受光装置的制造方法

文档序号:6886951阅读:273来源:国知局
专利名称:受光装置的制造方法
技术领域
众所周知,图io所示的固体图像传感器ioo为常规的受光装置,其
具有半导体基板(基底部分)101和透光盖(lid)部分(透明基板部分(102))。 制造该固体图像传感器100时,如图ll(A)所示,制备例如具有多个有效 像素区域(effective pixel regions)105的基板103。基板103成为半导体基 板101。接着,在该基板103上形成粘结层104框,以包围该有效像素区 域。其后,通过粘结层104将基板103和成为透光盖部分102的透光板 材106粘贴在一起。此外,如图11(C)所示,将基板103和透光板材106 切割。因而,获得具有半导体基板101和透光盖部分102的固体图像传 感器IOO(见例如专利文件1)。
另外,作为固体图像传感器的制造方法,还可以是预先将透光板材 105切割使得能够在基板103上设置多个透光盖部分102的方法。根据此 方法,在基板103上放置多个透光盖部分102后切割基板103(见例如专 利文件1)。
日本特开平2006-73546号公报

发明内容
此外,本发明提供受光装置的制造方法,所述受光装置包括支撑基 板(support substrate)和透明基板部分;所述支撑基板装配了具有受光部分 的受光元件,和设有所述受光部分的基底部分;所述透明基板部分被放 置使其面向其上设有受光元件的支撑基板表面,其中在支撑基板和透明 基板部分之间设置包含光固化树脂的树脂层,以包围所述受光元件,且 所述受光装置的制造方法包括在透明基板上设置包含光固化树脂的树 脂层,其中所述多个透明基板部分结合成一整体,由此使树脂层覆盖所 述透明基板;对树脂层进行选择性光照,然后进行显影,使对应于所述 透明基板面向透明基板部分中的受光元件的区域的部分被保留的树脂层 包围;将所述透明基板分割成透明基板部分单元,由此获得多个透明基 板部分;且在所述支撑基板上装配受光元件后,通过树脂层将支撑基板 和透明基板部分接合。
在本发明的该结构中,装配了具有基底部分的受光元件的支撑基板 和通过分割透明基板获得的透明基板部分被接合。因此,能够精确地固 定各受光装置的基底部分和透明基板部分,有别于现有技术,这样能够 避免多个受光装置中透明基板部分和基底部分同时位移等。因而,提高 生产率。
另外,透明基板部分和装配了受光元件的支撑基板是在分割透明基 板后接合的,而不是在接合后进行分割的,因此,能够避免损害透明基 板部分。因而,能够提高生产率。
此时,优选树脂层具有粘结性。
而且,优选树脂层由包括光固化树脂和填料的树脂组合物形成,且 所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/n^24h]或更高。
当树脂层由包括光固化树脂和填料的树脂组合物形成,且所述树脂 层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/n^24h]或更高,能够确保受 光装置由树脂层包围的内部空间与树脂层外面的外部空间之间的透气 性。因而,能够避免透明基板部分和基底部分出现凝露(condensation)。
优选填料包括沸石。
因而,能够提高树脂层的透湿率。
而且,优选树脂层进一步包括能够通过光和热进行固化的固化树脂, 且优选能够通过光和热进行固化的固化树脂包括(甲基)丙烯酸改性的酚 醛树脂或含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
另外,上述在显影工序后保留树脂层的步骤可包括于稍后阶段在树 脂层表面上设置粘结层,通过树脂层和粘结层将支撑基板和透明基板部 分接合,或通过树脂层和粘结层将基底部分和透明基板部分接合,且树 脂层可包括环状烯烃树脂作为光固化树脂。
特别是,优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂。
当树脂层包括环状烯烃树脂,能够避免湿气进入树脂层包围的内部 空间。因而,能够避免透明基板部分和基底部分出现凝露。



以下将通过优选的实施方式和附图进一步说明上述目的、其它目的、特 征和优点。
图1示出本发明的第一实施方式的制造工艺中的受光装置;
图2的平面图示出透明基板上设置树脂层的状态;
图3示出制造工艺中的受光装置;
图4的横截面图示出第一实施方式的受光装置;
图5示出本发明的第二实施方式的制造工艺中的受光装置;
图6的平面图示出基底上设置树脂层的状态;
图7示出本发明的第三实施方式的制造工艺中的受光装置;
图8示出本发明的第三实施方式的制造工艺中的受光装置;
图9的横截面图示出第三实施方式的受光装置;图IO的横截面图示出常规的固体图像传感器;和 图11示出固体图像传感器的常规的制造工艺。
具体实施例方式
以下将参照

本发明的实施方式。 (第一实施方式)
参照图l-4说明本发明的实施方式。
首先,参照图1-4说明本发明的实施方式的受光装置的制造方法的 概要。
本发明的受光装置1的制造方法是制造装有受光部分11、基底部分 12A(装有受光部分ll),和透明基板部分13A(被放置使面向基底部分12A) 的受光装置1的方法,其中将含有光固化树脂的树脂层14设置在透明基 板部分13A和基底部分12A之间以包围受光部分11。
所述受光装置1的制造方法包括
在透明基板13上设置含有光固化树脂的树脂层14,其中多个透明基 板部分13A结合成一整体,由此使树脂层覆盖透明基板13;对树脂层14 选择性光照,然后进行显影,使所述树脂层14保留在透明基板13包围 至少面向透明基板部分13A的受光部分11的区域;将透明基板13分割 成透明基板部分单元13A,由此获得多个透明基板部分13A;将基底12 分割成基底部分单元12A,由此获得多个基底部分12A;通过所述树脂 层14将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
以下将详细说明受光装置1的构造和受光装置的制造方法。 受光装置1可用作图像传感器,具体地,可用作固体图像传感器。 如图4的横截面图所示,受光装置1具有基底部分12A(在此形成微 透镜阵列)、透明基板部分13A、由微透镜阵列形成的受光部分11、树脂 层14(用于包围受光部分ll)和支撑基板15(其上装有基底部分12A)。
这里,图4是垂直于基底部分12A、透明基板部分13A和支撑基板 15的基板表面方向的横截面图。
