专利名称：图案化方法和场效应晶体管的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种图案化方法。尤其是该方法意图能够制造最小可 能的最小特征尺寸，也就是说小于一百纳米或甚至小于五十纳米的特 征尺寸。
背景技术：
为了制造小于光刻法中所使用的电磁波波长一半的特征尺寸，特 别可以使用以下方法
-间隔技术，其中在台阶上沉积一层且随后对该层进行各向同性 蚀刻，
-所谓的相移掩模，其利用干涉效应，以及
-所谓的修整，其中为了减小其尺寸，各向同性地蚀刻该结构。
发明内容
本发明的一个目的在于具体说明一种简单的图案化方法，其尤其 能够制造小于光刻波长一半、尤其是小于一百纳米或小于五十纳米的 最小尺寸。而且，该方法意在尤其还提供增加具有最小特征尺寸结构
的机械载荷能力的可能性。而且，意在具体说明场效应晶体管，尤其 是双翼场效应晶体管。
借助具有专利权利要求l中所具体说明的特征的方法来实现涉及 该方法的目的。在从属权利要求中具体说明了多个设计。
本发明基于与不利性有关的所有公知方法的考虑。由此，间隔技 术引起圆滑的间隔，其不利地影响了以间隔物蚀刻的结构的尺寸精确 性。相移掩模相比没有采用干涉效应的光掩模非常昂贵。修整会引起 由于非均匀蚀刻条件导致的尺寸上不精确的相对粗糙的结构。
在根据本发明的方法的情况下，在不限制所具体说明的顺序的情
况下进行以下的方法步骤
-将辅助层施加到载体材料，该辅助层是无机层或有机层，尤其 是抗蚀剂层，
-利用制造切口来图案化辅助层和载体材料，
-在辅助层的区域中扩展切口，载体材料区域中的切口未被扩展 或未被扩展至和辅助层的区域中一样大的程度，
-用填充材料填充扩展的切口 ，
-优选在填充之后完全移除辅助层，
-利用填充材料和制造至少一个另外的切口来图案化载体材料， 填充材料是无机材料或有机材料，例如抗蚀剂。
由此具体说明一种另一图案化方法，其允许以简单方式制造的非 常小且尺寸非常精确的结构。在一个改进中，借助回蚀刻步骤进行切 口的扩展，其还称作回拉(pull-back)步骤。该延伸产生了具有T形 接面的切口。因此，引入到切口中的填充材料也具有T形截面，也就 是说截面朝着一端对称地扩展。
该扩展也可以借助另外的掩模步骤，尤其是借助另外的光刻方法 限定为切口边缘的一部分，因此，尤其是每个切口仅制造一个结构。 其经常不是扰动的原因，然而，如果每个切口出现两个或两个以上的 结构，则不需要另外的掩模步骤。尤其是，通过适当地选择切口的尺 寸可以避免附加的掩模步骤。
在一个设计中，为了借助光刻法制造切口，图案化辅助层和载体 材料。该光刻限制了切口的最小横向尺寸和由此要制造的结构之间的 尺寸。然而，这是可接受的，因为在许多情况下结构之间的距离显著 地大于结构本身的最小特征尺寸。如果辅助层是抗蚀剂层，则使用中 间层，以便首先仅移除上部的抗蚀剂层而不是辅助层。
在另一设计中，例如借助CMP法，在重复的图案化之前平坦化填 充材料，以获得尺寸精确的填充结构和由此尺寸精确的随后图案化。 然而，代替平坦化，还能够使用其它方法，例如具有选择性氧化的选 择性填充。
在根据本发明的方法的另一设计中，载体材料包含硬掩模层，其 借助填充材料图案化。掩模层例如对于其部分用于图案化村底，例如 用于制造半导体电路，尤其是制造例如由多晶硅制成的、由金属制成
的或由金属和多晶硅的层序列制成的栅电极。然而，硬掩模层还用于
制造所谓的模板掩模，也就是说随后用于进行光刻法例如具有1:1成 像比例的电子投影光刻的掩模。硬掩模层相比抗蚀剂更能抵抗蚀刻攻 击。
位于掩模层和辅助层之间的例如仅是相比掩模层或辅助层薄且厚 度例如小于两层中较薄的三分之一的中间层。中间层例如用于更好的 机械粘接性或用于承受机械应力。
在可替换的设计中，载体材料包含半导体材料，尤其是单晶半导 体材料，由该半导体材料制备半导体电路或掩模。切口则例如已经限 定了 f inFET的翼的一个侧面区域。
