专利名称：电子元件安装用薄膜载带的检测装置及检测方法
技术领域：
本发明是一种在电子元件安装用的薄膜载体带(TAB(TapeAutomated Bonding)带、T-BGA(Tape Ball Grid Array)带、CSP(Chip Size Package)带、ASIC(Application SpecificIntegrated Circuit)带、COF(Chip On Film)带、双金属(两面)配线带、多层配线带等)(以下仅称为“电子元件安装用薄膜载带”。)中，用来检测电路图不良的电子元件安装用薄膜载带的检测装置以及检测方法。
背景技术：
随着电子产业的发展，IC(集成电路)、LSI(大规模集成电路)等电字元件安装用的印刷电路板的需求急剧增加，并要求电子设备小型化、轻量化、高性能化，作为这些电子元件的安装方法，最近采用了使用TAB(Tape Automated Bonding)带、T-BGA(Tape Ball GridArray)带、ASIC(Application Specific Integrated Circuit)带、COF(Chip On Film)带、双金属(两面)配线带、多层配线带等的电子元件安装用薄膜载体带的安装方式。特别是要求个人电脑等的高精密化、薄型化、液晶画面的框架面积窄小化而使用液晶显示部件(LCD)，在电子产业中其重要性被提高。
作为对这种载带100品质实施检测的检测装置，现有设具有，如图9的自动检测装置(Automated Optical Inspection装置)100(以下，也称检测装置100)。
这种检测装置是由，用来开卷卷绕在卷盘114的电子元件安装用薄膜载带116的开卷部118，用来把电子元件安装用薄膜载带116向箭头方向送进的一对链轮122，124，以及用来检查形成在电子元件安装用薄膜载带116表面上的电路图缺陷的检查部130和用来收卷电子元件安装用薄膜载带116的收卷部144等构成。
从卷盘114开卷出来的电子元件安装用薄膜载带116，通过在载带116上形成的未图示的链轮孔与链轮122，124齿合，由链轮的旋转驱动，向箭头方向送进。
由链轮122传送过来的电子元件安装用薄膜载带116，通过一对压紧滚筒，132，133，如图9点线位置及实线位置所示，由位置F向位置F`挤压，从而矫正弯曲，松弛等现象，并固定在支持部135，136。
固定于一对支持部135，136的电子元件安装用薄膜载带116，由设在其下方的一对CCD摄像机138，139进行扫描，拍摄(取得)其电路图，从而自动对电路图的不良进行检测。
即，用CCD摄像机138，139对电路图进行摄像(取得)，以检查其电路图的不良，需要电子元件安装用薄膜载带116处于无弯曲，无松弛的平整状态。
但是，在这种检查部130，能矫正电子元件安装用薄膜载带116送进方向的弯曲，松弛等现象，而对电子元件安装用薄膜载带116宽度方向的弯曲，松弛等现象则没有进行考虑，成为难题。
作为解决这种问题的检查部，出现了如图10所示检查部(概略俯视图)(参照特开2002-217249号公报的权利要求1，图1～3)
这种检查部150包括一对压紧滚筒152，152以及分开配置在电子元件安装用薄膜载带154两侧的支持部156，158。电子元件安装用薄膜载带154安装在这种滚筒152和支持部156，158之间。
这样，如在电子元件安装用薄膜载带154的宽度方向出现弯曲，松弛等现象，通过驱动装置(未图示)，在这种滚筒152和支持部156，158之间夹住电子元件安装用薄膜载带154，如图10箭头所示，并使支持部156，158各向G方向和H方向移动，把载带116向宽度方向拉直，从而达到矫正宽度方向的弯曲，松弛等现象的目的。
即，在这样的检查部150上，电子元件安装用薄膜载带154在宽度方向的弯曲和松弛也都可以被矫正。
发明内容
但是，作为电子元件安装用薄膜载带，最近出现了COF为代表的薄型绝缘薄膜，其绝缘薄膜无配置孔，在绝缘薄膜安装面上设有端子用来和电子元件的端子连接，使用的是其厚度在75μm以下，甚至50μm以下的薄型薄膜载带。
COF薄膜载带因未设配置孔，其电路图的线宽可更加细微，从而尤其适合于电子仪器的小型化，轻量化。
将这种薄型薄膜载带使用具有图9，10所示检查部的电子元件安装用薄膜载带检测装置来进行检测时，因使用压紧滚筒将薄膜载带部分挤压，使其被挤压部分起皱，而且载带在压紧滚筒之间鼓起而起皱等问题时有发生。
还有，在薄型薄膜载带，宽度方向的两端部分(尤其是链轮孔周围)，易成为象海藻的边缘部位的，凹凸的起伏状，对这种形状，现有的检测装置无法对应而无法进行矫正，成为问题。
另外，在电子元件安装用薄膜载带，有时切除电子元件安装用薄膜载带的不良部分以后，如图8所示，会有将电子元件安装用薄膜载带T’纵向端部和电子元件安装用薄膜载带T”纵向端部用粘接胶带U接合起来产生的接合部V。在这种场合，因粘接胶带U的厚度通常为100～200μm左右，故在现有的检测装置，当电子元件安装用薄膜载带的接合部V通过压紧滚筒时成了障碍，因压紧滚筒的原因，电子元件安装用薄膜载带受损伤的情况时有发生。
