真空加工器的制作方法

专利名称：真空加工器的制作方法
技术领域：
本发明涉及真空加工器。
背景技术：
在传统上，己将CVD装置、溅射装置或干蚀刻装置等真空加工器 用于制造半导体元件和电子部件。在这种装置中，将半导体衬底等加 工的对象放置在加工室内，且使内部加工室保持真空状态以进行薄膜 形成等处理。
如果颗粒附着至半导体衬底，则成品率下降。因而做出了各种对策。
日本专利申请特开第60-227421号、第2001-338906号和第 7-312363号已分别公开了一种在整个加工室上提供粘性镀层的技术。
日本专利申请特开第2001-259328号公开了一种在泵和加工室之 间提供过滤器的技术。此外，日本专利申请特开第2004-247680号公开 了这样一种技术使用在等离子体中诞生的电荷，凭借施加了电位的 电极来捕获在等离子体反应器中生成的颗粒。
此外，还提出了如日本专利申请特开第3-118815号和第 2007-180467号所公开的方案。在日本专利申请特开第3-11S815号中记 载的装置是这样构建的即以粘性材质来覆盖连接至真空容器的管道
内壁，并使该粘性材质吸收在管道内生成的灰尘。在日本专利申请特开第2007-180467号中，将绒絮体置于连接管道的内部，该连接管道用 于将衬底加工装置的加工室与排气泵连接。由例如纯净的毡子或氟乙 烯树脂毡子制成的绒絮体捕获颗粒。
近年来，为了使真空装置的真空容器的内部保持更髙度的真空， 已使用了具有涡轮分子泵(TMP)用的旋转叶片的泵，其被用作排空真空
容器的内部的泵。本发明人的研究表明在真空加工器中，附着在泵 外周的颗粒落在泵上并被泵旋转叶片反弹。泵旋转叶片以例如约36000 转/秒的高速旋转，因此颗粒很难落在泵上以穿过旋转叶片的翼。因此， 颗粒被泵旋转叶片反弹。虽然反弹的颗粒在管道内部到处反弹，但被 泵旋转叶片反弹的颗粒的速度很高。因而，认为管道中的粘性材质很 难被捕获。具体地，估计在日本专利申请特开第3-118815号中记载的 粘性材质对于高速地运动的颗粒将展现与刚体相同的运作，且颗粒将 弹性地散开。因此，认为颗粒将到达真空容器中的半导体衬底等，从 而对半导体元件的成品率造成不利效应。
然而，现已发现日本专利申请特开第3-118815号和2第 007-180467号所公开的真空加工器尽管提供了粘性材质或绒絮体，但 仍不能抑制成品率的劣化。
日本专利申请特开第2007-180467号所公开的真空加工器使用绒 絮体来捕获被泵旋转叶片反弹的颗粒。然而，从绒絮体会生成灰尘， 因此不能抑制半导体元件的成品率的劣化。在真空加工器中使用的绒 絮体是通过将一大张毡子裁剪成连接管道的尺寸从而获得的。因而， 绒絮体外周部的前端相当于要裁剪的部分。可以认为灰尘易于从要 裁剪的部分生成，因此不能抑制半导体元件的成品率的劣化。

发明内容
根据本发明， 一种真空加工器包括加工室；泵，其使所述加工
室的内部保持真空状态；连接部，其将所述加工室与所述泵连接并形 成为其中具有气体通道；和捕获部，其具有设置于所述连接部的内壁
以捕获穿过所述气体通道的颗粒的纤维物，所述纤维物具有朝向所述 通道的织布或无纺布的表面，并且所述织布或无纺布的外周部折叠至 背侧且所述外周部的前端叠合至所述背侧。
根据本发明，捕获部具有纤维物，其朝向连接部内的气体通道并 沿通道设置以捕获颗粒。在本发明中，被泵旋转叶片反弹的颗粒与捕 获部的纤维物相碰撞。此时，在构成纤维物的纤维之间捕获颗粒。
