专利名称：平板显示器生产装置的传送室的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种平板显示器生产装置的传送室，具体涉及一种具有将传送室与负载固定室的功能相结合的、用于平板显示器生产装置的传送室，在该传送室中于传送室中央位置旁设置有一个机械手，传送室中还设置有一个驱动时不受机械手干扰的缓冲器以及一个调节安装于缓冲器上的基板位置的校准器。
背景技术：
通常，使用三室型平板显示器生产装置。所述三室型平板显示器生产装置具有三个室一个负载固定室(load-lock chamber)、一个传送室(transfer chamber)以及一个处理室(process chamber)。随着基板尺寸的增大，这些室的尺寸也相应成比例地增大。由于这些室的尺寸的增大有一定的限制，近来提出了一种二室型平板显示器生产装置。在二室型平板显示器生产装置中，负载固定室与传送室结合成一个单一的传送室。因此，二室型平板显示器生产装置具有传送室和处理室。因而，该二室型平板显示器生产装置的体积得以减小。相应地，安装平板显示器生产装置的无尘室的体积也可得以减小。
与三室型平板显示器生产装置的传送室相同，二室型平板显示器生产装置中的传送室内设有一个机械手。该机械手具有将待处理的基板携至处理室并将处理好的基板从处理室携出的功能。
如图1和图2所示，在传送室200中安装机械手300。机械手300包括一个机械手臂部320和一个与机械手臂部320一端相连接的机械手手部330，在机械手臂部320的一个预定部位处设有一个连接件310。机械手臂部320绕机械手轴340旋转，将装设于机械手手部330上的基板传送至处理室100。因此，传送室200需要具有至少确保机械手臂部320的旋转半径的体积。
另一方面，在使用二室型平板显示器生产装置时，处理时间有赖于在真空和大气压力条件下注入和排出的时限。更具体来说，在一个待处理基板插入到处理室100中及完成处理过程之后，为了从传送室200中取出处理好的基板，传送室200必须维持处于大气环境中。此外，在将处理好的基板从传送室200中取出之后，一个新的待处理基板被插入处理室100，则传送室200应当保持在真空环境下。真空和大气压力条件下进行处理的处理时间随着传送室200中的内部体积成比例增大。
因此，非常需要减少二室型平板显示器生产装置中传送室的内部体积。
另一方面，在三室型平板显示器生产装置中，提供一个将基板装载于负载固定室的缓冲器。因此，在待处理基板被预先装设于缓冲器上后，安装在传送室中的机械手将待处理的装设于缓冲器上的基板送至处理室。而且，机械手从处理室中取出处理好的基板并将处理好的基板装载于缓冲器上。
然而，由于在二室型平板显示器生产装置中没有单独的负载固定室，不可能在负载固定室中提供缓冲器。
因此，必须于传送室中提供缓冲器。然而，在于传送室中设置缓冲器时会出现这样的问题，即缓冲器不得妨碍安装于传送室200中的机械手300的旋转。
此外，在传统的负载固定室中，提供一个校准器来调节缓冲器及设于缓冲器上的基板的位置。因此，基板的位置可以准确地进行调整，同时安装于传送室的机械手可将准确调整后的基板传送至处理室。
最近，由于处理的基板的尺寸增大，平板显示器生产装置在无尘室中占据很大的空间。因此，需要通过将负载固定室和传送室结合成一个单一的室实现二室型平板显示器生产装置，以减少平板显示器生产装置的体积。
另外，存在这样的问题，即在前述的三室型平板显示器生产装置中，用于负载固定室的校准器不能用于二室型平板显示器生产装置中的传送室。另一方面，对于传统校准器来说是沿对角线方向移动基板相对的角来调整基板的位置。然而，随着处理的基板的尺寸增大，出现的另一个问题是传统的校准器调整方法可能损坏增大的基板。
因此，需要研发一种适用于二室型平板显示器生产装置的校准器。
发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种通过改变传送室中机械手的安装位置而减小传送室内部体积的平板显示器生产装置。
本发明的另一目的为，提供一种具有不妨碍机械手运动的缓冲器的平板显示器生产装置。
本发明的又一目的为，提供一种适用于二室型平板显示器生产装置的基板位置调整件。
本发明的再一目的为，提供一种能够易于调整增大了的基板的位置的基板位置调整件。
本发明的目的还有，提供一种平板显示器生产装置的传送室，其上设有易于更换的密封件安装部件。
为了达到前述目的，根据本发明的一方面，提供一种用于平板显示器生产装置的传送室，其中在传送室中央位置的旁边设有一个机械手。