基底部分12A例如是半导体基板,在其上形成微透镜阵列。微透镜阵列的平面尺寸小于基底部分12A的平面尺寸,且基底部分12A的外周 部分突出至微透镜阵列的外方。
放置透明基板部分13A使其面向基底部分12A和基底部分12A上的 受光部分11,透明基板部分13A的平面尺寸略小于基底部分12A的平面 尺寸。此透明基板部分13A覆盖受光部分11使其得到保护。透明基板部 分13A例如是玻璃基板。
树脂层14直接粘附于基底部分12A和透明基板部分13A,由此将基 底部分12A和透明基板部分13A接合。放置树脂层14使其包围基底部 分12A上的受光部分11并成框状。树脂层14的外周部分的位置与透明 基板部分13A的外周部分的位置大致相同。
在受光部分11的下表面,即基底部分12A上形成光电转换部分(未 示出),从而将受光部分ll接收到的光转换成电信号。
支撑基板15是表面上形成有互连线(未示出)的基板,支撑基板15和 基底部分12A通过焊线W连接。具体地,突出至微透镜阵列外面的基底 部分12A的外周部分和支撑基板15通过焊线W连接。因此,焊线W放 置在树脂层14外面。
接下来,将参照图1详细说明受光装置1的制造工艺。
首先,如图l(A)所示,制备透明基板13。透明基板13是一个大规 模的玻璃板材,其中多个透明基板部分13A结合成一整体。
接着,在该透明基板13上设置粘结树脂层14,使其大致覆盖透明基 板13的整个表面。
根据本发明的实施方式,该粘结树脂层14为光固化粘结膜。根据本 发明的实施方式,将粘结膜粘合至透明基板13。
这里将说明该粘结膜的构造。
粘结膜是由包括固化树脂和填料的树脂组合物形成,且优选该粘结 膜根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m^24h]或更高。
优选粘结膜的透湿率为40[g/n^24h]或更高,更优选50[g/n^24h]至
10200[g/m2'24h]。当透湿率低于下限值时,有时不能完全避免受光装置1 的透明基板部分13A等中出现凝露。当透湿率超出上限值时,粘结膜的 成膜性有时会变差。可以依照透湿杯法(water vapor permeability cup method) (JIS Z0208 B法)在40。C/卯。/。使用厚100pm的粘结膜评价透湿率。
作为光固化树脂,实例可以是主组分为丙烯酸类化合物的紫外线固 化树脂、主组分为聚氨酯丙烯酸酯低聚物或聚酯聚氨酯丙烯酸酯低聚物 的紫外线固化树脂,和主组分选自由环氧基类树脂和乙烯基酚类树脂组 成的组中的至少一种的紫外线固化树脂。
其中,优选主组分为丙烯酸类化合物的紫外线固化树脂。光照时, 丙烯酸类化合物的固化速度快,因此,能够以较小的曝光量将树脂图案 化。
尽管对于光固化树脂(紫外线固化树脂)的含量没有特别限制,优选含 量为形成粘结膜的总树脂组合物的5wt。/。-60wt。/。,且更优选8wt%-30wt%。 当含量低于下限值时通过照射紫外线有时不能将粘结膜图案化,当含量 超过上限值时,树脂变得太软且照射紫外线前板材特性(sheet.properties) 有时会变差。
而且,优选粘结膜包含光聚合引发剂。因而,通过光聚合反应有效地将粘结膜图案化。
作为光聚合引发剂,实例可以是苯甲酮、苯乙酮、安息香、安息香
异丁醚、安息香苯甲酸甲酯、安息香苯甲酸酯(benzohibenzoate)、安息香 甲醚、苄基苯基硫醚、苄基、二苄基和二乙酰基。
尽管对于光聚合引发剂的含量没有特别限制,含量优选为总树脂组 合物的0.5wt%-5wt%,更优选0.8wt%-2.5wt%。当含量低于下限值时,光 聚合引发效果有时会变差,当含量超过上限值时,反应性会变高且保存 性和清晰度(resolution)有时会降低。
而且,优选粘结膜进一步包括热固性树脂。
作为热固性树脂,实例可以是线性酚醛型酚醛树脂(novolac type phenolic resins)如苯酚线性酚醛树脂、甲酚线性酚醛树脂和双酚A线性酚 醛树脂;酚醛树脂如甲阶酚醛树脂(resol phenolic resin);双酚型环氧树脂 如双酚A环氧树脂和双酚F环氧树脂;线性酚醛型环氧树脂如线性酚醛 环氧树脂和甲酚醛环氧树脂;环氧树脂如联苯型环氧树脂、芪型环氧树 脂;三苯酚甲垸型环氧树脂;垸基改性三苯酚甲烷型环氧树脂;含三嗪 核的环氧树月旨(triazine nucleus-containing epoxy resins)禾口二环戊二稀改'性 的苯酚型环氧树脂;具有三嗪环的树脂如尿素树脂和三聚氰胺树脂;不 饱和聚酯树脂;双马来酰亚胺树脂;聚氨酯树脂;邻苯二甲酸二烯丙酯 树脂;有机硅树脂(silicone resin);具有苯并噁嗪环的树脂,以及氰酸酯 树脂,它们可以单独使用或组合使用。其中,特别优选环氧树脂。因而, 能够进一步提髙耐热性和粘结性。
尽管对于热固性树脂的含量没有特别限制,含量优选为形成粘结膜 的总树脂组合物的10wt%-40wt%,更优选15wt%-35wt%。当含量低于下限值时,提高耐热性的效果有时会变差,而当含量超过上限值时,提高 粘结膜的韧性有时会变差。
此外,优选粘结膜包括能够通过光和热被固化的固化树脂。因而, 能够提高光固化树脂和热固性树脂之间的兼容性,以及提高固化(光固化 和热固化)后树脂膜的强度。
作为能够通过光和热被固化的固化树脂,实例可以是具有光反应性 基团(如丙烯酰基、甲基丙烯酰基或乙烯基)的热固性树脂;以及具有 热反应性基团(如环氧基、酚羟基、醇羟基、羧基、酸酐、氨基和氰酸 酯基团)的光固化树脂。具体地,可以是(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂、 侧链中具有羧基和丙烯基的丙烯基共聚物树脂,以及含(甲基)丙烯酰基的 (甲基)丙烯酸酯聚合物。其中,优选(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂。因而, 能够使用对环境负荷小的碱溶液代替有机溶剂作为显影剂,同时能够维 持耐热性。
在具有光反应性基团的热固性树脂的情况中,尽管对于光反应性基 团的改性率(取代率)没有特别限制,改性率优选为能够通过光和热被固化 的固化树脂中总反应性基团(光反应性基团和热反应性基团的合计)的 20%-80%,更优选30°/。-70°/。。当改性率在上述范围内,清晰度特别优异。
在具有热反应性基团的光固化树脂的情况中,尽管对于热反应性基 团的改性率(取代率)没有特别限制,改性率优选为能够通过光和热被固化 的固化树脂中总反应性基团(光反应性基团和热反应性基团的合计)的 20%-80%,更优选30°/。-70%。当改性率在上述范围内,清晰度特别优异。
