悬架组件、头悬架组件和盘装置的制造方法
【专利摘要】本发明的实施方式提供一种能够抑制不需要的面外振动、并实现磁头的定位精度的提高的悬架组件、头悬架组件和盘装置。实施方式的悬架组件具备：支撑板(34)；布线部件，其设置在支撑板上；以及驱动元件(50)，其固定于布线部件且能够进行伸缩。布线部件具有：金属板(44a)，其具有基端板部(36b)和分离板部(36d)；绝缘层(44b)，其具有桥部(47c)；以及导电层(44c)，其形成布线，驱动元件配置在桥部上。布线部件具备相对板(52)，该相对板(52)在基端板部与分离板部之间设置于桥部，隔着绝缘层而与驱动元件相对。
【专利说明】悬架组件、头悬架组件和盘装置
[0001]本申请享受以日本特许出愿2014-228882号(申请日:2014年11月11日)为在先申请的优先权。本申请通过参照该在先申请而包含了在该先申请的全部内容。
技术领域
[0002]本发明的实施方式涉及悬架组件、头悬架组件和盘装置。
【背景技术】
[0003]近年来，作为计算机的外部记录装置和/或图像记录装置，广泛使用磁盘装置、光盘装置等盘装置。
[0004]作为盘装置，例如，磁盘装置通常具备在基体内配设的磁盘、支撑磁盘并驱动磁盘旋转的主轴电动机、以及支撑磁头的悬架组件。悬架组件具备在臂的前端部安装的悬架、在悬架上设置的布线部件(柔性件、布线走线(line trace))、以及加载梁(load beam)。磁头被支撑于布线部件的万向节部(gimbal)，构成头悬架组件。
[0005]近年来，提出了如下的悬架组件:将作为驱动元件的压电元件(PZT元件)搭载于布线部件的万向节部附近，通过压电元件的伸缩动作，使磁头产生寻道(seek)方向上的微小位移。根据该悬架组件，通过控制施加于压电元件的电压，能够对磁头的动作进行精密的控制。
[0006]在如上所述的悬架组件中，压电元件整面固定于布线部件。但是，在压电元件伸长或收缩时，压电元件有时会向其厚度方向弯曲，产生与伸缩方向交叉的方向上的振动(即，面外振动)。该面外振动经由布线部件的焊接点而传递至加载梁，激发加载梁的共振。由此，磁头的定位精度降低。
【发明内容】
[0007]本发明的实施方式提供能够实现头的定位精度的提高的悬架组件、头悬架组件和盘装置。
[0008]实施方式的悬架组件具备:支撑板；布线部件，其设置于所述支撑板；以及驱动元件，其固定于所述布线部件且能够进行伸缩。所述布线部件具有:金属板，其具有固定于所述支撑板的基端板部和从所述基端板部离开的分离板部；绝缘层，其层叠在所述金属板上，具有从所述基端板部通过所述分离板部而延伸的桥部；以及导电层，其层叠于所述绝缘层上，形成多条布线；所述驱动元件跨所述基端板部和分离板部而配置于所述桥部上。所述布线部件具备相对板，该相对板在所述基端板部和所述分离板部之间所述桥部，隔着所述绝缘层与所述驱动元件相对。
【附图说明】
[0009]图1是表示第I实施方式涉及的硬盘驱动器(HDD)的立体图。
[0010]图2是表示所述HDD中的悬架组件的磁头和悬架以及磁盘的侧视图。
[0011]图3是所述悬架组件的俯视图。
[0012]图4是表示所述悬架组件的立体图。
[0013]图5是表示所述悬架组件的磁头、压电元件、柔性件以及加载梁的分解立体图。
[0014]图6是所述悬架组件的前端部的俯视图。
[0015]图7是将所述悬架组件的万向节部的一部分放大表示的俯视图。
[0016]图8是沿着图7的线A-A的万向节部的驱动元件安装区域的剖视图。
[0017]图9是概略地表示由压电元件引起的磁头的微小位移状态的俯视图。
[0018]图10是表示第I变形例涉及的悬架组件的驱动元件安装部的剖视图。
[0019]图11是将第I实施方式、第I变形例和比较例各自所涉及的悬架组件的振动特性进行比较而进行表示的图。
