专利名称：清洗剂的制作方法
技术领域：
本发明涉及感光性树脂组合物的清洗剂。
背景技术：
以往，作为半导体用树脂组合物的清洗剂，例如使用OK-73(东京应化工业株式会社制；商品名)等，当其用于清洗颜料分散型感光性树脂组合物、特别是碳黑时，存在由于颜料的凝聚-沉降而产生异物的问题，因而是不适合的。
此外，若单独使用高沸点的非质子性极性溶剂，则由于其极性过强而导致颜料凝聚-沉降，产生配管堵塞等不便。
进一步地，单独使用芳香族烃化合物时，也会导致颜料凝聚-沉降，不能得到效率良好的清洗效果。
作为将具有烷基的芳香族化合物与几种溶剂配合而成的树脂除去用组合物，一直以来制造销售有下述物质作为半导体电子材料-图像显示用材料的显影液-剥离液-清洗液东京应化工业株式会社制的クリ一ンストリップ(商品名，CLEAN STRIP)、クリ一ンストリツプMF、クリ一ンストリップHP、クリ一ンストリップ HP-2、剥离液502A、剥离液502A2、BMR剥离液EG、エラスロン(ELASLON)显影液FDO-S、エラスロン显影液FDO-S2等。但是，从附着有颜料分散型树脂组合物的材料除去该颜料分散型树脂组合物时，这些产品缺乏干燥性能，存在易引起颜料的凝聚-沉降的难点。
特别是近年来基材渐趋大型化，在无旋转(spinless，R)的涂布中所必须的喷嘴清洗中，要求具有较快的干燥性和清洗剂组合物不易浸渗至(被吸入)喷嘴的特性。作为颜料分散型感光性树脂组合物的清洗剂，例如已知有专利文献1、2所述的清洗剂，但这些已经公知的清洗用组合物并不具有满足上述全部要求特性的性能。
此外，对于含有阳离子类、阴离子类、非离子类表面活性剂的以往的清洗剂，其发泡性成为问题，为了得到充分的清洗效果就必须使用大量的新的清洗剂，废液处理量增大，因而存在环境负荷较大的问题。
特开2001-188364号[专利文献2]特开2000-273370号发明内容鉴于上述问题，本申请发明提供了下述的清洗剂，该清洗剂为用于除去颜料分散型感光性树脂的清洗剂，与以往的产品相比，该清洗剂以较少的量即可发挥清洗效果，且不易引起颜料的凝聚-沉降。
本申请的发明所涉及的清洗剂为用于除去感光性树脂组合物的清洗剂，该清洗剂的特征在于，其含有2种以上的具有至少1个烷基的芳香族化合物，该芳香族化合物中全部烷基的碳原子的总数为3～5。
此外，本申请的发明所涉及的清洗剂的特征在于，上述芳香族化合物在上述清洗剂中的含量为1质量％～50质量％。
本申请的发明所涉及的清洗剂的特征在于，上述芳香族化合物是具有1个～3个烷基的单环化合物。该单环化合物如下述结构式所示； 上述结构式中，R独立地表示碳原子数为1～3的烷基。
作为该烷基，可以举出甲基、乙基、丙基、异丙基等。
本申请的发明所涉及的清洗剂的特征在于，上述芳香族化合物含有三甲基苯和乙基甲基苯。
本申请的发明所涉及的清洗剂是由上述芳香族类化合物与上述芳香族类化合物之外的溶剂的混合物构成的清洗剂，该清洗剂的特征在于，所述芳香族类化合物之外的溶剂是由含有选自下述物质中的至少1种的混合物所构成的，所述物质为丙二醇单甲醚乙酸酯(PGMEA1-甲氧基-2-乙酰氧基丙烷)、丙二醇单甲醚(PGME1-甲氧基-2-丙醇)、乙酸丁酯、N，N-二甲基甲酰胺、γ-丁内酯、N，N-二甲基乙酰胺、环己酮、1-(3-甲氧基)丁基乙酸酯、甲氧基丙基乙酸酯、3-乙氧基丙基乙酸酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸戊酯、乙酸己酯、乙酸辛酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乳酸戊酯、乳酸己酯、乳酸庚酯、乳酸辛酯、丙酮、4-甲基-2-戊酮、2-丁酮、2-庚酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、庚醇、辛醇、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、二乙基醚、二甲基醚、环己烷、环己醇、二噁烷、氧杂环丁烷、苯酚、甲酚、二甲苯酚、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亚砜。
本申请的发明所涉及的清洗剂的特征在于，该芳香族类化合物之外的溶剂含有选自N，N-二甲基甲酰胺、2-(1-甲氧基)丙基乙酸酯、1-甲氧基-2-丙醇和乙酸丁酯中的至少1种。
