专利名称：薄膜压电元件及其制造方法、磁头折片组合及磁盘驱动单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种信息记录》兹盘驱动单元，尤其涉及一种薄膜压电元件及其 制造方法，以及具有该薄膜压电元件的薄膜压电微致动器、磁头折片组合
(HGA， head gimbal assembly )和》兹盘驱动单元。
背景技术：
一种常见的信息存储设备是磁盘驱动系统，其使用磁性媒介来存储数据及 设置于该磁性媒介上方的可移动读写头来选择性地从磁性媒介上读取数据或将 数据写在磁性媒介上。
消费者总是希望这类磁盘驱动系统的存储容量不断增加，同时希望其读写 速度更快更精确。因此磁盘制造商一直致力于开发具有较高存储容量的磁盘系 统，比如通过减少磁盘上的磁道宽度或磁道间距的方式增加磁道的密度，进而 间接增加磁盘的存储容量。然而，随着磁道密度的增加，对读写头的位置控制 精度也必须相应的提高，以便在高密度磁盘中实现更快更精确的读写操作。随 着磁道密度的增加，使用传统技术来实现更快更精确将读写头定位于磁盘上适 当的磁道变得更加困难。因此，磁盘制造商一直寻找提高对读写头位置控制的 方式，以便利用不断增加的磁道密度所带来的益处， 一种常用的方法为采用两 级伺服驱动系统。
图la-lc所示为传统的具有两级伺服驱动系统的磁盘驱动单元。其中，所述 两级伺月l驱动系统包括一个主驱动器如音圈马达(VCM， voice-coil motor) 105 和一个副驱动器如压电(PZT， piezoelectric)微致动器107。磁盘驱动单元的磁 盘101安装在主轴马达102上并由其旋转，音圈马达臂104上承载有磁头折片 组合106,该磁头折片组合106包括磁头103、压电微致动器107及支撑磁头103和压电微致动器107的悬臂件110，该磁头103上安装有读/写传感器。
作为主驱动器的音圏马达105控制音圈马达臂104的运动，进而控制磁头 103在磁盘101表面的磁轨间移动，最终实现读/写传感器在磁盘101上数据的 读写。相对于音圈马达105，该压电孩i致动器107以更小的幅度来调整石兹头103 的移位，以便补偿音圈马达和(或)磁头臂组合的共振误差。所以，该压电微 致动器107使得更小的磁轨间距在应用上成为可能，从而提高了磁盘系统的磁 轨密度，同时也减少了磁头的寻轨时间及定位时间。因此，压电微致动器107 的应用大幅度地提高了磁盘驱动单元的存储盘表面记录密度。
图lb详细展示了图la所示传统磁盘驱动单元中含有双驱动器的磁头折片组 合106。所述磁头折片组合106的悬臂件110包括具有多个导线的挠性件111、 具有突起112a的磁头支持板112、金属基板113和具有凸点114a以支撑所述》兹 头支持板112和金属基板113的负载杆114。所述挠性件111通过导线将所述磁 头支持板112和金属基板113连接起来，挠性件111的舌片区域具有一个用于放 置所述压电微致动器107的压电元件安装区域111 a和一个磁头安装区域111 b。 所述磁头103通过所述磁头安装区域lllb局部安装在所述磁头支持板112上。 所述磁头支撑板112上形成一个用于支持磁头背面中心的突起112a。所述负载 杆114的凸点114a支撑所述磁头支撑板112的突起112a。这样确保当磁头103 飞行于磁盘101上方时，来自负载杆114的负载力施加于磁头103中心。压电 微致动器107包含两个互相连接起来的左、右薄膜压电元件201、 202，左、右 薄膜压电元件201、 202粘附在所述挠性件111的压电元件安装区域llla上。结 合参考图lc,当所述薄膜压电元件201、202通电后，其中一薄膜压电元件202/201 产生收缩而另一薄膜压电元件201/202则膨胀，从而使所述磁头支持4反112产生 旋转力矩，这样所述磁头支持板112和磁头103将围绕凸点114a旋转，从而实 现对》兹头位置的微调。