[0020]图12是将第2实施方式的悬架组件的驱动元件安装部放大表示的剖视图。
【具体实施方式】
[0021]以下，一边参照附图，一边作为盘装置对实施方式涉及的硬盘驱动器(HDD)进行详细说明。
[0022](第I实施方式)
[0023]图1中，拆下了顶盖而示出HDD的内部构造。如图1所示，HDD具备壳体10。壳体10具有上表面开口的矩形盒状的基体12和封闭基体12的上端开口的未图示的顶盖。基体12具有矩形状的底壁12a和沿着底壁的周缘立起设置的侧壁12b。
[0024]在壳体10内，设置有作为记录介质的2张磁盘16和作为支撑磁盘16并使磁盘16旋转的驱动部的主轴电动机18。主轴电动机18配设在底壁12a上。磁盘16彼此同轴地嵌合于主轴电动机18的未图示的毂(hub)并且由卡簧27夹紧并固定于毂。磁盘16被支撑为与基体12的底壁12a平行的状态。并且，磁盘16通过主轴电动机18而以预定的速度沿箭头A方向旋转。
[0025]在壳体10内，设置有对磁盘16进行信息记录、再生的多个磁头17，以及将这些磁头17支撑为能够相对于磁盘16自由移动的磁头组组件(以下，称为HSA) 22。另外，在壳体10内，设置有:音圈电动机(以下称为VCM) 24，其使HSA22转动并将HSA22定位；斜坡载荷(ramped loading)机构25，其在磁头17移动到磁盘16的最外周时，将磁头17保持于离开磁盘16的卸载位置；闩锁机构26，其在冲击等作用于HDD时，将HSA22保持于避开位置；以及基板单元21，其具有变换连接器等。
[0026]在基体12的底壁12a外表面，螺纹紧固有未图不的印刷电路基板。印刷电路基板经由基板单元21来控制主轴电动机18、VCM24和磁头17的动作。在基体12的侧壁12b，设置有对由于可动部的运转而在壳体内产生的尘埃进行捕获的循环过滤器23，该循环过滤器23位于磁盘16的外侧。另外，在侧壁12b设置有从流入壳体10内的空气中捕获尘埃的呼吸过滤器15。
[0027]如图1所示，HSA22具备:轴承单元28，其能够自由旋转；4根臂32，其以层叠状态安装于该轴承单元28 ;悬架组件30，其从各臂32延伸出；以及未图示的分隔环，其在臂32间分别层叠配置。各臂32例如由不锈钢、铝等形成为细长的平板状。臂32具有伸出端侧的前端部，在该前端部，形成有具有未图示的铆接孔的铆接支撑面。
[0028]图2示意性地示出上浮状态的磁头和磁盘。如图1和图2所示，磁盘16具有例如直径约2.5英寸(6.35cm)的形成为圆板状并含非磁性体的基板101。在基板101的两面，依次层叠有:软磁性层102，其作为基底层，含表现出软磁特性的材料；磁记录层103，其层叠于该软磁性层102的上层部；以及保护膜层104，其层叠于该磁记录层103的上层部。
[0029]如图2所示，磁头17构成为上浮型的磁头，具有形成为大致长方体状的滑块31和在滑块的流出端(trailing，后续)侧的端部形成的头部33。磁头17经由后述的柔性件的万向节部36而被支撑于悬架34的前端部。磁头17借由由于磁盘16的旋转而在磁盘16的表面与滑块31之间产生的空气流B而上浮。空气流B的方向与磁盘16的旋转方向A —致。滑块31相对于磁盘16表面，配置成滑块31的长边方向几乎与空气流B的方向一致。
[0030]接下来，对悬架组件30的结构进行详细说明。图3是悬架组件的俯视图，图4是悬架组件的立体图。
[0031]如图1、图3和图4所示，各悬架组件30具有从臂32延伸出的悬架34，在该悬架34的前端部安装有磁头17。此外，磁头17和支撑其的悬架组件30合称为头悬架组件。