鉴于现状，本发明的目的为，提供一种电子元件安装用薄膜载带检测装置以及检测方法，即使用COF等薄型电子元件安装用薄膜载带时，也不发生送进方向及宽度方向的弯曲，松弛等现象，而且在电子元件安装用薄膜载带宽度方向的两端部分发生起伏现象时，也容易使电子元件安装用薄膜载带成为平整状态，以及电子元件安装用薄膜载带的带与带之间的接合部，不影响电子元件安装用薄膜载带的送进，也不会对电子元件安装用薄膜载带带来损伤。
本发明是为了达到上述现有技术中的课题以及目的，本发明中所涉及的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，是用来检测电子元件安装用薄膜载带的电路图不良的检测装置，其特征是，包括支持引导电子元件安装用薄膜载带，并设有检测用开口部的片门(Aperture gate)，上述片门包括板状的载带矫正部件，即沿着电子元件安装用薄膜载带的宽度方向对接于电子元件安装用薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力于电子元件安装用薄膜载带。
根据这种检测装置(方法)，板状的载带矫正部件对接于电子元件安装用薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力，使用COF等薄型电子元件安装用薄膜载带时，也不发生电子元件安装用薄膜载带的送进方向及宽度方向的弯曲，松弛等现象，而且电子元件安装用薄膜载带的宽度方向两个端部发生起伏时，也容易让载带成为平整状态。
由此，可消除载带的弯曲，松弛等现象给检测带来的影响，实施迅速又准确的品质检查。
上述载带矫正部件，可通过弹性部件加力于电子元件安装用薄膜载带的表面。
这样，电子元件安装用薄膜载带因接合形成接合部时，载带矫正部件从接合部上方向载带表面移动(落下)时，其施加于载带的力为弹性部件的弹力，故载带矫正部件不仅不会给载带造成损伤，还可稳定载带矫正部件的姿势。
这样，电子元件安装用薄膜载带存在接合部时，也不会防碍载带的送进，不会给载带带来损伤，故可实施迅速又准确的品质检查。
上述载带矫正部件加力于电子元件安装用薄膜载带的表面时，可由阻挡部件来定位该载带矫正部件的加力面。
这样，可根据电子元件安装用薄膜载带的薄膜厚度，适当调节载带矫正部件的位置。
上述载带矫正部件可构成为，由升降部件实施其上下移动。
通过上述升降部件，载带矫正部件向对接方向移动，并由阻挡部件定位后，升降部件向对接方向移动时，可不与载带矫正部件形成接触状态。
如此构成载带矫正部件，在定位载带矫正部件的加力面时，可以不受升降部件的影响。
上述载带矫正部件可构成为，安装在自由上下移动的载带矫正部件托架上，而上述载带矫正部件托架则通过弹性部件加力于对接方向，上述载带矫正部件托架和载带矫正部件之间装有弹性部件，而载带矫正部件加力于对接方向。
载带矫正部件托架以及载带矫正部件通过弹性部件加力于对接方向，可精确定位载带矫正部件的加力面。
上述载带矫正部件送进方向的边角部分可做成弧形。
这样，当载带矫正部件沿着对接方向加力于电子元件安装用薄膜载带时，不至于给载带表面造成损伤。
上述载带矫正部件可以由可透光的材料构成。
上述载带矫正部件可包括向其接触方向照射光线的透光照射装置。
这样，使用透过载带矫正部件的透光，可检测出电子元件安装用薄膜载带导线的电路图形之不良。
上述载带矫正部件与上述透光照射装置之间可包括光扩散部件。
这样，来自透光照射装置的光线，可均匀扩散在电子元件安装用薄膜载带的表面上，能精确检测电路图的不良。
上述载带矫正部件可构成为，通过反射于上述电子元件安装用薄膜载带的电路图表面的反射光线，检查该电路图的不良。
另外，被上述载带矫正部件施加压力的电子元件安装用薄膜载带，可安装用于直接照射光线的反射光照射装置。
这样，可利用反射光，对电路图的不良进行检测。
上述片门可包括，用来支撑电子元件安装用薄膜载带的宽度方向中心部位的载带支撑部件。
这样，电子元件安装用薄膜载带即使是宽形载带(多头带)，因有载带支撑部件支撑，而不会造成载带的弯曲，松弛。
另外，上述载带支撑部件的送进方向的边角部分可做成弧形。
这样，当电子元件安装用薄膜载带与载带支撑部件的送进方向时，不至于给载带表面造成损伤。
图1为本发明所涉及的电子元件安装用薄膜载带检测装置的正面图。
图2为片门60的，电子元件安装用薄膜载带送进方向的剖视图。
图3为图2之A-A线剖视图。
图4为图2之B-B线剖视图。
图5为图2之C-C线剖视图。
图6(1)为电子元件安装用薄膜载带的检查时的图2的I部分之放大图。
图6(2)为电子元件安装用薄膜载带的检查前的图2的I部分之放大图。
图7(A)为底板96的俯视图，图7(B)为其侧视图。
图8为电子元件安装用薄膜载带的接合部之示意图。
图9为现有电子元件安装用薄膜载带检测装置的示意图。
图10为现有电子元件安装用薄膜载带检测装置的示意图。
符号说明10，100 电子元件安装用薄膜载带检测装置20 开卷装置22 传动轴24，31，35，42，44，54，57，58导向滚筒26，56 位置传感器30 不良图形检查装置32 回张齿轮34 驱动齿轮38，138，139CCD摄像机39 控制装置40 标记装置