在下一个设计中，在填充之前在扩展的切口中沉积或生长至少一 层，尤其是用于制造栅电介质的电绝缘层和用于制造场效应晶体管的 栅电极的导电层。对于引入到切口中的层的一部分可以通过根据本发 明的方法来图案化，以便以简单的方式制造短的栅极长度。
在下一个设计中，在移除用于图案化的填充材料之前，用另外的 填充材料来填充位于横靠着填充有填充材料的切口的另外的切口 。直 至在填充了另外的切口之后，才移除用于图案化的填充材料，以便在 任何时间横向地支撑两个切口之间的薄结构。因此，可以倾倒或横向 倾斜所述的结构。
在可替换的设计中，仅从切口中部分地移除填充材料，切口底部 的一个部分未被覆盖，且切口底部的另一部分保持用填充材料覆盖。
填充材料的剩余物用作机械支撑且未被移除直至在进行了另一方法步 骤之后，例如在沉积至少一个另一层之后或者在进行氧化之后。作为 可替换方案，填充材料的剩余物保留在集成电路结构中。
在另 一设计中，在切口和另外的切口之间的区域中氧化半导体材 料，以提高晶体管的电特性，尤其是避免漏极和/或源极接触焊盘下面 的寄生电容。优选在从切口移除填充材料之前或者从切口完全移除填 充材料之前、以及优选在另外的切口的至少一个侧壁上制造氧化物保 护层之后，来进行氧化。填充材料由此支撑在氧化物生长下方的上述 结构。在翼与欠氧化期间制造的氧化物完全绝缘的情况下，产生了 SOI 结构，其制造简单且导致具有卓越电特性的元件。
尤其是在场效应晶体管的情况下需要小的最小特征尺寸。因此，
计中的一个制造的场效应晶体管，以便在该情况下可应用上述的技术 效果。与单翼场效应晶体管相比，根据本发明的双翼场效应晶体管的 特征为开发新应用可能性的提高的和新的电特性。还制造了每个晶体 管具有两个以上的翼，例如具有三、四或五个翼的场效应晶体管。
在根据本发明的另一场效应晶体管中，例如翼是热欠氧化的且优 选与硅晶片完全电绝缘。如果关于机械稳定性，这种晶体管则可以以 简单的方式制造，例如由在借助包含在切口中的填充材料图案化之后 施加的填充材料或另一填充材料在壁上一直支撑该翼。
在场效应晶体管的 一个设计中，晶体管的有源区的突起具有不同 长度的侧壁，该差大于一纳米、大于三纳米或大于五纳米。这提供了 在具有较大容差的第一图案化期间和第二图案化期间实施蚀刻停止的 可能性。而且，促进了突起的欠氧化。
以下参考
本发明的示范性实施例，在附图中 图1A至1D示出了制造硬掩模或直接图案化半导体衬底的示范性实 施例的制造阶段，
图2A至2D示出了制造具有和不具有欠氧化的双翼场效应晶体管的
示范性实施例的制造阶段，以及
图3A和3B示出了制造双翼场效应晶体管的进一步的制造阶段。
具体实施例方式
图1A至1D示出了制造硬掩模或直接图案化半导体村底的示范性实 施例的制造阶段。首先说明硬掩模的制造。
硬掩模层12施加在半导体衬底10上，例如在硅晶片上，该硬掩模 层的厚度例如取决于随后利用完成的硬掩模所制造的结构的高度。借 助实例，硬掩模层12的厚度与finFET的栅的高度或翼的高度相匹配。 在示范性实施例中，硬掩模层12的厚度例如为40纳米。
然后将辅助层14施加到硬掩模层12上，所述的辅助层包括不同于 硬掩模层12的材料。借助实例，硬掩模层12包括TE0S(原硅酸四乙酯)， 辅助层14包括氮化硅或一些其它氮化物。在可选的示范性实施例中，相反地，硬掩模层12包括氮化物，辅助层14包括TE0S。任选地，在施 加硬掩模层12之后施加薄的中间层或中间层序列。然后将辅助层14施 加到中间层或中间层序列上。在示范性实施例中，辅助层14具有五十 纳米至一百纳米范围内的厚度。
随后将抗蚀剂层16,例如光致抗蚀剂施加到辅助层14上，借助实 例，任选地已预先施加了薄的抗反射层。随后根据图案对抗蚀剂层16 照射、尤其是膝光并进行显影。由于要制造的最小特征尺寸大于一百 纳米或至少大于五十纳米，所以光刻法是非临界的。图案例如是具有 用于之后的源和漏接触焊盘的任选延伸部分的矩形区。