[0032]作为支撑板而发挥作用的悬架34具有:具有数百微米厚的金属板的矩形状的基板42和具有数十微米厚的金属板的细长板簧状的加载梁35。加载梁35的基端部重叠于基板42的前端部地配置，通过多处焊接而固定于基板42。加载梁35的基端部的宽度形成为与基板42的宽度大致相等。在加载梁35的前端，突出设置有细长的棒状的突片(tab)46。
[0033]基板42在其基端部具有圆形的开口 42a和位于该开口的周围的圆环状的突起部43。使突起部43嵌合于在臂32的铆接支撑面形成的未图示的圆形的铆接孔，并对该突起部43进行铆接，从而基板42紧固于臂32的前端部。基板42的基端也可以通过激光焊、点焊或者粘接而固定于臂32的前端。
[0034]悬架组件30具有一对压电元件(PZT元件)50、以及用于传递记录、再生信号和压电元件50的驱动信号的细长的带状的柔性件(布线部件)40。如图3以及图4所示，柔性件40的前端侧部分40a安装在加载梁35以及基板42上，后半部分(延伸部)40b从基板42的侧缘向外侧延伸出，沿着臂32的侧缘而延伸。并且，位于延伸部40b的前端的连接端部40c具有多个连接垫(connect1n pad) 40f，这些连接垫40f连接于后述的主FPC21b。
[0035]位于加载梁35的前端部上的柔性件40的前端部构成了作为弹性支撑部发挥作用的万向节部36。磁头17载置并固定于万向节部36上，经由该万向节部36而被支撑于加载梁35。作为驱动元件的一对压电元件50安装于万向节部36，相对于磁头17而言位于加载梁35的基端侧。
[0036]图5是表示悬架组件30的压电元件、柔性件、加载梁以及磁头的分解立体图，图6是悬架组件30的前端部的俯视图，图7是将万向节部的一部分放大表示的俯视图。
[0037]如图3?图6所示，柔性件40具有:不锈钢等的金属薄板(衬里层)44a，其成为基体；基础绝缘层44b，其形成在该金属薄板44a上；导电层(布线图案)44c，其形成在基础绝缘层44b上，构成多个信号布线45a、驱动布线45b ;以及覆盖绝缘层(保护层)44d，其覆盖导电层44c并层叠于基础绝缘层44b上(参照图7、图8)，柔性件40形成细长的带状的层叠板。在柔性件40的前端侧部分40a，金属薄板44a侧贴附于加载梁35和基板42的表面上，或者，在多个焊接点70被点焊。
[0038]在柔性件40的万向节部36，金属薄板44a具有:矩形的舌部(支撑部)36a，其位于金属薄板44a的前端侧；矩形的基端部(基端板部)36b，其与舌部36a隔着空间部36e而位于金属薄板44a的基端侧；细长的一对支架(连接部)36c，其从舌部36a延伸至基端部36b ;岛状的一对分离板部36d，其在舌部36a与基端部36b之间设置于空间部36e ;以及一对柄(支撑突起)其从舌部36a的两侧缘向舌部36a的两侧突出。
[0039]基端部36b通过点焊而固定在加载梁35的表面上。基端部36b成为从焊接点70起连续的形状，但中途也可以有缺口或者缝。舌部36a形成为能够载置磁头17的大小和形状，例如，形成为大致矩形。舌部36a配置成其宽度方向的中心轴线与悬架34的中心轴线C 一致。另外，舌部36a的大致中心部与在加载梁35的前端部突出设置的波纹(dimple，凸部)48抵接。进一步，舌部36a通过一对外伸外伸支架36c发生弹性变形，能够向各种方向位移。由此，舌部36a和在该舌部36a上搭载的磁头17能够在滚动(roll)、俯仰(pitch)方向上灵活地跟随磁盘16的变动，在磁盘16的表面与磁头之间维持微小间隙。一对柄36f通过金属薄板44a而与舌部36a形成为一体，从舌部36a的两侧缘向与中心轴线C大致正交的方向突出。此外，柄36f并不仅限于金属薄板44a，也可以通过在金属薄板44a上层叠的导电层44c、基础绝缘层44b、覆盖绝缘层44d而形成。
