相互平行地配置的多个下部电极510 ;以及以与各个下部电极交叉(正交)的方式沿Y方向相互平行地配置的多个上部电极520。上部电极520和下部电极510通过对由透明导电材料(例如ΙΤ0、氧化铟以及氧化锡等)构成的薄膜进行蚀刻加工而形成，并形成为相互分离的带状的电极。
[0005]如图10的示意图所示，下部电极510作为发送侧的电极发挥功能，上部电极520作为接收侧的电极发挥功能。在手指等物体200与上部电极520侧、即触摸面侧未接触或者未接近的状态下，形成有电力线L从发送侧的下部电极510朝向接收侧的上部电极520的电场。若手指等物体200接近上部电极520为对该电场产生影响的程度，则电力线L的一部分环绕在上部电极520的周围而被手指等物体吸收。其结果，使互电容产生变化，从而能够以产生了该变化的坐标为检测点来进行检测。此外，为了除去来自LCD的噪声的影响，下部电极510的宽度设定为比上部电极520宽，相反，下部电极510彼此的间隙设定为比上部电极520彼此的间隙窄。
[0006]另外，作为形成平板显示器、触摸面板、太阳电池等装置的电极图形的方法，一般是如下方法，即，在利用溅射法形成由透明导电材料构成的薄膜(透明导电膜)后，利用光刻法形成抗蚀图案，并利用湿式蚀刻除去透明导电膜的预定部分从而形成电极图形。
[0007]但是，最近，由于成本方面等问题，进行了如下尝试，即，使用代替ΙΤ0、氧化铟以及氧化锡等的材料(例如，含有银纳米纤维等导电性纳米纤维的导电涂料)来形成透明的电极图形。例如，在专利文献2中，公开了如下方法，S卩，使用在支撑薄膜11上依次层叠含有导电性纳米纤维的导电层12、感光性树脂层13而成的感光性导电薄膜(干式抗蚀膜)14，以感光性树脂层13紧贴于基板45上的方式对该感光性导电薄膜14进行层压后(参照图11(a)),向感光性树脂层13照射活性光线L2而对其进行曝光(参照图11 (b))，并使感光性树脂层13显影(参照图11 (c))，由此形成图形化的感光性树脂层13b以及导电层12a。
[0008]现有技术文献
[0009]专利文献
[0010]专利文献1:日本特开2012 — 43460号公报
[0011]专利文献2:日本特开2011 - 175972号公报
【发明内容】
[0012]发明要解决的课题
[0013]然而，在采用专利文献2所示那样的电极图形的形成方法而得到互电容方式触摸面板501的上部电极的情况下，如图12所示，上部电极52以及支撑上部电极520的由感光性树脂构成的绝缘膜503的总厚变厚为10 μ m左右，而且这些边缘垂直地立起，因此明确地目视确认出形成有上部电极520的部分和未形成有上部电极520的部分的边界线，产生从触摸面侧看到上部电极520的电极图形的现象、即所谓图形可视(也称为骨架可视性)现象。这种图形可视现象有在电子设备中对通过触摸面板而被目视确认的映像带来视觉上的影响的情况，要求减少图形可视现象。
[0014]因此，本发明的目的在于解决上述问题，提供一种能够减少上部电极的电极图形的图形可视现象的互电容方式触摸面板。
[0015]用于解决课题的方案
[0016]为了实现上述目的，本发明如下构成。
[0017]根据本发明的第1方案，提供一种互电容方式触摸面板，其特征在于，具备:基板；多个下部电极，其由透明导电材料形成为宽幅的带状，且沿第一方向相互平行而且隔着较窄的间隙地配置于上述基板的第一面上；多个上部电极，其由透明导电材料形成为窄幅的带状，且沿与第一方向交叉的第二方向相互平行而且隔着较宽的间隙地配置于上述基板的第一面以及上述下部电极上；以及绝缘膜，其由具有粘接性的感光性树脂形成，且以支撑上述上部电极的方式配置于上述上部电极与上述下部电极之间，上述绝缘膜具备与支撑上述上部电极的支撑面共用长边的带斜度侧面。
