用于切割衬底的系统及方法

专利名称：：用于切割衬底的系统及方法
技术领域：
：本发明涉及一种衬底切割系统及方法，且更确切地说，涉及一种可防止系统的尺寸随着系统高度的增加而增加、可更有效地切割衬底从而使得衬底切割工作以在线方式进行以减少生产时间、并可改进生产率的衬底切割系统，以及一种用于切割衬底方法。
背景技术：
：衬底包含半导体衬底和用作图像显示装置的平板显示器(flatpaneldisplays,FPD)。FPD衬底包括液晶显示器(1iquidcrystaldisplay,LCD)衬底、等离子显示面板(plasmadisplaypanel,PDP)衬底以及有机发光二极管(organiclightemittingdiode,OLED)衬底。LCD衬底是通过在两片玻璃之间注入液晶而制造的。LCD村底存在缺点，例如其响应速度较慢且成本相对较高。然而，LCD衬底在分辨率方面具有有利特征，因为其是以半导体工艺制造的。因此，近年来LCD衬底作为移动电话、计算机监视器以及电视机的下一代显示装置而受到重视。图1是一般LCD衬底(单位衬底)的透视图。图2和图3是用以形成图1的单位衬底的大面积原始衬底的平面图。参看图1到图3,图1的LCD衬底包括上面板8a(或彩色滤光片(colorfilter)CF)以及下面板8b(或薄膜晶体管TFT)，二者均由玻璃形成，且当在其间注入液晶时部分地相互接触，从且组合在一起；上偏光膜(upperpolarizerfilm)及下偏光膜(lowerpolarizerfilm)(未图示)，其分别耦合到上面板8a及下面板8b的暴露表面，并且在相应位置提供光学特性。形成有色图像的上面板8a形成为小于下面板8b。因此，在下面板8b的上表面上存在衬垫部分P，其并不覆盖上面板8a。作为用于控制多个单位衬底8的构件的IC驱动器和将IC驱动器连接到印刷电路板(printedcircuitboard,PCB)的柔性印刷电i各(flexibleprintedcircuit,FPC)耦合到衬垫部分P。当上面板la和下面板lb彼此组合时形成单位衬底8，如图2和图3所示。图1所示的单位衬底8是通过将大面积原始衬底1切割成数个到数十个部分而形成的。单个成品是通过以模块工艺将IC驱动器安装在单位衬底58的衬垫部分P中制造的。因此，制造衬底的工艺包括将大面积原始衬底1切削或切割成数个到数十个部分的切割步骤。确切地说，当通过切割图2和图3的单个原始衬底1来制造图1的单位衬底8时，由于单位村底8的上面板8a和下面板8b的面积彼此不同，所以在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成切割线，沿着所述切割线切削所述上面板la和下面板lb。因此，切割线需要受到精确控制。为参考起见，大多实线(有些与虛线重叠而未显示)指示大面积原始衬底1的上面板la被切削的位置，且虚线指示大面积原始衬底1的下面板lb被切削的位置。大面积原始衬底1的切割步骤是通过单独系统(即，称为切割器或切割设备的切割系统)执行的。根据支撑大面积原始衬底1的类型而定，至今已知的切割系统包括带式传送器型(beltconveyortype)和平台型(stagetype)。带式传送器型具有生产时间较短的优点，但其因结构原因无法直接排出从大面积原始衬底1上切掉的衬底(下文中称为伪衬底(dummysubstrate)3a-3d)。伪衬底3a-3d是指图2和图3中未标阴影的部分。因此，在带式传送器型切割系统中，大面积原始衬底1是半切割的而不是完全切割的，需执行加热和冷却步骤来形成破裂。接着，大面积原始衬底l被最终切割，从而形成单位衬底8。相反，根据平台类型，在移动大面积原始衬底1时在所要部分处形成切割线，因为其不存在排出伪衬底3a-3d的问题。大面积原始衬底1沿着切割线被整齐地完全切割，从而形成单位衬底8。然而如上所述，由于大面积原始衬底1是由彼此组合的上面板la和下面板lb形成的，且形成在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上以通过切割而形成单位衬底8的切割线彼此不同，所以平台型切割系统需要一种构件，其用于将整个大面积原始衬底1转动或翻转180°,以切割大面积原始村底1的上面板la和下面板lb中的任何一者，接着切割另外一者。然而，在平台型切割系统中，如上所述，需要提供与之对应的翻转器或反转结构，以便反转整个大面积原始村底1，以切割大面积原始衬底l的上面板la和下面板lb中的每一者。此外，由于需要用于反转大面积原始衬底l的最小空间，所以系统高度会增加，4吏得系统的尺寸相应增加。同时，在带式传送器型切割系统中，如上所述，大面积原始衬底1并未被完全切割而是半切割，且经历加热和冷却步骤来形成破裂，这样大面积原始村底1才最终被切割。因此，虽然伪衬底3a-3d需要通过附接到大面积原始衬底1而^皮连续传递，且在加热和冷却步骤之后^皮完全切割，{旦伪衬底3a-3d是在传递期间提前切割的。因此，单位衬底8的将用以安装IC驱动器的衬垫部分P非常有可能在传递大面积原始衬底1的期间受到损坏。可通过在村底中安装电路并将衬底切削成预定尺寸，而将用作电子部件材料的衬底用于芯片以及平板显示器装置的平板。衬底可为用于形成半导体芯片和用于平板显示器装置的平板(例如，LCD面板、PDP面板以及OLED面板)的晶片。确切地说，因为LCD衬底是通过在两片衬底之间注入液晶来驱动的，所以将两片衬底上下彼此组合，并接着对其进行切割并使其断裂。在一般衬底中，在衬底表面上形成切割线，且改变形成切割线处的衬底部分的温度以形成破裂，且衬底沿着切割线而断裂，这样便可获得具有所要尺寸的半导体芯片以及平板显示器装置的平板。然而，当在衬底表面上形成切割线时，当切割线深度较浅时，衬底难以断裂，且即使衬底断裂，断裂表面也不太整齐。为了解决所述问题，当切割头在衬底表面上形成切割线时，使用例如伺服马达、凸轮以及齿轮等设备以预定压力按压衬底表面，在此状态下切割所述切割线，因此增加切割线深度。然而，所述设备的结构复杂，对于扭矩变化的响应变差，且难以对其进行控制，因此衬底切割的性能和质量变差。此外，在如凸轮或齿轮等机械组件中会产生外来材料及灰尘，并且需要大量机械部件，例如止动器(stopper)、弹簧及齿轮。因此，工作环境不清洁，且村底切割步骤中的精确度降级。
发明内容为了解决以上和/或其他问题，本发明提供一种衬底切割系统和方法，其可防止系统的尺寸随着系统高度的增加而增加、可更有效地切割衬底从而使得衬底切割工作以在线方式进行以减少生产时间、并可改进生产率。本发明提供一种衬底切割系统和方法，其可防止衬底中用以安装IC驱动器的衬垫部分受到损坏，从而使得衬底切割工作以在线方式进行以减少生产时间，并可改进生产率。本发明提供一种衬底切割系统和方法，其可用切割头以预设的恒定切割压力来切割衬底，提供优于现有技术的对扭矩变化的响应以及容易的控制，并且改进衬底切割性能。根据本发明的一方面，衬底切割系统包括多个传送器，其形成工作线，在所述工作线中对通过组合上面板与下面板形成的原始衬底执行切割工作，并且通过与至少一个区域隔开而形成预定的隔离间隙；切割模块，其安装在所述隔离间隙中，并且在切割模块的上和下表面上形成预定切割线，且通过沿着所述切割线切割原始衬底来形成多个第一单位衬底；以及伪切割模块，其沿着工作线布置在切割模块的后面，且切割并移除每一第一单位衬底中剩下的伪部分。通过参看附图详细描述本发明的优选实施例，本发明的以上及其他特征和优点将变得更显而易见，在图中图1是一般LCD衬底(单位衬底)的透视图。图2和图3是用以形成图1的单位衬底的大面积原始衬底的平面图。图4是根据本发明第一实施例的衬底切割设备的透视图。图5是图1的衬底切割设备的平面图。图6说明上切割模块区域的操作。图7说明下切割模块区域的操作。图8是用于解释根据本发明第一实施例的衬底切割方法的流程图。图9是根据本发明第二实施例的衬底切割设备的透视图。图10是图9的村底切割设备的平面图。图ll说明切割模块区域的操作。图12说明伪切割模块区域的操作。图13是用于解释根据本发明第二实施例的衬底切割方法的流程图。图14是根据本发明第三实施例的村底切割设备的透视图。-图15是图14的衬底切割设备的平面图。图16说明第一切割模块区域的操作。图n说明第二切割模块区域的操作。图18是用于解释根据本发明第三实施例的衬底切割方法的流程图。图19是根据本发明第四实施例的衬底切割设备的透视图。图20是图19的衬底切割设备的平面图。图21说明第一切割模块区域的操作。图22说明第二切割模块区域的操作。图23是用于解释根据本发明第四实施例的衬底切割方法的流程图。图24是根据本发明第五实施例的衬底切割系统的结构。图25是图24的村底切割设备的侧面。图26说明图24的衬底切割系统的切割操作，其中切割头在测力计(loadcell)上方移动。图27说明图24的衬底切割系统的切割操作，其中托架按压测力计。图28说明图24的衬底切割系统的切割操作，其中切割头切割衬底。图29说明图24的衬底切割系统所切割的衬底。图30是依序绘示图24的衬底切割系统的衬底切割方法的流程图。图31说明根据本发明第六实施例的衬底切割系统的结构。具体实施例方式参考用于说明本发明的优选实施例的附图，以便获得对本发明、本发明的优点以及实施本发明可实现的目标充分理解。下文中，将通过参看附图解释本发明的优选实施例来详细描述本发明。图中相同的附图标记指代相同元件。为参考起见，下文所述的衬底是指平板显示器(FPD)，其中包含液晶显示器(liquidcrystaldisplay,LCD)、等离子显示面板(plasmadisplaypanel,PDP)以及有机发光二极管(organiclightemittingdiode,OLED)。然而，为了便于解释，将这些统称为衬底。此外，如上所述，在以下描述中，图1集中于单位村底8，而图2集中于大面积原始衬底1。图4是根据本发明第一实施例的衬底切割设备的透视图。图5是图1的衬底切割设备的平面图。图6说明上切割模块区域的操作。图7说明下切割模块区域的操作。图8是用于解释根据本发明第一实施例的衬底切割方法的流程图。参看图4到图8，主要参看图4和图5,才艮据本发明实施例的衬底切割设备包含第一下平台110、上平台130以及第二下平台160，所述平台均提供在第一到第四工作线Wl-W4上，所述工作线沿着对大面积原始衬底1执行切割工作的方向彼此平行布置；以及分配器170、横向传送器175、反转器185以及排出传送器190,其均布置在衬底切割设备后面。衬底切割设备包含上切割模块120，其提供在第一下平台110上方；下切割模块140,其提供在上平台130下方；以及排出部分150，其提供在下切割模块140下方，以排出从大面积原始衬底1中切掉的伪衬底3a-3d。以上元件能够进行一系列工作，其中包含将图2的大面积原始衬底1输入到第一下平台110;执行预定切割工作以形成图1的单位衬底8;以及排出到排出传送器190。因此，由于大面积原始衬底1可建立在线工艺(inlineprocess)，所以可减少生产时间且此外可提高生产率。并且，由于衬底切割设备无需用于反转或翻转整个大面积原始衬底1的结构，所以可减小系统高度，这样便可防止系统尺寸增加。首先描述图2的大面积原始衬底1、图1的单位衬底8以及切割方向或平台110、130及160的移动方向。图2的大面积原始衬底1是用来形成图1的单位衬底8的母体。因此，在本实施例中，图2的大面积原始衬底1的12个阴影部分指示图1的单位衬底8。此外，图2中绘示的大部分实线(有些因与虚线重叠而未显示)指示大面积原始村底1的上面板la被上切割模块120切削的位置，且虛线指示大面积原始衬底1的下面板lb被下切割冲莫块140切削的位置。未加阴影的剩余部分指示被排出到排出部分150的伪衬底3a-3d。与单位衬底8—样，大面积原始衬底1包含上面板la和下面板lb，所述上面板la和下面板lb由两片彼此组合的玻璃制成。在作为彩色滤光片CF的上面板8a面朝上而作为薄膜晶体管TFT的下面板8b面朝下的状态下，如图1所示将单位衬底8最终放置在排出传送器190上，并接着将单位衬底8排出以供后处理。然而，在切割步骤之前，通过将大面积原始衬底1反转成与单位衬底8相反而将其输入到第一工作线Wl。也就是说，作为TFT的上面板la面朝上，而作为CF的下面板lb面朝下。在这种状态下，将大面积原始衬底1输入到第一工作线W1，并执行一系列切割步骤。在本实施例中，通过切割系统将图2的大面积原始衬底1切割成总共12个单位村底8。第一到第四工作线W卜W4相对于切割方向或平台110、130及160的移动方向^f皮此平行地形成的方向是Y轴方向，且垂直于第一到第四工作线Wl-W4的方向是X轴方向。在形成根据本实施例的衬底切割设备的每一组成元件的结构中，第一下平台110支撑所输入的大面积原始村底1并耦合到第一工作线Wl,以便可沿着第一工作线Wl在Y轴方向上移动。可使用线性运动来精确地控制第一下平台110的移动。第一下平台110从输入到第一工作线W1的大面积原始衬底l的下支撑所述大面积原始村底1。因此，当将大面积原始衬底1放置在第一下平台110上时，大面积原始衬底1的下面板lb容纳在第一下平台110的上表面中且由此支撑。虽然图中说明大面积原始衬底1将通过容纳在第一下平台110的上表面上而被支撑，但大面积原始衬底1也可通过提供在第一下平台110的表面上的多个升降销(liftpin)(未图示)的操作而容纳在第一下平台110的上表面上。也就是说，当单独的机械手(未图示)将大面积原始衬底1装载在第一下平台110的上表面上时，升降销升起以支撑大面积原始衬底1的下面板lb的下表面。接着，升降销下降，从而将大面积原始衬底l容纳在第一下平台110的上表面上并由此支撑。当大面积原始衬底1容纳在第一下平台110的上表面上并由此支撑时，容纳在第一下平台110的上表面上并由此支撑的大面积原始衬底1被第一下平台110的上表面上的单独真空线吸附。