[0040]在万向节部36，柔性件40的基础绝缘层44b的一部分一分为二而位于悬架34的中心轴线C的两侧。基础绝缘层44b具有:基端部47a，其固定于金属薄板44a的基端部36b上；前端部47b，其贴附于舌部36a上；一对带状的第I桥部47c，其从基端部47a在分离板部36d上通过而延伸至前端部47b ;以及一对带状的第2桥部47d，其分别与第I桥部47c并排地从基端部47a延伸至第I桥部47c的中途部，与第I桥部47c汇合。第I桥部47c与外伸支架36c并排地位于舌部36a的两侧，与悬架34的中心轴线C大致平行地、即沿着加载梁35的长边方向延伸。另外，第I桥部47c在柄36f上和外伸支架36c的横杆上通过而延伸，局部固定于柄36f上和外伸支架36c的横杆上。此外，外伸支架36c也可以设置在舌部36a与第I桥部47c之间，在该情况下，第I桥部47c的一部分固定于柄36f。
[0041]如图6和图7所示，各第2桥部47d位于第I桥部47c与外伸支架36c之间，与第I桥部47c和外伸支架36c并排地延伸。第2桥部47d在柄36f的附近的汇合部47f与第I桥部47c汇合。在汇合部47f，第I桥部47c与第2桥部47d所成的角度Θ形成为45度以上且低于90度。金属薄板44a的岛状的一对分离板部36d在汇合部47f与基端部47a之间固定于第I桥部47c的下表面。
[0042]在万向节部36，导电层44c具有:从基础绝缘层44b的基端部47a通过第2桥部47d、汇合部47f和第I桥部47c而延伸至前端部47b的多条信号布线45a ;以及从基端部47a延伸至第I桥部47c的中途部的多条驱动布线45b。信号布线45a与在前端部47b设置的多个电极焊盘40d连接。另外，导电层44c具有在汇合部47f和分离板部36d的附近在第I桥部47c上形成的加强布线部45c。另外，导电层44c也可以具有在第I桥部47c上延伸至柄36f的虚设布线45d或者接地线。此外，驱动布线45b也可以从基端部47a通过第2桥部47d、汇合部47f而延伸至第I桥部47c的中途部。
[0043]如图7所示，加强布线部45c在分离板部36d与汇合部47f之间，位于第I桥部47c上。在本实施方式中，加强布线部45c和第I桥部47c具有以从分离板部36d侧(后述的驱动元件侧)朝向汇合部47f向悬架中心轴线C侧变细的方式倾斜的倾斜缘51。S卩，通过设置这样的倾斜缘51，能够将磁头17的伴随后述的压电元件50的伸缩动作的转动中心位置调整为在悬架中心轴线C上。
[0044]如图6所示，在万向节部36，上述的第I桥部47c、第2桥部47d、外伸支架36c、布线45a、45b位于舌部36a的两侧，相对于悬架34的中心轴线C，形成为左右对称。此外，在本实施方式中，万向节部36在汇合部47f的附近，具有架在外伸支架36c和第2桥部47d的辅助桥57。辅助桥57由从外伸支架36c延伸出的金属薄板44a的突起形成。
[0045]如图3?图7所示，磁头17通过粘接剂而固定于舌部36a。磁头17配置成其中心轴线与悬架34的中心轴线C 一致，另外，磁头17的大致中心部位于波纹48上。磁头17的记录、再生元件通过软焊料或银膏等导电性粘接剂而与前端部47b的多个电极焊盘40d电接合。由此，磁头17经由电极焊盘40d而与用于传递记录再生信号的信号布线45a连接。
[0046]作为驱动元件的一对压电元件50例如使用矩形板状的薄膜压电元件(PZT元件)。压电元件50不限于薄膜型(厚度10 μ m左右)，也可以使用块型或块层叠型(厚度50 μ m以上)的压电元件。另外，压电元件50不限于PZT元件，也可以使用其他的压电元件。进一步，驱动元件不限于压电元件50，也可以使用能够通过施加电流而伸缩的其他的驱动元件。