[0018]根据本发明的第2方案，提供第1方案的互电容方式触摸面板，上述绝缘膜的支撑上述上部电极的部分的厚度T为3?15 μ m。
[0019]根据本发明的第3方案，提供第1方案或第2方案中所述的互电容方式触摸面板，上述带斜度侧面的中央部的法线与上述支撑面的法线所成的角度Θ为20?30°。
[0020]根据本发明的第4方案，提供第1?3方案中任一项所述的互电容方式触摸面板，上述绝缘膜形成于每个上述上部电极。
[0021]根据本发明的第5方案，提供第1?3方案中任一项所述的互电容方式触摸面板，上述绝缘膜形成为一系列的膜，具有连接上述带斜度侧面的下边彼此的凹部底面。
[0022]根据本发明的第6方案，提供第5方案的互电容方式触摸面板，上述带斜度侧面的上边至下边的高低差D为1 μπι以上。
[0023]发明效果
[0024]根据本发明，以支撑上部电极的方式在上部电极与下部电极之间配置有绝缘膜的互电容方式触摸面板中，该绝缘膜具备与支撑上部电极的支撑面共用长边的带斜度侧面，因此折射率的变化在形成有上部电极的部分与未形成上部电极的部分之间变得缓慢，能够使上部电极的边界线在视觉上不显眼。因而在互电容方式触摸面板中能够减少上部电极的电极图形的图形可视现象。
【附图说明】
[0025]图1是表不本发明的触摸面板的一个实施例的立体图。
[0026]图2是图1所示的触摸面板的电极层叠方向的剖视图。
[0027]图3是表示形成上部电极以及带斜度侧面的工序的一个例子的图。
[0028]图4是在图3的曝光工序中使用的掩模的俯视图。
[0029]图5是表示本发明的触摸面板的其它的实施例的立体图。
[0030]图6是图5所示的触摸面板的电极层叠方向的剖视图。
[0031]图7是表示形成上部电极以及带斜度侧面的工序的其它的例子的图。
[0032]图8是在图7的曝光工序中使用的掩模的俯视图。
[0033]图9是触摸面板的电极图形的示意图。
[0034]图10是表示图9的触摸面板的检测原理的示意剖视图。
[0035]图11是表示以往的使用了干式抗蚀膜的电极图形的形成工序的图。
[0036]图12是采用了图11所示的电极图形形成方法的触摸面板的剖视图。
【具体实施方式】
[0037]以下，基于附图对本发明的实施方式进行详细说明。
[0038][第一实施方式]
[0039](触摸面板的结构)
[0040]首先，对本实施方式的触摸面板的结构进行说明。图1是表示本发明的触摸面板的一个实施例的立体图，图2是图1所示的触摸面板的电极层叠方向的剖视图。
[0041]如图1所示，触摸面板1具备:基板4 ;形成为带状且沿X方向相互平行地配置的多个下部电极10 ;形成为带状且以与各个下部电极交叉(正交)的方式沿Y方向相互平行地配置的多个上部电极20 ;以及以支撑上部电极20的方式配置在上部电极20与下部电极10之间的绝缘膜3。此外，在本实施方式中，绝缘膜3在每个上部电极20形成为带状，在绝缘膜3间具有间隙。
[0042]基板4是电气绝缘性的基板，可以是例如玻璃基板、PET(聚乙烯对苯二甲酸酯)薄膜、PC (聚碳酸酯)薄膜、C0P (环烯烃聚合物)薄膜、PVC (聚氯乙烯)薄膜、C0C (环烯烃聚合物)薄膜等。特别是C0P薄膜，不仅在光学各向同性上优良，而且在尺寸稳定性以及加工精度上也优良，因而优选。此外，在透明基板4为玻璃基板的情况下，只要是0.3mm?3mm的厚度即可。另外，在透明基板4为树脂薄膜的情况下，只要是20 μπι?3_的厚度即可。
[0043]并且，如图1所示，在触摸面板1的电极图形中，为了除去来自LCD的噪声的影响，下部电极10的宽度形成为较宽，下部电极10间的间隙11形成为窄到能够确保相互电绝缘的程度。
[0044]与此相对，为了确保检测功能，上部电极20形成为，宽度比下部电极10窄，上部电极20间的间隙21较宽。如在上述的图10中说明的那样，在触摸面板1中，形成有电力线L从发送侧的下部电极10(相当于