因此，大面积原始衬底1固定在固定的位置，而不会在第一下平台110的上表面上任意移动。相反，当从第一下平台110的上表面中排出大面积原始衬底1时，升降销升起，以10将大面积原始衬底1提升到预定高度。由于升降销的结构和操作不但适用于第一下平台110，而且同样地适用于第二下平台160和上平台130，所以将省略对其进行进一步描述。然而，将在相应部分中更详细地描述对大面积原始衬底1的吸附(absorption)操作。上切割模块120提供在第一下平台110的上部区域中，并通过在由第一下平台110支撑的大面积原始衬底1的上表面la上形成预定的上切割线来切割大面积原始村底l(请参看图6)。上切割模块120包括上横杆(uppercrossbar)121，其沿着垂直于第一工作线Wl的长度方向的方向，固定在定位第一下平台110的区域中；以及多个上切割器123，其耦合到上横杆121—侧。虽然第一下平台IIO在Y轴方向上在第一工作线W1上移动，但上横杆121固定在相应位置处且只有耦合到上横杆121的上切割器123可移动。进一步在上横杆121的另一侧提供观察切割线的上部线观察部分125。可通过基于由上部线观察部分125观察到的图像的控制来确定上切割器123在上横杆121上的位置。上切割器123包含上固持器123a,其耦合到上横杆121;以及上切具123b，其在大面积原始衬底1的上面板la上形成上切割线，所述大面积原始衬底1通过由第一下平台110支撑而移动。上固持器123a能够在上横杆121上相对移动。因此，当在图2的大面积原始衬底1的上面板la上形成上切割线以切削与上面板la的厚度一样厚的大面积原始衬底1时，随着第一下平台110相对于固定于某一位置的上切割器123的移动而执行Y轴方向上的切割工作。当第一下平台固定时，随着上切割器123在X轴方向上在上横杆121上移动时，执行X轴方向上的切割工作。因此，用上述方法对大面积原始衬底1的上面板la执行切割工作。如图6所示，即使在对大面积原始衬底1的上面板la执行切割工作且在上面板la中产生伪衬底3a和端部伪衬底3b时，由于大面积原始衬底1由第一下平台110支撑，所以伪衬底3a和端部伪衬底3b无法从大面积原始衬底1中分离。通过稍后描述的下切割模块14Q的才喿作，将伪衬底3a和3b与从下面板lb产生的伪衬底3c和端部伪衬底3d—起从大面积原始衬底1中分离。上平台130通过从上方吸附大面积原始衬底1而支撑大面积原始衬底1,其中已使用上切割模块120完成了对大面积原始衬底1的上面板la的切割工作。也就是说，与第一下平台110不同，上平台130吸附大面积原始衬底l的上面板la,以提升大面积原始衬底l。因此，上平台130布置成高于第一下平台no，且设计成能够相对于第一下平台iio相对移动。为了使上平台130吸附和提升大面积原始衬底1的上面板la，上平台130像第一下平台IIO—样包含多个升降销(未图示)。然而，与第一下平台110不同，优选在提供于上平台130中的每一升降销中形成用以吸附大面积原始衬底1的真空线(未图示)。因此，当第一下平台110的升降销被升高以将大面积原始衬底1从第一下平台IIO提升到预定高度时，在第一下平台IIO上方移动的上平台130的升降销被降低，以接触大面积原始衬底l的上面板la的上表面。当通过真空线(vacuumline)形成真空时，大面积原始衬底1#1吸附。当大面积原始衬底l被吸附时，上平台130的升降销会被升高，使得大面积原始衬底1的上面板la可接触上平台130的下表面并由此支撑。除了升降销和真空线的结构之外，可使用电极静电卡盘(electrodestaticchuck)来代替上平台130,所述电极静电卡盘使用电摩擦来吸附大面积原始衬底1。在将大面积原始衬底1从第一下平台110移动到上平台130的过程中，上平台130朝第一下平台IIO移动，或者第一下平台IIO朝上平台130移动。下切割模块140通过在由上平台130所吸附的大面积原始衬底1的下面板lb上形成预定上切割线来切割大面积原始衬底1(请参看图7)。下切割模块140包含下横杆141，其沿着垂直于第二工作线W2的长度方向的方向，固定在定位上平台130的区域中；以及多个下切割器143，其耦合到下横杆141一侧。虽然上平台130在Y轴方向上在第二工作线W2上移动，但下横杆141固定在相应位置且只有耦合到下横杆141的下切割器143可移动。进一步在下横杆141的另一侧提供观察下切割线的下部线观察部分145。可通过基于由下部线观察部分145观察到的图像的控制来确定下切割器143在下横杆141上的位置。下切割器143包含下固持器143a,其耦合到下横杆141;以及下切具143b，其在大面积原始衬底1的下面板lb上形成下切割线，所述大面积原始衬底1通过由上平台130支撑而移动。下固持器143a能够在下横杆141上相对移动。因此，当在图2的大面积原始衬底1的下面板lb上形成下切割线以切削与下面板lb的厚度一样厚的大面积原始衬底1时，随着上平台130相对于固定于某一位置的下切割器143的移动而执4于Y轴方向上的切割工作。当上平台130固定时，随着下切割器143在X轴方向上在下横杆141上移动时，执行X轴方向上的切割工作。因此，用上述方法对大面积原始衬底1的下面板lb执行切割工作。12如图7所示，当下切割模块140切割与下面板lb的厚度一样厚的大面积原始衬底1的下面板lb时，在下面板lb中产生伪衬底3c和端部伪村底3d,其中伪衬底3c部分地覆盖形成于上面板la上的伪衬底3a,且端部伪衬底3d覆盖形成于上面板la上的端部伪衬底3b。这些伪衬底3a-3d通过自身重量或单独的移除单位而下落。提供排出部分150以帮助伪衬底3a-3d下落排出到一个区域而不会散落。在下切割模块140的下部区域中提供排出部分150，以便排出从大面积原始衬底1中切掉的伪衬底3a-3d。排出部分15G具有漏斗形状(ho卯ershape),使得入口较大，且排出部分150的容积朝末端部分逐渐减小。当大面积原始衬底1在上切割模块120的区域中经受加工时，排出部分150无需移动接近下切割模块140的下部区域。因此，排出部分150优选能够在相应位置靠近下切割模块140或从下切割模块140处缩回。可通过圆柱体或马达与滚珠螺杆(ballscrew)的组合而容易地实施此种结构。此外，由于切掉的伪衬底3a_3d均具有预定长度和面积，所以为了通过碾碎成细小粉末而重复使用，排出部分150进一步包含断裂部分152,其使伪衬底3a-3d断裂。第二下平台160支撑单位衬底8，单位衬底8是通过逐个使用上切割模块120和下切割;漠块140来切割大面积原始^J"底1而形成的。第二下平台160还能够在第三工作线W3上在Y轴方向上移动，第三工作线W3与第一工作线W1形成相同的轴线。为了将形成于上平台130上的单位衬底8移动到第二下平台160，第二下平台160朝上平台130移动，或者上平台130朝第二下平台160移动。然而，参看附图，由于分配器170安装在第二下平台160上方，所以当上平台130朝第二下平台160移动时，分配器170对上平台130进行检查，使得上平台130的移动受到限制。因此，在本实施例中，第二下平台160通过沿着第三工作线W3朝上平台130移动而接纳单位衬底8。分配器170耦合到第三工作线W3的上部分，也就是说，耦合到与第二工作线W2形成相同轴线的第四工作线W4，且沿着第四工作线W4移动，以将完成了切割工作的单位衬底8逐个分配到横向传送器175。也就是说，由于通过切割大面积原始衬底1而形成的单位衬底8在后处理中是个别管理的，所以分配器170逐个将每一单位衬底8移动到横向传送器175。分配器170包含移动杆171，其耦合到第四工作线W4，并且可在Y轴方向上沿着第四工作线W4移动；以及多个分配头172，其不仅耦合到移动杆171并可沿着移动杆171移动，而且还在相对于移动杆171相对旋转的同时吸附或抓取单位衬底8，以将单位衬底8移动到横向传送器175。如上所述，由于单位衬底8是逐个管理的，所以当根据本实施例在切13割系统中提供一个横向传送器175时，在移动杆171中提供一个分配头172便足够了。然而，由于在本实施例中为了改进生产率而提供两个横向传送器，则在移动杆171处提供两个分配头172。可根据设计而改变其数目。同时，由于在大面积原始衬底l的作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下，在第一到第四工作线Wl-W4上执行切割工作，所以通过分配器170分配并放置在横向传送器175上的单位衬底8的作为CF的上面々反8a面朝下而作为TFT的下面板8b面朝上。然而，为了进行工艺管理，最终制造出的单位衬底8的作为CF的上面板8a面朝上，而作为TFT的下面板8b面朝下。为此目的，在横向传送器1"的后面提供反转器185，其反转每一单位衬底8的上表面和下表面。反转器185包含反转轴186和一对反转传送器187，所述反转传送器能够围绕反转轴186反转并吸附每一单位衬底8的上表面和下表面，使得单位衬底8可插入其中。因此，在单位衬底8插入反转传送器187之间后，反转传送器187围绕反转轴186反转180°，使得每一单位衬底8的上表面和下表面的位置可容易地反转。也就是说，按照需要，将单位衬底8布置成作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下。在反转器185后面提供排出传送器190，其中将上表面和下表面已经过反转器185反转的最终单位衬底8装载在上面且被排出以供后处理。排出传送器190与横向传送器175以相同数目且在相同的轴线上提供。下文将参看图4、5和8简单描述使用以上述方式配置的衬底切割系统将大面积原始村底1切割成单位衬底8的方法。首先，将大面积原始衬底1输入到第一工作线W1(S111)并将其放置在第一下平台110的上表面上。第一下平台110的升降销升起以接纳大面积原始衬底1,然后下降以使得大面积原始衬底1可被容纳在第一下平台110的上表面上。当大面积原始衬底1容纳在第一下平台110的上表面上时，上切割模块120和第一下平台110会被驱动，且对大面积原始村底1的上面板la执行切割工作(S112)。也就是说，当第一下平台110相当于固定的上切割器U3移动的同时，执行Y轴方向上的切割工作。当上切割器123在第一下平台110固定的状态下在上横杆121上在X轴方向上移动的同时，执行X轴方向上的切割工作。当对大面积原始衬底1的上面板la的切割工作完成时，上平台130沿着第二工作线W2移动，且布置在第一下平台110上方。当第一下平台110的升降销^皮升高，以将大面积原始衬底1从第一下平台110提升到预定高度时，移动到第一下平台110的上平台130的升降销降低，以接触大面积原始衬底1的上面板la。因此，通过真空线形成真空以吸附大面积原始衬底1。当大面积原始衬底1被吸附时，再次升高上平台130的升降销，使得大面积原始衬底1的上面板la可接触上平台130的下表面。从上方吸附大面积原始衬底l的上平台130根据第二工作线W2返回到原始位置。当大面积原始衬底1被上平台130吸附时，下切割模块140和上平台130会被驱动，以便对大面积原始衬底1的下面板lb执行切割工作(S113)。也就是说，当上平台130相对于固定的下切割器143移动的同时，会执行Y轴方向上的切割工作。当下切割器143在上平台130固定的状态下在下横杆141上移动的同时，执行X轴方向上的切割工作。从大面积原始衬底1中分离的伪衬底3a-3d下落并通过排出部分150排出。接下来，第二下平台160沿着第三工作线W3在上平台130下方移动，并接纳与上平台130分离的单位衬底8，且返回到原始位置。在返回到原始位置后，由沿着第四工作线W4移动的分配器170放置在第二下平台160上的单位衬底8被逐个分配到横向传送器175(S114)。接着，将放置在横向传送器175上的每一单位衬底8插入反转传送器187之间。当反转传送器187围绕反转轴186反转180°时，每一单位衬底8的上表面和下表面的位置改变(S115)。因此，上表面和下表面位置已经过反转器185反转的单位衬底8可通过装载在排出传送器190上而被排出以供后处理(S116)。根据本实施例，由于无需用以反转或翻转整个大面积原始衬底1的结构，所以可防止尺寸因系统高度的增加而增加。此外，可更有效地切割大面积原始衬底1，对大面积原始衬底1的切割工作可以在线方式进行使得可减少生产时间，并可进一步改进生产率。图9是根据本发明第二实施例的衬底切割设备的透视图。图IO是图9的衬底切割设备的平面图。图11说明切割模块区域的操作。图12说明伪切割模块区域的操作。图13是用于解释根据本发明第二实施例的衬底切割方法的流程图。参看图9到图13,主要参看图9和图10,根据本发明的衬底切割设备包含多个带式传送器(beltconveyor)210a-210d,其形成用以对大面积原始衬底l执行切割工作的工作线；以及切割模块220、断裂模块260以及伪切削模块265，其均沿带式传送器210a-210d的工作线依次布置。衬底切割设备进一步包含一对排出部分250a和250b,其定位在带式传送器210a-210d的预定下部区域处；分配器270，其提供在伪切削模块265的后面；横向传送器275;反转器285;以及排出传送器290。借助上述结构对输入到工作线的图2的大面积原始村底1执行预定切割工作。因此，形成图1的单位衬底8(下文中称为第二单位衬底)并将其排出到排出传送器290。15因此，由于可对大面积原始衬底1建立在线工作，所以可减少生产时间，且可进一步提高生产率。确切地说，根据依据本实施例的衬底切割系统，可防止第二单位衬底8中将安装IC驱动器的衬垫部分P(请参看图1)受到损坏，以及可将大面积原始衬底1切削成数个到数十个第二单位衬底8。下面将首先描述图2的大面积原始衬底1、图1的第二单位衬底8以及切割方向或带式传送器210a-210d的移动方向。图2的大面积原始衬底1是用来形成图1的第二单位衬底8的母体。