50收卷装置52收卷传动轴59跳动滚筒60片门62工作台64凸缘74升降臂74’ L形部分76滑动部77横向轴78导向部79开口部82载带矫正部件用衬套83球形导向部84第1弹簧85开口部86第2弹簧88支柱
89导向钉90载带矫正部件90a，90b 载带矫正部件的端部92调整块93阻挡部件94载带支撑部95开口部96底板114 卷盘116，154，T 电子元件安装用薄膜载带118 开卷部122，124 链轮130，150 检查部132，133 压紧滚筒135，136，156，158支持部144 收卷部152 滚筒R 卷盘
S保护衬U粘接胶带V接合部具体实施方式
以下，以图为基础，对本发明的实施方式(实施例)进行详细的说明。
图1为本发明所涉及的电子元件安装用薄膜载带检测装置的正面图。如图1所示，10为本发明之电子元件安装用薄膜载带检测装置。
如图1所示，电子元件安装用薄膜载带检测装置10由开卷装置20，不良图形检查装置30，标记装置40和收卷装置50构成。
开卷装置20中，卷盘R安装在传动轴22上。形成有电路图的电子元件安装用薄膜载带T与保护衬S一起卷装在此卷盘R，而电子元件安装用薄膜载带T可以是载带上未形成设备孔，而且直接在绝缘薄膜上形成有电路图的COF(Chip on film)等类型的电子元件安装用薄膜载带。
其次，通过驱动电机(未图示)的驱动，开卷传动轴22进行旋转，是电子元件安装用薄膜载带T和保护衬S一起从卷盘R开卷出来，并经过导向滚筒24，供给到不良图形检查装置30。
而开卷装置20的上下方向设有3个位置传感器26，如图1所示。当通过下方的位置传感器26检测出电子元件安装用薄膜载带T的松弛部分的下端T1时，就停止开卷装置20的驱动电机，以此来防止电子元件安装用薄膜载带T过于松弛而接触地面受损。还有，当通过上方的位置传感器26检测出电子元件安装用薄膜载带T的松弛部分的下端T1时，开卷装置20的驱动电机便开始驱动，以此来维持电子元件安装用薄膜载带的一定的松弛度。
从开卷装置20开卷出来的电子元件安装用薄膜载带T，经过导向滚筒31，供给到不良图形检查装置30。不良图形检查装置30中回张齿轮32和驱动齿轮34之间设有片门60。
在这个片门60，当电子元件安装用薄膜载带T通经过片门60时，通过设在电子元件安装用薄膜载带T下方的CCD摄像机38，来检测导线的电路图形不良。
以下，使用图面对片门60进行说明。
图2为片门60的，电子元件安装用薄膜载带送进方向的截面图，图3为图2之A-A线截面图，图4为图2之B-B线截面图，图5为图2之C-C线截面图，图6为图2片门60的I部分的放大图，图6之(1)表示电子元件安装用薄膜载带的检查时的状态，图6之(2)表示电子元件安装用薄膜载带的检查前的状态。
如图2所示，片门60的安装在工作台62上的凸缘64，64之间，以水平方向设有横向轴77。
在这个横向轴77隔着一定的间隔装有一对可自由滑动的滑动部76，76，而此滑动部76，76通过驱动手段(未图示)，向相反方向自由移动相同的距离，从而可对应任意宽度的载带。
在这个滑动部76，76的对面设有导向部78，78。此导向部78，如图2，图4(B-B线截面图)所示，为板状结构，其平面与电子元件安装用薄膜载带T的送进方向成平行状态。而导向部78为下部宽缘形状。
如图4所示，导向部78的宽缘部分的中心部设有矩形开口部79。而且，如图2所示，导向部78在工作台62的下方，其下端部78a向里弯曲成L字形。如图2，图4，图5所示，由这个L字形下端部78a，通过引导电子元件安装用薄膜载带T的两个侧端T1，T2及下面两侧部T3，T4，从而把载带T向送进方向引导。
另外，如图2，图3，图5所示，导向部78下方外侧，工作台62的下方设有载带矫正部件用衬套82。如图3所示，隔着一定间隔配置在电子元件安装用薄膜载带T的送进方向的支柱88，88，从工作台62的下方向下突出。而这个支柱88，88，如图3，贯通着载带矫正部件用衬套82的两端。
这个载带矫正部件用衬套82和支柱88接触的部分，如图3所示，设有球形导向部83，通过这个球形导向部83，载带矫正部件用衬套82可相对于支柱88，88进行滑动。
另外，如图2，图3所示，贯通着载带矫正部件用衬套82的支柱88，88，其下部与底板96固定。而底板96其四周被支柱88支撑于水平方向。
另外，如图3所示，载带矫正部件用衬套82朝下呈形，位于支柱88，88之间的载带矫正部件用衬套82，在其底面82a，82a，通过未图示之固定手段，固定有调整块92。这样，如图3，载带矫正部件用衬套82下方形成凸形开口部85。
即，通过把调整块92固定于载带矫正部件用衬套82的底面，形成凸形开口部85。而且，如上述，隔一定间隔配置在载带矫正部件用衬套82之内侧的导向部78其下方形成有矩形开口部79。
如图3～图6所示，板状调整块92配置在电子元件安装用薄膜载带T宽度方向，即配置在电子元件安装用薄膜载带T宽度方向的一对载带矫正部件用衬套82的开口部85内部，以及贯通导向部78的开口部79，并跨过载带矫正部件用衬套82，82之间。这样，如图2，图3，图6所示，调整块92上面支撑着载带矫正部件90。