[0047]图8是沿着图7的线A-A的、压电元件安装区域的剖视图。如图6?图8所示，压电元件50分别通过粘接剂等贴附于第I桥部47c的上表面。S卩，由绝缘层44b构成的第I桥部47c具有与金属薄板44a相对的下表面和位于该下表面的相反侧的上表面，压电元件50贴附于第I桥部47c的上表面。这些压电元件50配置成，其长边方向(伸缩方向)与加载梁35和第I桥部47c的长边方向平行。由此，2个压电元件50彼此平行地并排配置，且配置在磁头17的左右两侧。此外，压电元件50也可以相对于桥部47c的长边方向倾斜地配置，例如，2个压电元件50也可以配置成/、字形状。
[0048]金属薄板44a的分尚板部36d与基端部36b隔开长度(间隔)L而设置，在它们之间形成有开口 54a。压电元件50以跨过开口 54a的方式配置在绝缘层44b (第I桥部47c)上。压电元件50，在长边方向(伸缩方向)的一端部与金属薄板44a的基端部36b重叠地设置、并且长边方向的另一端部与分离板部36d重叠地设置的状态下，与第I桥部47c连接。各压电元件50与用于传递驱动信号的驱动布线45b电连接。
[0049]在本实施方式中，柔性件40具备抑制压电元件50和第I桥部47c的面外振动的相对板52。该相对板52在金属薄板44a的基端部36b与分离板部36d之间，贴附或固定于绝缘层44b的第I桥部47c的下表面，隔着绝缘层44b而与压电元件50相对。相对板52例如利用具有与金属薄板44a同等板厚的不锈钢板形成。如图7和图8所示，相对板52例如形成为矩形板状，具有与压电元件50的宽度大致相当的宽度以及比开口 54a的长度L短的长度。并且，相对板52与压电元件50的至少一部分相对地设置。在本实施方式中，相对板52与压电元件50的长边方向的中央部相对地配置，且与金属薄板44a的基端部36b和分离板部36d隔开间隙地配置。
[0050]相对板52不限于不锈钢，也可以含铜、镍等的其他的金属或者合成树脂等。另外，相对板52不限于矩形，也可以形成为其他形状。相对板52也可以形成为比压电元件50的宽度大的宽度、或者比第I桥部47c的宽度大的宽度。相对板52的长度、宽度、厚度、形状能够根据振动抑制的程度而适当地选择。
[0051]通过经由驱动布线45b对压电元件50施加电压(驱动信号)，压电元件50沿着其长边方向(面方向)伸缩。如图9所示，通过以使彼此伸缩的方向成为逆向的方式驱动2个压电元件50，从而能够经由第I桥部47c使万向节部36的舌部36a摆动而使磁头17在寻道(交叉磁道方向)上位移。在压电元件50伸缩动作时，相对板52抑制压电元件50和第I桥部47c的面外振动、即与压电元件50的面或者压电元件的伸缩方向交叉的方向上的变形和振动。由此，能够防止不需要的面外振动传递至加载梁35或者磁头17，提高磁头17的定位精度。另外，通过抑制压电元件50的面外振动，从而能够充分维持压电元件50的伸缩方向的行程量，能够以更高的精度控制磁头17的位置。
[0052]另一方面，如图1所示，HSA22具有从轴承单元28向臂32的相反方向延伸出的支撑框，在该支撑框埋入有构成VCM24的一部分的音圈。在将HSA22组装入基体12上的状态下，各磁盘16位于2条悬架组件30之间。在HDD工作时，这些悬架组件30的磁头17分别与磁盘16的上表面和下表面相对，位于磁盘16的两面侧。在支撑框固定的音圈，位于在基体12上固定的一对磁轭37之间，并与该对磁轭37和在一方的磁轭37固定的未图示的磁石一起构成了 VCM24。
[0053]如图1所示，基板单元21具有从主体21a延伸出的主柔性印刷电路基板(以下，称为主FPC) 21b。主FPC21b的伸出端构成连接端部，固定在HSA22的轴承单元28附近。各悬架组件30的柔性件40的连接端部40c通过机械和电的方式连接于主FPC21b的连接端部。由此，基板单元21经由主FPC21b和柔性件40而与磁头17和压电元件50电连接。