因此，在本实施例中，图2的大面积原始衬底1的12个阴影部分个别地指示图1的第二单位衬底8。此外，图2中绘示的大部分实线(有些因与虚线重叠而未显示)指示大面积原始衬底1的上面板la被上切割模块230切剖的位置，而虚线指示大面积原始衬底1的下面板lb被下切割模块240切削的位置。未加阴影的剩余部分指示被排出到排出部分250的伪衬底3a-3d。为参考起见，图12的部分3e指示伪衬底，但切割的工作位置或方法与其他伪衬底3a-3d的不同。因此，将部分3e称为伪部分以便与其他伪衬底3a-3d区分开来，并且以不同的方式参考。伪部分指示从形成第一单位衬底8，的CF的面板一侧移除，以形成将安装IC驱动器的衬垫部分P的彩色滤光片(CF)伪玻璃。与第二单位衬底8—样，大面积原始衬底1包含上面板la和下面板lb，所述面板由两片玻璃形成。在作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下后，将最终放置在排出传送器290上的第二单位衬底8排出以供后处理。然而，在切割工艺之前，在将大面积原始村底1反转成与第二单位衬底8相反的状态下，将其输入到形成工作线的带式传送器210a-210d。也就是说，在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下，将大面积原始衬底1输入以进行一系列切割工作。在本实施例中，将图2的单个大面积原始衬底1通过切割系统切削成总共12个第二单位村底8。此处，关于切割方向或带式传送器210a-210d的移动方向，将带式传送器210a-210d排列的方向称为Y轴方向，而将垂直于Y轴方向的方向称为X轴方向。下面依次描述衬底切割设备的各个元件。带式传送器210a-210d为形成大面积原始衬底1的切割工作线的部分。由于大面积原始衬底1可在不受损坏的情况下传递，所以带式传送器210a-210d优于平台。在位置方面，带式传送器210a-210d在Y轴方向上分成第一到第四带式传送器210a-210d，其中将大面积原始衬底1输入并将其作为多个第二单位衬底8排出。因此，在第一到第四带式传送器210a-210d之间形成多个预定隔离间隙212a-212c。虽然在隔离间隙212a和212c中并未提供任何特定结构，但在隔离间隙212b中提供切割模块220。第一到第四带式传送器210a-210d在其位置处在Y轴的正(+)或负(-)方向上旋转，以在相应方向上传递容纳在其上表面上的大面积原始衬底1或第二单位衬底8以执行工作。使用线性运动来精确地控制第一到第四带式传送器210a-210d的移动。在第二带式传送器210b与第三带式传送器210c之间的隔离间隙212b中安装切割模块220，以在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb二者上形成上切割线和下切割线。形成于大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上的上切割线和下切割线形成与图11中绘示的一样的线。切割模块220包含上切割模块230，其在隔离间隙212b中提供在第二带式传送器210b和第三带式传送器210c上方，并在大面积原始村底1的上面板la上形成上切割线；和下切割模块240，其在隔离间隙212b中提供在第二带式传送器210b和第三带式传送器210c下方，并在大面积原始衬底1的下面板lb上形成下切割线。上切割模块230包含上横杆231，其在垂直于工作线的长度方向(Y轴方向)的方向(X轴方向)上固定地提供；以及多个上切割器233，其耦合上横杆231—侧。虽然位于上切割模块230附近的第二带式传送器210b和第三带式传送器210c在Y轴方向上移动时，但上横杆231固定在相应位置处，且只有耦合到上横杆231的上切割器233才可在X轴方向上移动。进一步在上横杆231的另一侧提供观察上切割线的上部线观察部分(未图示)。可通过基于由上部线观察部分观察到的图像的控制来确定上切割器233在上横杆231上的位置。上切割器233包含上固持器233a,其耦合到上横杆231;以及上切具233b，其在大面积原始衬底l的上面板la上形成上切割线，所述大面积原始衬底1通过由第二带式传送器210b和第三带式传送器noc支撑而移动。上固持器233a耦合成能够在上横杆231上相对移动。因此，为了在图2的大面积原始衬底1的上面板la上形成上切割线，当第二带式传送器210b和第三带式传送器210c相对于固定的上切割器233而移动的同时，执行Y轴方向上的切割线形成工作。当第二带式传送器210b和第三带式传送器210c固定时，随着上切割器233在X轴方向上在上横杆231上移动时，执行X轴方向上的切割线形成工作。以此方法，可在大面积原始衬底1的上面板la上形成切割线。下切割模块240的结构与上切割模块230的结构几乎相同。也就是说，下切割模块204包含在垂直于工作线的长度方向的方向上固定的下横杆241，以及耦合到下横杆241—侧的多个下切割器243。虽然位于下切割模块240附近的第二带式传送器210b和第三带式传送17器210c可在Y轴方向上移动，但下横杆241固定在相应位置处，且只有耦合到下横杆241的下切割器243才可在X轴方向上移动。进一步在下横杆241的另一侧提供观察下切割线的下线观察部分(未图示)。可通过基于由下线观察部分观察到的图像的控制来确定下切割器243在下横杆241上的位置。下切割器243包含下固持器243a,其耦合到下横杆241;以及下切具243b，其在大面积原始衬底1的下面板lb上形成下切割线，所述大面积原始村底1通过由第二带式传送器210b和第三带式传送器210c支撑而移动。下固持器243a耦合成能够在下横杆241上相对移动。因此，为了在图2的大面积原始衬底1的下面板lb上形成下切割线，当第二带式传送器210b和第三带式传送器210c相对于固定的下切割器243而移动的同时，执行Y轴方向上的切割线形成工作。当第二带式传送器210b和第三带式传送器210c固定时，随着下切割器243在X轴方向上在下横杆241上移动时，执行X轴方向上的切割线形成工作。以此方法，可在大面积原始衬底1的下面板lb上形成切割线。此处，如上所述，分别形成于大面积原始衬底l的上面板la和下面板lb上的上切割线和下切割线形成相同轴线(请参看图11)。为此目的，上横杆231和下横杆241通过预定的连接部分225;波此连接，且因此上切割器233和下切割器243—起被驱动。即使在通过切割模块220在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成上切割线和下切割线时，大面积原始衬底1仍未^C切削。为了沿着切割线切削大面积原始村底1以形成第二单位衬底8，需要用以切削大面积原始衬底1的单位。断裂模块260沿着工作线布置在切割模块220后面，且沿着切割线切削大面积原始衬底1以形成第二单位衬底。断裂^f莫块260包含一对第一轨道部分261，其在Y轴方向上在第三带式传送器210c两侧以一定长度布置；以及可移动加热/冷却部分262，其耦合到第一轨道部分261,以便能够沿着第一轨道部分261移动。可移动加热/冷却部分262在沿着第一轨道部分261移动的同时，通过加热和冷却位于第一轨道部分261之间的大面积原始衬底1而沿着切割线切削大面积原始村底l，其中已在上面板la和下面板lb二者上形成切割线。为参考起见，为了沿着切割线切削大面积原始衬底1，以向切割线区域施加压力或者加热已形成切割线的部分然后迅速冷却所述部分的方法，使用易碎材料的热应力来切削大面积原始衬底1。因此，需要一个用于向大面积原始衬底1施加压力或者加热和冷却大面积原始衬底1的单位。在本实施例中，断裂模块260用于所述目的。确切地说，在本实施例中，可移动加热/冷却部分262以加热和冷却大面积原始衬底l的方法，使用易碎材料的热应力来切削大面积原始衬底1。然而，可替代地使用前一种按压方法。在此情况下，可在断裂模块260中安装压缩空气注入部分而代替可移动加热/冷却部分262。即使在通过切割^f莫块220在大面积原始衬底1上形成切割线且通过断裂模块260将大面积原始衬底1切削成多个第一单位衬底8，时，仍未获得图8中所示的最终第二单位衬底8。也就是"i兌，如上所述，为了获得最终第二单位衬底8,由于作为TFT的上面板8a形成为小于作为用以形成衬垫部分P的CF的下面板8b，所以需要切削上面板8a中称为伪部分3e的部分。由于无法通过切割模块220或断裂模块260来切削或移除伪部分3e，所以需要用伪切割模块265来移除伪部分3e。伪切割模块265用于已经切削并分成多块的每一第一单位衬底8，。然而，由于在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下输入大面积原始衬底1，因此形成第一单位衬底8，。第一单位衬底8，在使得形成CF的面板均面朝下的状态下朝伪切割模块265行进。因此，通过伪切割模块265对伪部分3e执行的切割和移除工作是从下侧向上侧执行的。伪切割;漠块265包含真空台(vacuumtable)266，其为从下支撑第一单位衬底8，的单元平台(cellstage);伪切割器267，其从由真空台266支撑的第一单位衬底8，的下切割伪部分3e;以及支撑滚筒(supportroller)268,其相对于第一单位衬底8，布置在伪切割器267的相反侧，且支撑第一单位衬底8'。与上述上切割器233和下切割器243不同，认为伪切割器267具有一系列结构，所述结构能够形成切割线以切削伪部分3e，并且向所述部分施加压力或者加热和迅速冷却所述部分。在本实施例中，提供真空台266作为单元平台。然而，可替代地使用能够支撑第一单位衬底8，的任何支撑单位。真空台266是用以使用真空来支撑容纳于上表面上的第一单位衬底8，。可以真空方法之外的方法来支撑第一单位衬底8，。此外，可将真空台266分成两个部分，并且真空台可在相应位置处在Y轴方向或X轴方向上移动。通过分配器270来执行将第一单位衬底8'移动到真空台266的工作。也就是说，分配器270将通过断裂模块260而从大面积原始衬底1中形成的第一单位衬底8'分配到真空台266。分配器270包含一对第二轨道部分271,其在第四带式传送器210d两侧以一定长度布置；可移动杆272，其耦合到第二轨道部分271，以能够沿着第二轨道部分271移动；以及分配头273,其能够沿着可移动杆272移动且耦合到可移动杆272，能够相对于可移动杆272相对旋转，并吸附已完成切割工作的第一单位衬底8'。如上所述，当真空台266自身可旋转时，容纳于其上表面上的第一单位村底8，可根据真空台266的旋转而旋转。然而，当真空台266固定时，可通过分配头273在真空台266上改变第一单位衬底8，的方向。通过断裂模块260切削的伪衬底3a-3d和通过伪切割模块265切削的伪部分3e由于自身重量或单独的移除单位而下落。提供排出部分250a和250b，使得伪村底3a-3d和伪部分3e在一个位置排出而不会散落。在本实施例中，分别在断裂模块260和伪切割模块265下方提供排出部分250a和250b，且排出在相应位置处下落的伪衬底3a-3d和伪部分3e。为了防止伪衬底3a-3d和伪部分3e散落，排出部分250a和250b具有漏斗形状，使得入口较大，且其容积朝末端部分逐渐减小。为效率起见，排出部分250a和250b提供为能够靠近断裂模块260和伪切割模块265和从二者处缩回。可通过圆柱体或马达与滚珠螺杆的组合而容易地实施此种结构。由于被切掉的伪衬底3a-3d和伪部分3e全部具有恒定长度和尺寸，所以为了通过断裂成小块而重复使用，可在排出部分250a和250b中进一步提供碾碎部分(crushingportion)252a和252b,其用于碾碎伪衬底3a-3d和伪部分3e。沿着工作线在真空台266后面提供横向传送器275。在横向传送器275上方安装衬底传递部分280。衬底传递部分280耦合到第三轨道部分281，并沿着第三轨道部分281的长度方向移动。由于通过从大面积原始衬底1中切削而最终形成的第二单位衬底8在后处理中是逐个个别管理的，所以衬底传递部分280沿着第三轨道部分281移动，且将最终的伪部分3e已切削的第二单位衬底8从真空台266移动到横向传送器275。当在本实施例中在切割系统中提供单个横向传送器275时，只在第三轨道部分281中提供一个衬底传递部分280。然而，在本实施例中，为了提高生产率，可提供两个横向传送器275，使得在第三轨道部分281中提供两个村底传递部分280。可根据设计来调整这些数目。由于对大面积原始衬底1的切割工作是在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下执行的，所以最终放置在横向传送器275上的第二单位衬底8布置成使得作为CF的上面板8a面朝下而作为TFT的下面板8b面朝上。然而，为了工艺管理起见，图1所示的最终制造出的第二单位衬底8的作为CF的上面板8a面朝上，而作为TFT的下面板8b面朝下。为此目的，20在横向传送器275的后面进一步提供反转器"5,其反转第二单位衬底8的上烦'j和下j则。反转器285包含反转轴286和一对反转传送器287,所述反转传送器287能够围绕反转轴286反转并吸附第二单位衬底8的上表面和下表面，使得第二单位衬底8可插入其中。因此，当放置在横向传送器2"上的第二单位村底8插入反转传送器287之间且接着反转传送器287围绕反转轴反转180。时，第二单位衬底8的上侧和下侧可容易地改变。也就是说，按照需要，将第二单位衬底8布置成作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下。在反转器285后面提供排出传送器290,其排出上侧和下侧已使用反转器285反转且装载在上面的第二单位衬底8以供后处理。排出传送器290与横向传送器275以相同数目且在相同的轴线上提供。