本申请的发明所涉及的清洗剂为含有硅类表面活性剂的清洗剂。
与以往的产品相比，本申请发明中的清洗剂组合物以较少量的清洗剂即可发挥相同或更好的效果且不易引起颜料的凝聚-沉降，因而对环境负荷也较小，在操作效率方面也是优异的。
具体实施例方式
下文对本发明进行更详细的说明。
本发明涉及的清洗剂对做为除去对象的感光性树脂组合物不特别限定，可以以以往被用于半导体、液晶、滤色器等的正型、负型、化学增幅型、非化学增幅型的任意感光性树脂组合物为对象。感光性树脂组合物基本上含有树脂成分和光聚合引发剂等感光成分作为必须成分，除此之外，也可能含有单体成分、表面活性剂、酸成分、含氮有机化合物、颜料、溶剂等。
采用本申请的发明所涉及的清洗剂特别能发挥出清洗效果的感光性树脂组合物为分散有颜料的感光性树脂组合物，进一步优选为用于形成红(R)、绿(G)、蓝(B)的滤色器的感光性树脂组合物、用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物。
作为上述树脂成分，可以举出例如，选自丙烯酸、甲基丙烯酸等具有羧基的单体中的至少1种物质与选自丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、苯氧基丙烯酸酯、苯氧基甲基丙烯酸酯、丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸异冰片酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、苯乙烯、丙烯酰胺、丙烯腈等中的至少1种物质的共聚物；苯酚酚醛型环氧丙烯酸酯聚合物；苯酚酚醛型环氧甲基丙烯酸酯聚合物；甲酚酚醛型环氧丙烯酸酯聚合物；甲酚酚醛型环氧甲基丙烯酸酯聚合物；双酚A型环氧丙烯酸酯聚合物；双酚S型环氧丙烯酸酯聚合物等树脂。
作为上述光聚合引发剂，可以举出例如1-羟基环己基苯基酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-羟基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、1-(4-异丙基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、1-(4-十二烷基苯基)-2-羟基-2-甲基丙烷-1-酮、2，2-二甲氧基-1，2-二苯基乙烷-1-酮、双(4-二甲氨基苯基)酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲氨基-1-(4-吗啉代苯基)-丁烷-1-酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基二苯基膦氧化物、4-苯甲酰基-4’-甲基二甲基硫化物、4-二甲氨基苯甲酸、4-二甲氨基苯甲酸甲酯、4-二甲氨基苯甲酸乙酯、4-二甲氨基苯甲酸丁酯、4-二甲氨基-苯甲酸2-乙基己酯、4-二甲氨基-苯甲酸2-异戊酯、苄基-β-甲氧基乙基乙缩醛、苄基二甲基缩酮、1-苯基-1，2-丙烷二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、2，4-二乙基噻吨酮、2-氯噻吨酮、2，4-二甲基噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮、噻吨、2-氯噻吨、2，4-二乙基噻吨、2-甲基噻吨、2-异丙基噻吨、2-乙基蒽醌、八甲基蒽醌、1，2-苯并蒽醌、2，3-二苯基蒽醌、偶氮二(异丁基)腈、过氧化苯甲酰、过氧化枯烯、2-巯基苯并咪唑、2-巯基苯并噁唑、2-巯基苯并噻唑、2-(邻氯苯基)-4，5-二(间甲氧基苯基)咪唑二聚体、二苯甲酮、2-氯二苯甲酮、p，p’-双(二甲氨基)二苯甲酮、4，4’-双(二乙氨基)二苯甲酮、4，4’-二氯二苯甲酮、3，3-二甲基-4-甲氧基二苯甲酮、偶苯酰、苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻异丙醚、苯偶姻异丁醚、苯偶姻丁醚、苯乙酮、2，2-二乙氧基苯乙酮、对二甲基苯乙酮、对二甲氨基苯丙酮、二氯苯乙酮、三氯苯乙酮、对叔丁基苯乙酮、对二甲氨基苯乙酮、对叔丁基三氯苯乙酮、对叔丁基二氯苯乙酮、α，α-二氯-4-苯氧基苯乙酮、噻吨酮、2-甲基噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