通过以这种方式在捕获部中提供朝向连接部内的气体通道的纤维 物，从而像使用传统的粘性材质那样，可抑制反弹颗粒，并可防止被 泵旋转叶片反弹的颗粒侵入加工室。这就可以抑制以真空加工器制造 的器件的成品率的劣化。
在本发明中，纤维物具有朝向通道的织布或无纺布的表面，织布 或无纺布的外周部折叠至背侧且该外周部的前端叠合至背侧。具体地， 在本发明中，构成纤维物的织布或无纺布的外周部前端叠合至背侧， 这就抑制了外周部前端的暴露。因而，可抑制从构成纤维物的织布或 无纺布的外周部前端生成的灰尘侵入通道以及进一步侵入加工室。这 就更好地抑制了以真空加工器制造的器件的成品率的劣化。
为了抑制颗粒的生成，认为通过给纤维物的织布或无纺布的外周 部注入聚酰亚胺树脂等具有较高的抗腐蚀性的树脂、从而使其坚固化。 然而，在这种情况下，注入树脂的部分对颗粒的捕获不起作用，进而 渗透深度变得难以控制，于是縮小了对颗粒的捕获有作用的面积。与 此相对，在本发明的情况下，将构成纤维物的织布或无纺布的外周部 前端叠合至背侧，这就抑制了对颗粒的捕获有作用的面积的縮小。


从以下结合附图的说明，本发明的上述和其它目的、优点和特征 将变得更明确，在附图中
图l是示出根据本发明的基本结构的真空加工器的示意图； 图2是示出泵旋转叶片的俯视图3示出泵旋转叶片和固定叶片之间的位置关系的示意图； 图4是示出捕获部的透视图； 图5是示出捕获部的支撑物的透视图； 图6是示出纤维物的俯视图7是示出颗粒被无纺布捕获这一状态的视图8是示出颗粒被织布捕获这一状态的视图9是根据本发明的第一实施例的机织物质的俯视图10是纤维物的剖面图ll是纤维物的俯视图12是根据本发明的第二实施例的纤维物的剖面图； 图13是示出颗粒未被一张织布捕获这一状态的图； 图14是示出颗粒被多张织布捕获这一状态的图；以及 图15是示出根据本发明的变形的支撑物的透视图。
具体实施例方式
下面根据附图来说明本发明的优选实施例。在全部附图中，按需 要将相同附图标记/字母用于相同组成部分，并不再重复其说明。
基本结构
参照图l，对真空加工器l的基本结构的概要做出说明。真空加工
器1包括加工室11和旋转叶片121(见图2和3)并进一步包括用于使加工 室11的内部保持真空状态的泵12和连接部13，该连接部13将加工室11 与泵12连接并形成为其中具有气体通道131。连接部13的内壁形成为具 有捕获部14，该捕获部14用于捕获连接部13内的通道131中的颗粒P。 捕获部14具有纤维物141，该纤维物141朝向连接部13内的通道131并沿 通道131设置。该纤维物141捕获颗粒P。
接下来，参照图1 8，对真空加工器l的基本结构详细地做出说明。
如图1所示，真空加工器l除加工室ll、泵12、连接部13和捕获部14外 还包括干泵15、阀门16和阀门控制器17。
泵12是涡轮分子泵(TMP)，并包括如图2和3所示的旋转叶片121和 固定叶片122。图2是泵旋转叶片121的俯视图，图3是示出旋转叶片121 和固定叶片122之间的位置关系的示意图。旋转叶片121和固定叶片122 是交替分层的，且旋转叶片121以朝向固定叶片122这样的状态而旋转， 从而从进气口向着出气口进行排气处理。旋转叶片121的旋转速度是例 如36000转/秒，并且旋转叶片121以非常高的速度旋转。
如图1所示，加工室ll是真空室，其内部具有例如半导体衬底等要 加工的对象S。加工室11中的半导体衬底S置于桌台111上。加工室ll的 内部由泵12来抽成真空，并且在加工室ll中进行例如等离子体蚀刻等 处理。