下文将参看图9、图10和图13简单描述使用以上述方式配置的衬底切割系统将大面积原始衬底1切割成多个第二单位衬底8的方法。首先，当将大面积原始衬底1输入到第一带式传送器210a(S211)时，大面积原始衬底1因第一带式传送器210a的移动而朝第二带式传送器210b和第三带式传送器H0c行进。接着，通过位于第二带式传送器210b和第三带式传送器HOC间的隔离间隙2Hb中的切割模块220与第二和第三带式传送器210b和210c之间的相互作用，在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成上切割线和下切割线(S212)。也就是说，当第二带式传送器nOb和第三带式传送器210c相对于固定的上切割器233和下切割器243移动时，执行在Y轴方向上的对大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb中每一者的切割线形成工作。当在第二带式传送器210b和第三带式传送器210c固定的状态下，上切割器233和下切割器2"在上横杆231和下横杆241上在X轴方向上移动时，执行X轴方向的切割线形成工作。以此方法，分别在大面积原始村底1的上面板la和下面板lb上形成上切割线和下切割线。所述上切割线和下切割线形成在相同轴线上。当在大面积原始衬底1上形成切割线时，大面积原始村底1沿着第四带式传送器210d朝断裂模块260移动。当大面积原始衬底1到达断裂模块260时，沿着第一轨道部分261移动的可移动加热/冷却部分262以使用沿着第一轨道部分261移动的可移动加热/冷却部分262加热和冷却大面积原始衬底1的方法用易碎材料的热应力来切削大面积原始衬底1(S213)。接着，沿着切割线切削大面积原始衬底1，从而形成多个第一单位村底8，。伪衬底3a-3d通过排出部分250a排出。接下来，通过驱动分配器270以固定位置而将第一单位衬底8，逐个分21配到真空台266。当操作伪切割模块265时，切削并移除形成于第一单位衬底8，的伪部分3e(S214)。也就是^L，当支撑滚筒268支撑第一单位衬底8，的上表面时，通过定位在其下方的伪切割器267来切削伪部分3e。切削的伪部分3e通过排出部分250b排出。接着，衬底传递部分280将具有经切割的伪部分3e的第二单位衬底8(即，图1所示的第二单位衬底8)逐个传递到横向传送器275。放置在横向传送器275上的第二单位衬底8插入反转传送器287之间。反转传送器287围绕反转轴286反转180。，使得第二单位衬底8的上表面和下表面的位置改变(S215)。上表面和下表面已经过反转器285反转的最终第二单位衬底8在装载于排出传送器290上的状态下排出以供后处理(S216)。根据本实施例，可防止第二单位衬底8中将安装IC驱动器的衬垫部分P受到损坏。此外，由于可使对大面积原始衬底1的切割工作以在线形式进行，所以使得生产时间可减少，且可进一步提高生产率。图14是根据本发明第三实施例的衬底切割设备的透视图。图15是图l4的衬底切割设备的平面图。图16说明第一切割模块区域的操作。图17说明第二切割模块区域的操作。图18是用于解释根据本发明第三实施例的衬底切割方法的流程图。参看图14到图18，主要参看图14和图15，根据本实施例的村底切割设备包含多个带式传送器310a-310g,其形成对大面积原始衬底1执行切割工作的工作线；以及第一切割模块320、传递部分340及第二切割模块350，其均沿着带式传送器310a-310g依次布置。此外，衬底切割设备进一步包含排出部分370a和370b,其定位在第一切割模块320和第二切割模块350下方；以及分配器380、横向传送器384、反转器385及排出传送器390，其均提供在第二切割模块350的后面。在以上结构中，执行以下一系列工作将输入到工作线的图3的大面积原始村底1通过第一切割模块3W切削成图3的中间衬底5，通过第二切割模块350切割成图1的单位衬底8，以及排出到排出传送器390。因此，由于可建立大面积原始衬底1的在线工艺，所以可减少生产时间且可进一步提高生产率。确切地说，根据本实施例的衬底切割系统，在防止单位衬底8中将安装IC驱动器的图1的衬垫部分P受到损坏的同时，可将大面积原始衬底1切割成数个到数十个单位衬底8。首先描述图3的大面积原始衬底1和中间衬底5、图1的单位衬底8以及切割方向或带式传送器310a-310g的移动方向。图3的大面积原始衬底1是用来形成图1的单位衬底8的母体。因此，在本实施例中，图3的大面积原始衬底1中的12个阴影部分逐个指示图1的单位衬底8。此外，如上所述，将尚未切割成图3中的单位衬底8的状态下的在Y轴方向上排列的一组四个单位的单位衬底8称为中间衬底5。参看图3，单位衬底8的总数是十二个，中间衬底5的数目是三个，且未标上阴影的其他部分指示排出到排出部分370a和370b的伪衬底3a-3d。为参考起见，进一步存在与伪衬底3a-3d—起切掉的端部伪部分，此处为便于解释而省略其附图标记。大面积原始村底1与单位衬底8—样包含由两片玻璃形成的上面板la和下面板lb。最终放置在排出传送器390上的单位衬底8配置成使得作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下，如图1所示，且随后被排出以供后处理。然而，在切割工艺之前，在将大面积原始衬底1反转成与单位衬底8相反的状态下，将其输入到形成工作线的带式传送器310a-310g。也就是说，大面积原始衬底1在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下输入以进行一系列切割工作。此外，将中间衬底5与大面积原始衬底1一样布置。在本实施例中，图3的大面积原始衬底1通过切割系统切割成三个单位的中间衬底5，并再次切割成十二个单位的单位衬底8。此处，关于切割方向或带式传送器310a-310g的移动方向，带式传送器310a-310g的排列方向为Y轴方向，且垂直于Y轴方向的方向为X轴方向。下面将依次描述根据本实施例的衬底切割设备的结构。首先，带式传送器310a-310g形成大面积原始衬底1的切割工作线。由于大面积原始衬底l、中间衬底5及单位衬底8可在不受损坏的情况下传递，所以带式传送器310a-310g优于平台。使用线性运动来精确地控制带式传送器310a-310g的移动。在位置方面，将带式传送器310a-310g分成第一到第七个带式传送器310a-310g。第一带式传送器310a是起初装载大面积原始衬底1的部分。第二带式传送器310b和第三带式传送器310c是用于使用第一切割模块320将大面积原始衬底1切割成中间衬底5的部分。第四带式传送器310d和第五带式传送器310e是逐个布置并传递中间衬底5的部分。第六带式传送器310f和第七带式传送器310g是通过第二切割;漠块35()与第四和第五带式传送器310d和310e之间的相互作用而将中间衬底5切割成单位衬底8的部分。在第一到第七带式传送器310a-310g之间形成预定的隔离间隙。隔离间隙用于在相应位置执行切割工作，或者促进衬底l、5和8移动。在本实施例中，如图3所示形成多个隔离间隙。第二带式传送器310b与第三带式传送器310c之间的定位第一切割模块320的隔离间隙称为第一隔离间隙312a，且第四带式传送器310d与第五带式传送器310e之间的以及第六带23式传送器310f与第七带式传送器310g之间的定位第二切割模块350的隔离间隙称为第二隔离间隙312b。在本实施例中，带式传送器310a-310g在相应位置处停止或者在如箭头所示的Y轴的正(+)方向上驱动。虽然带式传送器310a-310g在与箭头所示的方向相反的Y轴方向的负(-)方向上驱动并且与第一切割模块320和第二切割模块350相互作用，但此处将不再对其进行描述。第一切割;漠块320具有将大面积原始村底1切割成中间衬底5的结构并且安装在第一隔离间隙312a中。第一切割模块320包含第一切割部分321(请参看图10)，其位于第一隔离间隙312a中，其在大面积原始衬底1的上表面和下表面上沿着X轴方向形成切割线；以及第一断裂部分323，其安装在第一切割部分321前面且通过加热和冷却大面积原始衬底1而沿着X轴方向上的切割线切割大面积原始衬底1以形成多个中间衬底5。第一切割部分321包含第一上切割部分325，其提供在第一隔离间隙312a中，在第二带式传送器312b与第三带式传送器312c上方，且在大面积原始衬底1的上面板la中在X轴方向上形成上切割线；以及第一下切割部分328,其提供在第一隔离间隙中，在第二带式传送器312b与第三带式传送器312c下方，且在大面积原始衬底1的下面板lb上在X轴方向上形成下切割线。首先，第一上切割部分325包含第一上横杆326，其固定在垂直于工作线的长度方向的方向上；以及多个第一上切割器327，其耦合到第一上横杆326—侧。虽然位于第一上切割部分325附近的第二带式传送器310b和第三带式传送器310c可在Y轴方向上移动，但第一上横杆326固定在相应位置处，且只有耦合到第一上横杆326的第一上切割器327在X轴方向上移动。进一步在第一上横杆326另一侧处提供第一上部线观察部分(未图示)，其观察X轴方向上的上切割线。可通过基于由第一上部线观察部分观察到的图像的控制来确定第一上切割器327在第一上横杆326上的位置。第一上切割器327包含第一上固持器327a,其耦合到第一上横杆326;以及第一上切具327b，其在大面积原始村底1的上面板la上在X轴方向上形成上切割线，所述大面积原始衬底1通过由第二带式传送器310b和第三带式传送器310c支撑而移动。第一上固持器327a耦合成能够在第一上横杆326上相对移动。接下来，第一下切割部分328包含第一下横杆329，其在垂直于工作线的长度方向的方向上固定；以及多个第一下切割器330，其耦合到第一下横杆329—侧。虽然位于第一下切割部分328附近的第二带式传送器310b和第三带式传送器310c可在Y轴方向上移动，但第一下4黄杆329固定在相应位置处，且只有耦合到第一下横杆329的第一下切割器330在X轴方向上移动。进一步在第一下横杆329的另一侧提供观察X轴方向上的下切割线的第一下部线观察部分(未图示)。可通过基于由第一下部线观察部分观察到的图像的控制来确定第一下切割器330在第一下横杆329上的位置。第一下切割器330包含第一下固持器330a，其耦合到第一下横杆329;以及第一下切具330b，其在大面积原始衬底1的下面板lb上在X轴方向上形成下切割线，所述大面积原始衬底1通过由第二带式传送器310b和第三带式传送器310c支撑而移动。第一下固持器330a耦合成能够在第一下横杆329上相对移动。当基于第一切割部分321的操作而如图14所示在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成X轴方向上的上切割线和下切割线时，所述工作是在第二带式传送器310b和第三带式传送器310c在X轴方向上相对于固定在第一上横杆326和第一下横杆329上的第一上切割器327和第一下切割器330移动时执行的。第一上横杆326和第一下横杆329通过第一连接部分335彼此连接。需要一沿着切割线切割大面积原始村底1以形成三个单位的中间衬底5的单位。在本实施例中，第一断裂部分323充当所述单位。第一断裂部分323可定位于第一切割部分321后面。然而，在本实施例中，第一断裂部分323位于第一切割部分321前面。第一断裂部分323通过以下方式切割大面积原始衬底1:在将由第一切割部分321在上面板la和下面板lb上形成X轴方向上的上切割线和下切割线的位置处加热大面积原始衬底1,并且一旦沿着相应的切割线形成切割线便注入冷空气。为参考起见，为了沿着切割线切割大面积原始衬底1，以向切割线区域施加压力或者加热形成切割线的部分然后迅速冷却所述部分的方法，使用易碎材料的热应力来切割大面积原始村底1。因此，需要一用于向大面积原始衬底1施加压力或者加热和冷却大面积原始衬底1的单位。在本实施例中，第一断裂部分323充当所述单位。虽然在本实施例中，第一断裂部分323以加热和冷却大面积原始衬底1的方法，使用易碎材料的热应力来切割大面积原始衬底1，但可使用施加压力的方法。在此情况下，可安装压缩空气注入部分来替代第一断裂部分323。因此，可基于如图16中所示而执行的第一切割部分321与第一断裂部分323之间的相互作用，而将行进到第一切割it块320的大面积原始衬底1切割成三个单位的中间衬底5。在此过程中，会产生伪衬底3a和3b以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分370a,如下文所述。通过第一切割模块320切割的三个单位的中间衬底5位于第三带式传送器310c上，并且逐个传递到第三带式传送器后面的第四带式传送器310d和第五带式传送器310e。因此，在本实施例中，传递部分340将位于第三带式传送器310c上的三个单位的中间村底5逐个传递到第四带式传送器310d和第五带式传送器310e。传递部分340包含一对第一轨道部分341，其在第四带式传送器310d和第五带式传送器310e两侧在Y轴方向上以一定长度布置，所述第四带式传送器310d和第五带式传送器310e彼此分离且传递中间衬底5;可移动杆343，其两个端部耦合到每一第一轨道部分341且能够在Y轴方向上移动；以及抓取头(griphead)345,其耦合到可移动杆343。抓取头345耦合到可移动杆343，且不但可向可移动杆343旋转，而且可在可移动杆343的长度方向上移动。抓取头345逐个抓取第三带式传送器310c上的中间衬底5并改变方向，且接着将中间衬底5移动到第四带式传送器310d和第五带式传送器310e。第二切割模块350具有用以将中间衬底5切割成单位衬底8的结构，且安装在位于传递部分340后面的第二隔离间隙312b中。第二切割;f莫块350的结构与第一切割模块320的结构实质上相同，以下将进行描述。