、二苯并环庚酮、4-二甲氨基苯甲酸戊酯、9-苯基吖啶、1，7-双-(9-吖啶基)庚烷、1，5-双-(9-吖啶基)戊烷、1，3-双(9-吖啶基)丙烷、对甲氧基三嗪、2，4，6-三(三氯甲基)-s-三嗪、2-甲基-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(4-二乙氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-[2-(3，4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-甲氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-乙氧基苯乙烯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2-(4-正丁氧基苯基)-4，6-双(三氯甲基)-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(3-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪、2，4-双(三氯甲基)-6-(2-溴-4-甲氧基)苯乙烯基苯基-s-三嗪等。
作为上述颜料，可以举出例如C.I.Pigment Yellow 11、24、31、53、83、99、108、109、139、150、151、154、167、180、185、193；C.I.Pigment Orange 36、38、43；C.I.Pigment Red 105、122、149、150、155、171、175、176、177、209、224、254、264；C.I.Pigment Violet 19、23、32、39；C.I.Pigment Blue 1、2、15:1、15:2、15:3、16、22、60、66；C.I.Pigment Green 7、36、37；C.I.Pigment Brown 25、28；C.I.Pigment Black 1、7；碳黑等。
对于这种用于形成滤色器的或用于形成黑矩阵图案的感光性树脂组合物有很多提案，优选使用例如在日本特开2004-69754号公报、日本特开平11-231523号公报、日本特开平11-84125号公报、日本特开平10-221843号公报、日本特开平9-269410号公报、日本特开平10-90516号公报等中所记载的感光性材料等。
本申请的发明所涉及的清洗剂含有2种以上的具有至少1个烷基的芳香族化合物。进一步地，各芳香族化合物中的全部烷基的碳原子的总数为3～5。作为上述芳香族化合物，可以举出例如三甲基苯、乙基苯、二乙基苯、丙基苯、异丙基苯、乙基甲基苯、乙基二甲基苯、甲基丙基苯等。
作为上述芳香族化合物，优选含有三甲基苯、乙基甲基苯、(1-甲基)-乙基苯。进一步地，优选三甲基苯、乙基甲基苯、(1-甲基)-乙基苯。进一步地，优选三甲基苯、乙基甲基苯、(1-甲基)-乙基苯相对于全部芳香族化合物的含量以气相色谱的区域面积比表示为50％～99％。
此外，本发明的清洗剂优选为芳香族烃与其它溶剂(芳香族烃之外的溶剂)的混合系统。通过将芳香族烃与其它溶剂混合来使用，可以容易地控制清洗性或速干性等特性。此外，也容易根据颜料分散型树脂组合物的种类来控制最适组成。
优选清洗剂中的芳香族烃的含量在1质量％～50质量％左右的范围内使用，进一步优选在10质量％～40质量％的范围内使用。若在该范围内使用，则可平衡性良好地清洗除去颜料成分、聚合物成分、低分子量的有机化合物成分等，并且可抑制清洗后的清洗剂中碳或其它颜料成分的沉降现象。
作为芳香族烃之外的溶剂，优选从相对于构成颜料分散型树脂组合物的聚合物成分或低分子量的有机化合物成分等为良溶剂的溶剂中进行选择。进一步优选从下述溶剂中选择，该溶剂为作为清洗对象的颜料分散型树脂组合物的溶剂的优选溶剂。
