软磁性材料、软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法

专利名称：：软磁性材料、软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法
技术领域：
：本发明总体上涉及软磁性材料、软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法，具体而言，本发明涉及软磁性材料、软磁性材料的制造方法、包含覆盖有绝缘膜的金属磁性颗粒的压粉铁心以及该压粉铁心的制造方法。
背景技术：
：近年来，人们己经尝试提供电工电子部件(例如具有更高密度和更小尺寸的电机铁心和变压器铁心)，来满足采用较低的电功率以实现更精确的控制的要求，这使得用于制造这些电工电子部件的软磁性材料(特别是在中高频率下提供改善的磁性的软磁性材料)得到发展。与所述的软磁性材料相关的是，例如，日本专利申请公开No.2002-246219批露了在高温下在使用过程中可以保持磁性的压粉铁心，以及该铁心的制造方法(专利文献l)。根据专利文献l所批露的方法，首先将覆盖有磷酸膜的雾化铁粉与预定量的聚苯硫醚(PPS树脂)混合，然后进行压制成形。将所得成形体在32(TC的空气中加热1小时，然后再在24(TC下加热1小时。然后冷却，从而制得压粉铁心。专利文献1:日本专利公开No.2002-246219。
发明内容本发明所要解决的问题如上所述制得的压粉铁心在其内部可能包含大量的畸变(位错、缺陷)，这些畸变将抑制磁畴壁的移动(磁通量的变化)，从而导致压粉铁心的透磁率降低。专利文献1中披露的压粉铁心以成形体的形式经历两次热处理，但仍不能适当地消除内部畸变。因此，所得的可随着频率和PPS树脂的含量的不同而不同的压粉铁心的有效透磁率一直保持为小于或等于400的较低的值。人们还考虑了在更高的温度下对成形体进行热处理，以便将压粉铁心内的畸变降低至可接收的水平。然而，包覆雾化铁粉的磷酸化合物的耐热性较低，因此其在高温下在热处理的过程中劣化。这使得由磷酸包敷的雾化铁粉的颗粒间的涡流损耗增大，从而可能降低压粉铁心的透磁率。鉴于此，本发明的目的是通过提供具有所需磁性的软磁性材料、该软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法来解决上述问题。解决所述问题的手段根据本发明的一个方面的软磁性材料包含多个复合磁性颗粒。该多个复合磁性颗粒中的每一个均具有包含铁的金属磁性颗粒；下层膜，该下层膜包围所述金属磁性颗粒的表面并包含非铁金属；以及上层绝缘膜，该上层绝缘膜包围所述的下层膜的表面并包含无机化合物。所述的无机化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素。所述非铁金属与氧和碳中的至少一种元素的亲和性高于铁与氧和碳中的所述那至少一种元素的亲和性。在具有这种结构的软磁性材料中，在对软磁性材料进行热处理的过程中，设置在金属磁性颗粒和上层绝缘膜之间的下层膜能够抑制上层膜中的无机化合物所包含的氧或碳扩散到金属磁性颗粒中，这是由于下层膜包含非铁金属，而该非铁金属与氧或碳的亲和性高于金属磁性颗粒中的铁与氧或碳的亲和性，这样促进了氧和碳与非铁金属的反应，并将氧和碳捕获在下层膜中，由此抑制氧和碳浸入到金属磁性颗粒中(吸气效应)。这使金属磁性颗粒中杂质浓度的增加达到最小，并进而抑制金属磁性颗粒的磁性发生劣化。防止氧和碳扩散到金属磁性颗粒中还使上层膜的无机化合物中的氧含量和碳含量的降低达到最低，从而抑制了上层膜的分解或降解(上层膜的分解或降解可能导致上层膜的绝缘性降低)。根据本发明的另一个方面的软磁性材料包含多个复合磁性颗粒。该多个复合磁性颗粒中的每一个均具有包含铁的金属磁性颗粒；下层膜，该下层膜包围所述金属磁性颗粒的表面并包含非铁金属；以及上层绝缘膜，该上层绝缘膜包围所述下层膜的表面并包含无机化合物。所述的无机化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素。就所述无机化合物包含的氧和碳中的至少任意一种元素而言，该元素在所述非铁金属中的扩散系数较其在铁中的扩散系数小。在具有这种结构的软磁性材料中，在对软磁性材料进行热处理的过程中，设置在上层绝缘膜和金属磁性颗粒之间的下层膜能够降低上层膜中的无机化合物所包含的氧或碳扩散到金属磁性颗粒中的程度，这是由于下层膜包含非铁金属，而氧或碳在该非铁金属中的扩散系数小于氧或碳在金属磁性颗粒中所含的铁中的扩散系数，从而使得上层膜的氧和碳向金属磁性颗粒中扩散的速度在下层膜中被降低，这样抑制了氧和碳浸入到金属磁性颗粒中(屏障效应)，由此使金属磁性颗粒中杂质浓度的增加达到最小，并进而抑制了金属磁性颗粒的磁性发生劣化。抑制氧和碳扩散到金属磁性颗粒中还使上层膜中的无机化合物中氧含量和碳含量的降低达到最小，从而抑制了上层膜的分解或降解(上层膜的分解或降解可能导致上层膜的绝缘性降低)。因此，这些发明允许在高温下对软磁性材料进行热处理，而不会引起金属磁性颗粒和上层绝缘膜的劣化。优选的是，非铁金属包括至少一种选自铝(A1)、铬(Cr)、硅(Si)、钛(Ti)、钒(V)和镍(Ni)中的元素。在具有这种结构的软磁性材料中，这些材料与铁相比，或者其与氧或碳具有更大的亲和性，或者氧或碳在这些材料中的扩散系数更小。因此，上述优点可通过下层膜的吸气效应和屏障效应中的至少一种达到。另外，所述材料与氧或碳之间发生反应可能导致下层膜的电阻增加，在这种情况下，下层膜可以与上层膜协同起到绝缘体的作用。另外，当所述材料与金属磁性颗粒中所包含的铁形成固态溶液时，这些材料不会损害金属磁性颗粒的软磁性，从而抑制软磁性材料的磁性发生劣化。优选的是，下层膜的平均厚度为不小于50nm且不大于lpm。在具有这种结构的软磁性材料中，使下层膜的平均厚度为不小于50nm确保了下层膜的吸气效应或屏障效应。此外，由于下层膜的平均厚度不大于lpm，使得使用本发明的软磁性材料制造的成形体不含有彼此间的距离太大的金属磁性颗粒。这抑制了金属磁性颗粒之间反磁性的发生(由于金属磁性颗粒的磁极所引起的能量损耗)，从而使由反磁性引起的磁滞损耗的增加达到最小。