第二切割模块350包含第二切割部分351(请参看图17)，其位于第二隔离间隙312b中，在中间衬底5的上表面和下表面上沿着X轴方向形成切割线；以及第二断裂部分353，其安装在第二切割部分351前面，且通过加热和冷却中间衬底5而沿着X轴方向上的切割线切割中间衬底5,以形成多个单位衬底8。第二切割部分351包含第二上切割部分355，其提供在第二隔离间隙312b中，在相应的带式传送器312d-312g上方，且在中间衬底5的上面板(未图示)中在X轴方向上形成上切割线；以及第二下切割部分358，其提供在第二隔离间隙312b中，在相应的带式传送器312d-312g下方，且在中间衬底5的下面板(未图示)上在X轴方向上形成下切割线。首先，第二上切割部分355包含第二上横杆356，其固定在垂直于工作线的长度方向的方向上；以及多个第二上切割器357，其耦合到第二上横杆356—侧。虽然位于第二上切割部分355附近的相应带式传送器312d-312g可在Y轴方向上移动，但第二上横杆356固定在相应位置处，且只有耦合到第二上横杆356的第二上切割器357在X轴方向上移动。进一步在第二上横杆356的另一侧提供观察X轴方向上的上切割线的第二上部线观察部分(未图示)。可通过基于由第二上部线观察部分观察到的图像的控制来确定第二上切割器357在第二上横杆356上的位置。第二上切割器357包含第二上固持器357a,其耦合到第二上横杆356;以及第二上切具357b，其在中间衬底5的上面板上在X轴方向上形成上切26割线，所述中间衬底5通过由相应带式传送器312d-312g支撑而移动。第二上固持器357a耦合成能够在第二上横杆356上相对移动。接下来，第二下切割部分358包含第二下横杆359,其在垂直于工作线的长度方向的方向上固定；以及多个第二下切割器360,其耦合到第二下横杆359—侧。虽然位于第二下切割部分358附近的相应带式传送器312d-312g可在Y轴方向上移动，但第二下;f黄杆359固定在相应位置处，且只有耦合到第二下横杆359的第二下切割器360在X轴方向上移动。进一步在第二下横杆359的另一侧提供观察X轴方向上的下切割线的第二下部线观察部分(未图示)。可通过基于由第二下部线观察部分观察到的图像的控制来确定第二下切割器360在第二下横杆359上的位置。第二下切割器360包含第二下固持器360a,其耦合到第二下横杆359;以及第二下切具360b，其在中间衬底5的下面板上在X轴方向上形成下切割线，所述中间衬底5通过相应的带式传送器312d-312g支撑而移动。第二下固持器360a耦合成能够在第二下横杆359上相对移动。当基于第二切割部分351的操作而如图14所示在中间衬底5的上面板和下面板上形成X轴方向的上切割线和下切割线时，所述工作是在相应的带式传送器312d-312g在X轴方向上相对于固定在第二上横杆356和第二下横杆359上的第二上切割器357和第二下切割器360移动时执行的。第二上横杆356和第二下横杆359通过第二连接部分365彼此连接。需要一可沿着切割线切割中间衬底5以形成多个单位衬底8的单位。在本实施例中，第二断裂部分353充当所述单位。第二断裂部分353可定位在第二切割部分351后面。然而，在本实施例中，第二断裂部分353位于第二切割部分351前面。由于第二断裂部分353的操作与上述第一断裂部分323的操作相同，所以此处将不再对其进行详细描述。因此，可基于如图17中所示而执行的第二切割部分351与第二断裂部分353之间的相互作用，而将行进到第二切割模块350的中间衬底5切割成单位衬底8。也就是说，在本实施例中，从单个单位的中间衬底5中产生总共四个单位衬底8。在此过程中，会产生伪衬底3c和3d以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分370b，如下文所述。在第一切割模块320中从大面积原始衬底1中切掉伪衬底3a和3b以及端部伪部分，且在第二切割模块35Q中从中间衬底5中切掉伪衬底3c和3d以及端部伪部分，这些伪衬底和端部伪部分由于自身重量或单独的移除单位而下落。提供排出部分370a和370b以使得伪衬底3a-3d以及端部伪部分可在一个位置排出而不会散落。在本实施例中，分别在第一切割模块320和第二切割模块350下方提供排出部分370a和370b，以排出在相应位置处下落的伪衬底3a-3d和端部伪部分。为了防止伪衬底3a-3d和端部伪部M落，排出部分370a和370b具有漏斗形状，使得入口较大，且其容积朝末端部分逐渐减小。为效率起见，排出部分370a和370b提供为能够靠近第一切割模块320和第二切割模块350和从二者处缩回。可通过圓柱体或马达与滚珠螺杆的组合而容易地实施此种结构。由于被切掉的伪衬底3a-3d和端部伪部分全部具有恒定长度和尺寸，所以为了通过断裂成小块而重复^f吏用，可在排出部分370a和370b中进一步提供碾碎部分372a和372b,其用于碾碎伪衬底3a-3d和端部伪部分。在第六带式传送器310f和第七带式传送器310g后面提供横向传送器384,所述横向传送器384与第六带式传送器310f和第七带式传送器310g形成相同的线。在横向传送器384周围提供分配器380。分配器380将已完全切割的单位衬底8逐个分配到横向传送器384。也就是说，最终制造的单位村底8在后处理中是个别逐个管理的，分配器380将放置在第六带式传送器310f和第七带式传送器310g上的单位衬底8传递到横向传送器384。分配器380包含一对第二轨道部分381,其在横向传送器384两侧以一定长度布置；以及分配头382，其能够沿着第二轨道部分381移动，且耦合到第二轨道部分381，能够相对于第二轨道部分381相对旋转，并吸附已完成切割工作的单位衬底8。如果在沖艮据本实施例的切割系统中提供单个单位的横向传送器384，则只要提供分配器380的一个单位的分配头382便已足够。然而，在本实施例中，由于为了提供生产率而提供了两个单位的横向传送器384，所以提供两个单位的分配头382。可根据设计改变这些数目。由于大面积原始衬底1是在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的初始状态下切割成三个单位的中间衬底5，且接着形成为单位衬底8的，所以最终放置在横向传送器384上的单位衬底8布置成使得作为CF的上面板8a面朝下而作为TFT的下面板8b面朝上。然而，为了进行工艺管理，图1所示的最终制造出的单位衬底8的作为CF的上面板8a面朝上，且作为TFT的下面板8b面朝下。为此目的，进一步在横向传送器384的后面提供反转器385,其反转单位衬底8的上侧和下侧。反转器385包含反转轴386和一对反转传送器387,所述反转传送器387能够围绕反转轴386反转并吸附单位衬底8的上表面和下表面，使得单位衬底8可插入其中。因此，当放置在横向传送器384上的第二单位衬底8插入反转传送器387之间且接着反转传送器387围绕反转轴386反转180°时，单位衬底8的上侧和下侧容易地改变。也就是说，按照需要，将单位28衬底8布置成作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下。在反转器385后面提供排出传送器390，其将上侧和下侧已使用反转器385反转并装栽在上面的单位衬底8排出以供后处理。排出传送器390与横向传送器384以相同数目在相同轴线上提供。下文将参看图14、图15和图18简单描述使用以上述方式配置的衬底切割系统将大面积原始村底1切割成三个单位的中间衬底5且接着切割成总共十二个单位的单位衬底8的方法。首先，当将大面积原始衬底1输入到第一带式传送器310a(S311)时，通过第一带式传送器310a的移动将大面积原始村底1传递到第二带式传送器310b和第三带式传送器310c。接着，通过位于第二和第三带式传送器310b和310c之间的隔离间隙312a中的第一切割;f莫块320与第二和第三带式传送器310b和310c之间的相互作用，在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成X轴方向上的上切割线和下切割哉以用于切割(S312)。也就是说，可基于执行如图16中所示的操作的第一切割部分321与第一断裂部分323之间的相互作用，而将行进到第一切割模块320的大面积原始衬底1切割成三个单位的中间衬底5。在此过程中，会产生伪衬底3a和3b以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分3Ma。接下来，将放置在第三带式传送器310c上的三个单位的中间衬底5中的每一者通过传递部分3"4爪取并旋转90。以传递到第四带式传送器310d和第五带式传送器310e(S313)。传递到第四带式传送器HOd和第五带式传送器310e的中间衬底5的长度方向是Y轴方向。当中间衬底5被传递到第四带式传送器310d和第五带式传送器310e并沿着第四带式传送器310d和第五带式传送器310e行进到第二切割模块350时，通过第二切割模块350与相应的带式传送器310d-310g之间的相互作用而在中间衬底5的上面板和下面板上形成X轴方向上的上切割线和下切割线以用于切割(S314)。也就是说，可基于执行如图17中所示的操作的第二切割部分351与第二断裂部分353之间的相互作用，而将行进到第二切割模块350的中间衬底5切割成多个单位衬底8。在此过程中，会产生伪衬底3c和3d以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分370b。接下来，将通过第二切割模块350切割并放置在第六带式传送器310f和第七带式传送器310g上的每一单位衬底8传递到横向传送器384。接着，将放置在横向传送器384上的单位衬底8插入反转传送器387之间，且反转传送器387围绕反转轴386旋转180。，使得每一单位衬底8的上表面和下表面的位置改变(S315)。在上表面和下表面已经过反转器385反转的最终单位衬底8装载于排出传送器390上的状态下，将其排出以供后处理(S316)。根据本实施例，可防止单位衬底8中将安装IC驱动器的衬垫部分P受到损坏。此外，由于可使对大面积原始村底1的切割工作以在线形式进行，所以使得生产时间可减少，且可进一步提高生产率。图19是根据本发明第四实施例的衬底切割设备的透视图。图20是图19的衬底切割设备的平面图。图21说明第一切割模块区域的操作。图22说明第二切割模块区域的操作。图23是用于解释根据本发明第四实施例的衬底切割方法的流程图。参看图19到图23,主要参看图19和图20，根据本实施例的衬底切割设备包含多个带式传送器410a-410g，其形成彼此交叉的第一和第二工作线，且其中执行对大面积原始衬底1的切割工作；第一切割模块420，其提供在第一工作线处，并将大面积原始衬底1切割成三个单位的中间衬底5;传递部分440，其将中间衬底5传递到第二工作线；以及第二切割模块450，其提供在第二工作线处，并将中间衬底5切割成多个单位衬底8。此外，村底切割设备进一步包含排出部分470a和470b，其位于第一切割模块420和第二切割模块450下方；以及分配器480、横向传送器484、反转器485及排出传送器490，其均提供在第二切割模块450后面。在上述结构中，执行以下一系列工作将输入到第一工作线的图3的大面积原始衬底1通过第一切割模块420切削成图3的中间衬底5，通过第二切割模块450切割成图1的单位衬底8，以及排出到排出传送器490。因此，由于可建立大面积原始衬底1的在线工艺，所以可减少生产时间且可进一步提高生产率。确切地说，根据本实施例的衬底切割系统，在防止单位衬底8中将安装IC驱动器的图1的衬垫部分P受到损坏的同时，可将大面积原始村底1切割成数个到数十个单位衬底8。首先描述图3的大面积原始衬底1和中间衬底5、图1的单位衬底8以及切割方向或带式传送器410a-410g的移动方向。图3的大面积原始衬底1是用来形成图1的单位衬底8的母体。在本实施例中，图3的大面积原始衬底1中的12个阴影部分逐个指示图1的单位衬底8。此外，如上所述，将尚未切割成图3中的单位村底8的状态下的在Y轴方向上排列的一组四个单位的单位衬底8称为中间衬底5。参看图3,单位衬底8的总数是十二个，中间衬底5的数目是三个，且未标上阴影的其他部分指示排出到排出部分470a和470b的伪衬底3a-3d。为参考起见，进一步存在与伪衬底3a-3d—起切掉的端部伪部分，此处为便于解释而省略其附图标记。大面积原始衬底1与单位衬底8—样包含由两片玻璃形成的上面板la和下面板lb。最终放置在排出传送器490上的单位衬底8布置成4吏得作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下，如图1所示，且接着被排出以供后处理。然而，在切割工艺之前，在将大面积原始衬底1反转成与单位村底8相反的状态下，将其输入到形成第一和第二工作线的带式传送器410a-410g。也就是说，大面积原始衬底1在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的状态下输入以进行一系列切割工作。此外，将中间衬底5与大面积原始衬底1一样布置。在本实施例中，图3的大面积原始衬底1通过切割系统切割成三个单位的中间衬底5，并再次切割成十二个单位的单位衬底8。此处，关于切割方向或带式传送器410a-410g的移动方向，第一到第三带式传送器410a-410c的排列方向为第一线Y轴方向，且垂直于Y轴方向的方向为第一线X轴方向。第四带式传送器410d和第六带式传送器410f以及第五带式传送器410e和第七带式传送器410g排列的方向是第二线Y轴方向，且垂直于Y轴方向的方向为第二线X轴方向。下面将依次描述根据本实施例的衬底切割设备的结构。