尽管对于通过光和热被固化的固化树脂的含量没有特别限制,含量 优选为形成粘结膜的总树脂组合物的15wt%-50wt%,更优选 20wt%-40wt%。当含量低于下限值时,提高兼容性的效果有时会变差, 而当含量超过上限值时,显影性和清晰度冇时会变差。
优选粘结膜包括填料。填料是一个重要组分,其能够控制粘结膜的 透湿率。
作为填料,实例可以是纤维状填料如氧化铝纤维和玻璃纤维;针状 填料如钛酸钾、硅灰石、硼酸铝、针状氢氧化镁和晶须;板状填料如滑 石、云母、绢云母、玻璃鳞片、鳞片状石墨和板状碳酸钙;球状(颗粒状) 填料如碳酸钙、硅石、熔融硅石、烧结粘土和未烧结粘土;多孔填料如 沸石和硅胶。这些填料可以单独使用或多种组合使用。其中,优选多孔 填料。因而,能够提高粘结膜的透湿率。
尽管对于填料的平均粒径没有特别限制,粒径优选为O.Olnm-卯pm, 更优选0.1nm-4(^m。当平均粒径超过上限值,膜外表有时会变成得不正 常,或者清晰度不好,而当平均粒径低于下限值,加热粘合时的粘结性 有时会不好。
平均粒径例如可以使用激光衍射型粒径分布测量装置 SALD-7000(Shimadzu公司出品)进行测量。
尽管对于填料的含量没有特别限制,含量优选为形成粘结膜的总树 脂组合物的5wt%-70wt%,更优选20wt%-50wt°/。。当含量超过上限值时, 加热粘合时的粘结性有时会变差,而当含量低于下限值时,透湿率有时 会变低,使不能改善凝露。
优选使用多孔填料作为填料。当使用多孔填料作为填料时,多孔填 料的平均孔径优选为0.1nm-5nm,更优选0.3nm-lnm。当平均孔径超过上 限值时,部分树脂组分可能会渗入孔中,阻碍反应;而当平均孔径低于 下限值时,吸水性能会下降,因此,粘结膜的透湿率有时会下降。
作为多孔填料的具体实例,可以是由结晶沸石构成的分子筛。结晶
沸石由下述通式表示。
M2/n0'Al203-xSi02 yH20
M:金属阳离子 n:化合价
作为结晶沸石的结晶类型,可以是3A、 4A、 5A和13X,且优选使 用3A型和4A型,这是由于其能够有效避免凝露。
尽管对于室温下填料的吸附力[Q1]没有特别限制,吸附力优选为 7[g/100g填料]或更高,更优选15[g/100g填料]或更高。当室温下的吸附 力低于下限值时,填料的吸水性能会降低且粘结膜的透湿率有时会降低。
室温下的吸附力[Q1]能够通过测量铝杯中通过加热被完全干燥,然 后放置在25。C/50。/。的环境中168小时的填料重量的增加而获得。
而且,尽管对于60。C下填料的吸附力[Q2]没有特别限制,吸附力优 选为3[g/100g填料]或更高,更优选10[g/100g填料]或更高。当60°C下 仍能维持吸附力的值时,能够获得改善受光装置1的凝露效果。
60°C下的吸附力[Q2]能够通过测量铝杯中通过加热被完全干燥,然 后放置在60。C/卯&的环境中168小时的填料重量的增加而获得。
尽管对于室温下的吸附力[Q1]和60°C下的吸附力[Q2]没有特别限 制,优选其满足以下条件。 0.4x[Ql]<[Q2]
当[Q1]和[Q2]满足上述关系式时,能够获得特别改善受光装置1内部 的凝露效果。
因为填料即使在高温下能维持吸附力,因此,填充有该填料的膜即 使在较高温度下能维持高透湿率,使利于气体水分渗入粘结膜。因此, 瞬间降低了从高温降低到室温时受光装置1内部的水分,这样,不出现 凝露现象。
除了上述的固化树脂和填料外,只要能够实现本发明的目的,形成 粘结膜的树脂组合物还可包含添加剂如塑料树脂、均化剂、消泡剂或偶 联剂。
另外,粘结膜的粘结性优选为进行下述切割时,粘结膜不会从透明 基板13剥落的程度。
然后,切割透明基板13,获得多个透明基板部分13A。根据本发明 的实施方式,提供粘结膜以包围对应于面向受光装置部分11的区域的R 部分,因此,当切割透明基板13时,还切割粘结膜(见图l(B)的切割线)。
因而,如图l(C)所示,获得具有框状树脂层14的透明基板部分13A。
接下来,将说明本实施方式的作用效果。
根据本实施方式,将基底12和透明基板13各自分割,然后将基底 部分12A和透明基板部分13A接合。因此,在受光装置1的制造工艺中, 基底部分12A和透明基板部分13A能够被准确固定,这样,有别于现有 技术,能够避免多个受光装置的透明基板部分和基底部分同时位移。因 而,能够提高生产率。
另外,将基底12和透明基板13,然后将它们的部分接合,因此,能 够避免切割基底12时透明基板部分13A受到损害。因而,能够提高生产 率。
此外,根据本实施方式,树脂层14(粘结膜)由包括光固化树脂和填 料的树脂组合物形成,所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为 30[g/mt24h]或更高。这样,能够确保受光装置1由树脂层14包围的内 部空间与树脂层14外面的外部空间之间的透气性。因而,能够避免透明 基板部分13A和基底部分12A出现凝露。
此外,光照时丙烯酸类化合物的固化速度高。因此,当粘结膜包括 丙烯酸类化合物时,粘结膜能够在较少量的光中进行曝光。
而且,当粘结膜包括热固性树脂,粘结膜曝光和图案化后,能够通 过热固化将基底部分12A和透明基板部分13A粘合,而没有出现失败。
此外,当热固性树脂为环氧树脂,能够提高受光装置1中树脂层14 的耐热性,同时,能够树脂层14与基底部分12A之间和树脂层14与透 明基板部分13A之间的粘结性。而且,当粘结膜包括能够通过光和热被固化的固化树脂,能够提高 光固化树脂与热固性树脂之间的兼容性,因而,能够提高固化(光固化和 热固化)后粘结膜的强度。
(第二实施方式)
下面将参照图5说明本实施方式的受光装置1的制造方法。 本实施方式的受光装置1的制造方法包括
在基底12上粘贴包含光固化树脂的树脂层14,基底12上设有多个 受光部分ll,且多个基底部分12A结合成一整体,使覆盖基底12;对树 脂层14选择性光照,然后进行显影,使树脂层14保留在包围至少基底 12上各个受光部分11的区域;将基底12分割成基底部分12单元,由此 获得多个基底部分12A;将透明基板13分割成涵盖多个受光部分11的 区域的单元,由此获得多个透明基板部分13A;通过树脂层14(用于包围 受光部分ll)将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
