专利名称：支撑顶针的下拉机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种支撑装置的传动机构，且特别涉及一种支撑顶针(pin)的下拉传动机构。
背景技术：
不论是在半导体集成电路或是平面显示器的制造过程中，许多制程所使用的反应器被设计为单一或多层重叠形式的可抽取式反应器。可抽取式反应器的反应器与机台主体或是反应器与顶针的传动机构为可分离的，其用来支撑工件(如制造半导体集成电路所用的硅基板，或是制造平面显示器的玻璃基板)的顶针是采用可分离的间接传动机构。现有技术是靠支撑顶针的传动机构来将基板送入反应器中或是自反应器中取出基板，整个传动的动作示意图解请参照图1A-1E。
在图1A中，基板100由机械手臂110支撑着，预备要送入反应器中。反应器的底板120中有一些开口130，供下有基座150的顶针140经由开口130伸入反应器中。在图1B中，机械手臂110将基板100送入反应器中，由升降机构(图上未示出)顶住顶针140的基座150往上举，穿过反应器的底板120的开口130以支撑住基板100。在图1C中，机械手臂110再移出至反应器外，留下基底100在反应器内，然后升降机构下降，让撑着基板100的顶针140利用其本身与基座150的重量来自行下降。
在图1D中，以化学气相沉积法在基板100上形成薄膜之后，升降机构上移顶住基座150使顶针140往上移，以撑住基板100使其上移。然后，机械手臂110移进反应器中，伸至基板100的下方承接住基板100。在第1E图中，机械手臂110带着基板100移出反应器外，然后升降机构下降，让顶针140利用其本身与基座150的重量来自行下降。
在整个基板100进入与移出反应器的过程中，因为升降机构与顶针140的基座150无法固定在一起，因此升降机构在下降时无法带动顶针140与基座150一起下降。因此顶针140常有下降不顺的情况发生，造成基板100因传送不顺而破片。
在中国台湾新型专利第521861号专利中有公开利用两条钢线的下拉机构来改善顶针下降不顺的问题。但是在实际应用上，钢线有时会因形变偏掉而没有扣住顶针的基座，因此仍会发生顶针下降不顺的问题。
发明内容
因此本发明的目的就是在提供一种支撑顶针的下拉机构，用以减少基板的报废数目以及提高成品率。
本发明的另一目的是在提供一种支撑顶针的下拉机构，用以降低基板破片机率以增长机台的使用时间。
根据本发明的上述目的，提出一种支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上。此可抽取式反应器的底板具有数个顶针，这些顶针分别具有尺寸较大的一基座。此下拉机构至少包含一升降机构与以一固定高度固定于升降机构上的一板材。此板材具有数个开口以分别一一容纳上述的顶针，且自这些开口分别延伸出至少一狭缝。上述的开口的尺寸足以容纳顶针的基座通过，而狭缝的宽度介于顶针与基座的宽度之间。
根据本发明的上述目的，提出另一种支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上。此可抽取式反应器的底板具有数个顶针，这些顶针分别具有尺寸较大的一基座；此下拉机构至少包含一升降机构与一固定高度固定于升降机构上的第一板材与第二板材；此第一板材的第一侧具有数个第一缺口，而第二板材的第一侧与第一板材的第一侧以一间隔相邻平行排列以形成一狭缝；此第二板材的第一侧亦具有数个第二缺口，且这些第二缺口分别与上述的第一缺口相对形成数个开口以分别一一容纳上述的顶针。其中上述开口的直径大于顶针的基座的直径，上述的狭缝的宽度介于顶针与基座的直径之间。
由上述本发明的内容可知，本发明利用板材不易形变的优点来作为支撑顶针的下拉机构，因此可以大幅地改善顶针下降不顺的问题。如此，可有效地解决基板因传送不顺而破片的问题，以降低基板报废的数目，并且增加机台的运转时间。
图1A-1E为现有化学气相沉积反应器的支撑顶针传动机构。
图2-4为依照本发明较佳实施例的一种支撑顶针的下拉机构的俯视示意图。
图中标号说明100基板110机械手臂120反应器的底板130开口140顶针150基座200、300、400板材210缺口310、410开口220、320、420狭缝230、330、430固定装置具体实施方式
