磁图像传感器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及传感器领域，具体而言，涉及一种磁图像传感器。
【背景技术】
[0002]在纸币、票据、有价证券等介质上制作特定的磁信息是现代防伪技术的重要手段之一，并且随着制作技术的发展，磁信息防伪技术的应用也在得到不断的加强，如许多国家的钞票(如人民币、美元、欧元等)内部都包含内容丰富的磁信息。而对于纸币、票据、有价证券等介质上特定的磁信息的识别也是必不可少的防伪检测手段。
[0003]为了实现上述的检测，在相关技术中提供了一种磁图像传感器，该磁图像传感器在整个读取识别范围内连续排列小型磁头，形成一个小型磁头的线性阵列，从而对整个读取范围内的磁信息进行读取识别。但是，由于单体磁头的体积比较大，并且每一个磁头上的读取识别范围也只占磁头范围的一小部份，因此磁头之间很大的范围是在磁头有效读取范围之外的，也即，磁头之间的区域是无法进行读取的，使用这种磁图像传感器，处于磁头之间的间隙处的磁信息就会被丢失。
[0004]在相关技术中还提供了一种磁传感装置，在磁传感装置的内部支架的上表面具有沿着内部支架的长边方向呈直线状设置的多个凹部。在各凹部收纳有磁阻元件，在读取识别范围内用磁阻元件排列成一个线性阵列，对读取范围内的磁信息进行读取识别。在该技术中，用磁阻元素取代了磁头，磁阻元素之间的间隙大大减小了，使整体磁传感器装置得到了小型化，但由于磁组元素的线性尺寸过大，在这一尺寸范围内的磁信息无法详细区分，读取的介质上的磁信息非常模糊，无法区分磁信息的细节，因此在需要对磁信息区更细微的特征做出判别时，这种磁传感装置就无法实现。
[0005]在相关技术中还提供了一种磁传感器装置，磁感应元素在框体一侧的平面侧壁的端部沿读取范围的方向配置的读取介质磁性特征的阵列式磁感应元素，磁感应元素是点状的或带状的，在该技术中，通过印刷烧结工艺制作的磁感应元素，其分辨率可以达到50DPI以上，对磁信息的分辨能力得到了解决，但这种通过印刷烧结工艺得到的磁感应元素的偏差非常大，通常有20%左右即使通过修阻的方法减小磁阻的偏差，这种偏差也会在3%_5%左右，对于使用5 V的公共电极电压来说，至少产生150mV级的电压偏差。而实际能够检测到的磁信号电压通常为1mV数量级，也就是说实际磁阻的偏差造成的信号差异(噪音信号)远远大于有效信号，这给信号处理带来了很大的难题，通常情况下很难很准确地从噪音信号中分离出有效信号。
[0006]针对相关技术中的磁图像传感器由于磁阻的偏差导致噪音信号比较大的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
【发明内容】
[0007]本发明的主要目的在于提供一种磁图像传感器，以解决相关技术中的磁图像传感器由于磁阻的偏差导致噪音信号比较大的问题。
[0008]为了实现上述目的，本发明提供了一种磁图像传感器。该磁图像传感器包括:磁感应电阻，沿扫描方向排列，用于对待检测范围内的磁信号变化进行检测;配置电阻，与磁感应电阻连接，配置电阻为阻值可调的电阻；驱动电路，与磁感应电阻连接，用于对磁感应电阻检测到的信号进行输出控制。
[0009]进一步地，配置电阻与磁感应电阻一一对应连接。
[0010]进一步地，配置电阻的阻值调整为与对应的磁感应电阻的阻值相一致。
[0011]进一步地，配置电阻为采用厚膜印刷工艺制作的电阻。
[0012]进一步地，磁图像传感器还包括:配置电阻基板，其中，配置电阻设置在配置电阻基板上;装载基板，其中，磁感应电阻和驱动电路设置在装载基板上;连接基板，其中，配置电阻基板和装载基板设置在连接基板上。
[0013]进一步地，配置电阻基板为采用陶瓷材料制作的基板，在配置电阻上设置有保护膜。
[0014]进一步地，装载基板上设置有连接焊盘，配置电阻包括:公共电极;个别电极，个别电极通过连接线在连接焊盘上与磁感应电阻一一对应连接。