另外，所述平板显示器生产装置的传送室还可包括一个缓冲器，所述缓冲器包括具有多个缓冲指的缓冲板； 用于支持和驱动部分缓冲指的第一驱动单元；用于支持和驱动其它缓冲指的第二驱动单元；一个提供动力以驱动第一驱动单元和第二驱动单元的动力单元；和一个动力传输设备，所述动力传输设备用于连接动力单元和第一及第二驱动单元，将动力单元提供的动力传输至第一和第二驱动单元。
此外，可在传送室下部的预定位置设置供机械手轴穿过的机械手轴通孔，其中，机械手轴的上部设有具有预定形状的凸缘，且设有密封件安装位置的密封件安装部件通过固定装置固设于机械手轴通孔中。
另外，传送室可以包括用于调节基片X方向运动的第一基板位置调整件及用于调节基板Y方向运动的第二基板位置调整件。
通过结合附图对具体实施方式
进行详细描述，本发明上述和其他优点将更为清楚。
图1是传统的平板显示器生产装置的传送室和处理室的剖面图，此时安装在传送室内的机械手的手部放置在处理室中；图2是传统的平板显示器生产装置的传送室和处理室的剖面图，此时安装在传送室内的机械手的手部自处理室中取出；
图3是根据本发明的平板显示器生产装置的传送室和处理室的剖面图，此时安装在传送室内的机械手的手部放置在处理室中；图4是根据本发明的平板显示器生产装置的传送室和处理室的剖面图，此时安装在传送室内的机械手的手部自处理室中取出；图5是安装于本发明平板显示器生产装置的传送室中的缓冲器的立体图；图6是根据本发明的缓冲板结构的立体图；图7是根据本发明的第一驱动单元结构的立体图；图8是根据本发明的第二驱动单元结构的立体图；图9是根据本发明的波纹管组件结构的剖面图；图10是安装于本发明平板显示器生产装置的传送室内的机械手和缓冲器的立体图；图11是设有密封件的本发明传送室的竖直剖面图；图12是根据本发明的密封件安装部件的立体图；图13是以螺栓为紧固装置的密封件安装部件结构的立体图；图14是以螺纹线为紧固装置的密封件安装部件结构的立体图；图15是设有基板位置调整件的本发明传送室的立体图；图16是第一基板位置调整件结构的立体图；图17是第一基板接触件结构的立体图；图18是第一基板接触片结构的立体图；图19是第一支撑件结构的立体图；图20是第一驱动单元结构的立体图；图21是第一驱动件结构的立体图；图22是第一驱动件和第一基板接触件的连接结构的剖面图；图23是第一螺纹管组件的内部结构的剖面图；图24是设于第一驱动单元的第一基板接触件控制钮的立体图；图25是第二基板位置调整件结构的立体图；图26是第二驱动单元结构的立体图；和图27是设于第二驱动件的第二基板接触件控制钮的立体图。
具体实施例方式
本发明及其操作上的优点可以通过参照图及其说明得以完全理解。
现在，结合附图描述本发明的具体实施方式
来详细说明本发明。在图中，相同的标号表示相同元件。
为了达到前述目的，根据本发明的一方面，提供一种用于平板显示器生产装置的传送室，其中在传送室中央位置的旁边设有机械手。
另外，平板显示器生产装置的传送室还可包括一个缓冲器，所述缓冲器包括一个具有多个缓冲指的缓冲板；一个用于支持和驱动部分缓冲指的第一驱动单元；一个用于支持和驱动其它缓冲指的第二驱动单元；一个提供动力用以驱动第一驱动单元和第二驱动单元的动力单元；和一个动力传输设备，所述动力传输设备用于连接动力单元和第一及第二驱动单元，以将动力单元提供的动力传输至第一和第二驱动单元。
现在，结合附图对本发明的优选实施例进行描述。
首先，在本发明传送室200中于传送室200中央位置旁设置一个机械手300，所述机械手300包括一个机械手轴340、一个机械手臂部320和一个机械手手部330。
如图3中所示，机械手轴340与安装于传送室200外的一个驱动装置(图中未示出)相连接，且机械手轴340设于传送室200中央位置的旁边，而不象图1的传统传送室200一样，将机械手轴340设于传送室200的中央位置。此外，机械手臂部320不是与机械手手部330的中央部位连接，而是与机械手手部330的端部连接。
在如图1所示的传统传送室200中，由于机械手轴340设于传送室200的中央位置，为确保机械手臂部320的旋转半径，传送室200的体积增加。然而根据如图3所示的传送室200，在传送室200中，由于机械手轴340设于传送室200中央位置的旁边，在确保机械手臂部320的旋转半径的同时，传送室200的体积可相对地减少。
由于传送室200的体积减小，在真空或大气压力处理下的注入或排出的时限可相对减少，因此可提高设备的运转率。
此外，在根据本发明的平板显示器生产装置的传送室200中，设有一个缓冲器400。缓冲器400包括一个缓冲板400、一个第一驱动件420、一个第二驱动件430、一个动力单元440、和一个动力传输设备450。
