专利名称：具有隔离阀门的气体激光器的制作方法
技术领域：
本发明与气体激光器有关，特别是一种具有隔离阀门的气体激光器。
背景技术：
大型高功率二氧化碳激光器及准分子激光器中，为了获得稳定的激光输出，气体要流动循环，但是在放电过程中，电极与气体相互作用会产生一些物质被吸附在激光腔的窗口上，从而影响激光的稳定输出。为此，激光器生产商建议定期清洁腔片。在清洁腔片时整个放电室暴露在大气中，要恢复正常运转，对激光器要经过反复充气换气放电。这样不仅增加了激光器的运转成本，而且浪费了不少时间。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺陷，提供一种具有隔离阀门的气体激光器，达到投资少，使用方便，运行成本低的优点。
本发明的技术解决方案是一种具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室，其特征是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门，该气体隔离阀门外为气体隔离室，该隔离室有二个出口，出口连接真空泵，出口连接激光混合气体瓶，隔离室另一端为激光腔片，激光放电室还设有气口。
本发明的优点是明显的。由于在谐振腔腔片及放电室之间放置了一个隔离阀门，在更换或清洗腔片时将该阀门关闭，更换或清洗以后在隔离区内补充少量激光气体，再将隔离区阀门打开。由于整个激光放电室除隔离区外未暴露在大气中，它可以使激光器很快进入稳定状态。具有投资少，使用方便，运行成本低的优点。
图1是本发明结构图。
具体实施例方式如图1所示。本发明具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室1，其特点是在该放电室1的两端各设有一气体隔离阀门2，该气体隔离阀门2外为气体隔离室3，该隔离室3有二个出口，出口5连接真空泵，出口6连接激光混合气体瓶，隔离室3另一端为激光腔片4或9，激光放电室1还设有气口7。
激光器运转时，气体隔离阀门2处于开启状态，二端激光腔片4和9组成一个激光谐振腔。当需要清洁激光腔片4时，首先将气体隔离阀门2处于关闭。通过出口5将隔离区3内的气体排放出去与环境压力相同，此时可以取下激光腔片4进行清洁处理，清洁以后再将激光腔片4安装到原位。出口5处用真空泵将隔离室3抽成真空，然后经过出口6补充激光气体，使隔离室3内的压力与激光放电室1内气体8的压力一致，此时将气体隔离阀门2打开，激光器即可恢复正常工作。
下面举一具体实施例以作进一步说明。
如图1所示结构，激光放电室1为一个准分子激光放电室，直径为30cm，长为100cm，内充激光气体含有98.9％氖气，1％氩气和0.1％氟气，总气压为0.3MPa.
激光腔片4为193nm全反射腔片，激光腔片9是石英窗口。5、6处的阀门在激光工作时处于关闭状态，插板阀门2处于开启状态。当要更换腔片4时，首先关闭插板阀门2，然后打开连接真空泵的阀门5使隔离室3处于真空状态，然后关闭阀门5，打开阀门6使隔离室3内充入与激光放电室1内气压一致的空气，然后清洁或更换腔片4，接着关闭阀门6，打开阀门5使隔离室3抽真空，达到10-3真空度后关闭阀门5，打开阀门6充入激光混合气体至0.3MPa，然后关闭阀门6，打开插板阀2即完成腔片4的清洁或更换。
按上述步骤，可以更换或清洁腔片9。
经试用证明，本发明具有投资少，使用方便，运行成本低的优点。
权利要求
1.一种具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室(1)，其特征是在该放电室(1)的两端各设有一气体隔离阀门(2)，该气体隔离阀门(2)外为气体隔离室(3)，该隔离室(3)有二个出口，出口(5)连接真空泵，出口(6)连接激光混合气体瓶，隔离室(3)另一端为激光腔片(4)和(9)，激光放电室(1)还设有气口(7)。
全文摘要
一种具有隔离阀门的气体激光器，包括激光放电室，其特点是在该放电室的两端各设有一气体隔离阀门，该气体隔离阀门外为气体隔离室，该隔离室有二个出口，出口连接真空泵，出口连接激光混合气体瓶，隔离室另一端为激光腔片，激光放电室还设有气口。本发明具有投资少，更换或清洗腔片方便，运行成本低的优点。
文档编号H01S3/03GK1494185SQ03150510
公开日2004年5月5日 申请日期2003年8月22日 优先权日2003年8月22日
发明者楼祺洪 申请人:中国科学院上海光学精密机械研究所