首先，带式传送器410a-410g形成对大面积原始衬底1进行切割工作的第一和第二工作线。由于大面积原始衬底1、中间衬底5以及单位衬底8可在不受损坏的情况下传递，所以带式传送器410a-410g优于平台。使用线性运动来精确地控制带式传送器410a-410g的移动。如上所述，带式传送器410a-410g具有相对于交叉区域彼此交叉的第一工作线和第二工作线。形成第一工作线的第一到第三带式传送器410a-410c涉及将大面积原始村底1切割成中间衬底5。形成第二工作线的第四到第七带式传送器410d-410g涉及将中间衬底5切割成单位衬底8。具体地说，第一带式传送器410a是起初装载大面积原始衬底1的部分，且第二带式传送器410b和第三带式传送器"0c是用于通过第一切割模块420将大面积原始衬底1切割成中间衬底5的部分。第四带式传送器410d和第五带式传送器410e是在上面布置和传递每一中间衬底5的部分。第六带式传送器410f和第七带式传送器410g是用以通过第四和第五带式传送器410d和410e与第二切割模块450之间的相互作用而将中间衬底5切割成单位衬底8的部分。在第一到第七带式传送器410a-410g之间形成预定的隔离间隙。隔离间隙是用于在相应位置处执行切割工作，或者促进衬底l、5和8移动。在本实施例中，如图19所示形成多个隔离间隙。第二带式传送器410b与第三带式传送器410c之间的定位第一切割模块420的隔离间隙称为第一隔离间隙412a,且第四带式传送器410d与第五带式传送器410e之间的以及第六带式传送器410f与第七带式传送器410g之间的定位第二切割模块45031的隔离间隙称为第二隔离间隙412b。在本实施例中，形成第一工作线的第一到第三带式传送器410a-410c在相应位置处停止或者在第一线Y轴上驱动。形成第二工作线的第四到第七带式传送器410d-410g在相应位置处停止或者在第二线Y轴上驱动。第一切割模块420具有将大面积原始衬底1切割成中间衬底5的结构并且安装在第一隔离间隙412a中。第一切割模块420包含第一切割部分421(请参看图21)，其位于第一隔离间隙412a中，在大面积原始衬底1的上表面和下表面上沿着第一线X轴方向形成切割线；以及第一断裂部分423，其安装在第一切割部分421前面且通过加热和冷却大面积原始衬底1而沿着第一线X轴方向上的切割线将大面积原始衬底1切割成中间衬底5。第一切割部分421包含第一上切割部分425,其提供在第一隔离间隙412a中，在第二带式传送器412b与第三带式传送器412c上方，且在大面积原始衬底1的上面板la中在第一线X轴方向上形成上切割线；以及第一下切割部分428，其提供在第一隔离间隙412a中，在第二带式传送器412b与第三带式传送器412c下方，且在大面积原始衬底1的下面板lb中在X轴方向上形成下切割线。首先，第一上切割部分425包含第一上横杆426,其在第一线X轴方向上固定；以及多个第一上切割器427，其耦合到第一上横杆426—侧。虽然位于第一上切割部分425附近的第二带式传送器410b和第三带式传送器410c可在第一线Y轴方向上移动，但第一上横杆426固定在相应位置处，且只有耦合到第一上横杆426的第一上切割器427在X轴方向上移动。进一步在第一上横杆426另一侧提供第一上部线观察部分(未图示)，其观察第一线X轴方向上的上切割线。可通过基于由第一上部线观察部分观察到的图像的控制来确定第一上切割器427在第一上横杆426上的位置。第一上切割器427包含第一上固持器427a，其耦合到第一上横杆"6;以及第一上切具427b，其在大面积原始衬底1的上面板la上在第一线X轴方向上形成上切割线，所述大面积原始衬底1通过由第二带式传送器410b和第三带式传送器410c支撑而移动。第一上固持器427a耦合成能够在第一上橫杆426上相对移动。接下来，第一下切割部分428包含第一下横杆429，其位于第一上横杆426下方，且固定在第一线X轴方向中；以及多个第一下切割器430，其耦合到第一下横杆429—侧。虽然位于第一下切割部分428附近的第二带式传送器410b和第三带式传送器410c可在第一线X轴方向上移动，但第一下横杆429固定在相应位置处，且只有耦合到第一下横杆429的第一下切割器430在X轴方向上移动。进一步在第一下横杆429的另一侧提供观察第一线X轴方向上的下切32割线的第一下部线观察部分(未图示)。可通过基于由第一下部线观察部分观察到的图像的控制来确定第一下切割器430在第一下横杆429上的位置。第一下切割器430包含第一下固持器430a,其耦合到第一下横杆429;以及第一下切具430b，其在大面积原始衬底1的下面板lb上在第一线X轴方向上形成下切割线，所述大面积原始衬底1通过由第二带式传送器410b和第三带式传送器410c支撑而移动。第一下固持器430a耦合成能够在第一下横杆429上相对移动。当基于第一切割部分421的操作而如图3所示在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成第一线X轴方向上的上切割线和下切割线时，所述工作是在第二带式传送器410b和第三带式传送器410c相对于固定在第一上横杆426和第一下横杆429上的第一上切割器427和第一下切割器430移动时执行的。第一上横杆426和第一下横杆429通过第一连接部分435彼此连接。需要一可沿着切割线切割大面积原始衬底1以形成三个单位的中间衬底5的单位。在本实施例中，第一断裂部分423充当所述单位。第一断裂部分423可定位于第一切割部分421后面。然而，在本实施例中，第一断裂部分423位于第一切割部分421前面。第一断裂部分423通过以下方式切割大面积原始衬底1:在将由第一切割部分421在上面板la和下面板lb上形成第一线X轴方向上的上切割线和下切割线的位置处加热大面积原始衬底1，并且一旦沿着相应的切割线形成切割线便注入冷空气。为参考起见，为了沿着切割线切割大面积原始衬底1，以向切割线区域施加压力或者加热形成切割线的部分且接着迅速冷却所述部分的方法，使用易碎材料的热应力来切割大面积原始衬底1。因此，需要一用于向大面积原始衬底1施加压力或者加热和冷却所述大面积原始衬底1的单位。在本实施例中，第一断裂部分423充当所述单位。虽然在本实施例中，第一断裂部分423以加热和冷却大面积原始衬底1的方法，使用易碎材料的热应力来切割大面积原始衬底1,但可使用施加压力的方法。在此情况下，可安装压缩空气注入部分来代替第一断裂部分423。因此，可基于如图21中所示而执行的第一切割部分421与第一断裂部分423之间的相互作用，而将行进到第一切割才莫块420的大面积原始衬底1切割成三个单位的中间衬底5。在此过程中，会产生伪衬底3a和3b以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分470a，如下文所述。通过第一切割模块420切割的三个单位的中间衬底5位于第三带式传送器410c上，并且逐个传递到第三带式传送器后面的第四带式传送器410d和第五带式传送器410e。因此，在本实施例中，传递部分440将位于第三带式传送器"0c上的三个单位的中间衬底5逐个传递到第四带式传送器。传递部分44Q包含一对第一轨道部分441，其布置在形成穿过交叉区域的第一工作线的带式传送器410a-410c两侧；可移动杆443，其两个端部耦合到每一第一轨道部分441且能够沿着第一轨道部分441移动；以及抓取头445，其耦合到可移动杆443,其能够在可移动杆443的长度方向上移动，并逐个抓取中间衬底5以传递到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e。抓取头445沿着可移动杆443线性移动，并且逐个抓取第三带式传送器410c上的三个单位的中间衬底5，以将中间村底5移动到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e。因此，由传递部分440从第三带式传送器410c传递到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e的中间衬底5执行线性运动。当中间衬底5执行线性运动并被传递到相应位置时，由于无需提供用以旋转中间衬底5的机构，所以设备的结构得以简化，且可最大程度地防止产生传递中间衬底5期间可能会产生的误差。第二切割模块450具有用以将中间衬底5切割成单位衬底8的结构，且安装在位于第二工作线侧的第二隔离间隙412b中。第二切割模块450的结构与第一切割模块420的结构实质上相同，以下将进行描述。第二切割模块45Q包含第二切割部分451(请参看图22)，其位于第二隔离间隙412b中，在中间衬底5的上表面和下表面上沿着第二线X轴方向形成切割线；以及第二断裂部分453，其安装在第二切割部分451前面，且通过加热和冷却中间衬底5而沿着第二线X轴方向上的切割线切割中间衬底5，以形成多个单位村底8。第二切割部分451包含第二上切割部分455，其提供在第二隔离间隙412b中，在相应的带式传送器412d-412g上方，且在中间衬底5的上面板(未图示)中在第二线X轴方向上形成上切割线；以及第二下切割部分458，其提供在第二隔离间隙412b中，在相应的带式传送器412d-412g下方，且在中间衬底5的下面板(未图示)中在第二线X轴方向上形成下切割线。首先，第二上切割部分455包含第二上横杆456，其固定第一线X轴方向上；以及多个第二上切割器457，其耦合到第二上横杆456—侧。虽然位于第二上切割部分455附近的相应带式传送器412d-412g可在第二线Y轴方向上移动，但第二上横杆456固定在相应位置处，且只有耦合到第二上横杆456的第二上切割器457移动。进一步在第二上横杆456的另一侧提供观察第二线X轴方向上的上切割线的第二上部线观察部分(未图示)。可通过基于由第二上部线观察部分观察到的图像的控制来确定第二上切割器457在第二上横杆456上的位置。第二上切割器457包含:第二上固持器457a，其耦合到第二上横杆456;34以及第二上切具457b，其在中间衬底5的上面板上在第二线X轴方向上形成上切割线，所述中间衬底5通过由相应带式传送器412d-412g支撑而移动。第二上固持器457a耦合成能够在第二上横杆456上相对移动。接下来，第二下切割部分458包含第二下横杆459，其定位在第二上横杆429下方，并且固定在第二线X轴方向上；以及多个第二下切割器460，其耦合到第二下横杆459—侧。虽然位于第二下切割部分458附近的相应带式传送器412d-412g可在第二线Y轴方向上移动，但第二下横杆459固定在相应位置处，且只有耦合到第二下横杆459的第二下切割器460在X轴方向上移动。进一步在第二下横杆459的另一侧提供观察第二线X轴方向上的下切割线的第二下部线观察部分(未图示)。可通过基于由第二下部线观察部分观察到的图像的控制来确定第二下切割器460在第二下橫杆459上的位置。第二下切割器460包含第二下固持器460a，其耦合到第二下横杆459;以及第二下切具460b,其在中间衬底5的下面板上在第二线X轴方向上形成下切割线，所述中间村底5通过相应的带式传送器412d-412g支撑而移动。第二下固持器460a耦合成能够在第二下横杆459上相对移动。当基于第二切割部分451的操作而如图3所示在中间衬底5的上面板和下面板上形成第二线X轴方向上的上切割线和下切割线时，所述工作是在相应的带式传送器412d-412g相对于固定在第二上横杆456和第二下横杆459上的第二上切割器457和第二下切割器460移动时执行的。第二上横杆456和第二下横杆459通过第二连接部分465彼此连接。需要一可沿着切割线切割中间衬底5以形成多个单位衬底8的单位。在本实施例中，第二断裂部分453充当所述单位。第二断裂部分453可定位于第二切割部分451后面。然而，在本实施例中，第二断裂部分453位于第二切割部分451前面。由于第二断裂部分453的操作与上述第一断裂部分423的操作相同，所以此处将不再对其进行详细描述。因此，可基于如图22中所示而执行的第二切割部分451与第二断裂部分453之间的相互作用，而将行进到第二切割模块450的中间衬底5切割成单位衬底8。也就是说，在本实施例中，从单个单位的中间衬底5中产生总共四个单位衬底8。在此过程中，会产生伪衬底3c和3d以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分470b，如下文所述。在第一切割模块420中从大面积原始衬底1中切掉伪衬底3a和3b以及端部伪部分，且在第二切割模块450中从中间衬底5中切掉伪衬底3c和3d以及端部伪部分，这些伪衬底和端部伪部分由于自身重量或单独的移除单位而下落。提供排出部分470a和470b以使得伪衬底3a-3d以及端部伪部分可在一个位置排出而不会散落。35在本实施例中，分别在第一切割模块420和第二切割模块450下方提供排出部分470a和470b,以排出在相应位置处下落的伪衬底3a-3d和端部伪部分。为了防止伪衬底3a-3d和端部伪部分散落，排出部分470a和470b具有漏斗形状，使得入口较大，且其容积朝末端部分逐渐减小。为效率起见，排出部分470a和470b提供为能够靠近第一切割模块420和第二切割模块450和从二者处缩回。可通过圓柱体或马达与滚珠螺杆的组合而容易地实施此种结构。由于被切掉的伪衬底3a-3d和端部伪部分全部具有恒定长度和尺寸，所以为了通过断裂成小块而重复使用，可在排出部分470a和470b中进一步提供碾碎部分472a和472b,其用于碾碎伪衬底3a-3d和端部伪部分。在第六带式传送器410f和第七带式传送器410g后面提供横向传送器484，所述横向传送器484与第六带式传送器410f和第七带式传送器410g形成相同的线。在横向传送器484周围提供分配器480。分配器480将已完全切割的单位衬底8逐个分配到横向传送器484。