图2是图lb所示压电微致动器的平面图，图2a是沿图2中A-A线的剖面 图，图2b是沿图2中B-B线的剖面图。如图所示，所述左薄膜压电元件202设 有一对电触点204。所述右薄膜压电元件201设有一对电触点206。所述左薄膜压电元件202和右薄膜压电元件201的表面上涂敷有树脂209。所述树脂209具 有粘性连接部911。所述粘性连接部911位于左薄膜压电元件202与右薄膜压电 元件201之间，以物理连接所述左薄膜压电元件202和右薄膜压电元件201。所 述左、右薄膜压电元件202、 201均为层状结构，均具有第一压电薄膜层22和 第二压电薄膜层25两层压电薄膜层，第一压电薄膜层22与第二压电薄膜层25 通过粘结剂28粘结叠压在一起。具体地，所述第一压电薄膜层22具有第一电 极层223、第二电极层224及夹设在第一、第二电极层223、 224之间的第一压 电层222，所述第二压电薄膜层25具有第三电极层256、第四电极层257及夹 设在第三、第四电极层256、 257的第二压电层225,所述粘结剂28涂覆于第二 电极层224和第三电极层256之间从而将所述第一、第二压电薄膜层22、 25连 接在一起。
图3a-3d展示了传统制造图2所示薄膜压电元件的方法。首先，如图3a所 示，在第一基底11上顺次叠压形成第一电极层223、第一压电层222以及第二 电极层224，形成第一压电薄膜层22，在第二基底12上顺次叠压形成第四电极 层257、第二压电层225以及第三电极层246，形成第二压电薄膜层25;再如图 3b所示，将带有基底11、 12的两个压电薄膜层22、 25通过粘结剂28连接起来； 再如图3c所示，用化学蚀刻或类似工艺除掉所述第一基底11;以及如图3d所 示除掉所述第二基底12,得到薄膜压电元件。
然而，由于生产工艺的限制，特别是化学蚀刻精度控制的局限，上述结构 的薄膜压电元件以及制造方法的生产效率很低，而且需要将两个压电薄膜层通 过粘结剂连接在一起，其加工过程非常复杂且昂贵，且粘结的过程中容易造成 压电薄膜层内层间剥落；另外，在整个加工过程中有两次基底分离，这都将导 致高废品率，从而增加生产成本。
因此业界有提出压电元件只用单压电薄膜层的设想，以降低成本及免去粘 结工序，以借此提高生产效率及提高成品率，然而，单压电薄膜层的刚度和柔 性不够，在加工和安装等操作过程中不易操作且易损坏，仍难真正提高生产效 率及提高成品率。因此，有必要提供一种改进的薄膜压电元件及其制造方法来解决上述问题 并达到更好的性能。发明内容本发明的目的是提供一种薄膜压电元件，所述薄膜压电元件为单层结构并 具有弹性衬底层作为支撑，因而具有足够的刚度和柔性，使加工和安装等操作 方便，且免去了粘结工序而有效地避免薄膜剥离、变形，最终提高生产效率， 降低生产成本。本发明的另一个目的在于提供一种薄膜压电元件的制造方法，所述薄膜压 电元件的制造方法能够加工出具有弹性衬底层作为支撑，具有足够的刚度和柔 性且只具有一个压电薄膜层的压电元件，所以加工和安装等操作方便，并能够 有效地避免薄膜剥离、变形，最终提高生产效率，降低生产成本。本发明的另 一个目的在于提供一种磁头折片组合，所述磁头折片组合的薄 膜压电元件为具有弹性衬底层作为支撑，具有足够的刚度和柔性的单层结构， 其加工过程简单，安装等操作方便，并能够有效地避免薄膜剥离、变形，最终 提高生产效率，降低生产成本。本发明的再一个目的在于提供一种磁盘驱动单元，所述磁盘驱动单元包括 磁头折片组合，所述i兹头折片组合的薄膜压电元件为具有弹性衬底层作为支撑， 具有足够的刚度和柔性的单层结构，其加工过程简单，安装等操作方便，并能 够有效地避免薄膜剥离、变形，最终提高生产效率，降低生产成本。为了达到上述目的，本发明提供了一种薄膜压电元件，所述薄膜压电元件 包括一层压电薄膜层、过渡层和弹性衬底层，所述压电薄膜层为层状结构，包 括第一电极层、第二电极层和夹设在所述第一电极层与第二电极层之间的压电 层，所述过渡层形成在所述第二电极层上，所述弹性衬底层形成在所述过渡层 上。在本发明的一个实施例中，所述压电薄膜层的第一电极层、压电层和第二 电极层中任意两个相邻的层之间或第一电极层上形成有过渡层。在本发明中，所述弹性衬底的材质为环氧树脂或聚合物。所述过渡层的材 质为金属或金属氧化物，较佳地，所述过渡层的材质为氧化锶或钛。