干泵15连接至泵12以排出要从泵12排出的气体。阀门16调整加工 室ll中的压力，并由阀门控制器17在图1中的垂直方向上驱动。阀门16 置于连接部13内部并置于泵12上。
连接部13将加工室11与泵12的进气口连接，并在其中具有气体通 道131。加工室11中的气体由泵12通过连接部13内的通道131排出。在 连接部13内的通道131中未设置阀门16的区域，设有捕获部14。
捕获部14捕获连接部13内的通道131中的颗粒P(例如约几纳米的
颗粒)。在清洁了例如在加工室ll内生成的沉淀物后，存在颗粒P。如图 4所示，捕获部14具有纤维物141和支撑纤维物141的支撑物142。
支撑物142具有与连接部13的内部形状对应的形状，并安装至连接
部13内的气体通道131中。支撑物142内的朝向气体通道131的表面形成 为具有孔隙。如图5所示，支撑物142由形状与连接部13的内部形状对 应的框架142构建。框架142组装为形成矩形平行六面体的3D空间。优 选地，框架142由例如金属或陶瓷制成，并更优选地，框架142由具有 高抗腐蚀性的材质制成。当支撑物142处在连接部13的内部时，气体通 道131位于支撑物142内部。
纤维物141置于框架142内部，沿气体通道131设置并朝向通道131。 如图4所示，纤维物141覆盖由框架142形成的矩形平行六面体3D空间的 顶面、底面和一对侧面。具体地，如图6所示，纤维物141包括分别覆 盖顶面和底面的平坦且呈矩形的纤维物141A和覆盖侧面的平坦且呈矩 形的纤维物141B。
纤维物141可由织布或无纺布制成，但优选具有无纺布。使用纤维 随机互相缠绕的无纺布增加了颗粒P的捕获率。无纺布和织布的组合使 用也可适用。按需要可根据颗粒P的尺寸来设定纤维物141的孔隙率、 孔隙直径和单位面积重量或质量(Metsuke)。具体地，也可设定孔隙 率、孔隙直径或单位面积重量或质量以捕获颗粒P。
按需要，可根据穿过连接部13的气体、即要在加工室ll中使用的 气体或用于清洁加工室11的气体的类型来适当地改变纤维物141的材 质。优选地，纤维物141的材质含有例如纤维素、玻璃纤维、氧化铝陶 瓷纤维(氧化铝纤维)和聚四氟乙烯纤维的任一种在内。另外，可含 有其中的至少2种材质。
当加工室11是RF蚀刻加工室时，主要是惰性气体穿过连接部13内 的通道131，因此，可使用包括纤维素的织布或无纺布作为纤维物141。
而且，当加工室ll是通过使用诸如氯和溴化氢等腐蚀性气体来生 成等离子体的蚀刻加工室时，可使用包括玻璃纤维、氧化铝陶瓷纤维
和聚四氟乙烯纤维的任一种在内的织布或无纺布作为纤维物141。另 外，当以氟气来生成等离子体时，可使用包括氧化铝陶瓷纤维的织布
或无纺布作为纤维物141。
如上述的纤维物141连接有连接片143。每个连接片143连接至各个 纤维物141的每侧。当每个连接片143将纤维物141连接至支撑物142的 内部时，每个连接片143向后折叠至支撑物142的外部，并将纤维物141 牢固地连接至支撑物142。可将夹子等连接在纤维物141背侧和连接至 纤维物141上的连接片143侧的每个面，以可拆卸地固定连接片143和纤 维物141的背侧。连接片143不仅可由与纤维物141相同的材质形成，还 可由与纤维物141不同的材质形成。
接下来，将说明捕获部14对颗粒P的捕获。在真空加工器l中，颗 粒P可附着在泵12的外周部。例如，如图1所示，颗粒P可附着在阀门16 上。颗粒P由于某种原因掉落并与泵12的旋转叶片121相碰撞。颗粒P被 泵12的旋转叶片121反弹，并在连接部13内的气体通道131中到处反弹。 泵12的旋转叶片121高速地旋转，因此颗粒P的速度很高。当颗粒P与捕 获部14设在连接部13内部的部分相碰撞时，如图7和8所示，颗粒P侵入 捕获部14的纤维物141，并与纤维物141的纤维之间互相缠绕。图7是由 无紡布制成的纤维物141的示意图，图8是由织布制成的纤维物141的示 意图。