也就是说，最终制造的单位衬底8在后处理中是个别逐个管理的，分配器480将放置在第六带式传送器410f和第七带式传送器"Og上的单位衬底8传递到横向传送器484。分配器480包含一对第二轨道部分481，其在横向传送器484两侧沿着第二工作线布置；以及分配头482,其能够沿着第二轨道部分481移动，且耦合到第二轨道部分481，能够相对于第二轨道部分481相对旋转，并吸附已完成切割工作的单位衬底8。如果在根据本实施例的切割系统中提供单个单位的横向传送器484，则只要提供分配器480的一个单位的分配头482便已足够。然而，在本实施例中，由于为了提高生产率而提供了两个单位的横向传送器484,所以提供两个单位的分配头482。可根据设计改变这些数目。由于大面积原始衬底1是在作为TFT的上面板la面朝上而作为CF的下面板lb面朝下的初始状态下切割成三个单位的中间衬底5且接着形成为单位衬底8的，所以最终放置在横向传送器484上的单位衬底8布置成使得作为CF的上面板8a面朝下且作为TFT的下面板8b面朝上。然而，为了进行工艺管理，图1所示的最终制造出的单位衬底8的作为CF的上面板8a面朝上，而作为TFT的下面板8b面朝下。为此目的，进一步在横向传送器484的后面提供反转器485，其反转单位衬底8的上侧和下侧。反转器485包含反转轴486和一对反转传送器487，所述反转传送器487能够围绕反转轴486反转并吸附单位衬底8的上表面和下表面，使得单位衬底8可插入其中。因此，当放置在横向传送器484上的第二单位衬底8插入反转传送器487之间且接着反转传送器487围绕反转轴486反转180°时，单位衬底8的上侧和下侧容易地改变。也就是说，按照需要，将单位衬底8布置成作为CF的上面板8a面朝上而作为TFT的下面板8b面朝下。在反转器485后面提供排出传送器490,其将上侧和下侧已使用反转器485反转并装载在上面的单位衬底8排出以供后处理。排出传送器490与横向传送器484以相同数目且在相同轴线上提供。下文将参看图19、图20和图23简单描述使用以上述方式配置的衬底切割系统将大面积原始村底1切割成三个单位的中间衬底5且接着切割成总共十二个单位的单位衬底8的方法。首先，当将大面积原始衬底1输入到第一带式传送器410a(S411)时，通过第一带式传送器410a的移动将大面积原始衬底1传递到第二带式传送器410b和第三带式传送器410c。接着，通过位于第二带式传送器"0b和第三带式传送器41Oc之间的隔离间隙412a中的第一切割模块420，在大面积原始衬底1的上面板la和下面板lb上形成第一线X轴方向上的上切割线和下切割线以用于切割(S412)。也就是说，可基于执行如图21中所示的操作的第一切割部分421与第一断裂部分423之间的相互作用，而将行进到第一切割模块420的大面积原始衬底1切割成三个单位的中间村底5。在此过程中，会产生伪衬底3a和3b以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分470a。接下来，将放置在第三带式传送器"0c上的三个单位的中间村底5中的每一者通过传递部分440抓取并传递到第四带式传送器"0d和第五带式传送器410e(S413)。传递到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e的中间衬底5的长度方向是第二线Y轴方向。当中间衬底5被传递到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e并沿着第四带式传送器410d和第五带式传送器"0e行进到第二切割模块450时，通过第二切割模块450的操作在中间衬底5的上面板和下面板上形成第二线X轴方向上的上切割线和下切割线以用于切割(S414)。也就是说，可基于执行如图17中所示的搡作的第二切割部分451与第二断裂部分453之间的相互作用，而将行进到第二切割模块450的中间村底5切割成多个单位衬底8。在此过程中，会产生伪衬底4c和4d以及端部伪部分，其会下落并排出到排出部分470b。接下来，将通过第二切割模块450切割并放置在第六带式传送器410f和第七带式传送器410g上的每一单位衬底8传递到横向传送器化4。接着，将放置在横向传送器484上的单位衬底8插入反转传送器487之间，且反转传送器487围绕反转轴486旋转180°,使得每一单位衬底8的上表面和下表面的位置改变(S415)。可将上表面和下表面的位置已经过反转器485反转的最终单位衬底8在装载于排出传送器490的状态下排出以供后处理(S416)。因此，由于可防止单位衬底8中将安装IC驱动器的衬垫部分P受到损坏，可为大面积原始衬底1建立在线工艺，所以生产时间可减少，且可进一步提高生产率。图24说明根据本发明第五实施例的衬底切割系统的结构。图25说明图24的衬底切割设备的侧面。参看图24和图25,衬底切割系统500包含切割头510，其切割衬底1以在衬底1上形成切割线；线性马达520，其抬高切割头510;切割头传递部分530，其在X轴方向上传递切割头510;衬底传递部分540，其在Y轴方向上传递衬底l;测量部分550，其测量切割头510的切割压力；以及控制器560，其以电方式和机械方式控制上述部件。切割头510在衬底1的表面上形成切割线，且包含抬高导向器(elevationguide)511,其耦合到棒(rod)511a，并导向切割头510上下移动；尖端固持器支撑件512,其耦合到抬高导向器511,其能够相对旋转；尖端固持器513，其连接到尖端固持器支撑件512，并限制切具轮尖端(cutterwheeltip)514，所述切具轮尖端514以可旋转方式耦合到尖端固持器513，并在衬底l表面上形成切割线；以及托架515,其从抬高导向器511的一侧突出，并使用以下将描述的测力计(loadcell)551测量切割压力。抬高导向器511在由线性马达520抬高时导向切割头510上下移动，下文将描述线性马达520。因此，可使用通常使用的线性导向器来实施抬高导向器511。尖端固持器支撑件512支撑其下方的尖端固持器513，且耦合到抬高导向器511的下部分，所述支撑件能够相对旋转。因此，当在衬底l的表面上在X轴方向上形成切割线时，切具轮尖端514的刀片指向X轴方向。当在衬底1的表面上在Y轴方向上形成切割线时，切具轮尖端514的刀片旋转90°以指向Y轴方向。切具轮尖端514通过直接接触衬底1的表面而形成切割线，且以可旋转方式耦合到尖端固持器513。也就是说，当切具轮尖端514在与村底1的表面相接触地旋转时，通过移动切割头510而在衬底1的表面上形成切割线。切具轮尖端514直接接触衬底1的表面，使得衬底1的接触表面发生塑性变形。当超过塑性变形的临界点时，在切具轮尖端514的刀片按压的方向或在衬底1的厚度方向上形成裂缝。然而，当按压衬底1的切具轮尖端514的刀片的力过度时，裂缝会达到饱和，从而在不合需要的方向上形成，而不是在衬底1的厚度方向上形成。也就是说，由于裂缝是在衬底1中向内形成而不是在衬底1的厚度方向上形成，所以半导体芯片或平板显示装置的平板的性能和可靠性会退化。相反，当按压衬底1的切具轮尖端514的刀片的力过小时，裂缝形成得不够充分，使得在断裂工艺中未进行适当地切割，从而使切割性能和衬底1的质量退化。因此，在下文描述的衬底切割方法S500中通过控制切具轮尖端514的压力使其恒定为预设的参考压力，即使衬底1的厚度不均匀时也如此，使切割线深度均匀，使得可在衬底1的厚度方向上精确地形成切割线。在切割头510—侧提供托架515，且托架515随着切割头510上下移动。确切地说，托架515直接接触稍后描述的测力计551，使得测力计551可测量切割头510的下降压力。因此，如图25所示，托架515优选从切割头510中突出，并且布置在测力计551上方。此外，由于因此将按压测力计551的托架515的压力确定为切割头510的切割压力，所以必须将托架515通过刚体连接到切割头510,并且托架515优选由具有较小弹性变形的材料形成。在图24和图25中将托架515说明为提供在抬高导向器511前面。然而，耦合位置并不限于此，且任何位置均是可能的，只要托架515与切割头510—体地抬高且切割头510的切割压力^皮传递到测力计551即可。线性马达520在垂直方向(即Z轴方向)上抬高切割头510。也就是i兌，考虑到是在清洁室中制造需要高清洁度和精确度的高技术器材，所以作为用于在垂直方向(即Z轴方向)上抬高切割头510的组件，优选使用线性马达特别是线性音圈马达(voicecoilmotor,VCM)。VCM是一种电力产生设备(powergeneratingapparatus),其使用电磁力使马达以线性方式移动，所述电磁力是通过由磁铁产生的磁力与音圈中流动的电流之间的相互作用而产生的。当使用VCM时，会显著降低产生噪音和灰尘的可能性，响应速度变快，控制变得容易，且简化了机械结构。确切地说，当抬高切割头510的线性马达520是由VCM形成时，仅仅通过对在VCM中流动的电流进行控制，便可容易并精确地控制切割头510的切割压力。此外，由于响应较快，所以可精确地形成切割线的厚度。切割头传递部分530在X轴方向上传递切割头510，并且可由驱动单位形成，所述驱动单位例如为在X轴方向上产生电力的线性马达。切割头传递部分530与衬底传递部分540(下文将描述)一起由控制器560恰当控制。因此，可在村底1的表面上形成X轴方向上的切割线和与X轴方向上的切割线交叉的Y轴方向上的切割线。衬底传递部分540在Y轴方向上传递衬底1，且可由通过与衬底1接触39地旋转而传递衬底1的传递滚筒540形成。在图24中，将传递滚筒说明为只在提供衬底1下方。然而，传递滚筒540可提供在衬底1的上方以及下方，以经过按压而4皮此接触且旋转，来传递衬底l。然而，本发明并不限于此，且衬底传递部分540可由通常使用的带式传送器形成。此外，衬底传递部分540可进一步包含衬底抓取单位(未图示)，用于抓取衬底1，以防止衬底1在传递衬底1或在衬底1中形成切割线的期间受到缠绕或摇动。衬底抓取单位由夹钳(clamp)形成，所述夹钳夹紧村底1或插入衬底1与传递滚筒540之间并使用真空来抓取衬底1的真空吸附板。然而，本方面并不限于此。测量部分550测量由线性马达520向下按压的切割头510的切割压力，并将测量出的切割压力传递给控制器560。因此，测量部分550包含测力计551，其布置在切割头510的托架515的下降3各径上以接触托架515，并测量切割头510的切割压力；以及支撑件552，其布置在托架551的下降路径上，并支撑测力计551。测量部分550优选安装成与衬底1的切割路径隔开预定距离。也就是说，在开始对衬底1进行切割工作以前，先将切割头510传递到测量部分550,并测量和调整切割头510的切割压力。接着，将切割头510传递到衬底1的切割路径以开始切割工作。当将测量部分550安装成与衬底1的切割路径隔开预定距离时，衬底传递部分540的结构并不复杂，且测量部分550不会干扰切割头510的切割工作。测力计551接触托架515,并测量切割头510的切割压力，并且将测量出的值传递给控制器560。测力计551是通过以下方式制造的重量测量装置将应变仪(straingauge)附接到金属弹性体上，并根据弹性信号的负载而输出弹性体的变形率。因此，随着切割头510下降，附接到切割头510的托架515按压布置在下降路径上的测力计551。接着，将测力计551的弹性体的变形率作为电信号而检测，并将电信号通过转换器以模拟信号的形式传递给控制器560。由于控制器560包含根据检测到电信号的切割压力的预先计算值的数据库，所以可通过从测力计551传递的电信号快速并精确地获知切割头510的切割压力。控制器560控制上述部件的机械和电操作，并且可为数字信号处理器(digitalsignalprocessor,DSP)、孩i处理器、孩t控制器或包含所有所述部件的计算机。或者，控制器560可为执行下文描述的衬底切割方法S500的软件，或者记录固件的记录媒体。此外，可将控制器560理解为广泛的概念，包含将从测力计551传输的电信号转换成数字信号的模拟-数字(analog-to-digital,AD)转换器，或者将数字信号转换成应用于VCM的电信号的数字-模拟(digital-to-analog,DA)转换器。将通过描述根据本发明另一实施例的衬底切割系统500的衬底切割方法S500，来提供关于控制器560的详细描述。图26说明图24的衬底切割系统的切割操作，其中切割头在测力计上方移动。图27说明图24的衬底切割系统的切割操作，其中托架按压测力计。图28说明图24的衬底切割系统的切割4喿作，其中切割头切割衬底。图29说明图24的衬底切割系统所切割的衬底。图30是依序绘示图24的衬底切割系统的衬底切割方法的流程图。参看图26到图30,切割头传递部分530在(+X)轴方向上传递切割头510,使得托架515到达测力计551的上部。当托架515到达测力计551的上部时，向VCM520施加电流(S510)。当向VCM520施加电流时，切割头510因为由》兹铁与音圈的相互作用而产生的电磁力下降。当切割头510下降时，从切割头510向前突出的托架515接触测力计551,使得切割头510的切割压力传递到测力计551。当托架515向测力计551施加压力时，测力计551测量切割头510的切割压力(S520)。也就是说，测力计551的弹性体因托架515的压力而变形，且将变形率作为电信号而检测并传递到控制器560。控制器560从根据电信号提前准备的数据库中搜索出对应于由测力计551检测到的电信号的切割压力值，并将搜索到的切割压力与预设的参考压力进行比较(S530)。当控制器560将切割头510的切割压力与预设的参考压力进行比较并发现切割压力小于参考压力(N)时，将大于初始电流的电流施加到VCM520(S540)。通过接收大于初始电流的电流的VCM520提高切割头510的切割压力。