所述过渡层的厚度范围为10-200埃。本发明还提供了一种薄膜压电元件的制造方法，所述薄膜压电元件的制造 方法包括以下步骤U)形成一层压电薄膜层，所述压电薄膜层是由第一电极 层、压电层和第二电极层层压而成，其中所述压电层夹设在所述第一电极层与 第二电极层之间；(2)在所述第二电极层上形成过渡层；以及(3)在所述过渡 层上形成弹性衬底层。本发明还提供了 一种磁盘驱动单元的磁头折片组合，所述磁头折片组合包 括悬臂件和薄膜压电元件，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件上设有压电元 件安装区域，所述薄膜压电元件包括一层压电薄膜层、过渡层和弹性衬底层， 所述压电薄膜层为层状结构，包括第一电极层、第二电极层和夹设在所述第一 电极层与第二电极层之间的压电层；所述过渡层形成在所述第二电极层上；所 述弹性衬底层形成在所述过渡层上；所述第一电极层与第二电极层上分别设有 向外伸出的电触点，所述薄膜压电元件以弹性衬底层紧贴压电元件安装区域的 方式安装在所述挠性件上，并通过电触点与所述挠性件电性连接。本发明还提供了一种磁盘驱动单元，所述磁盘驱动单元包括磁盘、驱动所 述磁盘旋转的主轴马达、驱动臂以及连接并安装在所述驱动臂上的磁头折片組 合，所述磁头折片组合包括悬臂件和薄膜压电元件，所述悬臂件包括挠性件， 所述挠性件上设有压电元件安装区域，所述薄膜压电元件包括一层压电薄膜层、 过渡层和弹性衬底层，所述压电薄膜层为层状结构，包括第一电极层、第二电 极层和夹设在所述第一电极层与第二电极层之间的压电层；所述过渡层形成在 所述第二电极层上；所述弹性衬底层形成在所述过渡层上；所述第一电极层与 第二电极层上分别设有向外伸出的电触点，所述薄膜压电元件以弹性衬底层紧 贴压电元件安装区域的方式安装在所述挠性件上，并通过电触点与所述挠性件 电性连接。与现有技术相比，由于所述薄膜压电元件为只具有一个压电薄膜层的压电元件，不需要将两个单独的压电薄膜层通过粘结剂粘结为一体，简化了加工的 工续，并能够有效避免其加工过程中薄膜剥离发生。由于在其压电薄膜层的电 级层上形成了过渡层，从而得以在过渡层上形成用于支撑所述压电薄膜层的弹 性衬底层，增加了薄膜压电元件的刚度和柔性，，避免了由于单个层状压电结构 的刚度和柔性不够给加工和安装等操作带来的不便，且不影响压电薄膜层的伸 缩变形；再者，过渡层的引入一方面可以使薄膜压电元件各层之间的连接更加稳固，使薄膜压电元件各层间不易分离，更好的防止剥离；另一方面也可以增 加薄膜压电元件的刚度和柔性，有利于薄膜压电元件的加工和安装等操作。通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。
图la是传统磁盘驱动单元的立体图。图lb是图la所示磁盘驱动单元的具有薄膜压电微致动器的传统磁头折片组 合的立体分解图。图lc是图lb中所示磁盘驱动单元的磁头折片组合的薄膜压电微致动器的两 薄膜压电元件收缩和膨B长示意图。图2是传统薄膜压电微致动器的平面图。 图2a是沿图2中A-A线的剖面图。 图2b是沿图2中B-B线的剖面图。图3a-3d展示了图2中所示传统薄膜压电微致动器的压电元件的制造流程。 图4为本发明薄膜压电元件第一实施例的立体图。 图5为沿图4中V-V线的剖面图。图6为图4所示的本发明薄膜压电元件第一实施例的电路连接示意图。 图7a-7f展示了图4所示本发明薄膜压电元件第一实施例的制造流程。 图8为本发明薄膜压电元件第二实施例的剖面图。 图9为本发明薄膜压电元件第三实施例的剖面图。立体图。图12a为本发明薄膜压电元件欲安装到磁头折片组合的悬臂件上的示意图。 图12b为本发明薄膜压电元件安装到磁头折片组合的悬臂件上后的立体图。 图13为本发明磁盘驱动单元的立体图。