如图6所示，缓冲板410包括多个缓冲指。具体来说，缓冲板410具有一个长的缓冲器-缓冲指连接条412。优选地，四个缓冲指414a、414b、414c和414d于两端部及预定的中间部位处垂直地连接于缓冲器-缓冲指连接条412。优选地，缓冲指414a、414b、414c和414d及缓冲器-缓冲指连接条412组成了一个平板结构。如图6中所示，缓冲指414a、414b、414c、和414d的长度是不同的，以使缓冲板410能够在不妨碍到传送室200中的机械手300的情况下竖直运动。连接于缓冲器-缓冲指连接条412的两端部的第一和第四缓冲指414a和414d是长的。第二和第三缓冲指414b和414c是短的，以使机械手臂部不会与之搭接重叠。因此，第二和第三缓冲指414b和414c的长度比第一或第四缓冲指414a和414d的长度要短一个预定距离。
另外，如图6中所示，在每个缓冲指414a、414b、414c和414d及缓冲器-缓冲指连接条412上以预定的间隔设有多个缓冲销416。所述缓冲销416与基板接触，以在基板装设于传送室200内的缓冲器400上时支持基板。
此外，如图6中所示，每个缓冲指414a、414b、414c和414d具有一个波纹管接合孔418a、418b、418c和418d，以接合波纹管组件与各个缓冲指。
如图6中所示，第一和第二驱动单元420和430的两个驱动单元设于缓冲器400的前面和后面。第一和第二驱动单元420和430的具体部件是相同的。但是，由于不同的缓冲指与不同的驱动单元相连接，第一和第二驱动单元420和430的具体部件的安装部位是不相同的。为了便于说明，仅说明第一驱动单元420的部件，而对于第二驱动单元430仅说明其安装位置。
第一驱动单元420与第二和第三缓冲指414b和414c相连接，以支持第二和第三缓冲指414b和414c。第一驱动单元420通过使用从动力单元440中传输的动力而竖直地移动第二和第三缓冲指414b和414c。换句话说，如图5所示，第一驱动单元420与第二和第三缓冲指414b和414c相连接，也就是说，短的缓冲指和缓冲器-缓冲指连接条412的中间部分连接。第二驱动单元430与第一和第四缓冲指414a和414d相连接，也就是，长的缓冲指与缓冲器-缓冲指连条412的端部相连接。
如图7所示，第一驱动单元420包括两个联锁导杆422、两个波纹管组件424和一个驱动轴426。
该两个联动导杆422设于第一驱动单元420上的预定位置。每个联动导杆422包括一个长的圆柱导轨422a和一个围绕导轨422a竖直运动的引导圆筒422b。每个联锁导杆422的导轨422a是固定的，而其引导圆筒422b进行竖直运动，从而可准确地引导波纹管424和驱动轴426竖直运动。
此外，驱动轴426包括一个位于一预定部位的动力传输设备连接件426b，和一个位于另一预定部位的第一驱动件。驱动轴426包括一个长圆柱形驱动轴柱体426a。在驱动轴柱体426a的上部，设有动力传输装置连接件426b，该动力传输装置连接件426b与动力传输设备450相连接。在动力传输设备连接件426b的下部设有第一驱动件426c。第一驱动件426c在其表面具有螺纹线，使第二驱动件426d能够随着驱动轴柱体426a的旋转进行竖直运动。此外，第二驱动件426d是一个其内表面具有相应螺纹线的圆筒，以围绕第一驱动件426c竖直运动。因此，由于第二驱动件426c具有对应的螺纹线，当第一驱动件426c旋转时，围绕第一驱动件426c的第二驱动件426d能够竖直运动。
而且，在第一驱动单元420的预定部位设有两个波纹管组件424。两个波纹管组件424的上端与第二和第三缓冲指414b和414c连接。如图9中所示，每个波纹管组件424包括一个长的圆柱轴424a、一个与圆柱轴424a上部相连接的圆筒状线性套管424b、一个与线性套管424b相连接并可纵向扩展的波纹管424c、以及一个与圆柱轴424a的下部相连接的缓冲器平板平衡调节装置424d。
现在，参照图9说明波纹管组件424的功能。穿过线性套管424b的圆柱轴424a竖直运动。圆柱轴424a的上部成形与波纹管424c的上部相似，因此，圆柱轴424a能够在波纹管424c内竖直运动。波纹管424c将波纹管424c的内部与波纹管424c的外部隔开，使得当波纹管424c的内部和外部分别保持在大气和真空环境中时，圆柱轴424a能够竖直运动。此外，线性套管424b具有准确调节圆柱轴424a竖直运动的功能。此外，一个螺栓连接于缓冲器平板平衡调节装置424d的下部，使得连接于波纹管组件424的缓冲板410的高度可以通过用扳手等工具旋动来进行控制。