本实施方式有别于上述实施方式,其中上述实施方式中粘结膜(树脂 层14)粘贴到透明基板13,而在本实施方式(见图5(A)和5(B))中粘结膜粘 贴到基底12。其它地方则与上述实施方式相同。
粘贴粘结膜以整体覆盖基底12上的多个受光部分11。
另外,对粘结膜选择性光照,通过显影工序除去没有光照的部分, 使粘结膜保留在基底12上各个受光部分11以外的区域(见图5(C))中。这 里,如图6所示,在多个部分中保留框状的粘结膜以包围各个受光部分 11。之后,将基底12切割成个别的受光部分11单元。切割基底12时粘 结膜没有被切割(见图5(C)的切割线C)。
这里,粘结膜的粘结性优选为进行切割(下述)时,粘结膜不会从基底 12剥落的程度。
之后,将透明基板13分割成涵盖多个受光部分11的区域的单元。 然后,通过框状的树脂层14将透明基板部分13A和基底部分12A 粘合。这样,能够获得与上述实施方式相同的受光装置l。
根据本实施方式,能够获得与上述实施方式相同的效果,此外,还 能够获得以下效果。
根据本实施方式的结构,切割基底12时没有切割粘结膜。因此,能 够避免切割基底12时粘结膜剥落。
(第三实施方式)
以下将通过图7-图9说明本实施方式的受光装置2的制造方法。
本实施方式的受光装置2的制造方法是制造受光装置2的方法,所 述受光装置2具有
支撑基板15,其上装配了具有受光部分11的受光元件20,和设有 受光部分11的基底部分12A;透明基板部分13A被放置使其面向其上设 有受光元件20的支撑基板15表面,其中
在支撑基板15和透明基板部分13A之间设置包含光固化树脂的树脂 层22,以包围受光元件20。
受光装置2的制造方法包括
在透明基板13上设置包含光固化树脂的树脂层22,其中多个透明基 板部分13A结合成一整体,使覆盖透明基板13;
对树脂层22选择性光照,然后进行显影,以保留树脂层22以包围 透明基板13相应于面向透明基板部分13A中的受光元件20的区域;
将透明基板13分割成透明基板部分13A单元;且
在支撑基板15上装配受光元件20后,通过树脂层22将支撑基板15 和透明基板部分13A接合。
以下将详细说明受光装置2的构造及其制造方法。
如图9的横截面图所示,受光装置2具有受光元件20,其具有形成 受光部分11的微透镜阵列和装配了微透镜阵列的基底部分^2A。
在受光元件20上安装与上述实施方式相同的支撑基板15。
另外,受光装置2具有透明基板部分13A。放置透明基板部分13A, 使其面向支撑基板15,并覆盖支撑基板15上的受光元件20。
透明基板部分13A和支撑基板15通过框架部分21连接。安放此框架部分21以包围支撑基板15上的受光元件20。框架部分 21具有框状的光固化树脂层和框状的粘结层23。树脂层22与透明基底 部分13A直接接触,此外,粘结层23与树脂层22和支撑基板15直接接 触。
树脂层22和粘结层23的总高度大于受光元件20的高度,由此在受 光元件20与透明基板部分13A之间形成空间。
这里,受光装置2中支撑基板15和基底部分12A通过焊线W电连 接。设置框架部分21以包围焊线W外周。
这里,将说明树脂层22。 树脂22含有环状烯烃树脂。
作为环状烯烃单体,实例可以是一般的单环物质如环己烯和环辛烯; 多环物质如降冰片烯、降冰片二烯、二环戊二烯、二氢二环戊二烯、四 环十二垸、三环戊二烯、二氢三环戊二烯、四环戊二烯和二氢四环戊二 烯。也可以使用取代的物质,其官能团与上述单体中的一个连接。
作为环状烯烃树脂,可以是环状烯经单体的聚合物。这里,作为聚 合方法,可以使用公知的方法如无规聚合和嵌段聚合。
能够根据公知的方法制造环状烯烃树脂,作为聚合方法,可以是加 成聚合方法和开环聚合方法。其中,优选通过降冰片烯单体的加成(共) 聚合获得的聚合物。当树脂层22中使用降冰片烯树脂,能够获得以下优点制造受光装置2时,制造稳定性优异,图案化变得高度精确。
作为环状烯烃树脂的加成聚合物,可以是(l)通过降冰片烯型单体的 加成(共)聚合获得的降冰片烯型单体的加成(共)聚物,以及(2)降冰片烯型 单体、非共轭二烯和另一单体(如有需要)的加成共聚物。能够根据公知的 聚合方法获得这些树脂。
尽管其中优选(l)通过降冰片烯型单体的加成(共)聚合获得的降冰片 烯型单体的加成(共)聚物,本发明不限于上述的任何一种。
优选环状烯烃树脂包括反应性官能团。反应性官能团的具体实例是 环氧基如縮水甘油醚基团、氧杂环丁烷基团、羧基、羟基、不饱和键和 氨基等。其中,特别优选环氧基。
具有环氧基的环状烯烃树脂一般能够通过直接聚合分子中包括环氧 基的单体,且相同类型的聚合物能够根据以下方法获得聚合后通过改 性反应将环氧基引入侧链中。作为改性反应,可以是公知的方法如含环 氧基的不饱和单体与上述聚合物的接枝反应、具有环氧基的化合物与上 述聚合物的反应性官能团位点的反应、以及使用环氧化剂如过氧化物或 氢过氧化物将上述分子中具有碳碳双键的聚合物直接转换成环氧基的方 法。
环状烯烃树脂的加成聚合物能够通过使用金属催化剂的配位聚合或 自由基聚合获得。其中,在配位聚合中,在存在过渡金属催化剂的溶液 中进行单体聚合获得聚合物(NiCOLE R. GROVE et al. Journal of Polymer Science: Part B, Polymer Physics, Vol.37, 3003-3010(1999))。
Encyclopedia of Polymer Science, John Wiley & Sons, 13, 708(1998)中
说明自由基聚合技术。
在一般的自由基聚合中,当温度从50。C升高至150。C时,单体在存 在自由基引发剂的溶液中反应。作为自由基引发剂,可以是偶氮二异丁 腈、苯甲酰过氧化物、月桂基过氧化物、偶氮二异己腈 (azobisisocaptonitrile)、偶氮二异戊腈(azobisisoleronitrile)和t-丁基过氧化 氢。
环状烯烃树脂的重均分子量为10,000-500,000,优选80,000-200,000, 更优选100,000-125,000。可以通过凝胶渗透色谱法(GPC)使用标准的聚降 冰片烯(依照ASTMDS 3536-91)测量重均分子量。