以及，如图3所示，载带矫正部件用衬套82的上面开设有凹形弹簧承座82b，82b。在凹形弹簧承座82b，82b和支柱88，88的工作台62底面之间，第2弹簧86，86以压缩状态配置在其中。换句话说，第2弹簧86，86，以压缩状态配置在工作台62和载带矫正部件用衬套82之间。
这样，通过上述第2弹簧86，载带矫正部件用衬套82形成向下加力状态。
载带矫正部件用衬套82可忽略支柱88和球形导向部83的阻挡等影响，由第2弹簧86的恢复弹力以及载带矫正部件用衬套82的自重的作用下，向下挤压。
还有，载带矫正部件用衬套82的中心部的下端开设有面向开口部85的凹形弹簧承座82c。在凹形弹簧承座82c和载带矫正部件90上端之间，有第1弹簧84以压缩状态配置在其中。
这样，由第1弹簧84，让载带矫正部件90对接于调整块92，并向下加力。以此可吸收施加于载带矫正部件90的冲击。
如图3，图6，图7所示，在底板96的宽度方向端部96a，96a等上端，向上，即向调整块92的方向各凸设有两个阻挡部件93。这样，载带矫正部件用衬套82可下降至阻挡部件93，93的上部和调整块92对接为止。
另外，如图3所示，这个载带矫正部件90的下端，即面对载带T的送进方向的端部90a，90b的底边做成弧形。
将载带矫正部件90向下，即与电子元件安装用薄膜载带T对接的方向压下，在电子元件安装用薄膜载带T的上端和载带矫正部件90的下端相接触的状态下，电子元件安装用薄膜载带T沿着送进方向(图3中的左右方向)送进，因载带矫正部件90底边的送进方向的两端不存在锐利边角，从而使电子元件安装用薄膜载带T的表面不会受损。
本发明中所指对接方向为，载带矫正部件90对接于电子元件安装用薄膜载带T之表面的方向。
另外，对接于电子元件安装用薄膜载带T上端的载带矫正部件90下端的表面粗糙度以10点平均的表面粗糙度Rz(JIS B0601-1994)计，应为0.5～5μm，最好为1～3μm以内。
以算术平均粗糙度Ra(JIS B0601-1994)表示时，最好为0.2～1.0μm以内，以最大高度Ry(JIS B0601-1994)表示时，5μm以下为合适。
载带矫正部件90下端的表面粗糙度处于上述范围内，可使该下端的摩擦力变小，电子元件安装用薄膜载带T不与载带矫正部件90贴紧，从而可容易通过片门60，电子元件安装用薄膜载带T上端也不会受损。
通过使用上述载带矫正部件90，即使是COF等薄形薄膜载带，也不会在其送进方向和宽度方向发生弯曲，松弛等现象。而且链轮孔周围也不会发生载带的弯曲，松弛等现象。其次，电子元件安装用薄膜载带宽部方向的两端发生起伏时，可容易整平载带。
上述载带矫正部件90由可透光材料做成。本发明中的『可透光』，包含半透光的场合。这种可透光材料有玻璃，丙稀树脂等树脂材料做成的透光材料或半透光材料。
如图2，图5所示，导向部78和载带矫正部件用衬套82之间隔着一定距离设有一对板状升降臂74，74。此升降臂74，74的上部与驱动装置(未图示)联结，可上下移动。
图2及图6(1)所示，在载带矫正部件用衬套82的靠近电子元件安装用薄膜载带T的侧面的导向钉89，89的下方，升降臂74，74的下端向外弯曲成L字形，形成L形部分74’。
如图6(2)所示，升降臂74由未图示之驱动装置驱动，向上移动，而导向钉89，89与升降臂74的L形部分74’上端形成对接，使载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90，以及调整块92也一起上升。
固定于载带矫正部件用衬套82底面的调整块92，做成可交换的结构，通过解除未图示之固定手段，交换高度不同的调整块，可适当调整载带矫正部件90的位置。
另外，可以不用调整块92，而使用载带矫正部件90和调整块92为一体的形状的，换句话说，增加载带矫正部件90的电子元件安装用薄膜载带T宽度方向的端部之厚度的载带矫正部件。
另外，也可以不使用调整块92，而使用增加了厚度的载带矫正部件90。这种改变端部或全体的厚度而作出的载带矫正部件90，应所要检测的电子元件安装用薄膜载带T的要求，交换适当的载带矫正部件90，可随电子元件安装用薄膜载带T的薄膜厚度，调整载带矫正部件90的位置。
另外，如图7(A)所示，在底板96中心部设有开口部95。设开口部95，透光从载带矫正部件90上方照射，透过电子元件安装用薄膜载带T，被图1之CCD摄像机接受，从而可对电子元件安装用薄膜载带T的电路图不良进行检查。
其次，如图7之底板96的俯视图及侧视图所示，在底板96的上端中心部，平行于载带T之送进方向，设有载带支撑部94。
载带支撑部94设成与被传送之电子元件安装用薄膜载带T的下端接触。
使用上述载带支撑部94，让其通过未形成电路图的部分，载带T即使是宽形带(多头带)，因从下面支撑多头带，故多头带不会发生弯曲，松弛等现象。
上述载带支撑部94加工成镜面，而且其移动方向的边角部94a，94a形成弧形。这样，电子元件安装用薄膜载带与载带支撑部件的移动方向的边角部94a，94a相接触时，不对载带造成损伤。
本实施例中以设有载带支撑部94的场合为例进行了说明，但本实施例并不限与此，可以不设载带支撑部94。