随后借助各向异性蚀刻法，例如借助反应离子蚀刻(RIE)，根据 抗蚀剂层16对辅助层14进行图案化，制造了切口18。随后借助各向异 性蚀刻法，使切口18同样适当地延伸到硬掩模层12中，以便切口的底 部到达远至半导体村底IO。半导体村底10例如用作蚀刻停止。优选地， 蚀刻条件在蚀刻切口18期间保持相同，且没有任何中断地实现了蚀刻。 其后，在一个示范性实施例中，移除了已留在预图案化的辅助层14上 的抗蚀剂层16的残留物。在另一示范性实施例中，抗蚀剂结构保留在 辅助层14上。在切口12的蚀刻期间，在另一示范性实施例中，如果由 于切口18的深度而已经移除了抗蚀剂层16，则辅助层14也用作掩模。
如图1B所示，进行各向同性回蚀刻辅助层14的步骤，相对于硬掩 模层12与方向无关地且选择性地减薄辅助层14，以形成辅助层14b。在 该情况下，如果仍存在抗蚀剂层16，则抗蚀剂层16用作辅助层14的保 护且防止该层被减薄。在该情况下随后移除抗蚀剂层16。然而，总是 横向地回蚀刻辅助层14。在该情况下，切口18在辅助层14b的区域中延 伸以形成切口18b。在硬掩模层12的区域中，相反地，切口18b的尺寸 相比于切口18没有改变。在硬掩模层12和图案化的辅助层14b之间的边 界平面处，位于近似平行于切口18底部的区域20出现在切口18中，在 回蚀刻期间从该区域中移除辅助层。借助实例，该工艺实现了回蚀刻 小于五十纳米或小于二十纳米，以便区域20也具有相应的最小尺寸。 由于扩展而使切口18b具有T形截面。由此回蚀刻的量确定了要制造的 最小特征尺寸。
同样如图1B所示，随后用填充材料22填充延伸的切口18b，关于它 的材料组分其不同于硬掩模层12的材料，也不同于减薄的辅助层14b的
材料。借助实例，使用碳化硅或多晶硅作为填充材料。在填充了切口
18b之后，进行平坦化步骤，在其期间辅助层14b用作停止层。借助实 例，依靠CMP法(化学机械抛光)或整个区域蚀刻工艺实现平坦化，
然后借助湿法化学或干法化学蚀刻法，相对于硬掩模层12选择性 地以及相对于填充材料22选择性地移除减薄的辅助层14b的残留物。填 充材料22的突起24留在区域20的上方，该突起覆盖在要形成硬掩模的 区域中的硬掩模层12的一部分。
如图1 C所示，在例如借助各向异性蚀刻法图案化硬掩模层12期间， 突起24随后用作掩模。在图案化硬掩模层12期间，借助实例，半导体 衬底10用作蚀刻停止。硬掩模区域26出现在突起24下面。
如图1D所示，例如随后借助干法化学蚀刻工艺或借助湿法化学蚀 刻工艺移除填充材料20。结果，硬掩模区域26自由地竖立，且可以用 于半导体衬底10的图案化。硬掩模区域26彼此靠近设置，且具有亚光 刻的且尤其位于5纳米至50纳米范围内的翼宽度的最小尺寸A。
然后可以根据常规方法制造finFET。制造finFET的下一个步骤构 成f inFET的翼的制造。
如果平面场效应晶体管意在借助硬掩模区域26制造，则代替半导 体村底IO，使用由包含例如多晶硅层和电介质作为栅极叠层的衬底制 成，其是借助硬掩模区域26图案化的以形成栅电极。
可替换的示范性实施例包括执行具有与如上参考图1A至1D所述的 方法步骤相同的方法。然而，代替硬掩模层12存在半导体衬底，参见 虚线28。然而，以时控的方式蚀刻切口18。还以时控的方式进行4吏用 填充材料作为掩模的蚀刻步骤。由此会出现具有不同高度的硬掩模区 域26的侧壁，例如参见图2D。然而，相对于在时控蚀刻期间的较大容 差，由于出现的不对称而仅无关紧要地损害了例如FET的电特性，所以 几纳米的高度差是可接受的。
图2A至2D示出了制造具有和不具有欠氧化的双翼场效应晶体管的 示范性实施例的制造阶段。首先说明不具有欠氧化的示范性实施例。
在具有或不具有中间沉积的薄中间层或薄中间层序列的情况下， 将辅助层14c,例如氧化物层，尤其是氧化硅层，或氮化物层，尤其是 氮化硅层施加到半导体衬底10c上。借助抗蚀剂层16c以光刻法图案化 辅助层14c，制造了切口18c。利用构图的抗蚀剂层16c和任选地利用辅
