专利名称：自动控温、冷却、加压粘片机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种机械加工设备，特别是一种可自动控温、冷却、加压为一体的供研磨、抛光用的粘片机。
背景技术：
目前市场销售的加热器、风机技术都很成熟，重力块加压更为原始，就是采用可调的气压或液压也不是什么难题。而配合研磨、抛光粘料时，以往的工艺是分离的，即加热用加热平台，冷却时放在工作台上自然室温冷却，加压往往用手压一下。尤其在IC生产实验中，这种方法带来的研磨、抛光后果严重，直接影响到研磨、抛光质量或成品率。加热的目的是使粘接蜡化，控温是达到蜡溶点即可，不能高也不能低，加热温度高于蜡的溶点，蜡便会浠使得蜡层变薄，降低粘接强度。加热温度低于蜡的溶点，蜡因化不开而有小颗粒，使粘接面不平而导致被粘接材料与载料块基面的平面失准，这是造成废品的因素之一。采用风冷，主要是提高效率节省时间，而加压是重要一环，主要排除溶化后蜡溶液中的气泡和强制使被粘接材料与载料块基面平行，同时解决减小冷却时的变形。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种集加热、冷却、加压混为一体的粘片机，它能够方便地集合进行粘片过程中的加热、冷却、加压工序，以提高粘片质量、降低废品，为研磨机、抛光机提供了合理、贴切的配套产品。
本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的自动控温、冷却、加压粘片机，它是由加热平台与冷却平台及加压盖、机壳框架组成，加热、冷却、加压三部分工序为一体化，加热平台安装在隔热材料之中，隔热材料填充在机壳框架的凹正方体内表层。风机安装在机壳框架里面靠右边的冷却平台内，上端打有若干个通风孔，在加热平台和冷却平台上各安装加压平台。在加热平台上安装的加压平台配有若干块重量不同的砝码，在冷却平台上安装的加压平台装有气压或液压装置。
本实用新型的优点与效果是一.本实用新型结构简单、使用方便。
二.把加热、风冷却、加压视为平常的成熟技术，按贴片工艺要求巧妙地组合成一体，从而使分离的工序设计成一道工序。
附图为本实用新型的整体结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步详述图中加热平台(3)由加热元件、热电隅及控制器组成；加热平台安放在隔热材料(2)中，隔热材料填充在机壳框架(1)的凹坑里。冷却平台(10)上装有风机(11)，相对应风机(11)正上方的机壳框架(1)表面开有若干打通的通风孔(9)；在机壳框架(1)上，靠近冷却平台(10)的一端安装有支架(8)，支架上固定有气压或液压装置(6--2)。
工作时，将载料块(4)平放在加热平台(3)，在载料块(4)上平铺一层粘接蜡层(5)，蜡层上为被粘接材料(7)，载料块、粘接蜡层、被粘接材料夹在加压平台(6)和加热平台(3)之间，当完成加热加压工序后，载料块、粘接蜡层、被粘接材料自动转入冷却平台(10)之上完成冷却加压工序。加热工序中，在加压平台(6)上是靠配重块砝码(6-1)完成的加压；而在冷却工序中，在加压平台(6)上是靠气压或液压装置(6-2)完成的加压。
权利要求1.自动控温、冷却、加压粘片机，由加热平台与冷却平台及加压盖、机壳框架组成，其特征在于加热平台(3)安装在隔热材料(2)之中，隔热材料(2)填充在机壳框架(1)的凹正方体内表层；风机(11)安装在机壳框架(1)里面靠右边的冷却平台(10)内，上端打有若干个通风孔(9)；在加热平台(3)和冷却平台(10)上各安装加压平台(6)。
2. 如权利要求1所述的自动控温、冷却、加压粘片机，其特征在于在加热平台(3)上安装的加压平台(6)配有若干块重量不同的砝码(6-1)，在冷却平台(10)上安装的加压平台(6)装有气压或液压装置(6-2)。
专利摘要本实用新型涉及一种机械加工设备，特别是一种可自动控温、冷却、加压为一体供研磨、抛光用的粘片机。把加热、风冷却、加压视为平常的成熟技术，按贴粘片工艺要求巧妙地组合成一体，从而使分离的工序设计成一道工序。它是由加热平台与冷却平台及加压盖、机壳框架组成，加热、冷却、加压三部分工序为一体化，加热平台安装在隔热材料之中，隔热材料填充在机壳框架的凹正方体内表层。风机安装在机壳框架里面靠右边的冷却平台内，上端打有若干个通风孔，在加热平台上安装有加压平台，配有若干块重量不同的砝码，在冷却平台上装有气压或液压装置。
文档编号H01L21/02GK2747707SQ20042011310
公开日2005年12月21日 申请日期2004年11月9日 优先权日2004年11月9日
发明者张革 申请人:张革