作为本清洗剂中所含有的芳香族烃之外的溶剂，可以举出例如下述物质2-甲氧基乙醇、2-乙氧基乙醇、2-丙氧基乙醇、2-丁氧基乙醇、1，2-二甲氧基乙烷、1，2-二乙氧基乙烷、1，2-二丙氧基乙烷、1-甲氧基-2-丙醇、1-乙氧基-2-丙醇、1-丙氧基-2-丙醇、1-丁氧基-2-丙醇、1，2-二甲氧基丙烷、1，2-二乙氧基丙烷、2-(2-甲氧乙氧基)乙醇、2-(2-乙氧乙氧基)乙醇、2-(2-苯氧乙氧基)乙醇、双(2-甲氧基乙基)醚、双(2-乙氧基乙基)醚、2-甲氧基乙基乙酸酯、2-乙氧基乙基乙酸酯、2-丙氧基乙基乙酸酯、2-丁氧基乙基乙酸酯、2-苯氧基乙基乙酸酯、2-(2-甲氧乙氧基)乙基乙酸酯、2-(2-乙氧乙氧基)乙基乙酸酯、2-(2-丙氧乙氧基)乙基乙酸酯、2-(2-丁氧乙氧基)乙基乙酸酯、2-(2-苯氧乙氧基)乙基乙酸酯、2-(1-甲氧基)丙基乙酸酯、2-(1-乙氧基)丙基乙酸酯、2-(1-丙氧基)丙基乙酸酯、2-(1-丁氧基)丙基乙酸酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、4-甲氧基丁基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-乙基-3-甲氧基丁基乙酸酯、2-乙氧基丁基乙酸酯、4-乙氧基丁基乙酸酯、4-丙氧基丁基乙酸酯、2-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲氧基戊基乙酸酯、2-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基戊基乙酸酯、3-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、4-甲基-4-甲氧基戊基乙酸酯、丙酮、乙基甲基酮、二乙基酮、甲基异丁基酮、乙基异丁基酮、四氢呋喃、环己酮、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丙酯、丙酸异丙酯、2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯、甲基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-甲氧基丙酸酯、乙基-3-乙氧基丙酸酯、乙基-3-丙氧基丙酸酯、丙基-3-甲氧基丙酸酯、异丙基-3-甲氧基丙酸酯、乙氧基乙酸乙酯、氧代乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、乙酸丙酯、乙酸丁酯、乙酸异戊酯、碳酸乙酯、碳酸丙酯、碳酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、丙酮酸丁酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乳酸乙基己酯、苄基甲基醚、苄基乙基醚、二己基醚、乙酸苯甲酯、苯甲酸乙酯、草酸二乙酯、马来酸二乙酯、γ-丁内酯、苯、甲苯、二甲苯、环己酮、丁醇、3-甲基-3-甲氧基丁醇、己醇、环己醇、乙二醇(ethylene glycol)、乙烷二醇(ethane diol)、甘油、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺等。这些溶剂可以使用1种或至少2种。
其中优选的溶剂可列举例如为上述的丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乙酸丁酯、γ-丁内酯、N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺，更优选含有上述物质中的至少2种。本发明的清洗剂中，优选配合有表面活性剂。作为上述表面活性剂，可以使用已知作为滤色器形成用感光性树脂组合物和黑矩阵图案形成用感光性树脂组合物的构成成分的表面活性剂，在预先知道作为清洗对象的感光性树脂组合物中所含有的表面活性剂时，优选清洗剂中的表面活性剂为与之同种类的表面活性剂。
作为表面活性剂的例子，可以举出氟-硅类表面活性剂。其中，优选为全氟烷基酯基、烷基硅氧烷基、乙烯氧基和丙烯氧基这四种基团键合而成的非离子性氟-硅类表面活性剂(E-1)。作为具体例子，可以举出例如产品名为MEGAFAC R-08、R-60(大日本油墨化学工业社制)等的物质。
此外，所述表面活性剂还优选为氟含量为10质量％～25质量％且硅含量为3质量％～10质量％的表面活性剂成分(E-2)。作为具体例，可列举例如产品名为X-70-090、X-70-091、X-70-092、X-70-093(信越化学工业社制)等物质。