本发明中载带支撑部94的数目并无特别限制，可以根据电子元件安装用薄膜载带T的种类，宽度适当选择，最好是设有一个以上。
如图2，图4所示，在载带矫正部件90上方，隔着一定间隔设有扩散板75。扩散板75的端部与升降臂74连接，配置在电子元件安装用薄膜载带T的宽度方向，并与载带矫正部件90成平行。而且，在扩散板75上方，隔着一定距离设置有透光照射部91。
通过设置扩散板75，来自透光照射部91的光线可均匀照射在载带矫正部件90。然后，光线透过由可透光材料做成的载带矫正部件90和电子元件安装用薄膜载带T，最后由CCD摄像机接受其透过光线。这样可对电子元件安装用薄膜载带T电路图不良进行检测。
这个扩散板75只要能透过并扩散光线，对其材料没有特别限制，可以由乳白色的丙稀树脂制造。但载带矫正部件90不透明时，例如所用材料为乳白色的丙稀树脂时，可以省略此扩散板75。
在本实施例中以使用透光的例子来进行说明，实际中可以不用透光而用反射光。
用反射光时，配置在底板96下方的CCD摄像机38的附近配置反射光照射部(未图示)。这时，为了反射来自反射光照射部的的光线，载带矫正部件90可由铝合金，SUS等金属材料制成，也可以是，由玻璃等透光材料做成的载带矫正部件90的上面设置金属板。
用反射光时，载带矫正部件90和金属板的表面色彩应为去掉光泽的黑色。而且用反射光时，没有必要配置扩散板75。
下面对上述结构的片门60关于电子元件安装用薄膜载带的检测方法进行说明。
先参照图3，图6，对检测前和检测后的片门60中的载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90，以及调整块92的配置进行说明。
图6为图2之片门60的I部的放大图。
图6(1)表示『电子元件安装用薄膜载带T的检测时』的状态。图6(2)表示『电子元件安装用薄膜载带T的检测前』，『倒送电子元件安装用薄膜载带T时』，『安装电子元件安装用薄膜载带T时』，『电子元件安装用薄膜载带T的检测完了时』等状态。
如图6(2)，在检测前升降臂74处于上升位置，导向钉89，89和L形部分74’的上端对接，而载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90和调整块92，抗拒第2弹簧86，86，一起上升。
通过第1弹簧84的作用，载带矫正部件90的端部对接于调整块92之上端，并向下施加压力，而调整块92固定于载带矫正部件用衬套82之下端。
在这个状态，载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90，还有调整块92，抗拒第2弹簧86，86一起上升至一定位置，故载带矫正部件90下端不与电子元件安装用薄膜载带T之上端接触。
这样，可以进行倒送电子元件安装用薄膜载带T或安装电子元件安装用薄膜载带T等作业。
图2的一对滑动部76，用未图示的移动手段，在横向轴77上各向内方向滑动，使导向部78，78相互之间的宽度约和载带T的宽度一致。
这样，如图2，图4，图5所示，通过导向部78的L形下端部78a，引导电子元件安装用薄膜载带T的两侧端部T1，T2以及底面两端T3，T4，从而载带T引导至送进方向。
其次，如图6(2)所示，驱动未图示的驱动装置，将升降臂74，74向下方移动。
升降臂74移动到下方，载带矫正部件用衬套82由第2弹簧86的恢复力，以及载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90和调整块92等的重量的作用下，通过球形导向部83把支柱88向下移动。
如图3，图6(1)所示，通过载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90和调整块92一起向下加力，调整块92的下端与设在底板96的阻挡件93对接，从而使调整块92在所定位置定位。
这时，升降臂74调整块92的下端与设在底板96的阻挡件93对接后，继续下降，如图6(1)所示，下降至升降臂74的L形部分74’和导向钉89保持所定距离。
升降臂74的L形部分74’和导向钉89保持所定距离，可不受升降臂74的影响，对载带矫正部件用衬套82和载带矫正部件90之下端进行定位。
调整块92一旦定位，因载带矫正部件90对接于调整块92，故载带矫正部件90也定位于所定位置。即，载带矫正部件90的底面位置由调整块92的高度所调节。
这样，如图4，当载带矫正部件90下降至由阻挡件93及调整块92定位的位置，载带矫正部件90的底面与电子元件安装用薄膜载带T的上端对接，在第1弹簧84的作用下，将电子元件安装用薄膜载带T降至所定距离。
在本实施例中，通过载带矫正部件90将电子元件安装用薄膜载带T降至所定距离的例子为参考进行说明，但不限于此，电子元件安装用薄膜载带T的检测面只要是无弯曲，无松弛的平整状态，载带矫正部件90接触到电子元件安装用薄膜载带T的表面即可。
如上所述，载带矫正部件90与电子元件安装用薄膜载带T的表面对接，施加于电子元件安装用薄膜载带T的力由此而分散，所以即使是COF等薄形的电子元件安装用薄膜载带，不会在其送进方向以及宽带方向发生弯曲，松弛等现象。