如图7所示，在第一驱动单元420上设有一个联锁板427。波纹管组件424的下部固定连接于联锁板427。驱动轴426的第二驱动件426d固定连接于联锁板427，且驱动轴426和联锁导杆422固定相连接并穿过联锁板427，使得联锁板427能够随驱动轴426的驱动而联锁。换句话说，联锁板427通过驱动轴426根据缓冲板410的联动运动而竖直运动，这样，第一和第二驱动单元420和430的具体部件可以准确地运动。
此外，如图7所示，在第一驱动单元420中设有一个下板428。下板428与联锁导杆422和驱动轴426的下部相连接，以将第一驱动单元420固定于传送室200。下板428具有支持第一驱动单元420的具体部件的功能，所以这些具体部件能够准确地竖直运动。
此外，如图7所示，在第一驱动单元420内设有一个上板429。上板429与联锁导板422和驱动轴426的上部相连接。波纹管组件424连接穿过上板429上的预定部位。上板429设置为从传送室200的内部向外部延伸。上板429具有将第一驱动单元420连接于传送室200的功能。上板429的上部和下部分别位于传送室200的内部和外部。
第二驱动单元430的具体部件与第一驱动单元420的相同。然而，如图8所示，由于第二驱动单元430支撑第一和第四缓冲指414a和414d，两个波纹管组件434设于第二驱动单元430的两端部，而两个联锁导杆432设于第二驱动单元430的中间位置。
如图7所示，缓冲器400包括动力单元440。动力单元440为第一和第二驱动单元420供电。在本实施例中，在第一驱动单元420的联锁板427的预定部位设置所述动力单元440。动力传输设备450将动力单元440提供的动力传输至第一和第二驱动单元420和430，使得缓冲器400能够被驱动。优选地，动力单元440是一个马达。
此外，如图5所示，在缓冲器400中，动力传输设备450连接动力单元440与驱动轴426，以将动力单元440提供的动力传输到驱动轴426。由于第一和第二驱动单元420和430通过动力传输设备450相互连接，缓冲板能够通过同步竖直移动第一和第二驱动单元420和430而竖直运动。
如图10所示，在传送室200中，传送室200侧边的预定位置设有多个观察口500，因此可以观察到传送室200的内部。每个观察口500具有一个较窄的外部窗口和一个较宽的内部窗口，因此可更广地观察到传送室200的内部。
现在，说明安装在本发明平板显示器生产装置的传送室中的机械手安装位置的密封单元。
传送室下部的预定位置处设有供机械手轴穿过的机械手轴通孔。在机械手轴的上部设有预定形状的凸缘。此外，密封件安装位置处设置的密封件安装部件通过使用紧固装置紧固在机械手轴通孔上。
此外，凸缘是从机械手轴上部的外表面突出的圆形或多边形构件。而且，凸缘的直径比机械手轴通孔的直径大，并且，机械手轴的直径比机械手轴通孔的直径小。
此外，在密封件安装部件的中央设有机械手轴510能够穿过的通孔，且密封件安装部件包括一个小直径的上圆柱部和一个大直径的下圆柱部。
优选地，紧固装置为螺栓。
优选地，密封件是O形环。密封件安装位置设置在密封件安装部件的上或下圆柱部上。
首先，如图11所示，在本发明平板显示器生产装置的传送室400中，设置一个机械手轴通孔600、一个机械手500、及一个密封件安装部件900。机械手轴通孔600是机械手500的一个机械手轴510能够穿过的孔。在安装机械手轴510穿过机械手轴通孔600之后，密封件安装部件900紧固于机械手轴510和机械手轴通孔600之间，以隔开传送室800的内部和外部。
机械手轴通孔600设置于传送室800下部的预定位置。优选地，机械手轴通孔600具有圆形截面，该截面直径足以供机械手轴510穿过。
如图11所示，机械手500包括一个机械手轴510、一个机械手臂部530、一个凸缘520和一个驱动装置(图中未示出)。机械手轴510支撑机械手臂部530，并连接机械手500与驱动装置(图中未示出)。此外，机械手臂部530连接于机械手轴510的上部。机械手臂部530具有一个连接件以便旋转。此外，凸缘520是一个从机械手轴510上部的外表面突出的圆形或多边形构件。机械手500安装在传送室800中时，凸缘520紧密地安装在传送室800的底部。
优选地，凸缘520的直径比机械手轴通孔600的直径大，且机械手轴510的直径比机械手轴通孔600的直径小。
如图12所示，密封件安装部件900的中央设有一个通孔910，从而，机械手轴510可穿过通孔910。此外，密封件安装部件900包括一个小直径的上圆柱部920和一个大直径的下圆柱部930。密封件安装部件900通过使用紧固装置940和950紧固于传送室800中。优选地，紧固装置940是一个螺栓。
可选择地，如图14所示，紧固装置950可以通过以下方式实现，即在上圆柱部920的外表面形成一螺旋线，并将所形成的螺旋线紧固于机械手轴通孔600的内表面上形成的螺旋线上。