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的组件标号代表类似的组件。如图4-6所示，本发明的薄膜压电元件的第一实施例50包括一压电薄膜层 500、过渡层506和弹性衬底层504,所述压电薄膜层500为层状结构，包括第 一电极层501、第二电极层503和夹设在所述第一电才及层501与第二电极层503 之间的压电层502,所述过渡层506形成在所述第二电^l层503上，所述弹性衬 底层504形成在所述过渡层506上。所述第一电极层与第二电极层上分别设有 向外伸出的电触点51、 52,所述电触点51、 52用于与外界电性连接。其中，所 述弹性衬底层504的材质为环氧树脂或聚合物，用来支撑所述压电薄膜层500, 增加了薄膜压电元件的刚度和柔性，避免了由于单个层状压电结构的刚度和柔 性不够给加工和安装等操作带来的不便，且不影响压电薄膜层500的伸缩变形。 所述过渡层506由钛或氧化锶等金属或者金属氧化物制成，其厚度范围为10-200 埃。所述过渡层506 —方面可以稳固所述压电薄膜层500和所述弹性衬底层504 之间的连接，防止所述压电薄膜层500和所述弹性衬底层504之间发生剥离； 另一方面也可增加薄膜压电元件50的刚度和柔性，有利于薄膜压电元件50加 工和安装等操作。图7a-7f详细描述了第一实施例的薄膜压电元件50的制造流 程。所述薄膜压电元件50的制造包括步骤(1)提供晶片基底550，在所述晶 片基底550上形成第一电极层503 (如图7a所示)；(2)在所述第一电极层501 上形成压电层502 (如图7b所示)；(3)在所述压电层502上形成第二电极层503 (如图7c所示)；(4)在所述第二电极层503上形成过渡层506,所述过渡 层的材质为氧化锶或钛等金属或金属氧化物，其厚度范围为10-200埃(如图7d 所示)；(4 )在所述过渡层506上形成弹性村底层504,所述弹性衬底层504的 材质为环氧树脂或聚合物(如图7e所示)；以及(5)化学蚀刻掉所述晶片基底 550，得到薄膜压片元件50 (如图7f所示)。由于所述薄膜压电元件50为只具有一个压电薄膜层的压电元件，不需要将 两个单独的压电薄膜层通过粘结剂粘结为一体，简化了加工的工续，并能够有 效避免其加工过程中薄膜剥离发生，从而提高了生产效率，降低了生产成本。图8为本发明的第二实施例的薄膜压电元件50a的剖面图。如图所示，所 述薄膜压电元件50a与第一实施例的薄膜压电元件50相比，还在所述压电层502 和第二电极层503间夹设有过渡层506a，所述过渡层506a的材质为钛或氧化锶 等金属或者金属氧化物，其厚度范围为10-200埃，所述过渡层506a—方面可以 稳固所述压电层502和所述第二电极层间503之间的连接，防止所述压电层502 和所述第二电极层间503之间发生剥离；另一方面也可增加薄膜压电元件50a 的刚度和柔性，有利于薄膜压电元件50a的加工和安装等操作。由于所述薄膜 压电元件50a其他部分的结构、功能和材质等，都与第一实施例薄膜压电元件 50相同，此不再详述。图9为本发明的第三实施例的薄膜压电元件50b的剖面图。如图所示，所 述薄膜压电元件50b与第二实施例的薄膜压电元件50a相比，还在所述第一电 极层501和压电层502间夹设有过渡层506b,所述过渡层506b的材质为钛或氧 化锶等金属或者金属氧化物，其厚度范围为10-200埃，所述过渡层506b—方面 可稳固所述第一电极层501和压电层502间的连接，防止所述第一电极层501 和压电层502间发生剥离；另一方面也可增加薄膜压电元件50b的刚度和柔性， 有利于薄膜压电元件50b的加工和安装等才喿作。由于所述薄膜压电元件50b其 他部分的结构、功能和材质等，都与第二实施例的薄膜压电元件50a相同，此 不再详述。图10为本发明的第四实施例的薄膜压电元件50c的剖面图。如图所示，所述薄膜压电元件50c与第一实施例的薄膜压电元件50相比，还在所述第一电极 层501上形成有过渡层506c，所述过渡层506c的材质为钛或氧化锶等金属或者 金属氧化物，其厚度范围为10-200埃，所述过渡层506c可增加薄膜压电元件 50c本身的刚度和柔性，有利于薄膜压电元件50c的加工和安装等操作。由于所 述薄膜压电元件50c其他部分的结构、功能和材质等，都与第一实施例的薄膜 压电元件50相同，此不再详述。图11为本发明的第五实施例的薄膜压电元件50d的剖面图。