另外，可以使软磁性材料中非磁性层的体积比达到最小，从而使饱和磁通密度的降低达到最小。优选的是，上层膜的平均厚度为不小于10nm且不大于lpm。在具有这种结构的软磁性材料中，使上层膜的平均厚度为不小于10nm使得膜中的隧道电流达到最小，从而使由隧道电流引起的涡流损耗的增加达到最小。另外，由于上层膜的平均厚度不大于lpm，使得使用本发明的软磁性材料制造的成形体不含彼此间的距离太大的金属磁性颗粒。这抑制了金属磁性颗粒之间反磁性的发生，并使因反磁性而引起的磁滞损耗的增加达到最小。而且，可以使软磁性材料中的非磁性层的体积比达到最小，从而使饱和磁通密度的降低达到最小。另外，优选的是，无机化合物由包含选自铝、锆、钛、硅、镁、铁和磷中的至少一种元素的化合物构成。根据具有这种结构的软磁性材料，由于包含氧和碳中的任意一种元素的这些材料具有优异的绝缘性，因此可以进一步有效地抑制在金属磁性颗粒间流动的涡流电流。另外，优选的是，无机化合物为含磷化合物和由金属醇盐形成的无机化合物中的至少任一种，所述金属醇盐包括选自铝、锆、钛、硅、镁和铁中的至少一种元素。通过使用有机溶剂由金属醇盐形成上层膜的这样的软磁性材料，上层膜可以由微小且精细的颗粒形成。因此，可以改善软磁性材料的流动性，并且覆盖有该上层膜的金属磁性颗粒不易受到加热的影响。另外，上述软磁性材料的压縮密度变化率小于5%。通过由金属醇盐形成上层膜的这样的软磁性材料，可以改善软磁性材料的流动性。因此，即使在低压下进行成形操作，也可以获得足够大的压縮密度。另外，上述软磁性材料在加热前和加热后的体积电阻率值的变化率最多为20%。通过由金属醇盐形成上层膜的这样的软磁性材料，覆盖有上层膜的金属磁性颗粒不易受到加热的影响。因此，可以防止软磁性材料在热处理后的体积电阻率值显著低于热处理前的体积电阻率值。根据本发明的软磁性材料的制造方法是指制造上述软磁性材料的方法。制造所述软磁性材料的方法包括下层膜形成步骤，在金属磁性颗粒的表面上形成下层膜；以及在下层膜形成步骤之后进行的上层膜形成步骤，将金属醇盐溶液加入到通过将金属磁性颗粒分散到有机溶剂中而获得的悬浮液中，将所得悬浮液风干，然后将所得粉末在至少6(TC到最高12(TC的温度下干燥。根据制造具有这种结构的软磁性材料的方法，可以制造在成形过程中具有优异的流动性、并且包含不易受到加热影响的金属磁性颗粒的软磁性材料。此处，通过将干燥温度设定为至少6(TC，就可以使形成有上层膜的复合磁性颗粒被充分干燥。因此，在使用根据本发明的软磁性材料来制造成形体的过程中，可以确保软磁性材料的压缩性，并且可以获得具有高密度的成形体。另外，通过将干燥温度设定为12CrC或更低，可以防止金属磁性颗粒的表面生锈。因此，可以防止软磁性材料的磁性发生劣化。另外，优选的是，上层膜形成步骤还包括将磷酸溶液加入到其中已经加有金属醇盐溶液的悬浮液中的步骤。根据这种软磁性材料的制造方法，可以进一步有效地改善压縮性、流动性以及在高温烧制后的电阻值的变化率。根据本发明的压粉铁心是使用上述任意一种软磁性材料制造的。在具有这种结构的压粉铁心中，在高温下进行热处理可以令人满意地减少压粉铁心中的畸变，从而提供由于磁滞损耗的减少而得到改善的磁性。在这种情况下，尽管在高温下进行热处理，但是由于涡流损耗被降低而使得受到下层膜保护的上层绝缘膜仍可以提供改善的磁性。优选的是，压粉铁心还包含有机物，该有机物被置于多个复合磁性颗粒之间从而将多个复合磁性颗粒结合在一起，并且所述有机物包括选自聚乙烯树脂、有机硅树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂和聚四氟乙烯中的至少一种。在具有这种结构的软磁性材料中，这些有机物将多个复合磁性颗粒牢固地结合在一起，并且在软磁性材料的压制成形的过程中起到润滑剂的作用，从而防止复合磁性颗粒彼此摩擦，否则这种摩擦将损坏上层膜。因此可以提高压粉铁心的强度并且可以减少涡流损耗。另外，由于金属磁性颗粒由下层膜覆盖，因此可以抑制这些有机物中所含有的氧或碳扩散到金属磁性颗粒中。根据本发明的压粉铁心的制造方法是指制造上述压粉铁心的方法。所述压粉铁心的制造方法包括如下步骤通过对所述多个复合磁性颗粒进行压制成形从而形成成形体；以及将所述成形体在不低于50(TC的温度下进行热处理。在具有这种结构的压粉铁心的制造方法中，对成形体进行热处理的温度不低于50(TC可以将压粉铁心内的畸变降低至令人满意的程度。另外，尽管成形体被暴露于这种高温下，但是下层膜可以发挥防止金属磁性颗粒和上层绝缘膜劣化的作用。本发明的效果如上所述，本发明可提供具有所需磁性的软磁性材料、该软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法。附图简要说明图1是使用本发明实施方案的软磁性材料制造的压粉铁心的示意性剖视图。图2是图1中的虚线II所限定的区域的放大示意图，其中下层膜由这样的非铁金属形成，该非铁金属与氧或碳的亲和性大于铁与氧或碳的亲和性。图3是图1中的虚线II所限定的区域的放大示意图，其中下层膜由这样的非铁金属形成，氧或碳在该非铁金属中的扩散系数小于其在铁中的扩散系数。图4是示出与各种金属形成固态溶液的铁的结晶磁各向异性与固态溶液中金属含量的关系的图。附图标记说明10金属磁性颗粒，20下层膜，30上层膜，40复合磁性颗粒，50有机物实施本发明的最佳方式现在参照附图对本发明的实施方案进行说明。图1是使用本发明的实施方案的软磁性材料制造的压粉铁心的示意性剖视图。参见图l，软磁性材料包含多个复合磁性颗粒40，多个复合磁性颗粒40中的每一个均包含金属磁性颗粒10、包围金属磁性颗粒10的表面的下层膜20和包围下层膜20的表面的上层膜30。有机物50置于复合磁性颗粒40之间，并由(例如)聚乙烯树脂、有机硅树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂和聚四氟乙烯(Teflon)形成。压粉铁心是由复合磁性颗粒40通过其上所具有的凹凸啮合连接在一起或者通过有机物50使复合磁性颗粒40结合在一起而形成的。