[0015]进一步地，配置电阻为多个配置电阻。公共电极为多个公共电极，多个公共电极中的每个公共电极由多个配置电阻中的两个配置电阻共用，或者，在多个配置电阻中相邻的两个配置电阻之间设置有独立电极，每个配置电阻均设置有独立的公共电极分支。
[0016]进一步地，磁感应电阻为在半导体硅片上通过真空镀膜制作的隧道结构的磁电阻体，磁电阻体的两端设置有用于连接两端的第一焊盘和第二焊盘。
[0017]进一步地，驱动电路包括:移位寄存器电路;开关电路，用于开启以接收磁感应电阻检测到的信号，其中，磁图像传感器还包括:信号放大电路，用于接收驱动电路输出的串行SIG信号并对串行SIG信号进行放大处理。
[0018]通过本发明，采用包括以下结构的磁图像传感器:磁感应电阻，沿扫描方向排列，用于对待检测范围内的磁信号变化进行检测;配置电阻，与磁感应电阻连接，配置电阻为阻值可调的电阻;驱动电路，与磁感应电阻连接，用于对磁感应电阻检测到的信号进行输出控制，由于设置了阻值可调的配置电阻与磁感应电阻连接，解决了相关技术中的磁图像传感器由于磁阻的偏差导致噪音信号比较大的问题，进而达到了降低磁图像传感器的噪音信号的效果。
【附图说明】
[0019]构成本申请的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中:
[0020]图1为本发明实施例的磁图像传感器的断面示意图；
[0021]图2为本发明实施例的磁图像传感器的内部俯视示意图；
[0022]图3为本发明实施例的磁图像传感器的整体结构示意图；
[0023]图4为本发明实施例的磁图像传感器的局部单元结构放大示意图；
[0024]图5为本发明实施例的磁图像传感器的陶瓷基板局部结构放大示意图；
[0025]图6为本发明实施例的磁图像传感器的陶瓷基板另一种局部结构放大示意图；
[0026]图7为本发明实施例的磁图像传感器的磁信号感应像素的结构示意图；
[0027]图8为本发明实施例的磁图像传感器的驱动电路结构示意图；
[0028]图9为本发明的磁传感器的驱动电路多级连接的电路结构示意图；
[0029]图10为本发明实施例的磁图像传感器的电路结构示意图；
[0030]图11为本发明实施例的磁图像传感器的时序示意图；以及
[0031]图12为本发明实施例的修阻时的基板状态及修阻原理图。
【具体实施方式】
[0032]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。
[0033]为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0034]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0035]图1是本发明实施例的磁图像传感器的断面结构示意图，图2为本发明实施例的磁图像传感器的内部俯视示意图。
[0036]如图1所示，磁图像传感器包括磁感应电阻1、配置电阻2和驱动电路3，磁感应电阻I沿扫描方向排列，用于对检测范围内的磁信号变化进行检测，磁感应电阻I可以为一个或多个磁感应电阻I，可选地，磁感应电阻I为多个磁感应电阻I，并且多个磁感应电阻I沿扫描方向排列成直线，优选地，本发明实施例的磁感应电阻I为通过半导体工艺制作的隧道型磁感应电阻(TMR)，配置电阻2为阻值可调整的电阻，可以与磁感应电阻I配对使用，配置电阻2可以为一个或多个配置电阻2，可选地，多个配置电阻2排列成直线，并且多个配置电阻2与多个磁感应电阻I一一对应连接，驱动电路3用于对所述磁感应电阻I检测到的信号进行输出控制，包括传输磁感应电阻I检测到的磁场信号和控制信号的输出。可选地，本发明实施例中的每个配置电阻2可以包括一段或多段电阻体。驱动电路3也可以为多个，多个驱动电路3中的每一个驱动电路3可控制多个磁感应像素，多个驱动电路3顺序连接排列，对整个检测范围内的磁感应像素的信号进行输出控制。
[0037]磁图像传感器还可以包括信号放大电路4，信号放大电路4用于对检测到的磁信号，例如，通过磁感应电阻I和配置电阻2转换成的电压信号进行