触摸基板及其制造方法、触摸面板以及显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及触摸感测技术，尤其涉及一种触摸基板及其制造方法，以及触摸面板和包括该触摸面板的显示装置。
【背景技术】
[0002]随着触摸感测技术的发展，出现了多种实现触摸面板的方式。其中，大部分实现方式是通过氧化铟锡(ITO)材料形成触摸感应层来实现的。特别是，在称为SLOtXSingleLayer on Cell)的触摸显示技术中，在阵列基板和彩膜基板对盒之后，在彩膜基板的背面形成一层单层的ITO触摸层来实现触摸功能，这种技术属于On Cell Touch技术的一种。
[0003]要形成ITO感应层需要经过复杂的工艺制程，主要通过预清洗、成膜、构图、刻蚀、剥离、退火等工艺在彩膜基板背面形成单层的ITO图案。
[0004]图1A-1F示出了通过ITO材料形成触摸面板的触摸感应层的工艺流程。
[0005]如图1A所示，提供对盒之后的彩膜基板11和阵列基板14，并对彩膜基板的表面进行预清洗。之后，如图1B所示，进行成膜工艺，S卩，在彩膜基板11的背面形成ITO材料层12。其中，成膜工艺大多采用磁控溅射机在彩膜基板背面形成一层均匀的非晶ITO薄膜，厚度约为40?400nm。然后，如图1C-1D所示，通过构图工艺在ITO材料层12的表面上形成光刻胶图案17a和17b。更具体而言，通过预清洗、涂敷光刻胶层17、对光刻胶层17进行曝光、对曝光后的光刻胶层17进行显影等，在ITO材料层12上形成光刻胶图案17a和17b。之后，如图1E所示，利用光刻胶图案17a和17b作为掩模，通过刻蚀工艺将没有被光刻胶图案17a和17b覆盖的ITO材料刻蚀掉。然后，如图1F所示，通过剥离工艺将光刻胶图案17a和17b剥离掉，最终留下ITO图案12a和12b，以形成触摸感应层。在图1F的工艺之后，为了降低触摸感应层的阻抗并提高其硬度，通常还需要通过退火工艺对ITO进行高温退火处理，以使其变成多晶ΙΤ0。
[0006]尽管可以通过ITO材料来形成触摸感应层，但现有工艺流程复杂，技术难度高，生产效率低，制作成本高。
【发明内容】
[0007]因此，所期望的是提供一种改进的触摸基板及其制造方法，其能够减轻或避免上述问题中的一个或多个。
[0008]根据本发明的一个方面，提供了一种触摸基板，包括:衬底基板；以及位于所述衬底基板之上的触摸感应层，所述触摸感应层包括光敏银浆。
[0009]光敏银浆又被称为光敏银胶、光刻银胶或光刻银浆，是一种已知的材料，例如可以应用于窄边框显示装置中。光敏银浆可以包括光敏成分、导电成分和粘胶成分。根据具体的应用和需要，光敏银浆还可以包括其它辅助成分。
[0010]发明人经过研究发现:光敏银浆材料除了具备良好的导电性能、可以作为电极使用之外，还具有光刻胶的特性，可以使用曝光、显影等工艺直接对其进行构图以形成所需的图案，因此，如果利用光敏银浆材料形成触摸基板的触摸感应层，则无需像制作常规的ITO触摸感应层那样额外地形成光刻胶图案。由此，可以大大简化工艺流程，提高生产效率并且降低生产成本。
[0011]根据本发明的一个实施例，触摸感应层可以形成在衬底基板的上表面上。
[0012]根据本发明的另一方面，提供了一种触摸面板，其可以包括上述触摸基板。
[0013]根据本发明的一个实施例，衬底基板可以为盖板。
[0014]根据本发明的另一实施例，触摸面板还可以包括位于盖板上方的彩膜基板，触摸感应层形成在盖板的与彩膜基板相对的表面上。
[0015]根据本发明的另一实施例，触摸面板还可以包括位于彩膜基板上方的阵列基板，其中，在彩膜基板与阵列基板之间设置有液晶层。
[0016]根据本发明的另一实施例，衬底基板可以为彩膜基板。
[0017]根据本发明的另一实施例，触摸面板还可以包括位于彩膜基板上方的盖板。
[0018]根据本发明的又一实施例，触摸面板还可以包括位于彩膜基板下方的阵列基板，其中，在彩膜基板与阵列基板之间设置有液晶层。
[0019]通过使触摸感应层位于触摸面板的不同位置，可以满足多种应用和/或需求。
[0020]通过使包括光敏银浆的触摸感应层形成在彩膜基板上，可以形成用于显示装置的触摸面板。特别是，在触摸面板包括位于彩膜基板下方的阵列基板且在彩膜基板与阵列基板之间设置有液晶层的情况下，可以利用该触摸面板形成具备触摸感应功能的液晶显示装置。
[0021 ]根据本发明的另一个方面，提供了一种触摸基板的制造方法，包括:提供衬底基板;以及，在衬底基板之上形成触摸感应层，所述触摸感应层包括光敏银浆。
[0022]如上所述，通过利用光敏银浆材料形成触摸基板的触摸感应层，无需像制作常规的ITO触摸感应层那样额外地形成光刻胶图案。由此，可以大大简化工艺流程，提高生产效率并且降低生产成本。
[0023]根据本发明的一个实施例，在衬底基板之上形成触摸感应层包括:在衬底基板的上表面上形成包括光敏银浆的材料层；以及，对材料层进行图案化，从而形成触摸感应层。