应当注意的是，有机物50并不是本发明所必须使用的，并且复合磁性颗粒40可以仅通过复合磁性颗粒40上所具有的凹凸相啮合而结合在一起。金属磁性颗粒10包含铁(Fe)，并使用多种制造方法(例如雾化铁粉法、还原铁粉法和羰基铁粉法)由下列物质制成(例如)铁(Fe)、铁(Fe)-硅(Si)系合金、铁(Fe)-氮(N)系合金、铁(Fe)-镍(Ni)系合金、铁(Fe)-碳(C)系合金、铁(Fe)-硼(B)系合金、铁(Fe)-钴(Co)系合金、铁(Fe)-磷(P)系合金、铁(Fe)-铬(Cr)系合金、铁(Fe)-镍(Ni)-钴(Co)系合金、铁(Fe)-铝(Al)-硅(Si)系合金，或铁酸盐，等。金属磁性颗粒10可以仅由铁或铁系合金制成。优选的是，金属磁性颗粒10的平均粒径不低于5pm且不大于300pm。平均粒径不低于5pm的金属磁性颗粒10降低了金属磁性颗粒IO被氧化的可能性，从而使压粉铁心的磁性得到改善。平均粒径不大于300pm的金属磁性颗粒IO可以避免在压制成形的过程中粉末的压縮性降低。因此，可以通过压制成形而提供密度增加的成形体。本文使用的平均粒径指在采用扫描法测量的粒径直方图中，颗粒从最小粒径开始累积的质量达到颗粒总质量的50%时所对应的粒径，即50%粒径D。下层膜20包含非铁金属，例如铝、铬、硅、钛、钒或镍。表1示出了形成下层膜20的非铁金属与碳和氧的亲和性、以及铁与碳和氧的亲和性。表1列出了由这些金属与碳或氧之间发生反应而产生的最初生成的化合物、以及在所述反应过程中所产生的热，其中所产生的热的绝对值越大，表明这些金属与碳或氧的亲和性越大。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>由表1可见，铝、铬、硅、钛和钒与碳和氧的亲和性均大于铁与碳和氧的亲和性。尽管不能生成镍的碳化物，但是镍与氧的亲和性和铁与氧的亲和性处于相同的级别水平。表2示出了氧和碳在形成下层膜20的非铁金属中的扩散系数、以及在铁中的扩散系数。表2中的扩散频率系数(diffusionfrequencycoefficient)Do和扩散活化能Q是在约50CTC至900。C的温度下测定的，扩散系数D和扩散距离L是在60(TC的温度下测定的。表2<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>Do:扩散频率项Q:扩散活化能D(扩散系数):Doxexp(-Q/RT):R气休常数二8.315[J/摩尔/K]，T温度[K]L:扩散距离(扩散时间为l小时，扩散源和发生扩散的部分之间的界面假定为球形)200680028263.7转溢齿被10/34:K由表2可见，碳在铬、镍、钛和钒中的扩散系数小于碳在铁中的扩散系数。还可以看出，氧在镍、硅、钛和钒中的扩散系数小于氧在铁中的扩散系数。因此，下层膜20由这样的非铁金属形成，与铁相比该非铁金属与碳或氧具有较大的亲和性，或者碳或氧在该非铁金属中的扩散系数较在铁中的小，或者与铁相比该非铁金属对碳或氧具有较大的亲和性并且碳或氧在该非铁金属中的扩散系数较在铁中的小。优选的是，下层膜20的平均厚度不低于50nm且不超过lpm。本文使用的平均厚度是通过以下方法推测的估计厚度，所述方法为通过组成分析(透射电子显微镜-能量色散型X射线光谱法(TEM-EDX))得到膜的组成，通过电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)法得到各元素的重量，然后再在TEM照片上直接观察膜以确认所推测的估计厚度的数量级。上层膜30具有电绝缘性，其是由含磷化合物和金属醇盐形成的无机化合物中的至少任一种形成，所述金属醇盐包括选自铝、锆、钛、硅、镁和铁中的至少一种元素。该无机化合物或含磷化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素。如果上层膜30由金属醇盐形成，则构成金属醇，的有机化合物被作为醇除去，留下了金属氧化物。然而，取决于化合物生成时的条件，碳可能部分保留在金属氧化物中。通过由金属醇盐形成上层膜30，如同上层膜30由水溶液形成的情况一样，不可能产生诸如钠盐或钙盐之类的盐、因此也就不能产生具有更高的导电性的上层膜30。因此，在本实施方案中，可以获得抑制上层膜30的绝缘性降低的效果。将由金属醇盐形成的无机化合物的涂敷量换算成各金属元素的量，则各元素的量优选被设定为至少0.001质量％到最多100质量％。如果涂敷量小于0.001质量％，则无法获得本发明的效果。由于通过将添加量设定在至少0.001质量％到最多100质量％的范围内就可充分地获得本发明的效果，因此没有必要添加超过100质量％的量。考虑到要获得的软磁性材料的压缩性和流动性，至少0.002质量％到最多75质量％的量是更优选的，至少0.003质量％到最多50质量％的量是进一步优选的。将含磷化合物的涂敷量换算成磷的量，则磷的量优选被设定为至少0.001质量％到最多100质量％范围内的值。如果涂敷量小于0.001质量％，则无法获得本发明的效果。由于通过将添加量设定在至少0.001质量％到最多100质量％的范围内就可充分地获得本发明的效果，因此没有必要添加超过100质量％的量。考虑到要获得的软磁性材料的压縮性和流动性以及当金属磁性颗粒10被用于压粉铁心时的充填率，至少0.002质量％到最多75质量％的量是优选的，至少0.003质量％到最多50质量％的量是进一步优选的。关于本实施方案的软磁性材料的压縮性，通过使用将在下文中进行说明的评价方法而测定的压縮密度变化率优选为小于5%。如果压縮密度变化率为5%或更高，则在制造压粉铁心的过程中需要较高的压力，这是不优选的。软磁性材料的压縮密度更优选为最多4%，进一步优选为最多3%。本实施方案的软磁性材料的体积电阻率值优选为至少1.0mQ'cm，更优选为至少2.0mQxm。另外，加热前和在50(TC的温度下加热1小时之后的体积电阻率值的变化率优选为最多20%,更优选为最多15%，进一步优选为最多10%。如果加热前后的体积电阻率值的变化率超过20%，则通过使用软磁性材料而获得的压粉铁心的比电阻值在退火过程中往往会降低，这是不优选的。优选的是，本实施方案中的软磁性材料具有流动性指数为至少70的流动性。