此外所述表面活性剂还优选为具有特定的硅氧烷骨架的聚酯改性聚二烷基硅氧烷类表面活性剂(E-3)。作为具体例，可列举例如产品名为BYK-310、BYK-315(Byk-chemie公司制)等物质。
作为上述(E-1)～(E-3)之外的表面活性剂的具体例，可列举例如产品名为Fluorad FC-430、FC431(住友3M公司制)、EFTOP EF122A、EF122B、EF122C、EF126(Tohkem Products公司制)等氟类表面活性剂。
表面活性剂可以单独使用一种或并用至少2种。
对于本发明的清洗剂中的表面活性剂的含量，优选表面活性剂在该组合物中的浓度为0.0001质量％～1.0质量％，更优选为0.001质量％～1.0质量％。
若表面活性剂的配合量为上述范围的下限值以上，则能得到表面活性剂的添加效果。此外，若表面活性剂的配合量为上述范围的上限值以下，则当清洗后残留的清洗剂和感光性树脂组合物接触时，可防止感光性树脂组合物中的表面活性剂浓度增大至必要浓度以上。若感光性树脂组合物中的表面活性剂浓度过高，则容易发泡，反而易产生涂布不均一，进而还有可能在涂膜上产生针孔。
作为上述表面活性剂，优选为硅类表面活性剂。进一步地，优选添加硅类表面活性剂以使清洗剂中的硅含量为1ppm～30ppm，更优选使清洗剂中的硅含量为1ppm～20ppm。由此，可以控制清洗剂中的表面张力，可以提高清洗性。
此外，若预先知道作为清洗对象的感光性树脂组合物中所含有的表面活性剂的浓度，则从表面自由能均衡的方面考虑，优选使清洗剂中的表面活性剂浓度与该浓度在同种程度。
对于本发明的清洗剂，当将感光性树脂组合物涂布于基板上后，可利用其除去基板上不需要的感光性树脂组合物，除此之外，其也适用于对涂布工序中所使用的涂布装置的喷嘴、辊、配管等上附着的感光性树脂组合物进行清洗。
根据本申请发明所得到的清洗剂对清洗感光性树脂组合物具有优异的清洗性。本发明的清洗剂对用于形成滤色器或黑矩阵图案的颜料分散型感光性树脂组合物具有特别优异的清洗性。
本发明的清洗剂虽然可以仅由一种溶剂构成，但是为了满足清洗性、干燥性、防止被清洗的颜料的沉降等各种特性，若其为使用多种溶剂的混合溶剂，则其能够易于设计为取得平衡的清洗剂，在这个意义上，所述混合溶剂是优选的。
本发明的清洗剂若含有相对于感光性树脂组合物的树脂成分为良溶剂的溶剂，则可对分散于经该溶剂清洗除去的感光性树脂组合物中的碳等颜料颗粒的凝聚进行抑制，颜料可以效率较好地分散于清洗剂中。即，若清洗剂中的颜料的分散性较差，则经清洗除去的颜料粒子一旦凝聚就会易于沉降在被清洗面，若防止该现象的产生就可消除清洗残留。
特别是若使用芳香族类溶剂，则其在抑制碳的凝聚、沉降方面是优选的。特别地，若其中含有具有烷基和/或烷氧基的芳香族类溶剂，则可以效率良好地对碳进行分散，因而是优选的。
这是由于，芳香环的π电子有助于清洗剂与碳的亲和性，烷基和/或烷氧基有助于其与相对于感光性树脂组合物的树脂成分为良溶剂的溶剂的亲和性，因而使清洗剂和碳之间获得优异的亲和性。
因此，本发明的清洗剂对用于形成黑矩阵图案的黑色颜料(特别是碳)分散型的感光性树脂组合物是特别有效的。
此外，对吐出喷嘴的末端部分进行清洗时，若清洗剂处在原样附着于喷嘴等的状态，则清洗后再次从喷嘴吐出感光性树脂组合物时，附着于喷嘴等的清洗剂会溶入感光性树脂组合物中，从而使感光性树脂组合物的组成发生变化。这样就有可能导致感光性树脂组合物的涂布性等特性变差，可能成为例如产生涂布不均的原因。特别是当感光性树脂组合物中配合有表面活性剂时，若感光性树脂组合物与清洗剂接触，则其表面活性剂的浓度会降低，从而易产生涂布不均一。
根据本发明，可以提供干燥性(速干性)优异的清洗剂，由此可以抑制清洗剂溶入感光性树脂组合物中。特别是若含有1-烷氧基-2-丙醇，则可以有效地提高干燥性。
进一步地，若清洗剂中含有表面活性剂，则即使残留的清洗剂溶入感光性树脂组合物中，也可使感光性树脂组合物中的表面活性剂浓度的降低得到抑制，可以防止涂布不均的产生。
实施例下文对本发明的实施例和比较例进行说明，但是本发明的范围并不限于这些实施例。
(清洗性评价)在聚乙烯制的1ml管内吸取1ml黑矩阵图案形成用感光性树脂组合物“CFPR BK-5005SL”(东京应化工业株式会社制)，然后将该组合物排出。随后用清洗剂对该吸液管内进行清洗处理，肉眼确认清洗情况，对直至清洗结束所必需的清洗剂的用量进行测量、比较。