对于含酯的官能团、含酮的官能团和含醚的官能团的结构没有特别 限制,只要它们是含有这些基团的官能团。含环氧基的官能团的优选具 体实例可以是具有縮水甘油醚的官能团,但对于其结构没有特别限制,只要它们是具有环氧基的官能团。-2-降冰 片烯可以是具有环氧基的单体的实例;8-甲氧基羰基四环[4.4.0.12,5.17,, 十二-3-烯、8-叔丁氧基羰基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯、8-环己氧基羰 基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯、8-苯氧基羰基四环[4.4.0.12'5.17,1()]十二-3-烯、8-四氢吡喃氧基羰基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯、8-甲基-甲氧基羰 基四环[4.4.0.12'5.171Q]十二 -3-烯、8-甲基-8-叔丁氧基羰基四环 [4.4.0.12,5.17,1()]十二-3-烯、8-甲基-8-环己氧基羰基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二 -3-烯、8-甲基-8-乙氧基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯、8,9-二(甲氧基羰基) 四环[4.4.0.12'5.17,1()]十二-3-烯、8,9-二(异丙氧基羰基)四环[4.4.0.12,5.17,10] 十二-3-烯、8,9-二(叔丁氧基羰基)四环[4.4.0.12'5.17,1()]十二-3-烯、四环 [4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯-8-羧酸酯、8-甲基四环[4.4.0.12'5.17'1()]十二-3-烯 和8-亚乙基四环[4.4.0.12,5.17,1()]十二-3-烯可以是具有环氧基的单体的实 例。
优选具有环氧基的环状烯烃是由通式(2)表示的降冰片烯型加成聚合 物/共聚物。
<formula>formula see original document page 24</formula>(2)
共聚物中具有环氧基的单体的含量能够基于通过曝光是否发生交联 和能够获得的耐受显影剂的交联密度来决定。聚合物中具有环氧基的单 体的含量为5mol%~98mol% ,优选20mol%~80mol% ,且更优选 30mol%~70mol%。获得的聚合物具有优异的物理特性,这样,吸水性低 (<0.3wt%),介电常数低(〈.6mo1。/。),介电损耗低(0.001)且玻璃转化点合 适(170。O400。C)。
作为将环状烯烃树脂交联的交联剂,可以使用光反应性物质。另外, 除了光反应性物质,还可以使用通过加热等被活化的固化剂。作为能够通过加热引发具有环氧剂的环状烯烃树脂的交联反应的固 化剂,可以是脂肪族聚胺、环脂肪族聚胺、芳香族聚胺、双叠氮化物
(bisazides)、酸酐、二羧酸、多酚和聚酰胺等。作为这些固化剂,实例可 以是脂肪族聚胺如六亚甲基二胺、三亚乙基四胺、二亚乙基三胺和四亚 乙基五胺;二氨基环己垸、3(4),8(9)-双(氨甲基)三环[5,2,1,02,6]癸烷;环 脂肪族聚胺如1,3-(二氨基甲基)环己垸、二氨基二苯基甲烷 (mensendiamine)、异佛尔酮二胺、N-氨基乙基哌嗪、双(4-氨基-3-甲基 环己基)甲烷和双(4-氨基环己基)甲烷;芳香族聚胺如4,4,-二氨基二苯基 醚、4,4'-二氨基二苯基甲垸、a,a'-双(4-氨基苯基)-l,3-二异丙基苯、a,a'-双(4-氨基苯基)-l,4-二异丙基苯、4,4'-二氨基二苯基砜和间苯二胺 (methaphenylenediamine);双叠氮化物如4,4,-双叠氮苯亚甲基(4-甲基)环 己酮(4,4,-bisazidebenzal(4國methyl)cyclohexanone) 、 4,4,- 二叠氮查耳酮 (4,4,-diazidecalcone)、 2,6-双(4,-叠氮苯亚甲基)环己酮、2,6-双(4,-叠氮苯 亚甲基)-4-甲基-环己酮、4,4,-二叠氮二苯基砜、4,4,-二叠氮二苯基甲垸和 2,2'-二叠氮芪;酸酐如邻苯二甲酸酐、苯均四酸酐(pyromerit acid anhydride) 、 二苯甲酮、苯甲酮四羧酸酐、纳迪克酸酐(nasic acid anhydride) 、 1,2-环己垸二羧酸酐、马来酸酐改性的聚丙烯和马来酸酐改 牲的环状烯烃树脂;二羧酸如富马酸、邻苯二甲酸、马来酸、偏苯三甲 酸(trimeritic acid)和异羟躬酸;多酚如苯酚线性酚醛树脂和甲酚醛树脂; 以及聚酰胺如尼龙-6、尼龙-66、尼龙-610、尼龙-11、尼龙-612、尼龙-12、 尼龙-46、甲氧基甲基化聚酰胺、聚六亚甲基二胺对苯二甲酰和聚六亚甲 基间苯二甲酰(hexamethylene is叩hthalamide)。它们可以单独使用或两种 或多种组合使用。
作为光反应性物质,可以使用光产酸剂。可以使用任何公知的化合 物作为光产酸剂。光产酸剂使环氧基交联,并其后固化,使其与基板的 粘结性增加。作为优选的光产酸剂,可以是鎗盐、卤化物化合物、硫酸 盐及它们的混合物。鑰盐的实例是重氮盐、铵盐、鍋盐、锍盐、辚盐、 砷鑰盐和氧鑰盐,对于反离子(counteranion)没有特别限制,只要化合物 能够生成反离子和上述鑰盐。反离子的实例是硼酸、砷酸、磷酸、锑酸、硫酸盐和羧酸及它们的氯化物,然而并非将反离子限制于此。作为鎗盐 光产酸剂,可以是三苯基四氟硼酸锍、三苯基六氟砷酸锍、三苯基六氟
磷酸锍、三苯基锍二苯基四(五氟苯基)硼酸姚、4-硫代苯氧基二苯基四氟 硼酸锍、4-硫代苯氧基二苯基六氟锑酸锍、4-叔丁基苯基二苯基四氟硼酸 锍、三(4-甲基苯基)四氟硼酸锍、三(4-甲基苯基)六氟磷酸锍、三(4-甲氧 基苯基)四氟硼酸锍、三(4-甲基苯基)六氟锑酸锍、三(4-甲基苯基)六氟磷 酸锍、三(叔丁基苯基)四(五氟苯基)硼酸锍、二苯基四氟硼酸娥、二苯基 六氟锑酸鍋、二苯基四(五氟苯基)硼酸姚、4,4'-二叔丁基苯基四(五氟苯 基)硼酸鍋、4-甲基苯基-4-(l-甲基乙基)苯基四(五氟苯基)硼酸娥、3,3-二 硝基二苯基四氟硼酸姚、4,4-二硝基二苯基四氟硼酸娥和4,4-二硝基二苯 基六氟锑酸姚。它们可以被单独使用或组合使用。
含卤化物的光产酸剂的实例是2,4,6-三(三氯甲基)三嗪、2-烯丙基-4, 6-双(三氯甲基)三嗪、a,p,a-三溴甲基苯基砜、a,a-2,3,5,6-六氯二甲苯、 2,2-双(3,5-二溴-4-羟基苯基)-1,1,1,3,3,3-六氟二甲苯、1,1,1-三(3,5-二溴-4隱 羟苯基)乙烷和它们的混合物。