助层14c作为掩模，使切口18c适当延伸到半导体衬底10c中。如果合适， 则可随后移除仍存在的抗蚀剂层16c的残留物。实现了回蚀刻步骤，在 此期间辅助层14c变成减薄的辅助层14d，其由于半导体村底的区域20c 在延伸的切口 18d的上部中未被覆盖，所以其覆盖了比辅助层14c更小 的区域。关于此细节，参考关于图1A的说明。
如图M所示，在制造切口18d之后，首先例如通过热氧化或沉积法 制造电绝缘的薄绝缘层50。绝缘层50包括例如二氧化硅或具有相对介 电常数比二氧化硅的相对介电常数的值3. 9更大的材料。绝缘层50的电 学厚度例如小于25纳米，例如5纳米。
其后，将薄的栅电极层52施加到绝缘层50上，所述的栅电极层例 如包括金属或包含金属。作为备选方案，栅电极层52包括重掺杂多晶 硅。栅电极层52的厚度例如小于25纳米。
在制造栅电极层52之后，将填充材料22c例如导电材料，例如掺杂 的硅，或电绝缘材料例如氧化物施加到栅电极层52上。这之后是平坦 化，停止于辅助层14d上。借助实例，通过CMP法实现平坦化。平坦化 之后，绝缘层50、栅电极层52和填充材料22c仍仅存在于切口18d内。
平坦化之后，相对于半导体村底10c、相对于填充材料22c、相对 于栅电极层52选择性地、以至于还可能相对于绝缘层50选择性地移除 辅助层14d。
如图K所示，随后以各向异性蚀刻法，借助切口18d中填充材料的 突起54来制造翼56。如果合适，则各向异性蚀刻会引起切口18d的底部 和位于切口 18d外部的平行于切口 18d底部的衬底区之间例如约5纳米 的高度差D。翼56的自由侧面优选比限定切口18c的翼56的侧面进入半 导体衬底10c中更深。
此外如图2C所示，在翼56的未覆盖侧面区域上和未覆盖的半导体 衬底10c上制造具有与绝缘层50相同材料组分和相同层厚度的绝缘层 60。在翼56的区域中两个绝缘层50和52用作双翼场效应晶体管的栅极 电介质。
随后将包括与栅电极层52相同的材料且具有与其相同厚度的另外 的栅电极层62施加到绝缘层60上。
在这一时间点，翼56已经净皮栅极电介质50、 62和薄的栅电极52、 62围绕，然而，其仍未被图案化。薄的栅电极60、 62和填充材料22c用
作超薄翼56的机械支撑。
如图2D所示，在示范性实施例中，在移除由氧化物制成的填充材 料22c之前，施加栅极材料70，例如掺杂的硅，尤其是多晶硅。于是实 现了平坦化，填充材料22c用作停止。其后仅仅是移除填充材料22c并 由栅极材料72、例如由多晶硅代替。因此，翼56被一直足够机械地保 护。
如图2D所示，然后对栅极材料70、 72和栅电极层52、 62进行图案 化。借助实例，为此目的使用了光刻法和/或间隔技术。任选地使用硬 掩模74。此外为了减小栅极长度，任选地进行修整硬掩模74的步骤。 作为替换方案，可使用电子束光刻。
在另一示范性实施例中，在施加栅极材料70c之前，仅在翼56的中 心区中利用附加的光刻法移除填充材料22c。相反，在翼56的两端，填 充材料22保持为支撑。然后同时沉积栅极材料70和72，以便对于平坦 化栅极材料仅需要一个平坦化步骤。
随后例如利用根据第一示范性实施例的硬掩模或借助光刻步骤来 图案化栅极，用于制造最小的特征尺寸。
如由图2C中的虚线所示，在另一示范性实施例中，在制造绝缘膜 62之后沉积薄的氧化保护层80。随后实现各向异性蚀刻，以便氧化保 护层80仅留在远离切口18d的翼56的侧壁上。各向异性蚀刻实现了远至 半导体衬底10c的蚀刻。借助实例，RIE适合于各向异性蚀刻。
如由图2C中的虚线进一步所示的，然后进行半导体衬底10c的热氧 化，氧化物区82形成在半导体衬底10c的未覆盖区和翼56的基底处，所 述的氧化区使翼56与半导体衬底10c电绝缘。