接下来，将说明基本结构中的操作和优点。在基本结构中，将加 工室11与泵12连接的连接部13的内壁设有捕获部14，用于捕获连接部 13内的气体通道131中的颗粒P。捕获部14具有纤维物141，其朝向连接 部13内的气体通道131并沿通道131设置。被泵12的旋转叶片121反弹的 颗粒P与捕获部14的纤维物141相碰撞。此时，颗粒P侵入构成纤维物141 的纤维之间以被捕获。
如上述，捕获部14具有纤维物141，其朝向连接部13内的气体通道
131，因此抑制了颗粒P像在传统的粘性材质上那样反弹，并防止被泵 12的旋转叶片121反弹的颗粒P侵入加工室11。由此抑制了通过使用真 空加工器l所制造的物质的成品率的降低。
捕获部14具有支撑纤维物141的支撑物142。支撑物142连接至纤维 物141。通过将支撑物142安装至连接部13的内部，从而将捕获部14布 置在连接部13内部。这使得捕获部14可被容易地布置在连接部13中。 因为足以将捕获部14安装至连接部13中，所以与真空加工器l的传统布 置相比，更容易安装捕获部14。
作为将纤维物141连接至连接部13的内部的方法，可以有凭借粘胶 或双面胶带将纤维物141连接在连接部13上的方法。然而，在这种情况 下，会从粘胶或双面胶带中冒出气体。另一方面，将纤维物141连接至 由金属或陶瓷制成的支撑物142可避免生成气体。而且，通过将支撑物 142安装至连接部13的内部，可将捕获部14布置在连接部13内部。因而， 在进行真空加工器l的维护时，可容易地从连接部13去掉捕获部14。另 一方面，在使用粘胶或双面胶带的情况下，真空加工器l的维护需要去 掉粘胶或双面胶带，因此维护的可操作性会下降。
另外，通过将连接片143连接至纤维物141，并通过夹持等将连接 片143和纤维物141可拆卸地固定。例如当纤维物141捕获大量颗粒P时 通过夹持的可拆卸固定使得纤维物141可被容易地更换。
第一实施例
以下参照图9 11对本发明的第一实施例做出说明。在本实施例 中，如图9所示，纤维物241包括织布243，其具有朝向通道131的表面， 还包括无纺布242，其位于通道131侧上的表面覆盖有织布243。将织布 243的外周部折叠至无纺布242的背侧(也对应于织布243的背侧)，并将 织布243的外周部前端243A叠合至无纺布242的背侧。其它方面与上述 基本结构相同。
无纺布可由针刺法形成。要么可使用跨接法、热接法或化学接合法。在以上方法中，优选使用针刺法。无纺布242的某些材质难以造成 纤维间的熔合，因此难以由热接法形成无纺布。此外，由于无纺布242 中所含的许多杂质，使得使用诸如粘性树脂等粘胶的化学接合法会降 低以真空加工器l制造的物质的制造稳定性。另外，粘胶会被穿过通道 131的气体腐蚀。另一方面，不需要织物间熔合的针刺法可防止无纺布 的难以形成。另外，由针刺法通过纤维互相混和而形成的无纺布可防 止杂质的增加或粘胶的腐蚀。无纺布242是平坦且呈矩形的，并分别覆 盖其侧面空间或其上/下空间，该空间由基本结构一节中的框架142隔开。