而且在链轮孔周围也不会发生载带的弯曲，松弛现象。再者，在电子元件安装用薄膜载带宽度方向两端发生起伏时，可容易把载带恢复成平整状态。
另外，如图3所示，上述载带矫正部件90，通过安装在载带矫正部件用衬套82的凸形开口部85的凹形弹簧承座82c和载带矫正部件90之间的第1弹簧84的作用，配置成向下加力的状态。这样，载带矫正部件90的底面两端就紧贴在调整块92的上端。
这样，如图8所示，当电子元件安装用薄膜载带T的接合处拥有接合部V时，载带矫正部件90不至于抗拒第1弹簧84的加力而向上移动，接触到接合部V，从而保证电子元件安装用薄膜载带T通过载带矫正部件90的下方。
而且，载带矫正部件90从接合部V的上端，移动(落下)到不存在接合部V的电子元件安装用薄膜载带T表面时，因施加于电子元件安装用薄膜载带T的力为第1弹簧84的弹力，载带矫正部件90则不仅不对电子元件安装用薄膜载带T带来损伤，还可以稳定载带矫正部件90的姿势。
电子元件安装用薄膜载带T供给到拥有上述结构的片门60中，光线从透光照射部91，通过扩散板75，照射至载带矫正部件90。其光线透过载带矫正部件90和电子元件安装用薄膜载带T，由配置在不良图形检查装置30内部电子元件安装用薄膜载带T下方的，亦称生产线传感器的CCD摄像机38接受。
在本实施例中，以电子元件安装用薄膜载带T被载带矫正部件90向下加力的片门60为例进行了说明，也可以是与之相反地，将片门构成为，电子元件安装用薄膜载带T被载带矫正部件90向上加力。
这种场合，在电子元件安装用薄膜载带T下方配置透光照射装置，而在载带矫正部件90上方配置CCD摄像机38，电子元件安装用薄膜载带T则被载带矫正部件90向上加力，从而检测电子元件安装用薄膜载带T的电路图的不良。还有将电子元件安装用薄膜载带T反过来，在原上表面朝下的状态下送进即可。
在本实施例中，以透光照射装置为例进行了说明，也可使用反射光照射装置。这时，CCD摄像机安装在载带下方时，反射光照射装置则配置在电子元件安装用薄膜载带T的下方。
如上所述，通过利用透光或反光进行摄像，导线的电路图被CCD摄像机所识别，如图1所示，然后输出到控制装置39，与预先记忆到控制装置39内部RAM等记忆装置里的正常电路图(标准图形)进行比较。
下一步，当判断为不良时，其不良部分的位置，即不良部分的载带的纵向位置和宽度方向的位置等数据输出到标记装置40的控制装置，以对电子元件安装用薄膜载带施加墨水，穿孔等产品不良标记。
此外，由上述CCD摄像机38拍摄到(取得)的电路图信息，如特开平6-27312号公报、特开平7-110863号公报，在A/D转换器中被数字信息化，同时，获得转换成浓淡图象信息的边缘数据，通过将其与预先记忆的合格品的标准电路图形的边缘数据(二值信息)进行比较，来检查电路图的不良。
而在本发明中，并未对这种处理有任何的限制，可适用例如将获取的电路图信息通过各种计量法和类型的相互比对，与标准图形相比较等各种各样的处理。
还有，对透光并无限制，可使用卤素灯等。透光照射部91与电子元件安装用薄膜载带T之间的距离并无特殊限制，只要能用透光取得图形以及电子元件安装用薄膜载带T的辉度的信噪比(Signal/Noise)的距离即可。
进行透光识别的品质检查时，电子元件安装用薄膜载带的绝缘薄膜的厚度应在12.5μm～75μm，最好为25μm～40μm以内。
电子元件安装用薄膜载带的厚度在这个范围内，透过电子元件安装用薄膜载带的透光辉度处于能用CCD摄像机进行电压转换处理的范围之内，从而可实施迅速准确的品质检查。
此外，电子元件安装用薄膜载带最好为，在其薄膜载带上未形成装置孔，并直接在绝缘薄膜上形成电路图的COF(Chip On Film)带。
因这种COF带没有装置孔，整个制品的透光率一致，可迅速对整个制品进行透光品质检查。
本发明中的这种COF(Chip On Film)带，可选择在其薄膜载带上未形成装置孔，并在其绝缘薄膜的至少一面上形成电路图的电子元件安装用薄膜载带。
通过不良图形检查装置30，被检查出其电路图不良的电子元件安装用薄膜载带T经过导向滚筒35，42传送到标记装置40，如图1所示。
传送到标记装置40的电子元件安装用薄膜载带T，如图1所示，在经过导向滚筒42和导向滚筒45时，根据不良图形检查装置30所检查出的不良部分的检测信息，对其不良部分施以墨水，穿孔等标记。
这样，通过标记装置40对电子元件安装用薄膜载带T的表面或底面的不良部分所定位置施以标记以后，电子元件安装用薄膜载带T经过导向滚筒44，传送到收卷装置50。
如图1所示，传送到收卷装置50的电子元件安装用薄膜载带T，通过未图示之驱动电机带动收卷轴52随其旋转，并经过导向滚筒54，卷绕到固定于收卷轴52上的卷盘R上。
这时，由开卷装置20的卷盘R输送的保护衬S，经过导向滚筒57，58及跳动滚筒59供给到收卷装置50的卷盘R，装于电子元件安装用薄膜载带T之间，以避免电子元件安装用薄膜载带T之间相互接触而受损。
如图1所示，收卷装置50于开卷装置20同样，上下方向设有3个位置传感器56，当通过下方的位置传感器检测出电子元件安装用薄膜载带T的松弛部分的下端T1时，就停止收卷装置50的驱动电机，以此来防止电子元件安装用薄膜载带T过于松弛而接触地面受损。