另外，在下述实施例中，所谓“芳香族烃类”是指使用含有三甲基苯、乙基甲基苯、(1-甲基)-乙基苯这三种化合物的芳香族烃。
(实施例1)调制清洗剂，该清洗剂中，芳香族烃类∶PGME∶N，N-二甲基乙酰胺＝2∶6∶2(重量比)。
(实施例2)
调制清洗剂，该清洗剂中，芳香族烃类∶2-庚酮∶乙酸丁酯＝2∶1∶7(重量比)。
(实施例3)调制清洗剂，该清洗剂中，芳香族烃类∶PGME∶醋酸丁酯＝2∶6∶2(重量比)。
(比较例1)调制混合清洗剂，该清洗剂中，PGMEA∶PGME∶甲苯＝6∶2∶2(重量比)。
(比较例2)调制清洗剂，该清洗剂中，PGMEA∶PGME∶二甲苯＝6∶2∶2(重量比)。
(比较例3)调制清洗剂，该清洗剂中，PGMEA∶PGME∶苯甲醚＝6∶2∶2(重量比)。
(比较例4)使用PGMEA作为清洗剂。
(比较例5)调制PGMEA∶PGME＝7∶3的清洗剂，进行清洗性评价。
(比较例6)使用产品名为“ソ ルベツソ100”(exxon化学公司制)的物质作为清洗剂。
基于上述各实施例和比较例的清洗剂的清洗性评价结果如下述表1所示。
而且，若在实施例1或2的清洗剂中配合50ppm的表面活性剂(产品名为“Additol XL 121”(Solutia公司制))来调制为清洗剂，则在进行使用时，在清洗绿(G)的颜料时可防止颜料的凝聚-沉降。
如上所述，与以往的产品相比，本申请的发明所涉及的清洗剂以更少的量即可发挥出清洗效果且不易引起颜料的凝聚-沉降，因而将其用作除去颜料分散型感光性组合物的清洗剂是有用的。
权利要求
1.一种清洗剂，其是用于除去感光性树脂组合物的清洗剂，该清洗剂的特征在于，其含有2种以上具有至少1个烷基的芳香族化合物，该芳香族化合物中全部烷基的碳原子的总数为3～5。
2.如权利要求1所述的清洗剂，其特征在于，所述芳香族化合物在所述清洗剂中的含量为10质量％～40质量％。
3.如权利要求1或2所述的清洗剂，其特征在于，所述芳香族化合物为具有1个～3个烷基的单环化合物。
4.如权利要求3所述的清洗剂，其特征在于，所述芳香族化合物含有三甲基苯和乙基甲基苯。
5.如权利要求1所述的清洗剂，其是由所述芳香族化合物与所述芳香族化合物之外的溶剂的混合物构成的清洗剂，该清洗剂的特征在于，所述芳香族化合物之外的溶剂是由含有选自下述物质中的至少1种的混合物所构成的，所述物质为丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚、乙酸丁酯、N，N-二甲基甲酰胺、γ-丁内酯、N，N-二甲基乙酰胺、环己酮、1-(3-甲氧基)丁基乙酸酯、甲氧基丙基乙酸酯、3-乙氧基丙基乙酸酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、乙酸戊酯、乙酸己酯、乙酸辛酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、乳酸戊酯、乳酸己酯、乳酸庚酯、乳酸辛酯、丙酮、4-甲基-2-戊酮、2-丁酮、2-庚酮、甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、戊醇、己醇、庚醇、辛醇、己烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、二乙基醚、二甲基醚、环己烷、环己醇、二噁烷、氧杂环丁烷、苯酚、甲酚、二甲苯酚、N-甲基-2-吡咯烷酮、二甲基亚砜。
6.如权利要求5所述的清洗剂，其特征在于，所述芳香族化合物之外的溶剂含有选自N，N-二甲基甲酰胺、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单甲醚和乙酸丁酯中的至少1种物质。
7.如权利要求1所述的清洗剂，其特征在于，其含有硅类表面活性剂。
全文摘要
本发明提供一种清洗剂，该清洗剂为用于除去颜料分散型感光性树脂的清洗剂，与以往的产品相比，本发明所提供的清洗剂以较少的量即可发挥出清洗效果且不易引起颜料的凝聚－沉降。本发明的清洗剂的特征在于，其含有2种以上的具有至少1个烷基的芳香族化合物，该芳香族化合物中全部烷基的碳原子的总数为3～5。
文档编号H01L21/304GK1982425SQ20061014352
公开日2007年6月20日 申请日期2006年11月10日 优先权日2005年12月15日
发明者原田光治, 片野彰 申请人:东京应化工业株式会社