如果流动性指数低于70，则在制造压粉铁心的过程中，对模具的充填性不够，并且构成压粉铁心的金属磁性颗粒10的充填率降低。更优选的是，流动性指数为至少75到最多95。上层膜30的平均厚度优选为至少10nm到最多lpm。此处的平均厚度也是通过使用与上述方法相同的方法测定的。上层膜30在金属磁性颗粒10之间起到绝缘体的作用。通过使用上层膜30包覆金属磁性颗粒10，可以使压粉铁心的比电阻值更大。这使得金属磁性颗粒IO之间的涡流最小，进而降低了由涡流损耗而引起的压粉铁心的铁耗。本发明实施方案中的软磁性材料包含多个复合磁性颗粒40。每含含有铁的金属磁性颗粒10;下层膜20，该下层膜20包围金属磁性颗粒IO的表面，并且包含非铁金属；以及上层绝缘膜30，该上层绝缘膜包围下层膜20的表面，并且包含无机化合物。该无机化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素。该非铁金属与氧和碳中的至少一种元素的亲和性大于铁与该氧和碳中的所述那至少一种元素的亲和性。所述氧和碳中至少一种元素在非铁金属中的扩散系数小于该元素在铁中的扩散系数。现在将说明制造图l所示的压粉铁心的方法。首先，在金属磁性颗粒10的表面上形成下层膜20。形成下层膜20的方法的例子包括真空沉积法、镀敷法、溶胶-凝胶法或粘结法(Bondeprocess)。此后，将金属醇盐溶液加入到通过将其上形成有下层膜20的金属磁性颗粒10分散到水溶性有机溶剂中而获得的悬浮液中。在一些情况下，还加入磷酸水溶液。将已经加有所述溶液的悬浮液风干，然后在至少6(TC到最高12(TC的温度下进行干燥。在本实施方案中，作为初始材料的金属磁性颗粒10的压縮密度变化率为至少5%，该值是使用下文所述的评价方法测定的。在本实施方案中，作为初始材料的金属磁性颗粒10的体积电阻率值通常优选为至少0.1m^cm，更优选为至少0.5mQxm。另外，在加热前和在50(TC的温度下加热1小时之后的体积电阻率值的变化率通常为至少25%。在本实施方案中，作为初始材料的金属磁性颗粒IO通常具有流动性指数为至少50的流动性，优选具有流动性指数为至少50到最多80的流动性。对其中分散有金属磁性颗粒10(其上形成有下层膜20)的有机溶剂没有限定，条件是其为常用的有机溶剂即可，但是，优选使用水溶性有机溶剂。具体地说，可以适当地使用下列物质作为有机溶剂醇系溶剂，例如乙醇、丙醇、丁醇等；酮系溶剂，例如丙酮、甲乙酮等；乙二醇醚系溶剂，例如乙二醇-甲醚、乙二醇-乙醚、乙二醇-丙醚、乙二醇-丁醚等；氧化乙烯，例如二乙二醇、三乙二醇、聚乙二醇、二丙醇二醇、三丙醇二醇、聚丙二醇等；1,2-环氧丙烷加成聚合亚垸基二醇，例如乙二醇、丙二醇、1,2,6-己三醇等；甘油；2-吡咯烷酮；等。更优选的是使用醇系溶剂(例如乙醇、丙醇、丁醇等)或酮系溶剂(例如丙酮、甲乙酮等)。铝、锆、钛、硅、镁、铁等可被用作构成金属醇盐的金属元素。另外，醇盐的种类包括甲醇盐、乙醇盐、丙醇盐、异丙醇盐、氧化异丙醇盐、丁醇盐等。考虑到处理的均匀性和处理的效果，优选使用四乙氧基硅垸、三异丙醇铝、四异丙醇锆、四异丙醇钛等。另外，为了更加均匀地处理，优选使用预先分散或溶解于上述有机溶剂中的金属醇盐。此外，关于金属醇盐的水解，为了将更细的无机化合物附着到下层膜20(其在金属磁性颗粒10的表面上形成)的表面上，或者使用更细的无机化合物涂敷下层膜20(其在金属磁性颗粒10的表面上形成)的表面，不需要特别地添加水分。优选的是，使用有机溶剂中的水分以及金属磁性颗粒10和下层膜20中的水分进行水解。尽管金属醇盐的添加量随着金属磁性颗粒的比表面积的不同而不同，但是将金属醇盐的添加量换算成各元素的量，则各元素的量通常被设定为，相对于每100质量份的金属磁性颗粒10为至少0.001质量份到100质量份。如果添加量低于0.001质量份，则无法获得本发明的效果。由于通过将添加量设定在至少0.001质量份到最多100质量份的范围内可充分地获得本发明的效果，因此添加超过100质量份的量是没有用的。考虑到要获得的软磁性材料的压縮性和流动性，至少0.002质量份到最多75质量份的量是更优选的，至少0.003质量份到最多50质量份的量是进一步优选的。可以用磷酸溶液或磷酸盐溶液代替金属醇盐加入悬浮液中，但优选的是，还将磷酸溶液或磷酸盐溶液加入已经加有金属醇盐溶液的悬浮液中。尽管磷酸或磷酸盐的添加量随着金属磁性颗粒的比表面积的不同而不同，但是将磷酸或磷酸盐的添加量换算成磷的量，则磷的添加量通常被设定为，相对于每100质量份的金属磁性颗粒10为至少0.001质量份到100质量份。如果添加量低于0.001质量份，则无法获得本发明的效果。由于通过将添加量设定在至少0.001质量份到最多100质量份的范围内可充分地获得本发明的效果，因此添加超过100质量份的量是没有用的。考虑到要获得的软磁性材料的压縮性和流动性、以及当用于压粉铁心时金属磁性颗粒10的充填率，至少0.002质量份到最多75质量份的量是优选的，至少0.003质量份到最多50质量份的量是进一步优选的。，用于将形成有下层膜20的金属磁性颗粒10与金属醇盐溶液和/或磷酸(或磷酸盐溶液)混合的设备的例子包括高速搅拌型混合器，更具体的是Henschel混合器、快速混合器、球刀、动力混合器、混合式混合器(hybridmixer)、锥形混合器等。如果将磷酸或磷酸盐以水溶液的形式加入，为了防止水解突然进行，优选的是一点一点地加入。将所得粉末在气流中、在室温条件下干燥至少3小时到最多24小时，此后，在至少60'C到最高12(TC的温度下干燥至少1小时到最多24小时。通过上述步骤制造出这样的复合磁性颗粒40，其中金属磁性颗粒10的表面上依次包覆有下层膜20和上层膜30。此后，将复合磁性颗粒40和有机物50放置于模具中，并在(例如)700MPa到1500MPa的压力下进行压制成形。然后，压制复合磁性颗粒40，由此获得成形体。压制成形可以在大气中进行，但是优选的是在惰性气体气氛或减压气氛中进行。由此，可以抑制复合磁性颗粒40被大气中的氧气氧化。此处，有机物50位于相邻的复合磁性颗粒40之间，并防止设置在每个复合磁性颗粒40上的上层膜30彼此摩擦。