专利名称：有源元件阵列基板的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种阵列基板，特别是涉及一种用于液晶显示装置的有源 元件阵列基板。
技术背景液晶显示装置具有低功能、外型薄、重量轻等特点，目前广泛应用于显示 器、电视、笔记本电脑等。液晶显示装置的电路结构如图1所示，在有源元件阵列基板上形成栅极引线1、数据线2、薄膜晶体管3、存储电容4和像素电极 6，薄膜晶体管(TFT) 3的栅极与栅极引线1相连，用来提供扫描信号，从而可 以将栅极信号输入到栅极，控制TFT3的开关。TFT3的源极与源极引线2相连， 用来提供数据信号，从而当TFT3打开时，可以通过TFT3将数据信号输入到相 应的像素电极6。栅极引线1和源极引线2在靠近像素电极6的地方穿行，排列 成矩阵，相互交叉在一起。TFT3的漏极与像素电极6和存储电容4，液晶电容5 分别相连。存储电容4和液晶电容5的另一极与公共电极(Vcom)相连。存储 电容4用来保持液晶层上施加的电压，与液晶电容5并联，液晶电容5包括一 有源矩阵基板上的像素电极6、另一基板上的相应公共电极及介于它们之间的液 晶层。图2为传统薄膜晶体管阵列基板的截面结构示意图。栅极引线1及与栅极 引线1相连的栅极11形成在透明基板10上，栅绝缘层12包覆在栅极11上。 半导体层31形成在栅绝缘层12上，从而通过栅绝缘层12覆盖在栅极11上。 N+Si层32作为半导体层31和金属层20的连接层。中间绝缘膜41覆盖在TFT3、 栅极引线1和数据线2上。透明导电层(IT0)形成在中间绝缘膜41上，以构 成像素电极6。透明导电层与金属层20相连，透明导电层通过一接触孔51与TFT3的漏极相连，接触孔51穿过中间绝缘膜41。当通过CVD (化学气相沉积) 形成SiNx、 Si02等的中间绝缘膜41时，中间绝缘膜41的表面直接反映了有源 矩阵的表面形状。所以，当在中间绝缘膜41上形成像素电极6时，由于中间绝 缘膜41上具有台阶，最终在像素电极6上也会形成台阶，从而使液晶分子的取 向出现扰动，影响液晶显示装置的显示画质。 实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种具有平坦化像素电极结构的有源 元件阵列基板，以提高液晶显示装置的显示画质。为实现上述目的，本实用新型提供了一种有源元件阵列基板，包括在一透明基板上形成的栅极及与栅极电气连接的栅极引线； 一栅绝缘层，覆盖栅极与 栅极引线； 一半导体层，形成在所述栅绝缘层上；源/漏极及与源极电气连接的 源极引线；形成在源/漏极层上的中间绝缘膜；其中所述中间绝缘膜上覆盖有第 二绝缘膜；所述第二绝缘膜上形成平坦化的像素电极。所述第二绝缘膜可以为光敏绝缘膜。所述光敏绝缘膜可以为负性光刻胶。基于上述构思，本实用新型的有源元件阵列基板，由于在中间绝缘膜上增 加了一层表面平坦的第二绝缘膜，从而形成平坦化的像素电极，改善了液晶显 示画质；特别是釆用光敏绝缘膜作为第二绝缘膜，又有利于提高光的透过率， 可提高液晶显示亮度。为了更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新 型的详细说明与附图。然而附图仅供参考与辅助说明用，不构成对本实用新型 的限制。
图1为液晶显示装置的电路结构图；图2为传统有源元件阵列基板的截面结构示意图；图3为本实用新型实施例的有源元件阵列基板的截面结构示意图。附图标号说明1、栅极引线 2、源极引线3、薄膜晶体管(TFT)4、存储电容5、液晶电容 6、像素电极10:透明基板11、栅极 12、栅绝缘层20:金属层31、半导体层 32、 N+Si层 41、中间绝缘膜 42、第二绝缘膜 51、接触孔具体实施方式
以下结合附图及典型实施例对本实用新型作进一步说明。 图3为本实施例的有源元件阵列基板的截面结构示意图。 参照图3，在洗净的透明基板10表面溅射上一层金属膜，透明基板10可以 为坡璃基板或塑胶基板，金属膜如铝(Al)或铝合金(AlNd),或多层金属膜 (AlNd/MoNb)作为栅极材料，然后在该金属膜上涂布光刻胶并图形化后，通过刻 蚀制成栅极ll。随后在栅极11上通过PECVD (等离子增强化学气相沉积)工艺 沉积一层栅绝缘层12，栅绝缘层12可由SiNx或Si02材料制成。接着在栅绝缘层12上通过CVD (化学气相沉积)工艺，继续沉积半导体材 料a-Si和N+Si薄膜层，然后溅射第二层金属层20,例如Cr或Al及其合金材 料。通过GTM (Gray Tone Mask;灰阶光罩)技术，经曝光和刻蚀后，分别定义 出源、漏极和a-Si半导体层31和N十Si层32图形，形成TFT开关元件。通过PECVD技术在半导体层31和源、漏极上形成一层SiNx保护膜即中间绝缘膜 41后，在透明基板10上涂覆一层透明的光敏绝缘膜，如负性光刻胶或光敏聚酰 乙胺等；然后进行曝光，得到接触孔51的图案，再利用该光敏绝缘膜作为掩膜 材料，釆用干法刻蚀第一绝缘膜41。同时该工艺后，将光刻胶保留下来，作为 第二绝缘膜42,形成具有平坦化的平面的接触孔51。最后在中间绝缘膜41和第二绝缘膜42上溅射一层透明导电层，如IT0 (氧 化铟锡)或IZ0 (氧化铟锌)，然后进行图形化后形成表面平坦化的像素电极6。本实用新型实施例的有源矩阵阵列基板，由于像素电极的平面平坦，将可 以获得高品质的液晶显示效果。
权利要求1.一种有源元件阵列基板，包括在一透明基板上形成的栅极及与栅极电气连接的栅极引线；一栅绝缘层，覆盖栅极与栅极引线；一半导体层，形成在所述栅绝缘层上；源/漏极及与源极电气连接的源极引线；形成在源/漏极层上的中间绝缘膜；其特征在于所述中间绝缘膜上覆盖有第二绝缘膜；所述第二绝缘膜上形成平坦化的像素电极。
2. 根据权利要求l所述的有源元件阵列基板，其特征在于所述的第二绝缘 膜为光敏绝缘膜。
3. 根据权利要求2所述的有源元件阵列基板，其特征在于所述的光敏绝缘 膜为负性光刻胶。
专利摘要本实用新型公开了一种有源元件阵列基板，包括在一透明基板上形成的栅极及与栅极电气连接的栅极引线；一栅绝缘层，覆盖栅极与栅极引线；一半导体层，形成在所述栅绝缘层上；源/漏极及与源极电气连接的源极引线；形成在源/漏极层上的中间绝缘膜；其中所述中间绝缘膜上覆盖有第二绝缘膜，所述第二绝缘膜上形成平坦化的像素电极；该结构的阵列基板改善了液晶显示画质。
文档编号H01L27/12GK201117660SQ200720073988
公开日2008年9月17日 申请日期2007年8月23日 优先权日2007年8月23日
发明者高孝裕 申请人:上海广电光电子有限公司