专利名称：一种流动式低真空气体压强控制装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种流动式低真空气体压强控制装置。
背景技术：
对以氦气或氖气为缓冲气体的流动式脉冲放电气体激光器(包括金属蒸气激光器)而言，缓冲气体的压强对激光输出特性有较大影响。不同类型的气体激光器对缓冲气体压强的要求有显著差异，有些激光器只能在较低的缓冲气体压强下才能获得激光振荡，如脉冲放电的He-Hg+激光器、He-Cd+激光器和Ne-CuBr的铜离子紫外激光器等，要求的缓冲气体压强范围在0.3～1.5kPa左右。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种流动式低真空气体压强控制装置，在流动状态下可精确控制气体压强。
为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是它包括充有氦气或氖气的高压钢瓶，高压钢瓶经减压阀、第一高真空针形阀分成两路，一路经机械式真空表、另一路经第二高真空针形阀接标有毫米刻度、装有真空硅油的玻璃U形管的一端，U形管的另一端和机械式真空表接激光放电管的一端；机械真空泵经第三高真空针形阀、过滤器接激光放电管的另一端。
所说的标有毫米刻度的玻璃U形管，其高度为45cm。
本实用新型与背景技术相比，具有的有益的效果是根据需要调节高真空针形阀，改变激光放电管内的缓冲气体压强，并由U形管两边的油面高度之差精确测得压强大小，测量精度达0.01kPa，它比一般机械真空表的精度提高约25倍；由于利用U形管油面高度之差来显示气体压强，故在激光器工作时，可避免因气体放电产生的电磁干扰，从而保证测量精度。满足了流动式低压放电气体激光器中精确测量气压和进行少量掺杂气体实验的要求。
附图是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
如附图所示，本实用新型包括充有氦气或氖气的高压钢瓶B，高压钢瓶B经减压阀V0、第一高真空针形阀V1分成两路，一路经机械式真空表M、另一路经第二高真空针形阀V2接标有毫米刻度、装有真空硅油的玻璃U形管UT的一端，U形管UT的另一端和机械式真空表M接激光放电管LT的一端；机械真空泵P经第三高真空针形阀V2、过滤器F接激光放电管LT的另一端。所有连接管道均为高真空橡皮管。
具体工作过程如下U型管UT中注入约25cm高的真空硅油，激光器放电之前，第一高真空针形阀V1关闭，打开第二高真空针形阀V2和第三高真空针形阀V3针阀，将整个气路系统抽成低真空，然后，关闭第二高真空针形阀V2，调节进气第一高真空针形阀V1和抽气第三高真空针形阀V3，可在一定范围内按需改变激光放电管内的缓冲气体压强，并由U形管UT两边的油面高度之差精确测得压强大小，测量精度达0.01kPa，比一般机械真空表的精度提高约25倍。
权利要求1.一种流动式低真空气体压强控制装置，其特征在于包括充有氦气或氖气的高压钢瓶(B)，高压钢瓶(B)经减压阀(V0)、第一高真空针形阀(V1)分成两路，一路经机械式真空表(M)、另一路经第二高真空针形阀(V2)接标有毫米刻度、装有真空硅油的玻璃U形管(UT)的一端，U形管(UT)的另一端和机械式真空表(M)接激光放电管(LT)的一端；机械真空泵(P)经第三高真空针形阀(V2)、过滤器(F)接激光放电管(LT)的另一端。
2.根据权利要求1所述的一种流动式低真空气体压强控制装置，其特征在于所说的标有毫米刻度的玻璃U形管(UT)，其高度为45cm。
专利摘要本实用新型公开了一种流动式低真空气体压强控制装置。包括充有氦气或氖气的高压钢瓶，经减压阀、第一高真空针形阀分成两路，一路经机械式真空表、另一路经第二高真空针形阀接标有毫米刻度、装有真空硅油的玻璃U形管的一端，U形管的另一端和机械式真空表接激光放电管的一端；机械真空泵经第三高真空针形阀、过滤器接激光放电管的另一端。调节针形阀，改变激光放电管内的缓冲气体压强，并由U形管两边的油面高度之差精确测得压强大小，测量精度达0.01MPa，它比一般机械真空表的精度提高约25倍；利用U形管油面高度之差来显示气体压强，可避免因气体放电产生的电磁干扰，保证测量精度。满足流动式低压放电气体激光器中精确测量气压和进行少量掺杂气体实验的要求。
文档编号H01S3/00GK2634516SQ0323244
公开日2004年8月18日 申请日期2003年6月20日 优先权日2003年6月20日
发明者潘佰良, 陈钢, 陈坤, 姚志欣 申请人:浙江大学