专利名称：压电执行元件的制作方法
现有技术本发明涉及一种根据独立权利要求前序部分特征的压电执行元件，例如用于操作机械部件如阀或类似部件的压电执行元件。
一般地公知了，利用所谓的压电效应可由具有适当晶体结构的材料构造压电元件。当施加外部电压时产生出该压电元件的机械响应，根据晶体结构及电压的作用范围该响应表现为一个预定方向上的压力或拉力。该压电执行元件的结构在这里能以多个层来实现(多层执行元件)，其中施加电压的电极分别设置在这些层之间。这种压电执行元件能够例如被设置在机动车上的燃料喷射系统中用于驱动开关阀。
由DE 100 26 005 A1公开了这样一种压电执行元件，其中相应的外电极被构成网状或织物状地分布在每个侧面上及至少以点的方式与相应的内电极相接触。因此，网状或织物状的外电极这样地通过压电层的多层结构被延长，以致在延长部分上电压的输入通过相应的端子来实现。
本发明的优点开始部分所述的具有被网状或织物状作为筛状电极(Siebelektrode)施加及至少以点的方式与相应的内电极相接触的外电极的压电执行元件以有利的方式如下地被进一步构成，即，这些内电极的触点接通在角部区域中进行，其中，相应的网状、或织物状的外电极在一个预先给定区域中围绕相应的角包绕地延伸及与相应的内电极至少部分地接触。
在一个特别有利的实施形式中，相应的网状或织物状的外电极在这些压电层的多层结构构造方向上继续延伸及在那里可设置一个端子触头。在此情况下有利的还在于，如果继续延伸部分及端子触头处于压电执行元件的横截面的区域中，即例如处于其端面上。
根据另一实施形式，相应的网状或织物状的外电极在这些压电层的侧面继续延伸及在那里设有一个端子触头。
相应的网状或织物状的外电极可在任何情况下有利地在继续延伸部分的区域中被卷曲及设置端子触头。在此情况下特别有利的是，如果相应的网状或织物状的外电极和/或端子触头由因钢(Invar)制成，由此该外电极具有与压电执行元件相同的膨胀系数。
此外相应的网状或织物状的外电极和/或端子触头分别与这些内电极相钎(锡)焊或熔焊。
将借助附图来描述根据本发明的压电执行元件的实施例。附图表示图1具有一些由压电陶瓷层及一个筛状外电极的多层结构的一个压电执行元件的视图，该外电极在层结构的端部为了触点接通被继续延伸，图2具有根据图1的筛状外电极的被卷起的继续延伸部分的压电执行元件端面的俯视图，该外电极具有用于电压的端子，图3筛状外电极的被卷起的继续延伸部分的一个变型方案，及图4及5分别为钎(锡)焊或熔焊的外电极的细节图。
具体实施例方式
图1中示出一个压电执行元件1，它以公知的方式由具有一个适当晶体结构的一个陶瓷材料的多个压电薄膜构成，以致在利用所谓压电效应的情况下，当通过相应的电端子将一个外部电压施加在内电极2及3上时，则发生压电执行元件1的一个机械响应。在图1中表示交替的触点接通结构的一个，这里为一些内电极2在压电执行元件1角部区域中与一个网状、织物状或筛状的外电极4的触点接通结构，该外电极在一个预先给定区域中围绕压电执行元件1的相应角包绕地延伸。
根据图1，在此情况下外电极4以一个区域5继续延伸到压电执行元件1的端面之上及在压电执行元件1的一侧被卷起，因此可接触一个电端子6。从图2可看到在该端面上的一个俯视图。图3示出在压电执行元件1的角部区域中被卷起的继续延伸部分5的一个替代方案。
在图4中详细示出筛状外电极4如何被钎(锡)焊或熔焊在压电执行元件1的侧面上的金属化基体7及8上，或根据图5如何被钎(锡)焊或熔焊在压电执行元件1的延伸于整个角部区域上的一个金属化基体9上。
权利要求
1.压电执行元件，具有-一些压电层及设置在压电层之间的一些内电极(2，3)的多层结构，-这些内电极(2，3)通过外电极(4)的交替的侧面的触点接通，通过这些外电极可输入一个电压，其中-相应的外电极(4)被网状或织物状或筛状地施加上及至少以点的方式与相应内电极(2，3)触点接通，其特征在于-这些内电极(2，3)的触点接通在压电执行元件(1)的角部区域中进行，其中，该网状、织物状或筛状的外电极(4)在一个预先给定区域中围绕相应的角包绕地延伸及与相应的内电极(2，3)至少部分地接触。
2.根据权利要求1的压电执行元件，其特征在于-该网状、织物状或筛状的外电极(4)在这些压电层的多层结构的方向上继续延伸(5)及在那里可设置一个端子触头(6)。
3.根据权利要求2的压电执行元件，其特征在于-该继续延伸部分(5)及端子触头(6)处于压电执行元件(1)的横截面的区域中。
4.根据权利要求1的压电执行元件，其特征在于-该相应的网状、织物状或筛状的外电极在这些压电层的侧面继续延伸及在那里可设置一个端子触头。
5.根据权利要求2至4中一项的压电执行元件，其特征在于-该相应的网状、织物状或筛状的外电极(4)在继续延伸部分(5)的区域中被卷曲及设置所述端子触头(6)。
6.根据以上权利要求中一项的压电执行元件，其特征在于-该相应的网状、织物状或筛状的外电极(4)和/或端子触头(6)由因钢制成。
7.根据以上权利要求中一项的压电执行元件，其特征在于-该相应的网状、织物状或筛状的外电极(4)和/或端子触头(6)分别与这些内电极(2，3)相钎(锡)焊。
8.根据权利要求1至6中一项的压电执行元件，其特征在于-该相应的网状、织物状或筛状的外电极(4)和/或端子触头(5)分别与这些内电极(2，3)相熔焊。
全文摘要
本发明提出一种压电执行元件，例如用于操作机械部件的压电执行元件，它具有一些压电层及设置在压电层之间的内电极(2，3)的多层结构及这些内电极(2，3)通过外电极(4)的一个交替的侧面的触点接通，通过这些外电极可输入电压。该相应的外电极(4)被网状或织物状或筛状地施加上及至少以点的方式与相应内电极(2，3)接触。这些内电极(2，3)的触点接通在压电执行元件(1)的角部区域中进行，其中，该网状、织物状或筛状的外电极(4)在一个预先给定区域中围绕相应的角包绕地延伸及与相应的内电极(2，3)至少部分地接触及在压电层的多层结构的方向上继续延伸(5)及在那里设置一个端子触头(6)。
文档编号H01L41/00GK1717815SQ03825691
公开日2006年1月4日 申请日期2003年7月10日 优先权日2002年12月20日
发明者弗里德里希·伯金 申请人:罗伯特·博世有限公司