因此，上层膜30在压制成形的过程中不会被损坏。然后，为了除去成形体内的畸变或位错，将通过压制成形操作形成的成形体在不低于50(TC且不超过90(TC的温度下进行热处理。在热处理的过程中，在金属磁性颗粒IO和上层膜30之间形成的下层膜20起到抑制上层膜30或有机物50中所包含的氧和碳扩散到金属磁性颗粒10中的作用。关于这一点，将就下层膜20进行单独说明，其中所述下层膜20由这样的材料形成，所述材料与铁相比，其包含与氧或碳具有更大亲和性的非铁金属，或者包含氧或碳在其中扩散系数较在铁中的扩散系数小的非铁金属。图2是图1中的虚线II所限定的区域的放大示意图，其中下层膜由这样的非铁金属形成，该非铁金属与氧或碳的亲和性大于铁与氧或碳的亲和性。参见图2，该附图假定下层膜20由铝形成，上层膜30由磷酸化合物形成。在这种情况下，上层膜30和有机物50中包含的氧、以及有机物50中包含的碳在对成形体进行热处理的过程中扩散到下层膜20中，并向着金属磁性颗粒10扩散。但是，由于下层膜20是由铝(其与氧和碳的亲和性大于铁与氧和碳的亲和性)制成的，因此下层膜20促进铝与氧和碳反应，从而不断生成反应产物(即，入1203和A14C3)，这些反应产物抑制氧和碳浸入到金属磁性颗粒10中。另外，氧化铝、氧化铬和二氧化硅具有比其金属本身增大的电阻，从而使得除了上层膜30以外，下层膜20可以在热处理后在金属磁性颗粒10之间也起到绝缘体的作用。即使当一些非铁金属以氧化物的形式存在时，当氧的量不超过化学计量组成的量时也还可以获得吸气效应。因此，通过生成氧化物，将下层膜布置成具有其组成范围满足氧的量小于化学计量组成的量的非铁金属氧化物可以获得增大的电阻。所述氧化物的例子包括无定形材料，例如无定形非铁金属(Al,Cr,Si)-氧(O)、无定形非铁金属(Al,Cr,Si)-磷(P)-氧(O)和无定形非铁金属(A1,Cr，Si)-硼(B)-氧(O)。图3是图1中的虚线II所限定的区域的放大示意图，其中下层膜由这样的非铁金属形成，氧或碳在该非铁金属中的扩散系数小于其在铁中的扩散系数。参见图3，该附图假定下层膜20和上层膜30分别由镍和磷酸化合物制成。在这种情况下，下层膜20由镍形成，氧或碳在镍中的扩散系数小于氧或碳在铁中的扩散系数，这降低了氧和碳在下层膜20中的扩散速度，从而防止了氧和碳浸入到金属磁性颗粒10中。尽管为了方便起见已经分别参照图2和3描述了下层膜20的功能，但是下层膜20可由这样的非铁金属形成，该非铁金属与铁相比，其与碳或氧具有较大的亲和性，并且碳或氧在该非铁金属中的扩散系数较在铁中的扩散系数小，由此，下层膜20表现出参照图2和3所描述的两种功能，这进一步确保了防止氧和碳浸入到金属磁性颗粒10中。形成下层膜20的非铁金属(例如铝、铬、硅、钛、钒和镍)可以与金属磁性颗粒10内的铁发生反应，而不损害金属磁性颗粒10的软磁性。图4是示出与各种金属形成固态溶液的铁的结晶磁各向异性与固态溶液中金属含量的关系的图。参见图4，随着铝或其它金属的含量的增加，结晶磁各向异性降低。这表明形成下层膜20的非铁金属可以与铁发生反应，从而形成合金态的金属磁性颗粒10，而不会损害金属磁性颗粒10的软磁性。在热处理后，对成形体进行适当的处理(例如挤出或切削)从而提供如图l所示的压粉铁心成品。在所得的压粉铁心中的金属磁性颗粒IO的体积占有率(体积％)至少为90%,优选为91%,更优选为至少92%。压粉铁心的比电阻值为至少2.0m^cm，优选为至少3.0mQ.cm，更优选为至少4.0mQ.cm。另外，压粉铁心在热处理前和热处理后的比电阻值的变化率优选为最多20%，更优选为最多15%，进一步优选为最多10%。虽然在不低于50(TC的高温下进行热处理，但是具有这种结构的软磁性材料和使用这种软磁性材料制造的压粉铁心仍可以减少氧和碳扩散到金属磁性颗粒10中。因此，上层膜30中所包含的氧和碳的浓度没有显著下降，从而保持了上层膜30的绝缘性。按照这种方式，上层膜30确保了金属磁性颗粒IO之间的绝缘性，进而降低了压粉铁心的涡流损耗。同时，在高温下进行热处理可以令人满意地减少压粉铁心内的畸变。此外，由于氧和碳向金属磁性颗粒10中的扩散达到最少，所以没有增加金属磁性颗粒10中杂质的浓度。因此，可以将压粉铁心的磁滞损耗降低至令人满意的水平。因此，可以获得这样的压粉铁心，该压粉铁心在较宽的频率范围内具有较低的铁耗。另外，上层膜30是由金属醇盐并使用有机溶剂形成的，这样可以在复合磁性颗粒40的表面上形成非常细微的突起。因此，由于在压制成形的过程中复合磁性颗粒40的流动性得到改善，所以可以获得具有高充填率的成形体。即，即使在压制成形的过程中压力较低，也可以获得密度足够高的成形体。另外，使用有机溶剂由金属醇盐形成的上层膜30由细微的颗粒构成。因此，包覆有上层膜30的金属磁性颗粒10不易受到加热影响。因此，尽管将软磁性材料暴露于高温，但是仍可以获得体积电阻率值的降低率较小的软磁性材料。通过使用这种软磁性材料制造成形体，即使热处理的温度较高，仍可以将热处理后的成形体的比电阻值基本保持为与热处理前的成形体的比电阻值一样高。例子在下面提供的实施例中评价本发明的软磁性材料。(例1)首先将购自Hoeganaes株式会社的雾化纯铁粉(商品名为"ABC100.30"，纯度为99.8%或更高)制成金属磁性颗粒10。然后，采用真空沉积法、镀敷法、溶胶-凝胶法或粘结法在金属磁性颗粒IO上形成平均厚度为100nm的下层膜20，再采用溶胶-凝胶法或粘结法形成平均厚度为100nm的上层膜30，从而得到粉末，即复合磁性颗粒40。将铝、铬、镍、硅和无定形铝-磷-氧用于下层膜20，将代表无机化合物的Si玻璃(S-0化合物)用于上层膜30。为了比较，还制备出仅有上层膜30而没有下层膜20的粉末。另外，将其上形成有铝膜(作为上述下层膜20)的金属磁性颗粒10加入到丙酮中，通过搅拌使它们彼此相遇，从而得到丙酮桨料。将其中分散有异丙醇铝的丙酮溶液加入到所述浆料中，并搅拌和混合所得溶液。此后，将磷酸水溶液加入到由此得到的混合溶液中，并进一步搅拌和混合所得溶液。将所得混合物溶液在气流中风干，此后使用干燥机在8(TC的温度下进行干燥。