还有，当通过上方的位置传感器检测出电子元件安装用薄膜载带T的松弛部分的下端T1时，收卷装置50的驱动电机便开始驱动，以此来维持载带一定的松弛度。
如图1所示，上述实施例中的检查装置10由开卷装置20，不良图形检查装置30，标记装置40和收卷装置50等构成，也可以是省略标记装置40，只用开卷装置20，不良图形检查装置30，收卷装置50，以单独或一体方式构成检查装置，将这个检查装置检查出的信息，输出到另外单独构成的标记装置中。
以上，对本发明的最佳实施例进行了说明，但本发明并不仅限于此实施例。举例说，上述说明中，以绝缘薄膜上未形成装置孔，并在其绝缘薄膜不用粘合剂层而直接配置导电性金属的，由两层基底薄膜构成的薄膜载带(COF)为中心进行了说明。但是制造拥有装置孔的薄膜载带的场合，以及制造在绝缘薄膜上通过粘合剂层粘贴导电性金属箔片的，由三层基底薄膜构成的薄膜载带的场合，也可适用本发明，只要不脱离本发明的目的范围，均可有各种变更。
根据本发明之电子元件安装用薄膜载带的检测装置以及检测方法，板状载带矫正部件，其底面整体与电子元件安装用薄膜载带的表面对接，并向对接方向加力，即使在使用COF等薄型电子元件安装用薄膜载带时，也不会在电子元件安装用薄膜载带的送进方向以及宽度方向出现弯曲，松弛等现象。
再者，在电子元件安装用薄膜载带宽度方向两端发生起伏时，可容易把载带恢复成平整状态。这样，可消除载带的弯曲，松弛等现象给检测带来的影响，实施迅速又准确的品质检查。
根据本发明，因上述载带矫正部件通过弹性部件加力于电子元件安装用薄膜载带表面，电子元件安装用薄膜载带因接合形成接合部的场合，载带矫正部件从接合部上方向着不存在接合部的电子元件安装用薄膜载带表面移动(落下)时，其施加于载带的力为弹性部件的弹性力，故载带矫正部件不仅不会给载带造成损伤，还可稳定载带矫正部件的姿势。
这样，电子元件安装用薄膜载带存在接合部时，也不会防碍载带的送进，不会给电子元件安装用薄膜载带带来损伤，故可实施迅速又准确的品质检查。
权利要求
1.本发明中涉及一种电子元件安装用薄膜载带的检测装置，是用来检测电子元件安装用薄膜载带的电路图不良的电子元件安装用薄膜载带检测装置，其特征是，包括支持引导电子元件安装用薄膜载带，并设有检测用开口部的片门，上述片门包括板状的载带矫正部件，载带矫正部件沿着电子元件安装用薄膜载带的宽度方向对接于电子元件安装用薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力于电子元件安装用薄膜载带。
2.权利要求1所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件通过弹性部件加力于电子元件安装用薄膜载带的表面。
3.权利要求1至2任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件加力于上述电子元件安装用薄膜载带的表面时，由阻挡部件来定位该载带矫正部件的加力面。
4.权利要求1至3任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件由升降部件实施其上下移动。
5.权利要求4所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，通过上述升降部件，载带矫正部件向对接方向移动，并由阻挡部件定位后，当升降部件向对接方向移动时，升降部件不与载带矫正部件形成接触状态。
6.权利要求1至5任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件安装在可自由上下移动的载带矫正部件托架上，上述载带矫正部件托架则通过弹性部件加力于对接方向，上述载带矫正部件托架和载带矫正部件之间装有弹性部件，而载带矫正部件加力于对接方向。
7.权利要求1至6任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件送进方向的边角部分做成弧形。
8.权利要求1至7任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件由可透光的材料构成。
9.权利要求1至8任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件包括向对接方向照射光线的透光照射装置。
10.权利要求9所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件与上述透光照射装置之间配有光扩散部件。
11.权利要求1至7任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带矫正部件构成为，通过反射于上述电子元件安装用薄膜载带的电路图表面的反射光线，来检查该电路图的不良。
12.权利要求1至7，11任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，被上述载带矫正部件施加压力的电子元件安装用薄膜载带上，安装有用于直接照射光线的反射光照射装置。
