专利名称：一种真空密封谐振腔调节镜座的制作方法
技术领域：
本实用新型属于激光技术领域中的一种真空密封谐振腔调节镜座。
(二)技术背景谐振腔调节镜座，用于调节激光器谐振腔镜的平行度，只有两个谐振腔镜保持平行，才能产生激光振荡，因此，谐振腔调节镜座，在激光器的调试中，占有重要位置。激光器谐振腔镜座的调节，以前是采用光斑非连续定位的方法，操作起来很困难，几乎全靠操作者的经验，才能找到光斑的位置。与本实用新型最为接近的已有技术是很长一段时间以来，国内外激光界经常采用的被称为与镜座焊接的带有弹性的软管式机构，如图1所示是由调节杆1、谐振腔镜2、弹性软管3、谐振腔镜座4、固定座5、真空密封室6组成的，该机构加工很困难，装调工艺复杂，操作不方便，很难保证调节精度，稳定性差。为了克服上述缺点，特设计一种结构新颖、加工简单、调节方便的谐振腔调节镜座。
发明内容解决的技术问题保证真空室的真空度不下降，保证达到调节精度，简化加工工艺，调节方便。解决技术问题的技术方案是采用固定座凹槽环与谐振腔镜座凸沿环配合加“O型”密封胶圈以及通过三点相间分布的带弹簧的调节螺钉和调节顶针调节机构。
本实用新型的详细内容如图2所示是由调节螺钉7、调节弹簧8、谐振腔镜9、调节顶针10、调振腔镜座11、固定座12、密封胶圈13、真空室14、谐振腔镜座凸沿槽15、调节螺钉孔16、调节顶针孔17组成的。
谐振腔镜9放在谐振腔镜座11中心的凹台肩上，与凹台肩密封配合，谐振腔镜座11和固定座12是两个同心直径相同的圆形体，谐振腔镜座11的凸沿环伸入到固定座12的凹槽环内，两者间保持很小的间隙，在谐振腔镜座11的凸沿环上设有凸沿槽15，在凸沿槽15内镶嵌密封胶圈13，密封胶圈13的外沿与固定座12的凹槽环内圆密封配合，以使真空室14保持真空密封。
在谐振腔镜座11和固定座12的等长的圆周半径上，分别以120°间隙均布着调节螺钉孔16和调节顶针孔17，两者是相间分布的，调节顶针孔17落在两个调节螺钉孔16与圆心连线的角度平分线上，也就是调节螺钉孔16和调节顶针孔17与圆心连线的夹角为60°，谐腔腔镜座11上的调节螺钉孔16为光滑孔，固定座12上的调节螺钉孔16为螺纹孔，谐振腔镜座11上的调节顶针孔17为螺纹孔，固定座12上的调节顶针孔17为一个平底盲孔，谐振腔镜座11和固定座12之间用调节螺钉7连接，调节螺钉7与谐振腔镜座11的调节螺钉孔16之间为间隙配合，与固定座12的调节螺钉孔16之间螺纹配合，调节顶针10与谐振腔镜座11上的调节顶针孔17之间是螺纹配合，与固定座12上的调节顶针孔17之间是顶尖与盲孔底面接触配合，调节螺钉7靠近帽的一端套上调节弹簧8，调节弹簧8的另一端与谐振腔镜座11接触。
工作原理说明由激光器的工作原理要求，激光介质的工作状态为负压，约为0.6-1.6Kpa，利用“O型”密封胶圈，可保证真空室的真空密封，使谐振腔镜座处于悬浮状态，又由于对谐振腔镜座和固定座采用相间分布的调节螺钉和调节顶针的三拉三顶结构，在调整调节顶针时，使调节螺钉上的调节弹簧发生作用，带动谐振腔镜座11动作，可使对谐振腔镜平行度的调节达到要求，保证激光在谐振腔中产生振荡，完成激光输出。
积极效果结构简单、容易加工、装调和操作方便，并能保证两个谐振腔镜之间的平行精度，从而保证激光在腔内产生振荡，输出激光。
图1为已有技术的结构示意图，图2为本实用新型的结构示意图，其中左图为侧剖视图，右图为主视图，摘要附图采用图2。
具体实施方式
本实用新型采用图2所示的结构，谐振腔镜座11和固定座12的材质采用黄铜H59，表面镀镍，谐振腔镜座11上的调节顶针孔17的螺距采用0.5mm，固定座12上的调节螺钉孔16的螺纹的螺距采用标准螺距，调节螺钉7采用标准螺钉，调节顶针10采用螺距为0.5mm的细牙螺钉，材质采用Φ235。调节弹簧8采用1.4mm的碳素弹簧丝制成。
权利要求1.一种真空密封谐振腔调节镜座，是由谐振腔镜、谐振腔镜座、固定座、真空室组成的，其特征在于本实用新型包括调节螺钉7、调节弹簧8、谐振腔镜9、调节顶针10、调振腔镜座11、固定座12、密封胶圈13、真空室14、谐振腔镜座凸沿槽15、调节螺钉孔16、调节顶针孔17组成的，谐振腔镜9放在谐振腔镜座11中心的凹台肩上，与凹台肩密封配合，谐振腔镜座11和固定座12是两个同心直径相同的圆形体，谐振腔镜座11的凸沿环伸入到固定座12的凹槽环内，两者间保持很小的间隙，在谐振腔镜座11的凸沿环上设有凸沿槽15，在凸沿槽15内镶嵌密封胶圈13，密封胶圈13的外沿与固定座12的凹槽环内圆密封配合，在谐振腔镜座11和固定座12的等长的圆周半径上，分别以120°间隙均布着调节螺钉孔16和调节顶针孔17，两者是相间分布的，调节顶针孔17落在两个调节螺钉孔16与圆心连线的角度平分线上，也就是调节螺钉孔16和调节顶针孔17与圆心连线的夹角为60°，谐振腔镜座11上的调节螺钉孔16为光滑孔，固定座12上的调节螺钉孔16为螺纹孔，谐振腔镜座11上的调节顶针孔17为螺纹孔，固定座12上的调节顶针孔17为一个平底盲孔，谐振腔镜座11和固定座12之间用调节螺钉7连接，调节螺钉7与谐振腔镜座11的调节螺钉孔16之间为间隙配合，与固定座12的调节螺钉孔16之间螺纹配合，调节顶针10与谐振腔镜座11上的调节顶针孔17之间是螺纹配合，与固定座12上的调节顶针孔17之间是顶尖与盲孔底面接触配合，调节螺钉7靠近帽的一端套上调节弹簧8，调节弹簧8的另一端与谐振腔镜座11接触。
专利摘要本实用新型属于激光技术领域中的一种真空密封谐振腔调节镜座。要解决的技术问题是保证真空室的真空度不下降,保证达到调整精度,简化加工工艺,技术方案是采用固定座的凹槽环与谐振腔镜座凸沿环配合加“O”型密封胶圈以及通过三点相间分布的带压缩弹簧的调节螺钉和调节顶针的调节机构。本实用新型是由谐振腔镜座、固定座、调节螺钉、调节顶针、密封胶圈、真空室等构件组成的圆形谐振腔镜座调节机构,使谐振腔镜座处于稳定悬浮状态,谐振腔镜间的平行程度的调节达到要求,保证激光在谐振腔中产生振荡,完成激光输出。
文档编号H01S3/02GK2507166SQ0126550
公开日2002年8月21日 申请日期2001年9月25日 优先权日2001年9月25日
发明者刘家燕 申请人:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所