固晶机上的芯片元件取放装置的制作方法

文档序号:6918660阅读:325来源:国知局
专利名称:固晶机上的芯片元件取放装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及芯片元件取放装置,特别涉及固晶机上的芯片元件取放装置。
背景技术
随着科学技术的提高,电路逐渐向高度集成(俗称"集成电路")的方向发展,而其核心则是集成芯片。如今由于集成电路的大量应用,集成芯片的需求量也大幅度的提高。
集成芯片小,集成芯片的元件(简称芯片元件,如晶片等)则更小。集成芯片在生产时,特别是在封装吋,对芯片元件的取放困难非常大,很难达到现代工业化生产中高速、精确取放的要求,使得整个机器的生产效率很低。固晶机就是一种将芯片元件从包装上拾取并准确安放到相应位置的一种设备,是集成芯片制造过程中必不可少的设备。
现有固晶机中,芯片元件的拾取、安放主要是由装有吸嘴的摆动手臂或者做直线运动的机构来完成,机构简图如图1所示。工作时,用电机(或其他原动件)驱动传动机构使摆臂或做直线运动的机构运行到芯片元件的拾取或安放点的上方位置,通过安放在摆臂或做直线运动的机构上的电机(或其他原动件)来控制吸嘴做上下运动,并按照一定的次序动作,完成吸嘴对芯片元件的拾取与安放,达到对芯片元件准确取放的目的。以这种方式取放芯片元件时,它要求芯片元件的存放位置在同一个平面或者在高度差较小的两个平面上。
而且采用摆臂式取放晶片时,因摆臂的摆动,芯片元件的方位会发生偏转,经常需要进行再调整才能正确摆放,它使得整个机器的结构和控制变得更加复杂。而摆臂在摆动时如果速度过大,吸附在摆臂上的晶片等元件则会因离心作用,会被甩开,所以摆臂的摆动速度受到限制。
同时,采用这两种方式时,都需要一个原动件(如图1中的电机)来控制吸嘴完成取放动作,并且原动件与吸嘴一起参与两点(取放点)间的往来运动,使运动部件质量增大,影响了整个机构的运行速度,无法做到高速运转。整个机器的工作效率,难以满足大规模生产的要求。发明内容
针对上述现有技术的不足,本实用新型提供一种固晶机上的芯片元件取放装置,能够实现对芯片元件快速、精确地拾取及安放,大幅度提高了整个机器的工作效率。为实现上述技术目的,本实用新型采用如下技术方案
一种固晶机上的芯片元件取放装置,安设在固晶机机架10上,包括主导轨l、安设主导轨1上可沿主导轨1往复滑动的主滑块2、从滑块3;在该主滑块2上固定一个与主导轨1成非零角度的从导轨4;在该从导轨4安设一可沿从导轨4往复滑动的插补滑块5;该插补滑块5与所述从滑块3通过连杆6相连。
为进一步实现上述技术目的,所述插补滑块5上安设有取放芯片元件的吸嘴20。
为进一步实现上述技术目的,所述主滑块2固连在主动伺服电机22带动的同步带21上,由主动伺服电机22带动可在主导轨1上作往复直线运动。
为进一步实现上述技术目的,所述从滑块3固连在从动伺服电机32带动的同步带31上,由从动伺服电机32带动可在从导轨4上作往复直线运动。
为进一步实现上述技术目的,主动伺服电机22、从动伺服电机32安设在机架10上。
本实用新型在使用时,主滑块2通过滑动,可改变在导轨上的位置,从而带动插补滑块5及其上安设的吸嘴20沿水平方向运动;如果变改主滑块2和从滑块3之间的相对位置(距离),由于连杆6的牵连作用,插补运动滑块5及其上安设的吸嘴20将顺着从导轨4在垂直方向上下滑动。按照一定的次序动作,吸嘴20将完成对芯片元件在不同工作点的拾取与安放。
本实用新型有如下优点1、由于采用了双滑块的直线插补运动,吸嘴20本身以直线运动方式实现对芯片元件在不同工作点的拾取与安放,在此过程中不会产生离心作用,因而可以较快的速度运动。同时,芯片元件的方位不会发生偏转,无需进行摆放前的再调整,简化了机器的结构和控制,降低了成本;2、由于原动件都固定在机架10上而不随吸嘴20在不同工作点间往复运动,减少了运动部件的数量与质量,可以实现吸嘴20在不同工作点间的高速运动,从而提高了整个设备的工作效率。

图1是现有技术芯片元件取放结构的简单示意图。
图2是本实用新型芯片元件高速取放装置优选实施例的轴测投影图。
图3是图2的机构简单示意图。
图4是图2的工作过程图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步详细说明。
如图2所示的固晶机上的芯片元件高速取放装置的优选实施例中,取放装置安设在固晶机机架10上,包括主导轨l、安设主导轨1上可沿主导轨1往复滑动的主滑块2、从滑块3;在该主滑块2上固定一个与主导轨1成非零角度的从导轨4;在该从导轨4安设一可沿从导轨4往复滑动的插补滑块5;该插补滑块5与所述从滑块3通过连杆6相连。
插补滑块5上安设有取放芯片元件的吸嘴20。
主滑块2固连在主动伺服电机22带动的同步带21上,由主动伺服电机22带动可在主导轨1上作往复直线运动。
从滑块3固连在从动伺服电机32带动的同步带31上,该从动伺服电机带动从滑块3可在从导轨4上作往复直线运动。而主动伺服电机22、从动伺服电机32均安设在机架10上。