如果距离D在氧化之前已经总计为几纳米，则促进了翼56的欠氧 化。附加的或作为可替换方案，在氧化物保护层的各向异性蚀刻期间， 也能够进一步蚀刻到半导体衬底10c中，例如大于5纳米。此外作为可 替换方案或附加的，如果在氧化之前各向同性地蚀刻半导体衬底10c， 则促进了欠氧化，在每种情况下都将切口制造在翼56的下面，但翼56 没有与半导体衬底10c完全地分离开。在可以进行的翼的欠氧化和各向 同性欠切割期间，由填充材料22c形成用于翼56的机械支撑，所述的填 充材料仍没有从切口 18d移除或已经仅在切口 18d的部分区域中被移 除。
另一方法实施对应于参考图2D说明的方法，也就是说，根据所述 的方法中之一施加填充材料7 0和7 2 。
图3A和3B进一步示出了用于制造双翼场效应晶体管100的制造阶 段。图3A示出了在如上所述的图案化栅极叠层之后的晶体管100。栅电 极体现为翼56上方的窄带72a的形式。位于带端部的是例如用于连接栅 极的正方形接触区。栅极长度由带的宽度给出，且在每种情况下假定6 纳米的翼56的宽度，则例如为20纳米。
如图3B中所示，随后进行的包括例如借助随后的各向异性回蚀刻 的CVD法(化学汽相沉积)的热氧化或氧化物沉积，氧化物间隔102形 成在翼56的未覆盖区和栅极材料72a的未覆盖侧面。氧化物间隔102随 后使栅极材料与源极连接材料和/或与漏极连接材料绝缘，尤其地。代 替氧化物间隔，还能够使用由不同材料例如氮化物间隔、特别是氮化 硅间隔制成的间隔。
下一个步骤包括实现用于源极延伸和/或漏极延伸的具有相对低 掺杂剂浓度的任选注入。例如朝着与半导体衬底10c的有源表面垂直的 方向或相反的方向，倾斜地进行该注入。在进一步氧化和用于制造另 外间隔的回蚀刻步骤之后，注入用于源区和/或漏区的连接区，比注 入前更高的掺杂剂浓度。同样例如与法线的方向倾斜或相反地进行第 二注入。
随后制造漏和源极接触孔104和106。产生双翼场效应晶体管IOO， 其具有紧密相邻的翼和亚光刻翼宽度。借助实例，在源极连接区104或 106的制造期间进行以下步骤
-通过施加金属用于硅化物形成、选择性硅化和非硅化金属的移 除，根据硅化物技术的自对准硅化物制造。在该情况下，例如通过在 欠氧化期间制造的氧化物或通过代替欠氧化层施加的另外施加的氧化 物层，在平面衬底基区域上防止硅化物形成。
-平坦化，例如通过施加电介质，例如氧化物，之后例如是CMP平 坦化。
-制造到连接区的接触孔104、 106。
根据图1A至1D的方法能够实现更深的结构或具有更高侧壁的结 构，以便与根据图2A至2D的方法相比更容易地被蚀刻。
利用相同的方法步骤，如果借助相关区域中的修整掩模来移除翼， 还能够制造单翼场效应晶体管。
权利要求
1.一种场效应晶体管(100)，具有两个沟道连接区(104、106)，具有包含至少两个控制区部分的控制区(52、62)，具有有源区，该有源区形成为单晶衬底(10c)的突起(56)，且一方面布置在沟道连接区(104、106)之间，另一方面布置在两个控制区部分之间，以及具有电绝缘且布置在控制区部分和有源区(56)之间的绝缘区(50、60)，突起(56)与衬底(10c)在其基部通过电绝缘的绝缘材料(82)隔离，以及绝缘材料(82)横向地终止于单晶衬底(10c)中的突起(56)处。
2. 如权利要求1中所要求的场效应晶体管(100)，其特征在于 位于突起基部的突起(56)的两个侧面区域横向地邻接布置在彼此间 隔开的两个平面中的衬底(10c)的两个衬底区域，该距离(D)大于 一纳米、大于三納米或大于五纳米。
3. 如权利要求1或2中所要求的场效应晶体管(100),其特征 在于控制区部分形成在突起(56)的两个侧面区域上。
4. 如权利要求1至3其中之一所要求的场效应晶体管(100)，其 特征在于绝缘材料(82 )没有突出超过突起(56 )的至少一个侧面区域。
全文摘要
说明了一种图案化方法等，其中具有T形截面的填充材料(22)用作图案化期间的掩模，以制造具有亚光刻尺寸，尤其是双翼场效应晶体管的结构。
文档编号H01L29/423GK101373790SQ20081021067
公开日2009年2月25日 申请日期2004年9月28日 优先权日2003年10月15日
发明者H·图斯, R·费尔哈伯 申请人:英飞凌科技股份公司