优选地，图11中所示的密封件700是O形环。密封件700安装在形成于密封件安装部件900上的密封件安装位置960a和960b处。
在通过使用密封件安装部件900将密封件700a和700b设置于传送室800的情况下，通过仅仅移开紧固装置940和950，可简单地将密封件安装部件900从传送室800分离，因此，可更换密封件700。
现在，说明设置在上述传送室的预定部位的基板位置调整件的优选实施例。
本发明传送室包括用于调节基板的X方向运动的第一基板调整部件，和用于调节基板的Y方向运动的第二基板位置调整件。
现在，结合附图详细说明安装于平板显示器生产装置中的基板位置调整件的优选实施例。通过优选实施例，本发明的结构和功能能够清楚地得以理解。
如图15所示，本发明传送室1200包括两个用于调节基板的X方向运动的第一基板位置调整件1000和两个用于调节基板的Y方向运动的第二基板位置调整件1100。
如图16所示，每个第一基板位置调整件1000包括一个第一基板接触件1010、一个第一支撑件1020和一个第一驱动单元1030。
设置在传送室1200两侧的两个第一基板接触件1010为长条形状，以跨过传送室1200的两侧。如图17所示，在第一基板接触件1010上以预定的间隔设有多个第一接触片1012。如图18中所示，每个第一连接片1012能够绕其轴线枢转转动。因此，第一接触片1012与基板(图中未示出)的圆周部分相接触来移动基板。优选地，第一接触片1012由一种工程塑料材料比如聚四氟乙烯制成。
如图16所示，第一基板接触件1010的一端部与第一支撑件1020相连接。如图19所示，第一支撑件1020具有在X方向水平滑动第一基板接触件1010的结构。设置第一接触片1012穿过传送室1200的壁，以使连接于第一支撑件1020的第一基板接触件1010能够在X方向上进行水平滑动。
第一基板接触件1010的另一端与第一驱动单元1030相连接。如图20所示，第一驱动单元1030具有在X方向上水平移动第一基板接触件1010的结构。此外，设置第一驱动单元1030穿过传送室1200的壁。
如图21所示，第一驱动单元1030进一步包括一个用于驱动第一基板接触件1010的第一驱动件1032。优选地，第一驱动件1032是一个马达。如图22所示，第一驱动件1032通过一个第一波纹管组件1034与第一基板接触件1010相连接。第一波纹管组件1034具有如下功能即当安装第一基板接触件1010的传送室1200的内部和安装第一驱动件1032的传送室1200的外部分别保持在大气或真空环境下时，能够使得第一基板接触件在X方向水平运动。也就是说，如图23所示，由于连接于第一驱动件1032的驱动轴1036由扩展的波纹管组件1034围绕，即使驱动轴1036移动也可保持真空环境。
优选地，如图24所示，第一驱动件1032进一步包括一个第一基板接触件控制钮1038。通过使用第一基板接触件控制钮1038，在第一接触片1012与基板接触前，第一接触片1012能够手动向上移动到基板附近。
如图25所示，两个第二基板位置调整件1100中每个都包括一个第二基板接触件1110、两个第二支撑件1120和一个第二驱动单元1130。
第二基板位置调整件1100的具体部件与第一基板位置调整件1000相同。但是，第二基板位置调整件1000的具体部件的结构和功能与第一基板位置调整件1000的不同。现在，说明不同的结构和功能。
所述两个第二基板位置调整件1100设置在传送室1200的两侧没有设置第一基板位置调整件1000处。
如图17所示，与第一基板接触件1010相似，第二基板接触件1110为长条形，并在第二基板接触件1110上以预定间隔设有多个第二接触片1112。优选地，如图15所示，在第一基板接触件1010的上表面设有第一接触片1012，而在第二基板接触件1110的下表面设有第二基板接触片1112。这样，安装在传送室120外部的部件的安装位置可不重叠，所述部件如第一和第二基板位置调整件1000和1100的第一和第二驱动件1032和1132。此外，第一和第二基板接触件1010和1110的运动半径可不重叠。
第二接触片1112的结构和材料与第一接触片1012的相同。
第二支撑件1120a和1120b与第二基板接触件1110的相应端部相连接。与第二基板接触件1110端部相连接的第二支撑件1120支撑于第二基板接触件1110。设置第二支撑件1120a和1120b穿过传送室1200的壁部，使得第二基板接触件1110能够在y方向上水平滑动。