测力计551通过托架515再次检测提高的切割压力(S520)。控制部分560将切割头510的重新测量的切割压力与参考压力进行比较(S530)。重复上述步骤直到切割压力与参考压力(Y)相同为止。当控制器560将切割头510的切割压力与预设的参考压力进行比较并发现切割压力大于参考压力(N)时，将小于初始电流的电流施加到VCM520(S540)。重复上述步骤，直到切割压力与参考压力(Y)相同为止。当控制器560将切割头510的切割压力与预设参考压力进行比较并发现切割压力与参考压力(Y)相同时，控制器560将电流作为最终施加电流而存储(S550),并在切割工艺中向VCM520施加所述施加电流。在通过上述步骤发现将施加到VCM520的电流之后，开始进行关于衬底1的切割工艺。首先，在衬底1上在X轴方向上形成切割的步骤中，切割头传递部分530将切割头510在(-X)轴方向上从测量部分550传递到衬底1的切割开始点la(请参看图29)的上部(S560)。同时，衬底传递部分540在(-Y)轴方向上传递衬底1，使得衬底1的切割开始点la位于41切割头510下方。当切割头510位于衬底1的切割开始点la处时，向VCM520施加控制器560存储的施加电流(S570)。当向VCM520施加电流时，切割头510下降，且切具轮尖端514接触村底1的表面。随着切割头510通过切割头传递部分530而在(-X)轴方向上移动，切割村底1的表面(S580)。一般而言，在此情况下，切割头510将相同的切割线反复切割若干次，以便精确地形成所要深度的切割线。X轴和Y轴在其才喿作中内插。当在X轴方向上在衬底1上形成切割线时，衬底传递部分540将衬底1在(+Y)轴方向上传递预定距离。接着，切割头510在衬底1的X轴上形成新的切割线。当通过依次重复上述步骤而在村底1上在X轴方向中形成多个切割线时，形成与X轴方向的切割线交叉的Y轴方向上的切割线。也就是说，切割头传递部分530在X轴方向上传递切割头510，使其定位于衬底1的新的切割开始点lb上方(S560)。同时，衬底传递部分540在(-Y)轴方向上传递衬底1,使得衬底1的切割开始点lb位于切割头510下方。在此情况下，尖端固持器支撑件512相对于抬高导向器511旋转90。，使得切具轮尖端514的刀片指向平行于Y轴的方向。接着，向VCM520施加控制器560所存储的施加电流(S570)。当向VCM520施加电流时，切割头510下降，使得切具轮尖端514接触衬底l的表面。因此，衬底传递部分540在(+Y)轴方向上传递衬底1，使得衬底1的表面被切割(S580)。X轴和Y轴在其操作中内插。当形成衬底1的Y轴上的切割线时，切割头传递部分530在(-X)轴方向上传递预定距离。接着，当衬底传递部分540在(+Y)轴方向上传递切具轮尖端514所接触的衬底1时，在衬底1的Y轴上形成新的切割线。当通过依次重复上述步骤而在衬底1的Y轴上形成多个切割线时，形成有切割线的衬底1进入断裂步骤，并且沿着切割线断裂成多个芯片或面板。根据本实施例，由于切割头510的切割压力精确地匹配预设的参考压力，所以村底1上形成的切割线的深度增加，使得后续衬底断裂步骤变得容易，且可改进衬底1的断裂的性能和质量。此外，由于VCM520的线性扭矩被直接传递到切割头510,所以对线性扭矩变化的响应非常快。此外，由于可通过控制施加到VCM520的施加电流来容易地控制切割头的切割压力，所以可在较大程度上改进衬底1的断裂的性能。在上述实施例中，使用单个切割头510在衬底1的上表面上形成切割线。然而，本发明并不限于此。下文将描述根据本发明另一实施例的衬底切割系统。图31说明根据本发明第六实施例的衬底切割系统的结构。如图31所示，本实施例与上述实施例的不同之处在于，切割头510、切割头传递部分530及测量部分550均是两个两个提供的，并且相对于衬底1面朝彼此。也就是说，提供为相对于衬底1面朝彼此的两个切割头510a和510b可在衬底1的上表面和下表面上形成切割线。在此情况下，与第五实施例中一样，在衬底1的表面上开始切割之前，将上切割头510a和下切割头510b移动到与其相应提供的测力计551a和551b，且可测量上切割头510a的下降压力和下切割头510b的上升压力并通过控制器560将所述压力控制成预设的参考压力。使用两个切割头510a和510b在衬底1的上表面和下表面上形成切割线可用于通过组合两片村底而形成的组合衬底，例如LCD村底。也就是说，对于组合衬底，当切割头切割表面且相同的切割头通过反转所述组合衬底而切割另一表面时，工作过程时间会延长，且需要反转组合村底的单独设备(反转设备)。然而，当使用两个切割头510a和510b在衬底l的上表面和下表面上执行切割工作时，工作过程时间减少，且无需单独的反转设备。在上述第三实施例中，将单个大面积原始衬底1切割成三个中间衬底5，且将每一中间衬底切割成四个单位衬底8M人而总共形成十二个单位衬底8。然而，本发明并不限于这些数目，因此可根据设计适当地调整通过切割大面积原始衬底获得的中间衬底数目以及通过切割中间衬底获得的单位衬底8的数目。在上述第三实施例中，第一切割模块320在X轴方向上切割大面积原始衬底l。然而，第一切割;溪块320在Y轴方向上切割大面积原始衬底1是可能的。在此情况下，传递部分340可将在X轴方向上切割的中间衬底传递到第四带式传送器310d和第五带式传送器310e，而无需在抓取经切割的中间衬底的状态下旋转。在上述第四实施例中，将单个大面积原始衬底1切割成三个中间村底5，且将每一中间衬底切割成四个单位衬底8,从而总共形成十二个单位衬底8。然而，本发明并不限于这些数目，因此可根据设计适当地调整通过切割大面积原始衬底获得的中间衬底数目以及通过切割中间村底获得的单位衬底8的数目。在上述第四实施例中，第一切割模块420在X轴方向上切割大面积原始衬底l。然而，第一切割模块420在Y轴方向上切割大面积原始衬底1是可能的。在此情况下，传递部分440可通过在抓取中间衬底的状态下旋转，而将中间衬底传递到第四带式传送器410d和第五带式传送器410e。虽然已参考本发明的优选实施例特定地展示和描述了本发明，但所属领域的技术人员将了解，可在不偏离所附权利要求书所界定的本发明的精神和范围的情况下在其中作出各种形式和细节上的改变。如上所述，根据本发明，可防止因系统高度增加而导致尺寸增加，且可更加有效地切割衬底。此外，村底的切割工作以在线形式进行，因此可减少生产时间且可进一步改进生产率。此外，根据本发明，可防止衬底中将安装IC驱动器的衬垫部分受到损坏。此外，衬底的切割工作以在线形式进行，因此可减少生产时间且可进一步政进生产率。此外，根据本发明，切割头可用预设的恒定切割压力来切割衬底，使得对扭矩变化的响应优于常规技术，其控制较容易，且可改进衬底切割的执行。权利要求1、一种衬底切割系统，其特征在于其包括多个传送器，其形成工作线，在所述工作线中对通过组合上面板和下面板而形成的原始衬底进行切割工作，且通过与至少一个区域隔开而形成预定的隔离间隙；切割模块，其安装在所述隔离间隙中，且在所述原始衬底的所述上表面和下表面上形成预定切割线，且通过沿着所述切割线切割所述原始衬底来形成多个第一单位衬底；以及伪切割模块，其沿着所述工作线布置在所述切割模块的后面，且切割并移除每一所述第一单位衬底中剩下的伪部分。2、根据权利要求1所述的衬底切割系统，其特征在于其中所述传送器是带式传送器且所述切割模块包括上切割模块，其提供在所述隔离间隙中在所述带式传送器的上方，且在所述原始衬底的所述上面板上形成上切割线；以及下切割模块，其提供在所述隔离间隙中在所述带式传送器的下方，且在所述原始衬底的所述下面板上形成下切割线。3、根据权利要求2所述的衬底切割系统，其特征在于其中所述上切割模块包括上横杆，其沿着垂直于所述工作线的长度方向的方向固定；以及至少一个上切割器，其耦合到所述上横杆一侧，在所述原始衬底的所述上面板上形成上切割线，所述原始衬底通过由所述带式传送器支撑而移动，且所述上切割器能够在所述上横杆上相对移动。4、根据权利要求3所述的衬底切割系统，其特征在于其中所述下切割模块包括下横杆，其沿着垂直于所述工作线的长度方向的方向固定；以及至少一个下切割器，其耦合到所述下横杆一側，在所述原始衬底的所述下面板上形成下切割线，所述原始衬底通过由所述带式传送器支撑而移动，且所述下切割器能够在所述下横杆上相对移动。5、根据权利要求4所述的衬底切割系统，其特征在于其中所述上横杆和下横杆通过预定的连接部分而彼此连接，且通过所述上切割器和下切割器分别在所述原始衬底的所述上面板和下面板上形成的所述上切割线和下切割线形成相同的轴线。6、根据权利要求1所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括断裂模块，其包括一对第一轨道部分，其沿着所述工作线布置在所述工作线两侧；以及可移动的加热/冷却部分，其以可移动的方式耦合到所述第一轨道部分，且在沿着所述工作线移动的同时，通过加热和冷却位于所述第一轨道部分之间的所述原始衬底而沿着所述切割线切割所述原始衬底。7、根据权利要求6所述的衬底切割系统，其特征在于其中由所述伪切割模块切割和移除的所述伪部分是彩色滤光片(CF)伪玻璃，所述彩色滤光片(CF)伪玻璃从所述第一单位衬底的形成彩色滤光片(CF)的单位衬底一侧移除以形成安装预定的IC驱动器的衬垫部分，且从所述第一单位衬底的下侧向上侧对所述伪部分执行切割工作。8、根据权利要求7所述的衬底切割系统，其特征在于其中所述伪切割模块包括单元平台，其从下方支撑所述第一单位衬底，其中作为彩色滤光片(CF)的上面板布置在下部，且作为薄膜晶体管(TFT)的下面板布置在上部；伪切割器，其从由所述单元平台支撑的所述第一单位衬底的所述下部切割所述伪部分；以及支撑滚筒，其相对于所述第一单位村底布置在所述伪切割器的相反侧，且支撑所述第一单位衬底。9、根据权利要求7所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括排出部分，所述排出部分提供在所述断裂模块和所述伪切割模块中的每一者的下方，且能够相对于所述断裂模块和所述伪切割模块中的每一者靠近和缩回，并排出从所述原始衬底中切掉的伪村底和所述伪部分。10、根据权利要求8所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括分配器，所述分配器分配由所述断裂模块从所述原始衬底中形成的所述第一单位衬底，且能够改变所述单元平台上的所述第一单位村底的方向，其中所述分配器包括一对第二轨道部分，其沿着所述工作线布置在所述工作线两侧；可移动杆，其耦合到所述第二轨道部分，且能够沿着所述工作线移动；以及至少一个分配头，其能够沿着所述可移动杆移动，所述分配头耦合到所述可移动杆且能够相对于所述可移动杆相对旋转，且吸附完成切割工作的所述第一单位衬底。11、根据权利要求10所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括衬底传递部分，所述衬底传递部分沿着所述工作线提供在所述分配器后面，且将所述伪部分已经过切割的一第二单位衬底传递到一横向传送器。12、根据权利要求11所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括反转器，所述反转器将传递到所述横向传送器的所述第二单位衬底的上表面和下表面的位置反转，其中所述反转器包括反转轴；以及一对反转传送器，其能够围绕所述反转轴反转，并吸附所述第二单位村底的所述上表面和下表面。13、根据权利要求12所述的衬底切割系统，其特征在于其进一步包括排出传送器，所述排出传送器装载并排出由所述反转器完成反转工作的所迷第二单位衬底。14、根据权利要求13所述的衬底切割系统，其特征在于其中起初输入到所述工作线的所述原始衬底的所述上面板和下面板分别为薄膜晶体管(TFT)以及彩色滤光片(CF),且在由所述排出传送器排出时被反转。15、一种用于切割衬底的方法，其特征在于所述方法包括将原始衬底输入到预定的工作线，所述原始衬底通过组合上面板和下面板而形成且经受切割工作；在输入的所述原始衬底的所述上面板和下面板上在相同轴线上形成切割线；沿着所述切割线将所述原始衬底切割成多个第一单位衬底；以及切割每一所述第一单位衬底上剩余的预定伪部分以形成第二单位衬底。16、根据权利要求15所述的方法，其特征在于其中当在输入的所述原始衬底的所述上面板和下面板上在相同轴线上形成切割线时，分别形成在所述原始村底的所述上面板和下面板上的上切割线和下切割线形成相同的轴线，当切割每一所述第一单位衬底上剩余的预定伪部分以形成第二单位衬底时，/人所述第一单位衬底的下侧向上侧对所述伪部分执行切割工作；以及当切割每一所述第一单位衬底上剩余的预定伪部分以形成第二单位衬底时，所述伪部分是彩色滤光片(CF)伪玻璃，所述彩色滤光片伪玻璃从所述第一单位衬底的一侧移除以形成将安装预定的ic驱动器的衬垫部分，其中所述方法进一步包括在切割每一所述第一单位衬底上剩余的预定伪部分以形成第二单位衬底之后，反转所述第二单位衬底的上表面和下表面的位置；以及排出所述上表面和下表面的位置被反转的所述第二单位村底。全文摘要一种衬底切割系统包含多个传送器，其形成工作线，在所述工作线中对通过组合上面板和下面板而形成的原始衬底进行切割工作，且通过与至少一个区域隔开而形成预定的隔离间隙；切割模块，其安装在所述隔离间隙中，且在所述原始衬底的所述上表面和下表面上形成预定切割线，且通过沿着所述切割线切割所述原始衬底来形成多个第一单位衬底；以及伪切割模块，其沿着所述工作线布置在所述切割模块的后面，且切割并移除每一所述第一单位衬底中剩下的伪部分。文档编号H01L21/78GK101488474SQ20091000950公开日2009年7月22日申请日期2007年7月17日优先权日2006年7月18日发明者吴昌益,姜判锡,金学东,金星根,金贤虎,金龙云申请人:Sfa工程股份有限公司