优选的光产酸剂是4,4,-二叔丁基苯基三氟甲磺酸鍋、4,4,,4"-三(叔 丁基苯基)三氟甲磺酸锍、二苯基四(五氟苯基)硼酸鍋、三苯基锍二苯基 四(五氟苯基)硼酸鎭、4,4,-二叔丁基苯基四(五氟苯基)硼酸鎭、三(叔丁基 苯基)四(五氟苯基)硼酸锍、4-甲基苯基-4-(l-甲基乙基)苯基四(五氟苯基) 硼酸碘和它们的混合物。
28根据本发明,光产生剂的混合比率为每100重量份聚合物0.1重量份 -IOO重量份,优选O.l重量份-10重量份。
树脂组合物中用于形成树脂层22的树脂固体约为5wt%-60wt%。优 选约30wt%-55wt%,,更优选约35wt°/。-45wt°/。。溶液粘度为10 cP-25,000 cP,优选100cP-3,000cP。
接着,如图8(A)所示,粘结层23以格子状涂覆至树脂层22。优选 粘结层23被硅石填料、室温下为液体的环氧树脂和固化剂形成,使组分 中包括lwtQ/。-10wt。/。硅石填料,另外,优选硅石填料为平均粒径为 2nm-5000nm的超微细硅石粉末。
当环氧树脂于室温下并非液体状,需要溶剂与硅石填料进行混练 (kneading)。溶剂可以生成气泡和降低固化材料的粘结强度和导热性,因 此溶剂不是优选的。
另外,优选使用双酚F以及潜在型胺化合物如双氰胺或酰肼己二酸 酯(hydrazide adipate)作为固化剂,优选粘结剂包括2wt。/。-30wt。/。双酚F。 当低于2wt。/。,混合量会太小,粘结强度不足,而当大于30wt。/。,酚羟基 相对于环氧基的量会变过量,因此在固化材料中保留未反应的酚羟基, 这不是优选的。
接下来,切割透明基板13,由此获得多个透明基板部分13A。切割 透明基板13时,也切割树脂层22和粘结层23(见图8(A)的切割线D)。 因而,如图需(B)所示,能够获得具有框架部分21的透明基板部分13A。
这里,优选光固化树脂层22的粘结性为切割透明基板13时,粘结 膜不会从透明基板13剥落的程度。
其后,制备其上装有受光元件20的支撑基板15。然后,放置透明基 板部分13A和支撑基板15使它们相互面向。此时,支撑基板15与框架 部分21的粘结层23接触。然后,进行加热或通过加热施压,使支撑基 板15通过框架部分21粘附到透明基板部分13A。
通过上述工序,制得受光装置2。
接下来,将说明本实施方式的作用效果。
在本实施方式中,分割透明基板13,然后,将透明基板部分13A与 具有基底部分12A的支撑基板15接合。因此,有别于现有技术,这样能 够避免多个受光装置中透明基板部分和基底部分同时位移。因而,提高 生产率。
另外,透明基板部分13A和其上装有受光元件20的支撑基板15在 分割透明基板13后接合,这样,接合后不而进行分割等,因此,能够避 免透明基板部分13A受到损害。因而,能够提高生产率。
此外,受光装置2中的树脂层22包括环状烯烃树脂,这样能够避免 湿气渗入由树脂层22包围的内部空间。
因而,il过避免湿气渗入由树脂层22包围的空间,能够避免透明基 板部分13A和基底部分12A屮出现凝露。
这里,本发明不受限于这些实施方式,本发明包括变型和改良,只 要其能够实现本发明的目的。尽管在第一和第二实施方式中,粘结膜例如粘贴到透明基底13或基 底12,本发明没有受限于此,如第三实施方式,清漆状树脂层22可以涂 覆到透明基板13或基底12,然后,可形成格子状树脂层22,可以在格 子状树脂层22上提供粘结层23。
此外,在第一实施方式中,切割透明基板13时,切割粘结膜。以相 同的方式,在第三实施方式中,切割透明基板13时,树脂层22和粘结 层23被切割。然而,切割透明基板13时,粘结膜、树脂层22和粘结层 23可能没有被切割。在此情况下,如第二实施方式的相同方式,在例如 透明基板13上可能保留多个粘结膜块或框状树脂层22。多个粘结膜块或 框状树脂层22包围覆盖透明基板13上受光装置部分11的部分。
接下来,将说明本发明的实施例。 (实施例1)
1. 能够通过光和热被固化的固化树脂 (合成丙烯酸改性的酚醛树脂)
将600 g MEK溶液(具有70。/。酚醛线性酚醛非挥发性组分)(Phenolite TD画2090國60M, Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated出品)(约4当量 OH)放置在2L烧瓶中,并加入18三丁胺和0.28氢醌,将混合物加热至 110°C。于30分钟内,向混合物滴加284 g (2mol)甲基丙烯酸縮水甘油酯, 然后在110°C下搅拌该混合物5小时,以引发反应,这样,获得含有80% 甲基丙烯酰基的酚醛线性酚醛(非挥发性组分)(甲基丙烯酰基的转化率 500/o)。
2. 制备树脂清漆
称取5.1 g丙烯基树脂化合物(室温下为液体)(三乙二醇二甲基丙烯酸 酯Neomer PM201 , Sanyo Chemical Industries Ltd.出品)作为光固化树脂, 12.9wt%环氧树月旨(Epiclon N-865 , Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated出品)和5.4wt。/。有机硅环氧树脂(BY16-115, Dow corningToray Co., Ltd出品)作为热固性树脂,28.2wtW上述合成的(甲基)丙烯酸 改性的酚醛树脂作为能够通过光和热被固化的固化树脂,1.9wt。/c光聚合 引发剂(Irgacure 651 (2,2-二甲氧基-l,2-二苯基乙-l-酮),Ciba Specialty Chemicals Co., Ltd.出品),31.8 wt。/。多孔填料(分子筛3A,Union showa K.K. 出品)作为填料,以及14.7wtQ/。甲乙酮作为溶剂,利用分散器以5000rpm 搅拌1小时,由此制得树脂清漆。
3.制造粘结膜
利用comma涂覆器将树脂清漆涂覆到支撑基材聚酯膜(T100G, Mitsubishi Polyester Film GmbH出品,厚25拜),在80°C下干燥10分 钟,由此获得膜厚度为50pm的粘结膜。
(实施例2)
实施例2与实施例1相同,不同的是使用了能够通过光和热固化的 树脂。
作为能够通过光和热固化的树脂,使用了侧链具有羧基和丙烯基的 丙烯基共聚物树脂(CyclomerP, Daicel Chemical Industries, Ltd出品),获 得厚50Mm的粘结膜。
(实施例3)