织布243具有直接朝向通道131的表面。平坦且呈矩形的织布243 覆盖无纺布242的一面(通道131侧的表面)的整个表面，并且其外周部折 叠至无纺布242的另一面(背面)侧。如图10所示，将织布243的外周部前 端243A折叠至无纺布242的另一表面侧。也就是说，织布243的外周部 前端243A处在不暴露的状态下。在本实施例中，织布243的外周部前端 243A的整个外周都不暴露在无纺布242的另一表面侧。图10是图9所示 X-X方向上的剖面图。
例如，如果织布243是平织的，则优选地平均孔隙直径是0.05毫米 或以上。优选地，织布243的平均孔隙直径小于形成无纺布242的纤维 的平均长度，例如l毫米或以下。而且，在由针刺法制造无纺布242的 情况下，优选地，无纺布的长度小于在制造过程中由裁剪生成的多数短纤维的长度(在以针刺法裁剪后的短纤维平均值的3(7或以下)。更优选地，平均孔隙直径是0.1毫米或以上。更优选地，平均孔隙直径是0.5毫 米或以下。具体地，孔隙直径是0.3毫米或以上且0.7毫米或以下。更优 选地，使用平均孔隙直径约0.4毫米的织布243。优选地，织布243的孔 隙率是30%或以上。特别地，织布243的孔隙率是50%或以上并更优选 为70%。因为总体上是织布，所以孔隙率的上限受形成织物的单条纤维
积累的捻纱的粗细和平均孔隙直径的限制。
接下来，将对纤维物241的形成方法做出说明。如图11所示，将无
纺布242置于织布243的一面(背面)。就平面形状而言织布243比无纺布 242更大。因而，无纺布242的一面(前面)完全被织布243覆盖。其次， 在织布243的外周部中，将织布243的角部沿图11中的虚线A折叠至无纺 布242的未覆盖织布243—侧上的表面(另一面(背面))侧。另外，将织布 243的外周部沿虚线B折叠至无纺布242的另一面(背面)侧。随后，将织 布243的外周部沿虚线C叠合至无纺布242的另一面(背面)侧。因而，在 整个外周上，织布243的外周部的前端243A处在不暴露在无纺布242的 另一面(背面)侧上这样的状态下。在整个外周上，无纺布242的外周部 前端覆盖有织布243。接着，将织布243和无纺布242以纱线缝合。以上 处理产生了完整的纤维物241。
随后，以与基本结构相同的方式将连接片143连接在纤维物241上， 并使用连接片143将纤维物241固定在支撑物142上。此时，纤维物241 固定在支撑物142上，以使纤维物241的具有无暴露的无纺布242的、且 完整覆盖有织布243的表面朝向连接部13内的气体通道131。以上步骤 形成了完整的捕获部。
作为根据本实施例的无纺布242和织布243的材质，可使用与上述 基本结构的纤维物141相同的材质。例如，可使用纤维素、玻璃纤维、 氧化铝陶瓷纤维或聚四氟乙烯纤维。无纺布242和织布243可由彼此不 同的材质形成或由相同材质形成。用于缝合无纺布242和织布243的纱 线可使用与无纺布242和织布243相同的材质。
上述实施例展现了与基本结构相同的操作和优点以及以下优点 在本实施例中，无纺布242的一面完全覆盖有织布243。当颗粒P碰撞时， 如图7所示，处在纤维随机互相缠绕这一状态下的无纺布242不使颗粒P 反弹而互相缠绕着颗粒，从而完全捕获颗粒P。然而，因为无纺布242
不由纺织纤维形成，所以，形成无纺布242的纤维会从无纺布242上掉落。
通过以织布243覆盖无纺布242的一面，从而抑制无纺布242的纤维 掉落。形成无纺布242 (—般由针刺法、热接法或化学接合法形成)的 纤维长度长于l毫米，因此织布243的平均孔隙直径是1毫米或以下，特 别是0.5毫米或以下，于是防止无纺布242的纤维脱落。在由针刺法制造 无纺布242的情况下，由于由针刺法裁剪后变短的纤维长度约l毫米， 因而织布243的平均孔隙直径为1毫米或以下，特别是0.5毫米或以下， 于是完全防止无纺布242的纤维脱落。