通过上述步骤，制得复合磁性颗粒40的粉末，其中平均厚度为100nm且包含Al和P的无机化合物被形成为上层膜30，该上层膜30由形成自金属醇盐的无机化合物构成。另外，为了比较，还制备了没有下层膜20仅有由无机化合物(其包含A1和P)作为上层膜30的粉末。然后，将有机物50(即，聚苯硫醚(PPS)树脂)以0.1质量％的比例加入到所述粉末中，并将所得的混合粉末在表面压力为1275MPa(=13吨/cm2)下压制成形，从而形成成形体。然后将成形体在氮气气氛中在30(TC到90(TC的不同的温度下热处理1小时。由这些步骤可以制造若干具有不同种类的下层膜和上层膜的压粉铁心材料。然后将线圈均匀地缠绕在所得到的压粉铁心材料上(初次缠绕300圈，二次缠绕20圈)，并且评价压粉铁心材料的磁性。所述评价使用得自RikenDenshi株式会社的BH示踪器(ACBH-100K)，并采用10kG(千高斯)的励磁通量密度和1000Hz的测量频率。表3和4示出了测量得到的每种压粉铁心材料的磁滞损耗系数Kh、涡流损耗系数Ke和铁耗W1()/1Q()。表3示出将Si玻璃用于上层膜30的情况下的结果，表4示出将包含Al和P的无机化合物用于上层膜30的情况下的结果。由磁滞损耗和涡流损耗的总和得到铁耗值W，并且铁耗值W可以通过基于磁滞损耗系数Kh、涡流损耗系数Ke和频率f的以下等式确定。W=KhXf+KeXf2矫顽力Hc越小(软磁性越高)，磁滞损耗系数Kh越小。颗粒之间的绝缘性越大并且压粉铁心中的总电阻越大，涡流损耗系数Ke越小。即，矫顽力越小并且电阻越高，磁滞损耗系数Kh和涡流损耗系数Ke越小，这表示磁滞损耗和涡流损耗越小，铁耗越小。通常，压粉铁心的热处理温度越高，畸变减少的量越大，从而导致矫顽力Hc和磁滞损耗系数Kh降低。但是，在高温下进行热处理可能会使绝缘膜劣化，从而导致颗粒之间的绝缘性变差，在这种情况下一些磁性颗粒起到一个具有较大尺寸(相对于表皮的厚度)的颗粒的作用。在这种情况下，由于表皮效应而明显产生表面电流，并且磁滞损耗和涡流损耗都显著增加。当磁滞损耗系数Kh和涡流损耗系数Ke是在所述条件下使用上述等式由铁耗推导得出时，磁滞损耗系数Kh和涡流损耗系数Ke都明显增大，在本实施方案中这种情况相应于在高于下表所示的上限温度的温度下进行热处理的情况。<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>表4<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>单位Kh[mWs/kg]，Ke[mWs2/kg]，W,賠oo。[W/kg]参见表3(其中Si玻璃被用于上层膜30)，不具有下层膜20的压粉铁心材料在大于或等于40(TC的热处理温度下表现为涡流损耗系数增大，而将铝、铬和镍用作下层膜20的压粉铁心材料的上限温度为60(TC，在该温度下，涡流损耗系数开始增大，将硅用作下层膜20的压粉铁心材料的上限温度为50(TC。将无定形铝-磷-氧用作下层膜20的压粉铁心材料的上限温度为500°C。按照这种方式，在50(TC或更高的温度下进行热处理是可行的，结果，各下层膜20在其上限温度下产生的铁耗值最低。对于各种膜而言，这种铁耗值小于未设置下层膜20的材料的最小铁耗，即175W/kg。使用包含Al和P的无机化合物作为上层膜30也获得了与上面类似的结果，所得结果列于表4中。另外，在与上述条件类似的条件下通过将铝、铬、镍和硅用于下层膜20，制得其中下层膜20的平均厚度为500nm和1000nm的压粉铁心材料。还评价了这些压粉铁心材料的磁性。表5和6示出了各种压粉铁心材料的磁滞损耗系数Kh、涡流损耗系数Ke和铁耗W贈ooo。表5所示的结果表示当将下层膜20的平均厚度设定为500nm时的值，表6中所示的结果表示当将下层膜20的平均厚度设定为1000nm时的表5<table>tableseeoriginaldocumentpage30</column></row><table>表6<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>单位KhmWs/kg],Ke|m\Vs2/kgj，Wnw则oW/kg]参照表5，对于各种具有下层膜20的压粉铁心材料而言，涡流损耗系数开始增大时的温度上限为600°C。参照表6，对于将铝和络用作下层膜20的压粉铁心材料而言，其温度上限为70(TC，对于将镍用作下层膜20的压粉铁心材料而言，其温度上限为800°C，对于将硅用作下层膜20的压粉铁心材料而言，其温度上限为600°C。通过增加下层膜20的平均厚度，可以将铁耗WIQ/1(H)。降低至110W/kg到120W/kg。(例2)首先，此处将说明粉末的体积电阻率值、在对粉末进行加热前、后的体积电阻率值的变化率、粉末的流动性、粉末的压縮密度的变化率、压粉铁心中金属磁性颗粒的体积含量以及压粉铁心的比电阻值。在测定粉末的体积电阻率值时，首先称取0.5g的粉末。使用KBr压片机(Shimadzu株式会社)在13.72MPa的压力下进行压制成形。由此，将粉末制得柱状试样。然后将试样在温度为25°C、相对湿度为60%的环境下暴露12小时或更长的时间。此后，将试样置于不锈钢电极之间。通过使用电阻测定装置(4329A型，由YokogawaHokushinElectric株式会社制造)，施加15V的电压，并测定电阻值R(mQ)。此后，测定(柱状)试样的厚度to(cm)和上表面的面积A(cm2)并将所测得值代入以下表达式中，从而测得体积电阻率值(mQ《m)。体积电阻率值(mQ'cm)=Rx(A/t0)在测定粉末于加热前、后的体积电阻率值的变化率(％)时，首先将上述制得的用于测定体积电阻率值的柱状试样在5(TC下加热1小时。此后，如上述步骤所述，测定体积电阻率值，并将加热前、后的体积电阻率值代入以下表达式中，从而测得体积电阻率值的变化率。加热前、后的体积电阻率值的变化率(％)={体积电阻率值(加热前)-体积电阻率值(加热后)V体积电阻率值(加热前)x100粉末的流动性由流动性指数表示。