实施例3与实施例1相同,不同的是树脂清漆如下混合。 混合6.8 wt。/。丙烯酰基树脂(acryl resin)单体(室温下为液体)(Neomer PM201, Sanyo Chemical Industries Ltd.出品)作为光固化树脂,13.7wt。/o双 酚A线性酚醛型环氧树脂(Epiclon N-865, Dainippon Ink and Chemicals, Incorporated出品)作为热固性树脂,2.5wt。/。有机硅环氧树脂(BY16-l 15, Dow corning Toray Co., Ltd出品),27.4wt。/。实施例1合成的(甲基)丙烯酸 改性的酚醛线性酚醛树脂,0.9wt。/。光聚合引发剂(Irgacure 651 (2,2-二甲氧 基國1,2誦二苯基乙-1画酮),Ciba Specialty Chemicals Co" Ltd.出品),23.4 wt% 硅石填料(SE2050, AdmatechsCo.,Ltd.出品)作为无机填料,以及25.3wt% 甲乙酮作为溶剂。
34利用此树脂清漆获得厚50nm的粘结膜。
依照如下方式测量各实施例中获得的粘结膜的透湿性。 将粘结膜粘贴在一起,这样,利用温度设在60°C的层压机制得膜厚 度为100 jim的膜,利用曝光机使用量为750 mJ/cm2的光(波长:365nm)照 射膜,然后,分别在120°C和180°C下对膜进行热固化1小时。依照水 蒸汽透过性杯式法(JIS Z0208)在40。C/卯。/。和25。C/50。/。的环境中评价固化 后获得的膜,由此获得透湿率。
<formula>formula see original document page 35</formula>接下来,依照第一实施方式所述方法制造多个使用各实施例的粘结 膜的受光装置。
这里,用750mJ/ci^的光(波长:365nm)进行曝光工序,在以下条件 0.1 MPa喷射压,卯秒显影时间使用3Q/。TMAH(四甲基氢氧化铵)进行显 影。此外,将粘结膜图案化成格子状,且布置图案使以框状(宽100nm) 包围涵盖各受光部分的区域。
此外,通过加热和施压(温度110°C,时间10秒,压力1 MPa)
将透明基板部分和基底部分粘贴在一起。然后,在120。C将粘结膜固化1 小时,其后,在180。C将粘结膜固化2小时。
在各实施例中获得所有受光装置具有良好的特性,且确定操作没有 任何问题。如上所述,在所有受光装置具有良好的特性,因此,发现根 据本发明的制造方法能够提高生产率。
(实施例4)
1. 制造环状烯烃树脂组合物(形成树脂层用的组合物) 实例可以是共聚物(A-1),其中癸基降冰片烯/縮水甘油基甲基醚降冰
片烯=70/30共聚物。
所有玻璃装置在0.1托,60。C下干燥18小时。然后,将玻璃装置移 至手套式操作箱(glowbox),并与手套式操作箱连接。将乙酸乙酯(917g), 环己垸(917g),癸基降冰片烯(192g, 0.82mol)和縮水甘油基甲基醚降冰 片烯(62g, 0.35mol)置于反应烧瓶中。从手套式操作箱取出反应烧瓶,并 向烧瓶引入干燥氮气。通过向溶液通氮气30分钟对反应中间体化合物进 行脱气。将25ml的注射器中的9.36 g(19.5 mmol)镍催化剂,即溶解在15ml 甲苯中的双(甲苯)双(全氟苯基)镍,从手套式操作箱取出,并将溶液放进 反应烧瓶中。在20。C下搅拌混合物5小时,直至反应完成。然后,加入 过氧乙酸酸溶液(975mmo1),并搅拌混合物18小时。停止搅拌后,将溶 液分成水层和溶剂层。分离水层后,加入l升蒸馏水,将混合物搅拌20 分钟。分离水层,将其除去。连续用1升蒸馏水进行3次洗涤。之后, 将聚合物放进甲醇中,通过过滤收集沉淀物,并用水将其充分洗涤,然 后在真空下将其干燥。干燥后收集到243 g (产率为96%)聚合物。.根据 GPC的测定,获得的聚合物的分子量Mw = 115,366, Mn = 47,000,且 Mw/Mn = 2.45。对于聚合物的组成,通过H-NMR分析,发现其含有70 mol。/。癸基降冰片烯和30mol。/。环氧基降冰片烯。
将228 g上述合成的树脂溶解在342 g十氢萘中,然后加入和溶解4-甲基苯基-4-(1-甲基乙基)苯基四(五氟苯基)硼酸娥(0.2757 g, 2.71 x 10_4 mol), l-氯-4-丙氧基-9H-噻吨酮(0.826g, 2.71 x l(T4 mol),吩噻嗪(0.054 g, 2.74 x 10'4 mol)和3,5-二叔丁基-4-羟基氢化肉桂酸酯(0.1378 g, 2.60 x 10-4mol),然后,用氟树脂制成的过滤器将混合物过滤,由此获得环状烯 烃树脂组合物。
2. 制造粘结剂(形成粘结层用的组合物)将平均粒径约为12nm的超微细硅石粉末(3.0 g)和通过双酚F和表氯 醇之间的反应获得的二縮水甘油醚(环氧当量180,室温下为液体)(91.0 g),双酚F(5.0 g)和双氰胺(l.O g)混合,用三辊进行混练,由此获得绝缘 树脂浆。在2mmHg的真空室中对绝缘树脂浆进行30分钟消泡,由此获 得粘结剂。
3.制造受光装置
根据第三实施方式所述方法制造多个受光装置。
具体地,利用旋涂器将环状烯烃树脂组合物涂覆在透明物基板上, 然后利用UO。C的电热板将其干燥5分钟,由此获得膜厚度约40 pm的 树月旨层。通过宽带步进曝光机(broadband stepper exposure machine)(Ultratech Stepper Inc.出品)的十字线(reticle)将树脂曝光(1500 mJ/cm2)。然后,利用电热板将其加热4分钟,以加快曝光部分的交联反 应。
接下来,将基板浸没在柠檬烯中30秒,藉此溶解和除去没有曝光的 部分,然后,用异丙酮清洗基板20秒。因而,树脂层保留在覆盖透明基 板上的受光元件的区域以外的区域,并加工成格子状。图案中没有观察 到剥落,由此确定显影时的粘结性优异。然后,在160°C下固化树脂层 60分钟,这样,完成交联反应。树脂层的吸水率为0.2%。
然后,通过丝网印刷将粘结剂涂覆到树脂层,形成粘结层。之后, 切割透明基板,获得多个透明基板部分。而且,放置透明基板部分和其 上装有受光元件的支撑基板,使它们相互面向,在100°C将它们加热60 分钟。因而,使透明基板部分和支撑基板部分粘贴在一起。
获得的受光装置具有良好的特性,并确认受光装置的操作没有任何 问题。以此方式制得的所有受光装置具有良好的特性,因此,根据本发 明的制造方法能够提高生产率。
(实施例5)