另一方面，在织布243的平均孔隙直径很小的情况下，颗粒P与织 布243的纱线相碰撞并在织布243的表面上反弹的概率将比颗粒P穿过 织布243并结合在内部的无纺布242中这一情况下要变得更高。因而， 通过将织布243的平均孔隙直径设定在0.05毫米或以上、特别是0.1毫米 或以上，可以抑制颗粒P被织布243反弹。此外，通过将织布243的孔隙 率设定在30%或以上、特别是50%或以上，可以使颗粒P完全穿过织布 243并被无纺布242完全捕获。
另外，通过形成平织织布243，容易达到上述的平均孔隙直径和孔 隙率这两者。
在本实施例中，将织布243的外周部前端243A叠合至无纺布242侧， 以保持外周部前端243A处于不暴露至表面的状态下。织布243的外周部 前端243A对应于织布243的裁剪部分，并且形成织布243的纱线的末端 保持在暴露的状态。因而，从织布243的外周部前端243A会出现诸如纱 线灰尘等灰尘。
在本实施例中发现将织布243的外周部前端243A叠合，以保持在 不暴露的状态下，于是抑制诸如纱线灰尘等灰尘从织布243的生成。特
别地，在本实施例中，在形成纤维物241时，将织布243的角部沿虚线A 折叠至无纺布242侧。因而，在织布243的外周部前端243A中，形成织 布243的角部的部分不暴露，于是完全抑制诸如纱线灰尘等灰尘从织布 243的生成。
另外，在本实施例中，将织布243的外周部折叠至无纺布242的背 侧，因此无纺布242的外周部前端的整个外周都覆盖有织布243，于是 抑制灰尘从无纺布242的外周部前端的生成。
此外，可设想这样的方法通过给织布243的外周部前端243A注入 诸如聚酰亚胺树脂等具有较高的抗腐蚀性的树脂，从而固定该前端 243A。然而，在这种情况下，即使树脂具有较高的抗腐蚀性，就抗腐 蚀性而言也比诸如氧化铝纤维等形成织布243的纤维要逊色一点。而 且，注有树脂的部分对颗粒P的捕获不起作用，且难以控制其注入宽度， 因此对颗粒P的捕获有作用的面积减小。另一方面，在本实施例中，将 织布243的外周部前端243A折叠起来可在纤维物241的几乎整个表面上 对颗粒P的捕获有作用。
第二实施例
以下参照图12来说明本发明的第二实施例。在第一实施例中，纤 维物241具有无纺布242和织布243。另一方面，在本实施例中，纤维物 441具有第一织布443，其具有朝向通道131的表面，并具有第二织布 442，其位于通道131侧上的表面覆盖有第一织布443。其它方面与上述 第一实施例相同。
第一织布443在通道131侧上覆盖着第二织布442的一面的整个表 面，并将其外周部折叠至第二织布442的另一面(第二织布442的背面， 也对应于第一织布443的背侧)，并将第一织布443的外周部前端叠合至 第二织布442的另一面侧。根据本实施例将第一织布443的外周部折叠 起来的方法与根据第一实施例的织布243的情况相同。具体地，在本实
施例中同样地，第一织布443的外周部前端的整个外周都不暴露。第二
织布442的外周部前端在整个外周上都覆盖有第一织布443。
第二织布442可以是单张、或如图12所示，可以是例如3张织布 442A 442C这样的多张的分层体。在由一张织布形成第二织布442时， 优选地，其孔隙率小于第一织布443的孔隙率。