如图25所示，第二驱动单元1130与第二基板接触件1110的中央部分相连接。设置第二驱动单元1130穿过传送室1200的壁部，使得第二基板接触件1110能够在y方向上水平滑动。如图26所示，第二驱动单元1130进一步包括一个用于滑动第二基板接触件1110的第二驱动件1132，。设置于传送室外面的第二驱动件1132与第二驱动单元1130相连接。第二驱动件1132与第二基板接触件1110通过一个第二波纹管组件(图中未示出)相连接，因此，当传送室1200内部保持真空环境时，可驱动第二基板接触件1110。
优选地，如图27中所示，第二驱动单元1030进一步包括一个第二基板接触件控制钮1134。与第一基板接触件控制钮1138相似，通过使用第二基板接触件控制钮1134，在第二接触片1112与基板接触前，第二基板接触片1112能够被手动向上移动至基板附近处。
本发明已参照其示例性实施例进行具体展示和说明，本领域的技术人员可以理解，在不偏离权利要求中所定义本发明的精神和范围的情况下，可以进行多种形式或具体的改变。
权利要求
1.一种平板显示器生产装置的传送室，包括一个具有机械手轴、机械手臂部和机械手手部的机械手，其特征在于，机械手设于所述传送室中央位置的旁边。
2.如权利要求1所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述机械手臂部与所述机械手手部的一端部相连接。
3.如权利要求1所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，还包括一个缓冲器，所述缓冲器包括一个具有多个缓冲指的缓冲板；一个用于支撑并驱动某些所述缓冲指的第一驱动单元；一个用于支撑并驱动其它所述缓冲指的第二驱动单元；一个用于提供驱动所述第一和第二驱动单元的动力的动力单元；和一个动力传输设备，所述动力传输设备用于连接所述动力单元和第一及第二驱动单元，以将动力单元提供的动力传输到第一及第二驱动单元。
4.如权利要求3所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述缓冲板包括一个缓冲指连接条和四个与所述缓冲指连接条垂直连接的缓冲指。
5.如权利要求4所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述缓冲指中的第一和第四缓冲指与所述第二驱动单元相连接并由后者支撑，且所述缓冲指中的第二和第三缓冲指与所述第一驱动单元相连接并由后者支撑。
6.如权利要求5所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二缓冲指比第三缓冲指短一个预定距离，且所述第三缓冲指比所述第四缓冲指短一个预定距离。
7.如权利要求3至6中任一项所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个缓冲指上以预定的间隔突出多个缓冲销。
8.如权利要求3所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，第一和第二驱动单元中每一个都包括联锁导杆、波纹管组件和驱动轴。
9.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述驱动轴包括一个位于其预定部位的动力传输设备连接件，和一个位于其另一预定部位的第一驱动件。
10.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一和第二驱动单元中每一个的预定部位处都设有两个联锁导杆。
11.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一和第二驱动单元中每一个的预定部位处都设有两个波纹管组件，且每个波纹管组件的上部与相应的缓冲指相连接。
12.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一和第二驱动单元中每一个都包括一个与所述联锁导杆和驱动轴的上部连接的上板，所述波纹管组件相连接以自所述上板的预定位置处穿过所述上板；且所述上板由所述驱动轴驱动。
13.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一和第二驱动单元中每一个都包括一个与所述波纹管组件的下部连接的联锁板，所述驱动轴和联锁导杆相连接并在所述联锁板的预定部位处穿过所述联锁板，且所述联锁板通过所述驱动轴与所述缓冲板联锁。
14.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一和第二驱动单元中每一个都包括一个与联锁导杆及驱动轴的下部连接的下板，且所述第一和第二驱动单元中每一个都通过所述下板固定到所述传送室。