[0054]根据如以上那样构成的HDD和悬架组件30，通过柔性件(布线部件)40对压电元件50施加驱动信号(例如电压)，从而能够使在万向节部36安装的磁头17在寻道方向上位移。由此，通过控制施加于压电元件50的电压，能够精细地控制磁头17的位置，能够提高磁头的定位精度。
[0055]在压电元件50的安装区域，将隔着绝缘层44b而与压电元件50相对的相对板52设置于第I桥部47c。通过该相对板52，能够抑制压电元件50和第I桥部47c的面外振动、即与压电元件50的面或者压电元件的伸缩方向交叉的方向上的振动。由此，能够有效地降低加载梁35和磁头17的共振，能够提高磁头17的定位精度。
[0056](第I变形例)
[0057]图10是表示第I变形例涉及的悬架组件的压电元件的安装区域的剖视图。根据本变形例，在压电元件50的安装区域，通过对相对板52进行半蚀刻，从而能够将相对板52的厚度形成得比金属薄板44a的板厚小。例如，相对板52的厚度形成为金属薄板44a的板厚的大约一半。
[0058]在如上述那样构成的第I变形例中，也能得到与上述第I实施方式同样的作用效果。另外，通过使相对板52变薄，相对板52的重量减轻，能够降低相对板52自身的振动。另外，相对板52对压电元件50的伸缩动作施加的约束力降低，能够提高压电元件50的驱动力和行程量。
[0059]关于第I实施方式涉及的悬架组件、第I变形例涉及的悬架组件以及比较例涉及的悬架组件，图11示出了使用有限元解析的振动解析的模拟结果。比较例涉及的悬架组件设为不具备相对板52。在模拟中，设定为，加载梁的板厚为30μπι，柔性件40的金属薄板44a的板厚为18 μ m，绝缘层44b的膜厚为8 μ m，导电层44c的膜厚为12 μ m，压电元件50的T元件厚为10 μ m。金属薄板44a的基端部36b与分离板部36d的间隔L为0.3mm，相对板52的长度为0.2mm，宽度为0.1mm0
[0060]图11示出了在将电压施加于压电元件50时，磁头的滑块的跟踪(tracking)方向上的振动传递特性，主要示出了 21kHZ频段出现的加载梁的二次扭转共振附近的特性。从该图可知，在同一电压输入条件下，在比较例涉及的悬架组件中，在2000?21200HZ激发了加载梁的共振，而在第I实施方式和第I变形例涉及的悬架组件中，未激发加载梁的共振。
[0061]综上所述，根据第I实施方式和第I变形例，能够提供能够抑制不需要的面外振动、并能够实现头的定位精度的提高的悬架组件、头悬架组件和盘装置。
[0062]接下来，对其他实施方式和变形例涉及的悬架组件进行说明。在以下所述的其他实施方式中，对与上述第I实施方式相同的部分，标注相同的附图标记并省略其详细的说明。
[0063](第2实施方式)
[0064]图12是表示第2实施方式涉及的悬架组件的压电元件的安装区域的剖视图。根据本实施方式，安装有压电元件50的绝缘层44b的第I桥部47c在与压电元件50的长边方向中央部相对的位置具有通孔72或间隙。例如，第I桥部47c在与压电元件50的长边方向中央部相对的位置，具有矩形的通孔72。相对板52具有与金属薄板44a同样的材料、即不锈钢板。相对板52在金属薄板44a的基端部36b与分离板部36d之间，贴附或固定于第I桥部47c的下表面，隔着绝缘层44b而与压电元件50相对。进一步，相对板52覆盖第I桥部47c的通孔72或间隙而作为盖。
[0065]压电元件50通过粘接剂而贴附于第I桥部47c的上表面。在贴附时，通过粘接剂润湿扩展至通孔72，从而能够将压电元件50稳定地粘接固定。同时，粘接剂蓄积于通孔72，所以能够防止其蔓延到压电元件50的表面侧。
