专利名称：加热导线的制作方法
技术领域：
本实用新型属于电化处理设备部件，特别是一种加热导线。
背景技术：
目前一般已有的电浆辅助化学气相沉积系统(Plasma EnhancementChemical Vapor Deposition，PECVD)的机台上安装如图1所示的加热导线10，用以提供机台上电源的传导。加热导线10是由数条卷绕在一起的纯镍线11及依序套设于卷绕在一起纯镍线11的数块绝缘块12。加热导线10的相对两端分别设有可供锁固于机台上的接头13，并于两个接头13上分别设有螺孔131。加热导线10借由穿设于两个接头13上螺孔131内并锁固在机台上的螺丝(图中未示)安装于机台上。再者，各绝缘块12的两端分别凸设凸缘121及凹设对应并容置凸缘121的凹缘122，以使得数个绝缘块12依序套设于纯镍线11上时，各绝缘块12的凹缘122分别可供相邻绝缘块12上凸缘121容置。如此，即可令逐一排列的数个绝缘块12阻隔纯镍线11与外界环境接触，以保护纯镍线11。
然而，目前机台制造厂商，如Novellus，在电浆辅助化学气相沉积系统的机台上，安装加热导线10时，需先将加热导线10弯折适当角度，以利加热导线10锁接固定于机台上；再于外部加设绝缘套筒。惟如上所述的已有的加热导线10的结构设计，其最大弯折角度仅能达到5°，否则将使得数条镍纯线11曝露于外界环境下，使得数块绝缘块12无法保护数条纯镍线11，且在弯折的过程中，容易破坏数条纯镍线11及绝缘块12的表面及其结构。再者弯折后的加热导线10，不仅容易断袭，其传输效率亦大幅降低，使得加热导线10容易过热，从而导致机台产生跳机等线，因此，一般制造厂商传统的作法是将数条加热导线10分别弯折最大角度后，予以相连接在一起，从而可逐一形成更大角度的弯折。然而，如此设计，使得加热导线10的长度过长，易造成电弧现象的产生。
因此，有制造厂商开发出另一种加热导线是在绞线上套设数个陶瓷保护粒，且于绞线两端分别设有接头，一个接头是水平固定于绞线一端，另一个接头呈75°至120°的角度弯折固定于绞线另一端。如此，当欲将绞线安装于机台上时，可借由不同角度的两个接头而直接锁接固定于机台上。
惟此种结构设计除了需要针对各制造厂商所生产的不同机台分别进行两个接头在绞线上的角度调整，不仅造成成本增加及人力浪费外，且其弯折的角度亦与传统的加热导线相近，从而并无实质改善的效果。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种可大角度弯折、提高传输效率、改善使用性能的加热导线。
本实用新型包含传导线、至少两个绝缘块、至少一个枢轴粒及连接件；传导线具有可被弯折的挠性；绝缘块两相对侧分别设有圆弧状的容置部，并于绝缘块两容置部之间设有供传导线穿设的贯穿孔；枢轴粒上设有供传导线穿设的贯穿孔；至少两个绝缘块及至少一个枢轴粒交错套设于传导线上，以使得两个相邻绝缘块之间设有至少一个枢轴粒，并令枢轴粒容置于两相邻绝缘块相面对的容置部之间，借以共同形成保护套；当传导线被弯折时，各绝缘块的容置部即可分别沿着对应枢轴粒的外周滑动；连接件设置于传导线两端并用以将加热导线安装于机台上。
其中传导线相对的两端中的至少一端套设枢轴粒，俾使传导线上各绝缘块的两个容置部皆可容置有对应的枢轴粒。
传导线相对两端处分别设有位于保护套相对两端与两个连接件之间的抵制粒，借由两个抵制粒固定保护套的位置。
传导线为由数条导电线卷挠而成。
卷挠形成传导线的导电线由镍合金材料构成。
设置于传导线两端的连接件为由镍合金材料构成的固定片。
固定件上设有用以锁固于机台中的固定部。
绝缘块及枢轴粒以陶瓷材料构成。
具有可被弯折挠性传导线的最大弯折角度为45°。
机台为电浆辅助化学气相沉积系统的机台。