13.权利要求1至12任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述片门包括，用来支撑电子元件安装用薄膜载带的宽度方向中心部位的载带支撑部件。
14.权利要求13所述的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，其特征是，上述载带支撑部件的送进方向的边角部分做成弧形。
15.本发明中涉及一种电子元件安装用薄膜载带的检测方法，是用来检测电子元件安装用薄膜载带的电路图不良的电子元件安装用薄膜载带检测方法，其特征是，通过设有检测用开口部的片门，支持引导送进的电子元件安装用薄膜载带，上述片门所包括的板状载带矫正部件，沿着电子元件安装用薄膜载带的宽度方向对接于电子元件安装用薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力于电子元件安装用薄膜载带。
16.权利要求15所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件通过弹性部件加力于电子元件安装用薄膜载带的表面。
17.权利要求15至16任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件加力于上述电子元件安装用薄膜载带的表面时，由阻挡部件来定位该载带矫正部件的加力面。
18.权利要求15至17任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件由升降部件实施其上下移动。
19.权利要求18所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，通过上述升降部件，载带矫正部件向对接方向移动，并由阻挡部件定位后，当升降部件向对接方向移动时，升降部件不与载带矫正部件形成接触状态。
20.权利要求15至19任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件安装在可自由上下移动的载带矫正部件托架上，上述载带矫正部件托架则通过弹性部件加力于对接方向，上述载带矫正部件托架和载带矫正部件之间装有弹性部件，而载带矫正部件加力于对接方向。
21.权利要求15至20任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件送进方向的边角部分做成弧形。
22.权利要求15至21任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件由可透光的材料构成。
23.权利要求15至22任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件包括向对接方向照射光线的透光照射装置。
24.权利要求23所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件与上述透光照射装置之间配有光扩散部件。
25.权利要求15至21任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带矫正部件构成为，通过反射于上述电子元件安装用薄膜载带的电路图表面的反射光线，来检查该电路图的不良。
26.权利要求15至21，25任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，被上述载带矫正部件施加压力的电子元件安装用薄膜载带上，安装有用于直接照射光线的反射光照射装置。
27.权利要求15至26任意一项所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述片门包括，用来支撑电子元件安装用薄膜载带的宽度方向中心部位的载带支撑部件。
28.权利要求27所述的电子元件安装用薄膜载带的检测方法，其特征是，上述载带支撑部件的送进方向的边角部分做成弧形。
全文摘要
本发明中的电子元件安装用薄膜载带的检测装置，是用来检测电子元件安装用薄膜载带的电路图不良的电子元件安装用薄膜载带检测装置，其特征是，具有支持引导电子元件安装用薄膜载带并设有检测用开口部的片门，片门具有板状载带矫正部件，即沿着电子元件安装用薄膜载带的宽度方向对接于薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力于薄膜载带。根据本发明，板状的载带矫正部件其整个底面对接于电子元件安装用薄膜载带的表面，并沿着其对接方向加力，即使是使用COF等薄型电子元件安装用薄膜载带时，也不发生其薄膜载带的送进方向及宽度方向的弯曲，松弛等现象。这样，可消除载带的弯曲，松弛等现象给检测带来的影响，得以实施迅速又准确的品质检查。
文档编号H01L21/66GK1574266SQ200410042990
公开日2005年2月2日 申请日期2004年6月14日 优先权日2003年6月13日
发明者萩原弘太 申请人:三井金属矿业株式会社