形成第二织布442的织布442A 442C和第一织布443的孔隙率分 别是30%或以上、优选为50%或以上且更优选为70%或以上。此外，为 了完好地防止颗粒反弹，优选地，形成各织布442A 442C以及443的纱 线在纵向不完全重叠。第二织布442是由织布442A 442C这3张中的一 张形成的斜织布以及由另外2张形成的平织布。第二织布442和第一织 布443的材质可使用与在基本结构一节和上述实施例中说明的相同材 质。第二织布442和第一织布443可由不同的材质形成或由相同材质形 成。此外，织布442A 442C可由彼此不同的材质形成或由相同材质形 成。
第二实施例提供了与第一实施例大致相同的优点以及以下优点 在本实施例中，纤维物是通过对多张织布进行层压而形成的，于是增 加了颗粒P的捕获率。如图13所示，在一张织布141C的情况下，侵入织 布141C的纱线之间的孔隙的颗粒P反弹并会弹出孔隙。另一方面，如图 14所示，通过对多张织布443、 442进行层压，可抑制颗粒P侵入织布的 层压体内部、反弹、与上层的织布443的纱线相碰撞并弹出纤维物。特 别地，纱线在纵向上不完全的重叠可进一步增加颗粒P的捕获率。
应当理解本发明不限于前述实施例，并且不脱离本发明的精神
和范围而可做出本发明的各种修改和变形。例如，上述各实施例使用 框架142作为支撑物，但不限于此。例如，如图15所示，可使用无底管 形支撑物342，其形状对应于连接部的内部形状。在这种情况下，支撑 物342的孔隙被设置为朝向气体通道131。支撑物342足以由平板或陶瓷
等材质形成为管形。纤维物141、 241、 441布置在支撑物342内部，并 将连接片143向后折叠至支撑物342的外部。图15所示的支撑物342可由 与纤维物141、 241、 441相同的材质形成。支撑物342由粗而刚硬的纤 维材质形成为管形。在这种情况下，将纤维物141、 241、 441缝合在支 撑物342的内部。
在上述基本结构和各实施例中，将纤维物141、 241、 441布置在框 架142内部，但不限于此。纤维物也可以位于框架142的外部。
在这种情况下，连接片143穿过框架142的框架142内部(气体通道 131侧)，从框架142伸出并向后折叠至框架142的外部。然而，如上述各 实施例中可见，通过将纤维物141、 241、 441布置在框架142内部，可 防止颗粒P与框架142相碰撞。
上述基本结构和各实施例使用支撑纤维物141、 241、 441的支撑物 142，但不限于此。也可使用双面胶带或粘胶而将纤维物连接在连接部 13的内壁上。然而，如果双面胶带或粘胶的抗腐蚀性不足，则维护的 频率会变得很高。此外，在使用粘胶或双面胶带的情况下，需要从连 接部13的内壁上去掉纤维物，因此维护的可操作性会下降。然而，可 减少捕获部的结构组件数。
在上述各实施例中，已使用无纺布和织布的层压体或多张织布的 层压体作为纤维物241、 441，但不限于此。纤维物可由一张无纺布或 织布形成。根据第一实施例的无纺布的张数不限于一张，而是可使用 多张。此外，作为纤维物，可使用通过对多张无纺布进行层压而形成 的层压体。另外，已说明过在第一实施例中，无纺布最好是由针刺 法形成，但不限于此。无纺布可根据以下任何方法来形成 一种方法 是在将空气施加至分散前切成几厘米的长纤维后，施加水份以增加密 度来进行夹层和晾干， 一种方法是将长纤维分散在水中，像纸张偏置 那样进行偏置，以一定程度的高密度将纤维形成为片状，并在晾干前
进行夹层，或者一种方法是通过取代针刺而使用大量细而高速的水流、 从而使纤维互相缠绕。
