专利名称：一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线的制作方法
技术领域：
Zn0绒面导电玻璃是实现光伏建筑一体化的关键材料，是提高硅薄膜太阳能光伏电池转换 率的重要前提。ZnO绒面透明导电玻璃及其制备生产线属于薄膜太阳能光伏电池领域。
背景技术：
溅射工艺制备绒面ZnO透明导电膜的方法有二: 一是先用溅射工艺在玻璃上镀光滑面的ZnO 薄膜，然后离线用酸腐蚀的方法形成绒面；二是在高的基片温度和高的溅射气压环境下沉积ZnO 薄膜，缺点是产生的绒面形貌不稳定、且沉积时间太长。到目前为止，还没有一种一体化连续 生产绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产线，并且是在镀膜生产线上用等离子体轰击方法制备绒面 透明导电镀膜玻璃。现在的溅射镀膜生产线各溅射室之间由于没有真空锁，当仅需要小部分溅 射室工作时，就需要开动整个生产线的真空系统，浪费电力，使生产成本提高。
发明内容
技术问题本发明的目的在于提出了一种一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生 产线，
技术方案本发明的一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线采用卧式基片移 动方式，该生产线按以下顺序连接玻璃上片、前进片室、第一加热器、第二加热器、第一等 离子源、前锁定室、前缓冲室、第一真空锁、第一中频电源溅射耙、第二中频电源溅射靶、第 三中频电源溅射靶、第四中频电源溅射靶、第二真空锁、第一隔离室、第三真空锁、第五中频 电源溅射靶、第六中频电源溅射靶、第七中频电源溅射靶、第八中频电源溅射耙、第四真空锁、 第二隔离室、第五真空锁、第一直流电源、第二直流电源、第三直流电源、第六真空锁、第三 隔离室、第七真空锁、第九中频电源溅射靶、第十中频电源溅射靶、第十一中频电源溅射靶、
第十二中频电源溅射靶、第八真空锁、第二等离子源、后锁定室、后出片室，在每相邻 两中频电源溅射靶之间设有屏蔽隔板。
第一直流电源、第二直流电源、第三直流电源之间可以互换；在前进片室和前锁定室设 加热装置，温度《20(TC。
有益效果本发明的优点在于在进片和前锁定室增加加热装置，清除水汽，保证沉积的膜 层牢固；采用等离子体源轰击制备绒面Zn0透明导电镀膜玻璃装置，用等离子体轰击Zn0膜形 成绒面ZnO透明导电镀膜玻璃，不采用酸腐蚀ZnO膜面来形成绒面结构，可以在线一体化连续 生产ZnO绒面透明导电镀膜玻璃，避免了废酸对水源的污染。在生产线的各溅射室之间加真空 锁，避免不同溅射室之间串气、以及根据需要开启真空系统，保证产品质量、降低电耗。
3该绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产线，在该生产线上，为了使溅射室的温度能够达到200 °C,在进片室和前锁定室加加热器件、在传动玻璃的传输辊上通水冷却、为防止玻璃在金属辊 上滑动，在传输辊上套装无水冷却就可耐热20(TC的含氟橡胶轮。生产线主要利用四个溅射室， 从图1的右到左依次包括玻璃上片、前进片室、前锁定室、前缓冲室、溅射室l一4，其中各 溅射室之间有隔离室，后缓冲室、后锁定室、后出片室、卸絨面ZnO透明导电镀膜玻璃产品。 在各溅射室之间加真空锁，避免串气、以及根据需要开启真空系统，降低电耗。
图1为绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产线装备图。
以上的图中有玻璃上片l、前进片室2、第一加热器31、第二加热器32、前锁定室4、 第一等离子源51、第二等离子源52、前缓冲室6、真空锁7、第一中频电源溅射靶801、第二 中频电源溅射靶802、第三中频电源溅射耙803、第四中频电源溅射靶804、第五中频电源溅射 靶805、第六中频电源溅射靶806、第七中频电源溅射耙807、第八中频电源溅射耙808、第九 中频电源溅射靶809、第十中频电源溅射靶810.、第十一中频电源溅射靶811、第十二中频电源 溅射靶812、屏蔽隔板9、第一隔离室101、第二隔离室102、第三隔离室103、屏蔽隔板ll、 第一直流电源121、第二直流电源122、第三直流电源123、后锁定室13、后出片室14。