[0066]另外，在第2实施方式中，通过设置相对板52，也能够得到与前述第I实施方式同样的作用效果。
[0067]此外，对本发明的几个实施方式和变形例进行了说明，但这些实施方式和变形例是作为例子提出的，目的不在于限定发明的范围。这些新实施方式能够以其他各种形态实施，能够在不脱离发明主旨的范围内进行各种省略、置换、变更。这些实施方式包含于发明的范围和主旨内，并且包含于技术方案所记载的发明和与其均等的范围内。
[0068]例如，在前述的实施方式中，一对压电元件50构成为安装于万向节部36，相对于磁头17位于加载梁35的基端侧，但不限定于此。一对压电元件50也可以例如配置在支撑磁头的支撑部(舌部)的宽度方向的两侧，与磁头并排。压电元件不限于一对，例如，也可以使用在滑块的前端侧设置的单个压电元件。
[0069]在上述实施方式中，HSA的臂使用了独立的板状的臂，但不限于此，也可以应用所谓的E框形状的多个臂与轴承衬套一体地形成的部件。磁盘不限于2.5英寸，也可以是其他大小的磁盘。磁盘不限于2张，也可以是I张或者3张以上，悬架组件的数量也根据磁盘的设置张数而增减即可。
【主权项】
1.一种悬架组件，具备: 支撑板； 布线部件，其设置在所述支撑板上；以及 驱动元件，其固定于所述布线部件且能够进行伸缩； 所述布线部件具有:金属板，其具有固定于所述支撑板的基端板部和从所述基端板部离开的分离板部；绝缘层，其层叠于所述金属板上，具有从所述基端板部通过所述分离板部而延伸的桥部；以及导电层，其层叠于所述绝缘层上且形成多条布线； 所述驱动元件跨所述基端板部和分离板部而配置在所述桥部上， 所述布线部件具备相对板，该相对板在所述基端板部与所述分离板部之间设置于所述桥部，并隔着所述绝缘层与所述驱动元件相对。2.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述相对板由金属或者合成树脂形成。3.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述相对板形成为比所述金属板的板厚小的厚度。4.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述相对板由与所述金属板相同的材料形成为与其相同的厚度。5.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述相对板具有比所述基端板部与分离板部的间隔短的长度，与所述基端板部和分离板部隔开间隙地配置。6.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述绝缘层的所述桥部在与所述驱动元件相对的位置具有间隙或者通孔， 所述相对板覆盖所述桥部的间隙或者通孔而固定于所述桥部。7.根据权利要求6所述的悬架组件，其中， 所述驱动元件通过粘接剂而贴附于所述桥部，所述粘接剂的一部分填充于所述间隙或者通孔。8.根据权利要求1所述的悬架组件，其中， 所述驱动元件具有沿着伸缩方向的一端部和另一端部，所述一端部隔着所述绝缘层被支撑在所述基端板部上，所述另一端部隔着所述绝缘层被支撑在所述分离板部上。9.一种头悬架组件，具备: 权利要求1?8中任一项所述的悬架组件；以及 磁头，其设置于所述悬架组件的所述布线部件。10.一种盘装置，具备: 记录介质，其具有记录层； 权利要求1?8中任一项所述的悬架组件；以及 磁头，其设置于所述悬架组件的所述布线部件。
【文档编号】G11B5/48GK105989859SQ201510088065
【公开日】2016年10月5日
【申请日】2015年2月26日
【发明人】青木健郎, 青木健一郎
【申请人】株式会社 东芝