如图所示，所 述薄膜压电元件50d与第三实施例的薄膜压电元件50b相比，还在所述第一电 极层501上形成有过渡层506d,所述过渡层506d的材质为钛或氧化锶等金属或 者金属氧化物，其厚度范围为10-200埃，所述过渡层506d可增加薄膜压电元件 50d的刚度和柔性，有利于薄膜压电元件50d的加工和安装等操作。由于所述薄 膜压电元件50d其他部分的结构、功能和材质等，都与第三实施例薄膜压电元 件50b相同，此不再详述。当然，除了第一、第二、第三、第四和第五实施例的薄膜压电元件50a、 50b、 50c、 50d外，本发明的薄膜压电元件可以在第一电极层501、压电层502和第 二电极层503中任意两个相邻的层之间或第一电极层501上形成过渡层，这里 就不穷尽了。由于本发明其他实施例的薄膜压电元件50a、 50b、 50c、 50d的制造方法也 类似于第一实施例的薄膜压电元件50的制造方法，在此就不再详述。参考图12，本发明的磁头折片组合300包括一石兹头103、具有两片本发明 的薄膜压电元件50 (当然也可以为本发明的其他实施例的薄膜压电元件50a、 50b、 50c和50d等)的薄膜压电微致动器和用于承载所述磁头103和所述薄膜 压电微致动器的悬臂件400，所述悬臂件400包括挠性件307、负载杆305、基 板301和枢接件302，它们组装在一起。结合参阅图12a,所述挠性件307包括 压电元件安置区域350a、 350b、 ^磁头安置部351和内、外两组复^t线路229, 230。所述磁头安置部351上设有若干磁头连接触点231,所述挠性件307上在 靠近所述压电元件安置区域350a、350b处设有压电元件连接触点224、 225、 226、227。所述内复数线路229的一端和所述压电元件连^l矣触点224、 227电性连 接，另一端和挠性件307上的电性触点319电性连接，所述外复数线路230的 一端与所述磁头连接触点231电性连接，另一端和挠性件307上的电性触点319 电性连接，而压电元件连接触点225、 226为接地点。结合参阅图12a和12b,所述两片薄膜压电元件50是这样安装到所述悬臂 件400的挠性件307上的所述两片薄膜压电元件50分别以弹性衬底层紧贴压 电元件安装区域350a、 350b的方式安装在所述挠性件307上，如通过粘结剂粘 结，然后将一片薄膜压电元件50的电触点51、 52分别与挠性件307上的压电 元件连接触点224、 225电性连接，将另一片薄膜压电元件50的电触点51、 52 分别与挠性件307上的压电元件连接触点227、 226电性连接，这些电性连接可 通过金属球焊接在相应的触点间而实现。图13为本发明》兹盘驱动单元的立体图。 所述磁盘驱动单元可以通过组装壳体1201、磁盘1202、用于旋转所述磁盘1202 的主轴马达1201音圈马达1206和具有本发明磁头折片组合300的驱动臂1204 来获得。因为磁盘驱动单元的结构和组装过程为本领域的一般技术人员所熟知， 所以在此省略关于其结构和组装的详细描述。以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的 限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变 化与修饰，均仍属于本发明技术方案的涵盖范围。
权利要求
1.一种薄膜压电元件，包括一层压电薄膜层，所述压电薄膜层为层状结构，包括第一电极层、第二电极层和夹设在所述第一电极层与第二电极层之间的压电层；过渡层，所述过渡层形成在所述第二电极层上；以及弹性衬底层，所述弹性衬底层形成在所述过渡层上。
2. 如权利要求1所述的薄膜压电元件，其特征在于所述弹性村底的材质 为环氧树脂或聚合物。
3. 如权利要求1所述的薄膜压电元件，其特征在于所述压电薄膜层的第 一电极层、压电层和第二电极层中任意两个相邻的层之间及/或第一电极层上形 成有过渡层。
4. 如权利要求3所述的薄膜压电元件，其特征在于所述过渡层的材质为 金属或金属氧化物。
5. 如权利要求4所述的薄膜压电元件，其特征在于所述过渡层的材质为 氧化锶或钛。