以实施例4的相同方式获得癸基降冰片烯/縮水甘油基甲基醚降冰片 烯/乙氧苯基降冰片烯=55/30/15的三元共聚物(A-2),不同的是使用了癸基降冰片烯(129 g, 0.55 mol),縮水甘油基甲基醚降冰片烯(177 g, 0.30 mol) 和乙氧苯基降冰片烯(29.7 g, 0.15 mol)代替实施例4的癸基降冰片烯(192 g, 0.82 mol),縮水甘油基甲基醚降冰片烯(62g, 0.35 mol)。三元共聚物 再次聚合和沉淀,干燥后,收集到309 g聚合物。根据GPC的测定,获 得的聚合物的分子量Mw- 68000, Mn = 30000, Mw/Mn = 2.3。对于聚 合物的组成,根据H-NMR的分析,发现其含有54moP/。癸基降冰片烯, 31 mol。/。环氧基降冰片烯和15mol。/。乙氧苯基降冰片烯, 依照实施例4的相同工序获得多个受光装置。
获得的受光装置具有良好的特性,并发现受光装置的操作没有出现 任何问题。如上所述,所有受光装置具有良好的特性,并发现根据本发 明的制造方法能够提高生产率。
权利要求
1. 受光装置的制造方法,所述受光装置包括受光部分、装配有受光部分的基底部分和透明基板部分,所述透明基板部分面向所述基底部分和受光部分,其中在所述透明基板部分和基底部分之间设置包含光固化树脂的树脂层,以包围所述受光部分,其中受光装置的制造方法包括在透明基板或基底上设置包含光固化树脂的树脂层,其中多个透明基板部分结合成一整体,所述基板或基底上装配有多个受光部分,且多个基底部分结合成一整体;由此使树脂层覆盖所述基底或透明基板;对树脂层进行选择性光照,然后进行显影,使所述树脂层保留在至少包围所述基底上各个受光部分的区域,或保留在所述透明基板包围对应于面向透明基板部分的受光部分的区域;将所述基底分割成所述基底部分单元,由此获得多个基底部分;将所述透明基板分割成所述透明基板部分单元,由此获得多个透明基板部分;通过所述树脂层将基底部分和透明基板部分接合。
2. 根据权利要求1所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层具 有粘结性。
3. 根据权利要求2所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层由 包括所述光固化树脂和填料的树脂组合物形成,且所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m、24h]或更高。
4. 根据权利要求3所述的受光装置的制造方法,其中所述填料包括
5. 根据权利要求2所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层包 括能够通过光和热固化的固化树脂。
6. 根据权利要求5所述的受光装置的制造方法,其中所述能够通过 光和热固化的固化树脂进一步包括(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂或含(甲 基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
7. 根据权利要求1所述的受光装置的制造方法,其中显影工序后保留树脂层的所述步骤包括于稍后阶段在所述树脂层表 面上设置粘结层;通过所述树脂层和粘结层将所述基底部分和透明基板部分接合;且所述树脂层包括作为所述光固化树脂的环状烯烃树脂。
8. 根据权利要求7所述的受光装置的制造方法,其中所述环状烯烃树脂是降冰片烯树脂。
9. 受光装置的制造方法,所述受光装置包括支撑基板和透明基板部分;所述支撑基板装配了 具有受光部分和设有该受光部分的基底部分的受光元件;所述透明基板 部分面向所述支撑基板设有受光元件的表面,其中在所述支撑基板和透明基板部分之间设置包含光固化树脂的树脂 层,以包围所述受光元件,其中受光装置的制造方法包括在透明基板上设置包含光固化树脂的树脂层,其中多个透明基板部 分结合成一整体,由此使树脂层覆盖所述透明基板;对树脂层进行选择性光照,然后进行显影,使透明基板部分上保留 的树脂层包围透明基板面向受光元件的相应区域;将所述透明基板分割成透明基板部分单元,由此获得多个所述透明 基板部分;且在所述支撑基板上装配所述受光元件后,通过所述树脂层将所述支 撑基板和透明基板部分接合。
10. 根据权利要求9所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层具 有粘结性。
11. 根据权利要求IO所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层 由包括所述光固化树脂和填料的树脂组合物形成,且所述树脂层根据JIS Z0208 B法测定的透湿率为30[g/m^24h]或更高。
12. 根据权利要求11所述的受光装置的制造方法,其中所述填料包 括沸石。
13. 根据权利要求IO所述的受光装置的制造方法,其中所述树脂层 包括能够通过光和热进行固化的固化树脂。
14. 根据权利要求13所述的受光装置的制造方法,其中所述能够通 过光和热进行固化的固化树脂进一步包括(甲基)丙烯酸改性的酚醛树脂 或含(甲基)丙烯酰基的(甲基)丙烯酸酯聚合物。
15. 根据权利要求9所述的受光装置的制造方法,其中 显影工序后保留树脂层的所述步骤包括于稍后阶段在所述树脂层表面上设置粘结层;通过所述树脂层和粘结层将所述支撑基板和透明基板部分接合;且 所述树脂层包括作为所述光固化树脂的环状烯烃树脂。
16. 根据权利要求15所述的受光装置的制造方法,其中所述环状烯烃树脂是降冰片烯树脂。
全文摘要
本发明提供受光装置1的制造方法,其包括以下步骤在透明基板13上设置包含光固化树脂的树脂层14,其中多个透明基板部分13A结合成一整体;对至少树脂层14进行选择性光照,然后进行显影,使所述树脂层14保留在透明基板13包围面向透明基板部分13A的受光部分11的区域;将所述透明基板13分割成透明基板部分13A单元,由此获得多个透明基板部分13A;将基底12分割成基底部分12A单元,由此获得多个基底部分12A;通过树脂层14将基底部分12A和透明基板部分13A接合。
文档编号H01L31/02GK101427382SQ200780014509
公开日2009年5月6日 申请日期2007年5月30日 优先权日2006年6月7日
发明者大桥诚司, 川田政和, 杉野光生, 楠木淳也, 涛一登, 高山梨惠, 高桥豊诚 申请人:住友电木株式会社
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