流动性指数是通过以下方法获得的值通过使用粉末测试仪(商品名，由HosokawaMicron株式会社制造)测定各粉体特性值休止角(度)、压縮度(％)、抹(spatula)角(度)和凝集度；通过用基于同一基准的数值代替各测定值，得出各指数；并计算各指数之和。流动性指数接近于100表示流动性较好。在测定粉末的压縮密度的变化率时，首先称取0.3g的粉末并置于小为13mm的圆筒形模具中。然后，使用KBr压片机(Shimadzu株式会社)在98MPa和490MPa的压力下对材料粉末进行压制成形。基于所得粉末层的厚度，测定每个压力下的压縮密度CD,(g/cm2)和CD5(g/cm3)，并将所测得的值带入以下表达式中，从而测得压縮密度的变化率(％)。压縮密度的变化率(％)={(CD5-CD0/CD5)x100在测定压粉铁心中所包含的金属磁性颗粒10的体积占有率的过程中，首先基于压制成形中使用的样品粉末的绝对比重和样品粉末的重量，测定压粉铁心中所包含的金属磁性颗粒10的体积。然后，将用于压粉铁心的粉末混合物(将在下文中说明)在490MPa的压力下压制成形为柱状((()23mmx5mm)，并测定压制成形后柱的体积。然后，基于压粉铁心中所包含的金属磁性颗粒10的体积、以及压制成形后柱的体积，计算压粉铁心中所包含的金属磁性颗粒10的体积占有率。在测定压粉铁心的比电阻值时，使用将在下文中进行说明的方法来制造压粉铁心。如同上述测定粉末的体积电阻率值的步骤一样，使用电阻测定装置(4329A型，由YokogawaHokushinElectric株式会社制造)来测定热处理前、后的比电阻值。另外，通过使用热处理前的比电阻值R。(macm)和热处理后的比电阻值R,(mQ.cm)，并将其带入以下表达式来测定热处理前、后的比电阻值的变化率(％)。比电阻值的变化率(%)={(R0-R!)/R。》x100(1)软磁性材料的制造制备500g铁粉和森达斯特铝硅铁合金作为金属磁性颗粒10。测定这些粉末的平均粒径、压縮密度的变化率、流动性、体积电阻率值以及加热前、后的体积电阻率值，表7示出了所得数值。表7<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>此后，采用镀敷法在被制备成为金属磁性颗粒10的铁粉上，形成平均厚度为100nm的铝膜作为下层膜20。将形成有下层膜20的金属磁性颗粒粉末加入500ml丙酮中，使用搅拌器使得它们彼此相遇，由此获得含有金属磁性颗粒粉末的丙酮浆料。将分散有10.0g三丁氧基铝的200ml丙酮溶液加入所得衆料中，并将由此得到的溶液搅拌且混合60分钟。此后，通过花费10分钟的时间将6.0g磷酸水溶液(磷酸含量为85质量％)加入上述混合物溶液中，并将所得溶液搅拌且混合20分钟。将所得混合物溶液在气流中风干3小时，然后使用干燥机在80'C的温度下干燥60分钟。通过上述步骤，制得被称为样品1的复合磁性颗粒40的粉末，其中包含Al和P的无机化合物形成该粉末的上层膜30。同样，对被制备为金属磁性颗粒10的森达斯特铝硅铁合金进行表面处理，从而制得样品2的复合磁性颗粒40的粉末。为了比较，制造作为对照样品1和2的复合磁性颗粒40的粉末，该复合磁性颗粒40的粉末在表面处理中使用了硅溶胶和氧化铝溶胶来形成上层膜30。表8示出了所得粉末的金属磁性颗粒IO和下层膜20的种类、以及用于形成上层膜30的表面处理的条件等。表8<table>tableseeoriginaldocumentpage35</column></row><table>说明书第30/34页另外，测定所得的复合磁性颗粒40的粉末的压縮密度的变化率、流动性、体积电阻率值和加热前、后的体积电阻率值，表9示出了所得数值。应该注意上层膜30中各元素的涂敷量是采用X射线荧光分析测定的。<table>tableseeoriginaldocumentpage37</column></row><table>由表9可见，样品1和2(其中上层膜30由金属醇盐形成)的流动性优于对照样品1和2的的流动性。因此，压縮密度的变化率降低至小于5%的值，并且加热前、后的体积电阻率值可被抑制到不大于20%的水平。(2)压粉铁心的制造将100质量份的由上述步骤获得的复合磁性颗粒40的粉末构成的软磁性材料与0.6质量份的环氧树脂混合。使用涂有硬脂酸锌的模具在4.9x108Pa的压力下将所得混合物粉末压制成形为环状(10mmx(()23mmx5mm)。将所得成形体在20CTC的温度下的空气中加热30分钟，然后冷却。通过上述步骤，分别由样品1、样品2、对照样品1和对照样品2的粉末制造出被称为样品A、样品B、对照样品A和对照样品B的压粉铁心。另外，按照上述步骤将被制成为金属磁性颗粒10的铁粉和森达斯特铝硅铁合金压制成形，从而制得被称为对照样品C和对照样品D的压粉铁心。测定所得的各压粉铁心在加热前、后的比电阻值和比电阻值的变化率、以及压粉铁心中金属磁性颗粒10的体积占有率，表10示出了这些值以及压制成形的条件。表10<table>tableseeoriginaldocumentpage39</column></row><table>由表10可见，与对照样品A至D相比，样品A和B(其中上层膜30由金属醇盐形成)可以进一步抑制在加热前、后比电阻值的下降。另外，可以提高金属磁性颗粒10的体积占有率，并可以获得具有优异的磁性的压粉铁心。上面披露的实施方案和实施例是示意性的，而不应将其视为限制性的，本发明的实质和范围不是由以上的例子所限定的，而是由所附的权利要求书限定，并且本发明旨在包括在权利要求范围内的所有修改和改变。工业实用性本发明适用于制造由压制成形的软磁性粉末制成的(例如)电机铁心、电磁阀、反应器或其它电磁部件。权利要求1.一种软磁性材料，其包含多个复合磁性颗粒(40)；所述多个复合磁性颗粒(40)中的每一个均具有包含铁的金属磁性颗粒(10)；下层膜(20)，该下层膜(20)包围所述金属磁性颗粒(10)的表面并包含非铁金属；以及上层绝缘膜(30)，该上层绝缘膜(30)包围所述下层膜(20)的表面并包含无机化合物，所述无机化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素，以及就所述无机化合物所包含的氧和碳中的至少任一种元素而言，所述非铁金属与该元素的亲和性较铁与该元素的亲和性大。