15.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个波纹管组件的下部还连接有一个缓冲板平衡调节装置。
16.如权利要求13所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述动力单元设于联锁板上的一个预定部位处，从而与所述联锁板联锁。
17.如权利要求3所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述动力单元是一个马达。
18.如权利要求8所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述动力传输设备将所述动力单元与驱动轴连接，将所述动力单元提供的动力传输至所述驱动轴。
19.如权利要求18所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述动力传输设备是一个传送带。
20.如权利要求18所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述动力传输设备与所述第一和第二驱动单元的驱动轴连接，从而同时驱动第一和第二驱动单元。
21.如权利要求1所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述传送室包括多个位于传送室各侧预定部位处的观察口，且每个观察口具有一个较窄的外部窗口和一个较宽的内部窗口。
22.如权利要求1所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，在所述传送室下部一个预定部位处设有一个供所述机械手轴穿过的机械手轴通孔，在所述机械手轴的上部设有一个具有预定形状的凸缘，且一个设于密封件安装位置的密封件安装部件通过使用紧固装置固定在所述机械手轴通孔处。
23.如权利要求22所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述凸缘是一个从所述机械手轴上部的外表面突出的圆形或多边形部件。
24.如权利要求23所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述凸缘的直径比所述机械手轴通孔的直径大，且所述机械手轴的直径比机械手轴通孔的直径小。
25.如权利要求22所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述可供机械手轴穿过的通孔设于所述密封件安装部件的中心处；且所述密封件安装部件包括一个小直径的上圆柱部和一个大直径的下圆柱部。
26.如权利要求22所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述紧固装置是一个螺栓。
27.如权利要求22所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述密封件是一个O形环。
28.如权利要求22所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述密封件安装位置设置于所述密封件安装部件的上圆柱部和下圆柱部上。
29.如权利要求1所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述传送室包括用于调节基板在X方向运动的第一基板位置调整件和用于调节基板在Y方向运动的第二基板位置调整件。
30.如权利要求29所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个第一基板位置调整件包括一个第一基板接触件；一个连接于所述第一基板接触件一端部的第一支撑件；一个连接于所述第一基板接触件另一端部的第一驱动单元。
31.如权利要求29所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述传送室的两侧设有两个第一基板接触件。
32.如权利要求30所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一支撑件连接成穿过所述传送室的一个壁，且所述第一支撑件具有一个滑动第一基板接触件的结构。
33.如权利要求30所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一驱动单元设置为穿过所述传送室的壁，且所述第一驱动单元具有移动第一基板接触件的结构。