图3是图2的机构简图,其中吸嘴20简化为运动点O, A点、B点代表不同位置的取放点。Al点、Bl点是运动点O的间歇点,分别位于取放点A点、B点的上方。
对照图4可以看出本实用新型优选实施例的具体工作过程图4一1中,作为吸嘴20运动的起点在A1点,即运动点O与Al点重合。图4一2中,作为吸嘴20运动点在A点,即运动点O与A点重合。图4—3中,作为吸嘴20运动点在A1点,即运动点O与Al点重合。图4一4中,作为吸嘴20运动点在B1点,即运动点O与Bl点重合。图4一5中,作为吸嘴20运动点在B点,即运动点O与B点重合。图4—6中,作为吸嘴20运动点在B1点,即运动点0与B1点重合。通过图4,可以看出吸嘴20从A1点开始,按照具体行程A1—A—Al—Bl—B—B1—Al,分七步完成了一次对芯片元件快速、精确地拾取及安放,并且又回到起点,准备实施下一次取放。而其中A—Al—Bl—B的行程表示吸嘴20在不同工作点A点、B点间的单向运动。
本实施例中,第一步,吸嘴20在运动起点Al上。
第二步,主滑块2保持不动,伺服电机32通过同步带31带动从滑块3向左移动,插补滑块5下移,带动吸嘴20下行,完成从A1点到A点的运动。
第三步,主滑块2保持不动,伺服电机32通过同步带31反向带动从滑块3向右移动,插补滑块5上移,带动吸嘴20上行,完成从A点到Al点的运动。
第四步,伺服电机22通过同步带21带动主滑块1向右移动,伺服电机32通过同步带31也带动从滑块3向右移动,并且保持相同速度,带动插补滑块5水平运动,完成从A1点到B1点的运动。
第五步,主滑块2保持不动,伺服电机32通过同步带31带动从滑块3向左移动,插补滑块5下移,带动吸嘴20下行,完成从B1点到B点的运动。
第六步,主滑块2保持不动,伺服电机32通过同步带31反向带动从滑块3向右移动,插补滑块5上移,带动吸嘴20上行,完成从B点到B1点的运动。
第七步,伺服电机22通过同步带21带动主滑块l向左移动,伺服电机32通过同步带31也带动从滑块3向左移动,并且保持相同速度,带动插补滑块5水平运动,完成从B1点到A1点的运动,完成了一个运动周期。
综上可知,本实用新型中,吸嘴20对芯片元件在不同工作点的拾取与安放是通过直线运动的方式实现的。取放过程中无离心作用产生,所以可以较快的速度实现。同时,芯片元件的方位未发生偏转,无需进行摆放前的再调整,简化了机器的结构和控制,降低了成本;而原动件都固定在机架10上而不随吸嘴20在不同工作点间往复运动,减少了运动部件的数量与质量,可以实现吸嘴20在不同工作点间的高速运动,从而提高了整个设备的工作效率。
以上为本实用新型的最佳实施方式,依据本实用新型公开的内容,本领域的普通技术人员能够显而易见地想到的一些雷同、替代方案,均应落入本实用新型的保护范围。
权利要求1、一种固晶机上的芯片元件取放装置,安设在固晶机机架(10)上,其特征在于,包括主导轨(1)、安设主导轨(1)上可沿其往复滑动的主滑块(2)、从滑块(3);在该主滑块(2)上固定一个与主导轨(1)成非零角度的从导轨(4);在该从导轨(4)安设一可沿其往复滑动的插补滑块(5);该插补滑块(5)与从滑块(3)通过连杆(6)相连。
2、 根据权利要求1所述的芯片元件取放装置,其特征在于,所述插补滑块(5)上安设有取放芯片元件的吸嘴(20)。
3、 根据权利要求1或2所述的芯片元件取放装置,其特征在于,所述主滑块(2)固连在主动伺服电机(22)带动的同步带(21)上,由主动伺服电机(22)带动可在所述主导轨(1)上作往复直线运动。
4、 根据权利要求3所述的芯片元件取放装置,其特征在于,所述主动伺服电机(22)安设在所述机架(10)上。
5、 根据权利要求1或2所述的芯片元件取放装置,其特征在于,所述从滑块(3)固连在从动伺服电机(32)带动的同步带(31)上,由从动伺服电机带动(32)可在所述从导轨(4)上作往复直线运动。
6、 根据权利要求5所述的芯片元件取放装置,其特征在于,所述从动伺服电机(32)安设在所述机架(10)上。
专利摘要本实用新型涉及芯片元件取放装置,特别涉及固晶机上的芯片元件取放装置,安设在固晶机机架(10)上,其不同之处在于,包括主导轨(1)、安设主导轨(1)上可沿其往复滑动的主滑块(2)、从滑块(3);在该主滑块(2)上固定一个与主导轨(1)成非零角度的从导轨(4);在该从导轨(4)安设一可沿其往复滑动的插补滑块(5);该插补滑块(5)与从滑块(3)通过连杆(6)相连。由于采用了双滑块的直线插补运动,可以直线运动方式实现对芯片元件在不同工作点的拾取与安放而不产生离心作用,再者由于原动件都固定在机架(10)上,减少了运动部件的数量与质量,可以实现在不同工作点间的高速运动,从而提高了整个设备的工作效率。
文档编号H01L21/67GK201319372SQ20082020521
公开日2009年9月30日 申请日期2008年12月9日 优先权日2008年12月9日
发明者池家武, 王通宙 申请人:深圳市步科电气有限公司
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