针对上述因顶针下降不顺而造成基板破片的问题，本发明提供一种支撑顶针的下拉传动机构，使顶针能顺利下降，以减少基板破片数目并能增加机台的可运转时间。
请参照图2-4，其绘示依照本发明较佳实施例的一种支撑顶针的下拉机构的俯视示意图。在图2中，利用带有缺口210的两片板材200组合成支撑顶针的下拉机构。这两片板材200靠着固定装置230(例如螺丝钉)固定在顶针基座下方的升降机构上，而且两片板材200彼此之间没有密合形成狭缝220。
上述的两个缺口210所组成的开口的直径要大于顶针基座的直径，而狭缝220的宽度要介于顶针与其基座的直径之间。如此，顶针的基座可以由上至下穿过由两个缺口210所组成的开口，再将顶针往狭缝220处移动，让顶针进入狭缝220中，而基座则位于狭缝220的下方让顶针可固定在狭缝220中。而下拉机构的高度，可根据顶针的高度，在两块板材200的外围周边加上与板材200垂直且具有适当高度的侧壁来配合的。
当顶针基座下方的升降机构上升时，还是由升降机构顶住顶针的基座，让顶针升起以支撑基板，由板材所形成的下拉机构不会碰触顶针。当升降机构下降时，下拉机构的板材200就可压着顶针的基座，辅助顶针使其下降。
上述支撑顶针的下拉机构还可以变化成其它类似可行结构，如图3-4所示。在图3中，直接用一块板材300，在其上直接形成开口310，并在每个开口310的两侧各形成一个狭缝320，并利用固定装置330(例如螺丝钉)固定在顶针基座下方的升降机构上。在图4中，亦是利用一块板材400，在其上直接形成开口410，并在开口410的一侧形成一个狭缝420，并利用固定装置430(例如螺丝钉)固定在顶针基座下方的升降机构上。同上所述，开口310、410的直径要大于顶针基座的直径，以利顶针的基座通过，而狭缝320、420的宽度要介于顶针直径与基座直径之间。
由上述本发明较佳实施例可知，本发明利用板材不易形变的优点来作为支撑顶针的下拉机构，因此可以大幅地改善顶针下降不顺的问题。如此，可有效地解决基板因传送不顺而破片的问题，以降低基板报废的数目，并且增加机台的运转时间。
权利要求
1.支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上，该可抽取式反应器的底板具有数个顶针，每一顶针分别具有直径较大的一基座，该下拉机构至少包含一升降机构；以及至少一板材以一固定高度固定于该升降机构上，该板材上具有数个开口以分别一一容纳该些顶针，自每一开口延伸出至少一狭缝，该些开口的尺寸足以容纳顶针的基座通过，所述的狭缝的宽度介于顶针与基座的宽度之间。
2.如权利要求1所述的支撑顶针的下拉机构，其特征是，所述的固定高度至少高于所述基座的高度。
3.支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上，该可抽取式反应器的底板具有数个顶针，每一顶针分别具有直径较大的一基座，该下拉机构至少包含一升降机构；一第一板材，该第一板材的第一侧具有数个第一缺口，以一固定高度固定于固定基座上；以及一第二板材，该第二板材的一第一侧与第一板材的第一侧以一间隔相邻平行排列以形成一狭缝，第二板材的第一侧具有数个第二缺口，该些第二缺口分别与所述的第一板材的数个第一缺口相对形成数个开口以分别一一容纳该些顶针，且第二板材以所述的固定高度固定于该固定基座上，其中该些开口的直径大于顶针的基座的直径，该狭缝的宽度介于顶针与基座的直径之间。
4.如权利要求3所述的支撑顶针的下拉机构，其特征是，所述的固定高度至少高于所述的基座的高度。
全文摘要
一种支撑顶针的下拉机构，应用于可抽取式反应器上。此可抽取式反应器的底板具有数个顶针，这些顶针分具有一基座。该下拉机构至少包含一升降机构与以一固定高度固定于升降机构上的一板材。此板材具有数个开口以分别让上述顶针的基座通过，且自这些开口分别延伸出至少一狭缝以让上述顶针通过。本发明利用板材不易形变的优点来作为支撑顶针的下拉机构，因此可以大幅地改善顶针下降不顺的问题。可有效地解决基板因传送不顺而破片的问题，以降低基板报废的数目，并且增加机台的运转时间。
文档编号H01L21/00GK1713339SQ20041004901
公开日2005年12月28日 申请日期2004年6月14日 优先权日2004年6月14日
发明者翁庆鸿, 张锡明 申请人:中华映管股份有限公司