34.如权利要求30所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一驱动单元还包括一个用于驱动第一基板接触件的第一驱动件。
35.如权利要求34所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一驱动件通过一个第一波纹管组件与所述第一基板接触件连接。
36.如权利要求30所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一基板接触件上以预定的间隔设有多个第一接触片。
37.如权利要求36所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个第一接触片绕其自身的轴线进行枢转转动。
38.如权利要求36所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一接触片由工程塑料材料制成。
39.如权利要求38所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述工程塑料材料是聚四氟乙烯。
40.如权利要求30所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第一驱动件还包括一个第一基板接触件控制件。
41.如权利要求29所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个第二基板位置调整件包括一个第二基板接触件；连接于所述第二基板接触件的两端部的第二支撑件；和一个连接于所述第二基板接触件的中央部位的第二驱动单元。
42.如权利要求29所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述传送室未设有所述第一基板位置调整件的两侧设有两个第二基板位置调整件。
43.如权利要求41所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二支撑件设置为穿过所述传送室的壁；且所述第二支撑件具有一个在Y方向水平滑动所述第二基板接触件的结构。
44.如权利要求41所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二驱动单元设置为穿过所述传送室的壁，且所述第二驱动单元具有一个滑动所述第二基板接触件的结构。
45.如权利要求41所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二驱动单元还包括一个用于驱动所述第二基板接触件的第二驱动件。
46.如权利要求45所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二驱动件通过一个第二波纹管组件与所述第二基板接触件连接。
47.如权利要求41所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二基板接触件上以预定的间隔设有多个第二接触片。
48.如权利要求47所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，每个第二接触片都绕其自身轴线进行枢转转动。
49.如权利要求47所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二接触片由工程塑料材料制成。
50.如权利要求49所述的平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述工程塑料材料是聚四氟乙烯。
51.如权利要求41所述的用于平板显示器生产装置的传送室，其特征在于，所述第二驱动件还包括一个第二基板接触件控制件。
全文摘要
本发明涉及一种平板显示器生产装置的传送室，具体涉及一种具有传送室和负载固定室组合功能的平板显示器生产装置传送室，所述传送室在其中央位置旁设置有一个机械手，所述传送室中还设置有一个驱动时不妨碍机械手的缓冲器以及一个用于调整装设于缓冲器上的基板的位置的校准器。为了实现上述目的，提供一种平板显示器生产装置的传送室，其在传送室中央位置的旁边设置机械手。此外，为了驱动机械手，还设有一个用于密封传送室预定位置处所形成孔的密封件、一个用于调节传送室内的基板位置的校准器以及一个装设基板的缓冲器。
文档编号H01L21/687GK1616326SQ20041008890
公开日2005年5月18日 申请日期2004年11月4日 优先权日2003年11月4日
发明者许光虎, 崔浚泳, 李哲源, 李相伯 申请人:爱德牌工程有限公司