很明显，本发明不限于上述实施例，而是可在不脱离本发明的范 围和精神的情况下进行修改和改变。
权利要求
1.一种真空加工器，包括加工室；泵，其使所述加工室的内部保持真空状态；连接部，其将所述加工室与所述泵连接，并在所述连接部内部具有气体通道；和捕获部，其具有设置于所述连接部的内壁以捕获穿过所述气体通道的颗粒的纤维物，其中所述纤维物具有面向所述通道的织布或无纺布的表面，并且所述织布或无纺布的外周部折叠至背侧且所述外周部的前端叠合至所述背侧。
2. 根据权利要求l所述的真空加工器，其中 所述纤维物包括选自织布和无纺布中的多张。
3. 根据权利要求2所述的真空加工器，其中 所述纤维物包括具有面向所述通道的表面的织布，和 具有位于所述通道侧且由所述织布覆盖的表面的无纺布， 所述织布的外周部折叠至所述无纺布的背侧，并且 所述织布的外周部前端叠合至所述背侧。
4. 根据权利要求3所述的真空加工器，其中所述纤维物的所述织布的平均孔隙直径是0.05毫米或以上且1毫 米或以下。
5. 根据权利要求3所述的真空加工器，其中 所述纤维物的所述织布的孔隙率是30%或以上。
6. 根据权利要求3所述的真空加工器，其中 所述无纺布是通过针刺法获得的。
7. 根据权利要求2所述的真空加工器，其中 所述纤维物包括具有面向所述通道的表面的第一织布，和 具有位于所述通道侧且由所述第一织布覆盖的表面的第二织布， 将所述第一织布的外周部折叠至所述第二织布的背侧，并且 所述第一织布的外周部前端叠合至所述第二织布的背侧。
8. 根据权利要求7所述的真空加工器，其中 所述第二织布由多张织布形成。
9. 根据权利要求l所述的真空加工器，其中所述织布或所述无纺布包括选自纤维素、玻璃纤维、氧化铝陶瓷 纤维和聚四氟乙烯纤维中的至少 一 种纤维。
10. 根据权利要求l所述的真空加工器，其中 所述捕获部包括所述纤维物，和支撑物，其设置于所述连接部的所述气体通道中，在面向所述气 体通道的表面上具有孔隙，并支撑所述纤维物。
11. 根据权利要求io所述的真空加工器，其中所述支撑物具有与所述连接部的内部形状相符的框架，并且 所述纤维物放置于所述框架上。
12. 根据权利要求10所述的真空加工器，其中 所述支撑物具有与所述连接部的内部形状相符的形状，并且是具有面向所述气体通道的开口面的无底管形体，并且 所述纤维物设置为覆盖所述支撑物的内表面。
13. 根据权利要求ll所述的真空加工器，其中所述纤维物设有连接片，其从所述支撑物伸出，向后折叠至所述 支撑物的外部，并将所述纤维物连接至所述支撑物。
14. 根据权利要求13所述的真空加工器，其中 所述支撑物具有与所述连接部的内部形状相符的框架， 所述纤维物放置于所述框架上，并且所述连接片从所述框架伸出，向后折叠至所述框架的外部，并可 拆卸地固定在所述纤维物的背后。
15. 根据权利要求l所述的真空加工器，其中 所述泵包括旋转叶片。
全文摘要
一种真空加工器包括加工室；泵，其使所述加工室的内部保持真空状态；连接部，其将所述加工室与所述泵连接并形成为其中具有气体通道。所述连接部的内壁设有捕获部，其捕获所述通道的颗粒。该捕获部具有朝向所述通道并沿所述通道设置的纤维物。提供该捕获部以捕获颗粒。将所述纤维物的织布的外周部折叠至无纺布的背侧，并将所述织布的外周部的前端叠合至所述无纺布的背侧。
文档编号H01L21/205GK101369527SQ20081021064
公开日2009年2月18日 申请日期2008年8月13日 优先权日2007年8月13日
发明者佐藤史英 申请人:恩益禧电子股份有限公司