由于本实用新型包含传导线、至少两个绝缘块、至少一个枢轴粒及连接件；传导线具有可被弯折的挠性；绝缘块两相对侧分别设有圆弧状的容置部，并于绝缘块两容置部之间设有供传导线穿设的贯穿孔；枢轴粒上设有供传导线穿设的贯穿孔；至少两个绝缘块及至少一个枢轴粒交错套设于传导线上，以使得两个相邻绝缘块之间设有至少一个枢轴粒，并令枢轴粒容置于两相邻绝缘块相面对的容置部之间，借以共同形成保护套；当传导线被弯折时，各绝缘块的容置部即可分别沿着对应枢轴粒的外周滑动；连接件设置于传导线两端并用以将加热导线安装于机台上。实际操作中，当传导线相对两端共同朝上(或朝下)弯折一个角度，使传导线的中段部分朝下(或朝上)突出时，各相邻两个绝缘块相面对的容置部之间的上缘(或下缘)部分即可分别沿对应的枢轴粒的上缘(或下缘)滑动，从而相互贴近并可交叉重叠，而各相邻两个绝缘块相面对的容置部之间的下缘(或上缘)部分，即可分别对应于枢轴粒的下缘(或上缘)滑动，从而相互远离一定角度；不仅可大角度弯折，而且提高传输效率、改善使用性能，从而达到本实用新型的目的。
图1、为已有的加热导线结构示意侧视图。
图2、为本实用新型结构示意侧视图。
图3、为本实用新型分解结构示意立体图。
具体实施方式
如图2、图3所示，本实用新型加热导线(Heating Wire)20至少包含传导线21、至少两个绝缘块22、至少一个枢轴粒23、两个抵制粒25及设置于传导线21相对两端的连接件。
传导线21具有可被弯折的挠性。
至少两个绝缘块22及至少一个枢轴粒23是分别交错套设于传导线21上，以使得两个相邻绝缘块22之间设有至少一个枢轴粒23，借以共同形成保护套26。
两片固定片24可被锁固在一般电浆辅助化学气相沉积系统(PlasmaEnhancement Chemical Vapor Deposition，PECVD)的机台(图中未示)上适当位置，令加热导线20得以安装于机台上，用以提供机台上的电源传导。
如图2、图3所示，绝缘块22的两相对侧分别设有圆弧状的容置部221，并于绝缘块22两容置部221之间设有供传导线21穿设的贯穿孔222。
枢轴粒23小于绝缘块22，枢轴粒23上设有供传导线21穿设的贯穿孔231。
传导线21沿各绝缘块22的贯穿孔222及枢轴粒23的贯穿孔231逐一穿越各绝缘块22及枢轴粒23，并于两个绝缘块22之间套设枢轴粒23，且借由枢轴粒23小于绝缘块22，因此，各枢轴粒23与绝缘块22依序套设于传导线21上后，枢轴粒23容置于两相邻绝缘块22相面对的容置部221之间，借以共同形成保护套26。借此，当传导线21被弯折时，各绝缘块22的容置部221即可分别沿着对应枢轴粒23的外周滑动，使各绝缘块22及枢轴粒23构成的保护套26仍可隔离传导线21与外界环境接触，以保护传导线21。
绝缘块22及枢轴23逐一套设于传导线21上形成保护套26时，于传导线21相对的两端中的至少一端套设枢轴粒23，俾使传导线21上各绝缘块22的两个容置部221皆可容置有对应的枢轴粒23，如此，可令保护套26的相对两端的两个绝缘块22的贯穿孔222内所穿设的传导线21亦被两个枢轴粒23隔绝与外界环境的接触。
连接件为两片固定片24，固定片24上分别设有固定部241。固定部241可为螺孔或卡扣元件，用以锁固在机台适当位置。
两个抵制粒25分别设置于传导线21相对的两端处，并位于固定片24与保护套26相对两端之间，借以限制保护套26在传导线21上位移，从而将数个绝缘块22及数个枢轴粒23固定在传导线21上适当位置处。
实际操作中，如图3所示，当传导线21相对两端共同朝上(或朝下)弯折一个角度，使传导线21的中段部分朝下(或朝上)突出时，各相邻两个绝缘块22相面对的容置部221之间的上缘(或下缘)部分即可分别沿对应的枢轴粒23的上缘(或下缘)滑动，从而相互贴近并可交叉重叠，而各相邻两个绝缘块22相面对的容置部221之间的下缘(或上缘)部分，即可分别对应于枢轴粒23的下缘(或上缘)滑动，从而相互远离一定角度，如45°。