[0024]根据本发明的另一个实施例，对材料层进行图案化从而形成触摸感应层包括:对材料层进行曝光；以及，对经过曝光的材料层进行显影以使材料层图案化，从而形成触摸感应层。
[0025]由于利用了光敏银浆材料，因此无需像制作常规的ITO触摸感应层那样先通过涂敷、曝光、显影等工艺形成光刻胶图案、再利用光刻胶图案作为掩模对ITO材料进行刻蚀以形成触摸感应层，而是可以对包括光敏银浆的材料层直接进行图案化。特别是，可以对于该材料层直接进行曝光和显影以形成触摸感应层。因此，使得现有的形成触摸感应层的工艺流程得到了简化。
[0026]根据本发明的另一个实施例，在对包括光敏银浆的材料层进行图案化之前，可以对所述材料层进行固化。
[0027]通过对包括光敏银浆的材料层进行固化，可以使该材料层更加稳定，从而有利于后续的图案化工艺。
[0028]根据本发明的另一个实施例，衬底基板可以为盖板。
[0029 ]根据本发明的另一个实施例，衬底基板可以为彩膜基板。
[0030]根据本发明的又一方面，提供了一种显示装置，其可以包括上述触摸面板。
[0031]在上述的触摸面板、触摸面板的制造方法以及包括触摸面板的显示装置中，由于利用光敏银浆材料形成触摸感应层，因而无需像制作常规的ITO触摸感应层那样额外地形成光刻胶图案。由此，可以大大简化工艺流程，提高生产效率并且降低生产成本。
【附图说明】
[0032]现在，将通过非限制性实施例的方式参照附图描述本发明的构思和另外的优点。
[0033]图1A至IF示出了现有技术中通过ITO材料形成触摸面板的触摸感应层的工艺流程。
[0034]图2示出了根据本发明实施例的触摸面板的示意图。
[0035]图3A和3B分别示出了根据本发明实施例的触摸面板的示例性实例。
[0036]图4示出了根据本发明实施例的触摸面板的制造方法的示意图。
[0037]图5A_f5D示出了根据本发明实施例的触摸面板的制造方法的示例性工艺流程。
【具体实施方式】
[0038]下面，参照附图通过举例的方式来说明根据本发明实施例的触摸面板、显示装置以及触摸面板的制造方法的具体实例。附图是示意性的，并未按比例绘制，且只是为了说明本发明的实施例而并不意图限制本发明的保护范围。
[0039]应当理解，当称一个元件或一层在另一元件或层“上”、“之上”、“上方”、“连接到”或“親合到”另一元件或层时，它可以直接在、连接到或耦合到另一元件或层上，或者还可以存在插入的元件或层。相反，当称一个元件“直接在”、“直接连接到”或“直接耦合到”另一元件或层上时，不存在插入元件或层。
[0040]为便于描述，此处可以使用诸如“在…之下”、“在...下面”、“下”、“在…之上”、“上”等等空间相对性术语以描述如图所示的一个元件或部件与另一个元件或部件之间的关系。应当理解，空间相对性术语是用来概括除附图所示取向之外的使用或操作中的器件的不同取向的。例如，如果附图中的器件翻转过来，被描述为“在”其他元件或部件“之下”或“下面”的元件将会在其他元件或部件的“上方”。这样，示例性术语“在...下面”就能够涵盖之上和之下两种取向。器件可以采取其他取向(旋转90度或在其他取向)，此处所用的空间相对性描述符做相应解释。
[0041]图2示出了根据本发明实施例的触摸基板的示意图。
[0042]如图2所示，根据本发明实施例的触摸基板200包括衬底基板201以及位于衬底基板201之上的触摸感应层202。触摸感应层202包括光敏银浆。
[0043]如上所述，光敏银浆又被称为光敏银胶、光刻银胶或光刻银浆，是一种已知的材料。光敏银浆可以包括光敏成分、导电成分和粘胶成分。根据具体的应用和需要，光敏银浆还可以包括其它辅助成分。在现有的显示装置中，光敏银浆可以用于窄边框设计中。
[0044]发明人经过研究发现:光敏银浆材料除了具备良好的导电性能、可以作为电极使用之外，还具有光刻胶的特性，可以使用曝光、显影等工艺直接对其进行构图以形成所需的图案，因此，如果利用光敏银浆材料形成触摸基板的触摸感应层，则无需像制作常规的ITO触摸感应层那样额外地形成光刻胶图案。由此，可以大大简化工艺流程，提高生产效率并且降低生产成本。
[0045]根据具体的应用和/或需求，触摸感应层可以位于触摸基板的不同位置。例如，触摸感应层可以形成在衬底基板的上表面上。
[0046]根据本发明的另一实施例，提供了一种触摸面板，该触摸面板可以包括上述触摸基板。
[0047]图3A和3B分别示出了根据本发明实施例的触摸面板的示例性实例。
[0048]如图3A所示，在触摸面板的一个示例性实例中，衬底基板可以为彩膜基板301。触摸面板还可以包括位于彩膜基板301上方的盖板303以及位于彩膜基板301下方的阵列基板304，其中，在彩膜基板301与阵列基板304之间设置有液晶层(图中未示出)。
[0049]通过使包括光敏银浆的触摸感应层302形成在彩膜基板301上，可以形成用于显示装置的触摸面板300。特别是，在触摸面板300包括位于彩膜基板下方的阵列基板304且在彩膜基板301与阵列基板304之间设置有液晶层