2.根据权利要求1所述的软磁性材料，其中所述非铁金属包括选自铝、铬、硅、钛、钒和镍中的至少一种元素。3.根据权利要求l所述的软磁性材料，其中所述下层膜(20)的平均厚度为不小于50nm且不大于lpm。4.根据权利要求1所述的软磁性材料，其中所述上层膜(30)的平均厚度为不小于10nm且不大于lpm。5.根据权利要求1所述的软磁性材料，其中所述无机化合物由含有选自铝、锆、钛、硅、镁、铁和磷中的至少一种元素的化合物构成。6.根据权利要求1所述的软磁性材料，其中所述无机化合物为含磷化合物和由金属醇盐形成的无机化合物中的至少任意一种化合物，其中所述金属醇盐含有选自铝、锆、钛、硅、镁和铁中的至少一种元素。7.根据权利要求6所述的软磁性材料，其压縮密度的变化率小于5%。8.根据权利要求6所述的软磁性材料，其在加热前后的体积电阻率值的变化率最多为20%。9.一种制造根据权利要求6所述的软磁性材料的方法，该方法包括下层膜形成步骤，在所述金属磁性颗粒(10)的表面上形成所述的下层膜(20);以及在所述的下层膜形成步骤之后进行的上层膜形成步骤，该步骤包括将金属醇盐溶液加入通过将所述金属磁性颗粒(10)分散到有机溶剂中获得的悬浮液中；将所得悬浮液风千；以及将所得粉末在至少为6(TC到最高为12(TC的温度下干燥。10.根据权利要求9所述的软磁性材料的制造方法，其中所述上层膜形成步骤还包括将磷酸溶液加入已经加有所述金属醇盐溶液的所述悬浮液中的步骤。11.一种压粉铁心，其是使用根据权利要求1所述的软磁性材料制造的。12.根据权利要求11所述的压粉铁心，其还包含有机物(50)，该有机物(50)置于所述多个复合磁性颗粒(40)之间，从而将所述多个复合磁性颗粒(40)结合在一起，并且所述有机物(50)包括选自聚乙烯树脂、有机硅树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂和聚四氟乙烯中的至少一种。13.—种制造根据权利要求11所述的压粉铁心的方法，该方法包括如下步骤通过将所述的多个复合磁性颗粒(40)压制成形，从而形成成形体；以及将所述成形体在不低于50(TC的温度下进行热处理。14.一种软磁性材料，其包含多个复合磁性颗粒(40);所述多个复合磁性颗粒(40)中的每一个均具有包含铁的金属磁性颗粒(10);下层膜(20)，该下层膜(20)包围所述金属磁性颗粒(10)的表面并包含非铁金属；以及上层绝缘膜(30)，该上层绝缘膜(30)包围所述下层膜(20)的表面并包含无机化合物，所述无机化合物包含氧和碳中的至少任意一种元素，以及就所述无机化合物所包含的氧和碳中的至少任一种元素而言，该元素在非铁金属中的扩散系数较其在铁中的扩散系数小。15.根据权利要求14所述的软磁性材料，其中所述非铁金属包括选自铝、铬、硅、钛、钒和镍中的至少一种元素。16.根据权利要求14所述的软磁性材料，其中所述下层膜(20)的平均厚度为不小于50nm且不大于lpm。17.根据权利要求14所述的软磁性材料，其中所述上层膜(30)的平均厚度为不小于10nm且不大于lpm。18.根据权利要求14所述的软磁性材料，其中所述无机化合物由含有选自铝、锆、钛、硅、镁、铁和磷中的至少一种元素的化合物构成。19.根据权利要求14所述的软磁性材料，其中所述无机化合物为含磷化合物和由金属醇盐形成的无机化合物中的至少任意一种化合物，其中所述金属醇盐含有选自铝、锆、钛、硅、镁和铁中的至少一种元素。20.根据权利要求19所述的软磁性材料，其压縮密度的变化率小于5%。21.根据权利要求19所述的软磁性材料，其在加热前后的体积电阻率值的变化率最多为20%。22.—种制造根据权利要求19所述的软磁性材料的方法，该方法包括下层膜形成步骤，在所述金属磁性颗粒(10)的表面上形成所述的下层膜(20);以及在所述的下层膜形成步骤之后进行的上层膜形成步骤，该步骤包括将金属醇盐溶液加入通过将所述金属磁性颗粒(10)分散到有机溶剂中获得的悬浮液中；将所得悬浮液风干；以及将所得粉末在至少为6(TC到最高为12(TC的温度下干燥。23.根据权利要求22所述的软磁性材料的制造方法，其中所述上层膜形成步骤还包括将磷酸溶液加入己经加有所述金属醇盐溶液的所述悬浮液中的步骤。24.—种压粉铁心，其是使用根据权利要求14所述的软磁性材料制造的。25.根据权利要求24所述的压粉铁心，其还包含有机物(50)，该有机物(50)置于所述多个复合磁性颗粒(40)之间，从而将所述多个复合磁性颗粒(40)结合在一起，并且所述有机物(50)包括选自聚乙烯树脂、有机硅树脂、聚酰胺树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺酰亚胺树脂、环氧树脂、酚醛树脂、丙烯酸树脂和聚四氟乙烯中的至少一种。26.—种制造根据权利要求24所述的压粉铁心的方法，该方法包括如下步骤通过将所述的多个复合磁性颗粒(40)压制成形，从而形成成形体；以及将所述成形体在不低于50(TC的温度下进行热处理。全文摘要本发明涉及软磁性材料，其包含多个复合磁性颗粒(40)。该多个复合磁性颗粒(40)中的每一个均具有包含铁的金属磁性颗粒(10)；下层膜(20)，该下层膜(20)包围所述金属磁性颗粒(10)的表面并包含非铁金属；以及上层绝缘膜(30)，该上层绝缘膜(30)包围所述下层膜(20)的表面并包含无机化合物。所述无机化合物至少包含氧和碳中的任意一种元素。所述非铁金属与氧和碳中的至少一种元素的亲和性大于铁与氧和碳中的所述那至少一种元素的亲和性。氧和碳中的至少一种元素在所述非铁金属中的扩散系数小于其在铁中的扩散系数。因此，本发明提供了具有所需磁性的软磁性材料、软磁性材料的制造方法、压粉铁心以及压粉铁心的制造方法。文档编号H01F1/33GK101233586SQ20068002826公开日2008年7月30日申请日期2006年7月20日优先权日2005年8月3日发明者丰田晴久,五十岚直人,前田彻,广濑和弘,林一之,森井弘子,石谷诚治申请人:住友电气工业株式会社;户田工业株式会社