本实用新型的绝缘块22及枢轴粒23以耐高温、耐高压、防化学药剂腐蚀及不导电的材质构成，例如陶瓷材料，俾使加热导线20被安装至机台(图中未示)上，用以传导机台电源时，借由数个绝缘块22及数个枢轴粒23可隔绝传导线21与外界的接触，使其不易损坏。
传导线21为由数条导电线211卷挠而成，导电线211可由良好抗腐蚀、抗氧化性及导电性材质构成。如镍合金材料，镍合金材料在高温下，仍具有极强的材料强度及韧性。
传导线21相对两端所设的两个固定片24为由与导电线211相同的材料构成，俾使机台(图中未示)的电源在传导线21中时，不会因材质不同而造成电源传导速度变慢。
传导线21相对两端设置为固定片24的连接件仅为本实用新型的具体实施例，两个固定片24的体积、厚度、材质、相对角度、外观结构及其锁固于机台(图中未示)上的方式，可依各机台的实际情况予以变化，以令加热导线20可被安装在机台上，传导机台所需电源。
权利要求1.一种加热导线，它包含传导线、至少两个绝缘块及连接件；传导线具有可被弯折的挠性；至少两块绝缘块上设有供传导线穿设的贯穿孔；连接件设置于传导线两端并用以将加热导线安装于机台上；其特征在于所述的传导线穿设至少一个位于相邻两块绝缘块之间的枢轴粒；绝缘块两相对侧分别设有圆弧状的容置部，并使绝缘块上贯穿孔位于两容置部之间；枢轴粒上设有供传导线穿设的贯穿孔；至少两个绝缘块及至少一个枢轴粒交错套设于传导线上，以使得两个相邻绝缘块之间设有至少一个枢轴粒，并令枢轴粒容置于两相邻绝缘块相面对的容置部之间，借以共同形成保护套；当传导线被弯折时，各绝缘块的容置部即可分别沿着对应枢轴粒的外周滑动。
2.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的传导线相对的两端中的至少一端套设枢轴粒，俾使传导线上各绝缘块的两个容置部皆可容置有对应的枢轴粒。
3.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的传导线相对两端处分别设有位于保护套相对两端与两个连接件之间的抵制粒，借由两个抵制粒固定保护套的位置。
4.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的传导线为由数条导电线卷挠而成。
5.根据权利要求4所述的加热导线，其特征在于所述的卷挠形成传导线的导电线由镍合金材料构成。
6.根据权利要求5所述的加热导线，其特征在于所述的设置于传导线两端的连接件为由镍合金材料构成的固定片。
7.根据权利要求6所述的加热导线，其特征在于所述的固定件上设有用以锁固于机台中的固定部。
8.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的绝缘块及枢轴粒以陶瓷材料构成。
9.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的具有可被弯折挠性传导线的最大弯折角度为45°。
10.根据权利要求1所述的加热导线，其特征在于所述的机台为电浆辅助化学气相沉积系统的机台。
专利摘要一种加热导线，为提供一种可大角度弯折、提高传输效率、改善使用性能的电化处理设备部件，提出本实用新型。它包含传导线、至少两个绝缘块、至少一个枢轴粒及两个连接件；传导线具有可被弯折的挠性；绝缘块两相对侧分别设有圆弧状的容置部，并于绝缘块两容置部之间设有供传导线穿设的贯穿孔；枢轴粒上设有供传导线穿设的贯穿孔；至少两个绝缘块及至少一个枢轴粒交错套设于传导线上，以使得两个相邻绝缘块之间设有至少一个枢轴粒，并令枢轴粒容置于两相邻绝缘块相面对的容置部之间，借以共同形成保护套；当传导线被弯折时，各绝缘块的容置部即可分别沿着对应枢轴粒的外周滑动；连接件设置于传导线两端并用以将加热导线安装于机台上。
文档编号H01B7/17GK2794093SQ20052000567
公开日2006年7月5日 申请日期2005年3月14日 优先权日2005年3月14日
发明者廖本能, 谢旭明 申请人:逵硕实业有限公司