6. 如权利要求4所述的薄膜压电元件，其特征在于所述过渡层的厚度范 围为10-200埃。
7. —种薄膜压电元件的制造方法，包括以下步骤(1) 形成一层压电薄膜层，所述压电薄膜层是由第一电极层、压电层和第 二电极层层压而成，其中所述压电层夹设在所述第一电极层与第二电极层之间；(2) 在所述第二电极层上形成过渡层；以及 (3 )在所述过渡层上形成弹性衬底层。
8. 如权利要求7所述的薄膜压电元件的制造方法，其特征在于所述弹性衬底层的材质为环氧树脂或聚合物。
9. 如权利要求7所述的薄膜压电元件的制造方法，其特征在于所述步骤 (l)前还包括步骤在一晶片基底上形成过渡层，并将所述压电薄膜层的第一电极层形成在该晶片基底上的过渡层上，在步骤(3 )之后蚀刻掉所述晶片基底。
10. 如权利要求7所述的薄膜压电元件的制造方法，其特征在于所述步 骤(l)还包括在所述压电薄膜层的第一电极层、压电层和第二电极层中任意 两个相邻的层之间形成过渡层。
11. 如权利要求9或10所述的薄膜压电元件的制造方法，其特征在于 所述过渡层的材质为金属或金属氧化物。
12. 如权利要求11所述的薄膜压电元件的制造方法，其特征在于所述 过渡层的材质为氧化锶或钛。
13. 如权利要求11所述的制造薄膜压电元件的方法，其特征在于所述 过渡层的厚度范围为10-200埃。
14. 一种磁头折片组合，包括悬臂件，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件上设有压电元件安装区域；及薄膜压电元件，所述薄膜压电元件包括一层压电薄膜层、过渡层和弹性衬 底层，所述压电薄膜层为层状结构，包括第一电极层、第二电极层和夹设在所 述第一电极层与第二电极层之间的压电层；所述过渡层形成在所述第二电极层 上；所述弹性衬底层形成在所述过渡层上；所述第一电极层与第二电极层上分别设有向外伸出的电触点，所述薄膜压电元件以弹性衬底层紧贴压电元件安装 区域的方式安装在所述挠性件上，并通过所述电触点与所述挠性件电性连接。
15. 如权利要求14所述的磁头折片组合，其特征在于所述弹性村底层 的材质为环氧树脂或聚合物。
16. 如权利要求14所述的磁头折片组合，其特征在于所述压电薄膜层 的第一电极层、压电层和第二电极层中任意两个相邻的层之间及/或第一电极层 上形成有过渡层。
17. 如权利要求16所述的磁头折片组合，其特征在于所述过渡层的材 质为金属或金属氧化物。
18. 如权利要求17所述的磁头折片组合，其特征在于所述过渡层的材 质为氧化锶或钛。
19. 如权利要求17所述的磁头折片组合，其特征在于所述过渡层的厚 度范围为10-200埃。
20. —种磁盘驱动单元，包括 磁盘；驱动所述磁盘旋转的主轴马达； 驱动臂；以及连接并安装在所述驱动臂上的磁头折片组合，所述磁头折片组合包括悬臂件和薄膜压电元件，所述悬臂件包括挠性件，所述挠性件上设有压电元件安装区域， 所述薄膜压电元件包括一层压电薄膜层、过渡层和弹性衬底层，所述压电薄膜 层为层状结构，包括第一电极层、第二电极层和夹设在所述第一电极层与第二 电极层之间的压电层；所述过渡层形成在所述第二电极层上；所述弹性衬底层 形成在所述过渡层上；所述第一电极层与第二电极层上分别设有向外伸出的电述挠性件上，并通过所述电触点与所述挠性件电性连接。
全文摘要
本发明公开了一种薄膜压电元件，包括一层压电薄膜层、过渡层和弹性衬底层，所述压电薄膜层为层状结构，包括第一电极层、第二电极层和夹设在所述第一电极层与第二电极层之间的压电层，所述过渡层形成在所述第二电极层上，所述弹性衬底层形成在所述过渡层上。该薄膜压电元件为单层结构并具有弹性衬底层作为支撑，因而具有足够的刚度和柔性，其加工过程简单，安装等操作方便，并能够有效地避免薄膜剥离、变形，最终提高生产效率，降低生产成本。本发明同时公开了该薄膜压电元件的制造方法和具有该薄膜压电元件的磁头折片组合及磁盘驱动单元。
文档编号H01L41/22GK101615650SQ20081012502
公开日2009年12月30日 申请日期2008年6月23日 优先权日2008年6月23日
发明者姚明高, 林 郭 申请人:新科实业有限公司