具体实施例方式
本发明是通过在溅射镀ZnO薄膜前、后的锁定室和缓冲室安装等离子体源(安装在前期处 理、后期处理处，利用等离子体对玻璃基片和镀制的膜层进行轰击处理，得到性能良好的ZnO 绒面透明导电玻璃。
在进片和前锁定室增加加热装置，清除玻璃表面的水汽；等离子体源安装在生产线的前后 锁定室和缓冲室，在溅射镀膜前用等离子体首先对玻璃基片进行前处理轰击，在玻璃表面形成 绒面；然后再溅射镀过渡层和ZnO薄膜；最后再用等离子体轰击ZnO膜面，形成ZnO绒面透明 导电玻璃。
本发明具体涉及一种绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产线，在磁控溅射镀膜室的前、后锁 定室和缓冲室增加等离子体源产生装置；用等离子体源产生的等离子体首先对玻璃基片进行 前轰击处理，在玻璃表面形成绒面；在玻璃上溅射沉积过渡层；在过渡层上沉积ZnO膜；用等
离子体轰击ZnO膜面，形成绒面ZnO透明导电镀膜玻璃。此发明属于玻璃加工、薄膜太阳能光 伏电池和光伏建筑一体化组件生产设备领域。
本发明的目的在于提出了一种绒面ZnO透明导电镀膜玻璃生产线，在溅射镀ZnO薄膜前、 后的锁定室和缓冲室安装等离子体源(安装在前期处理、后期处理处，利用等离子体对玻璃基 片和镀制的膜层迸行轰击处理。
在进片和前锁定室增加加热装置，清除水汽；在前、后锁定室和缓冲室安装等离子体源， 用等离子体对玻璃基片进行前处理轰击，在玻璃表面形成绒面；然后溅射镀过渡层和ZnO薄膜;
4最后再用等离子体轰击ZnO膜面，形成ZnO绒面透明导电玻璃。在各溅射室之间加真空锁，避 免串气、以及根据需要开启真空系统，降低电耗。
该生产线按以下顺序连接玻璃上片l、前进片室2、第一加热器31、第二加热器32、第 一等离子源51、前锁定室4、前缓冲室6、第一真空锁71、第一中频电源溅射靶801、第二中 频电源溅射靶802、第三中频电源溅射靶803、第四中频电源溅射靶804、第二真空锁72、第一 隔离室101、第三真空锁73、第五中频电源溅射靶805、第六中频电源溅射靶806、第七中频电 源溅射靶807、第八中频电源溅射靶808、第四真空锁74、第二隔离室102、第五真空锁75、 第一直流电源121、第二直流电源122、第三直流电源123、第六真空锁76、第三隔离室103、 第七真空锁77、第九中频电源溅射靶809、第十中频电源溅射靶810、第十一中频电源溅射靶
811、第十二中频电源溅射靶812、第八真空锁78、第二等离子源52、后锁定室13、后出 片室14，在每相邻两中频电源溅射靶之间设有屏蔽隔板9。在前进片室2和前锁定室4设加热 装置，温度《200。C。
在线一体化连续生产ZnO绒面透明导电玻璃。生产线采用卧式基片移动方式，由十个独立 模块串联组合而成，装有三个直流溅射电源和十二个中频溅射电源，电源之间可以 互换；在溅射镀膜室的前、后锁定室和缓冲室增加等离子体源产生装置，该等离子体 源产生的等离子体能够对玻璃基片进行轰击处理，在玻璃表面形成绒面；也能对溅射镀制的ZnO 膜面进行轰击处理，形成ZnO绒面透明导电玻璃；
在传动玻璃的传输辊上通水冷却、为防止玻璃在金属辊上滑动，在传输辊上套装无水冷却 可耐热20(TC的含氟橡胶轮。
该生产线控制系统采用PC+PLC自动控制和监控，内部存储多种工艺运行程序；
传动系统采用先进的变频调速技术，通过PLC可以连续、平稳的调速。
权利要求
1、一种一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线，其特征在于生产线采用卧式基片移动方式，该生产线按以下顺序连接玻璃上片(1)、前进片室(2)、第一加热器(31)、第二加热器(32)、第一等离子源(51)、前锁定室(4)、前缓冲室(6)、第一真空锁(71)、第一中频电源溅射靶(801)、第二中频电源溅射靶(802)、第三中频电源溅射靶(803)、第四中频电源溅射靶(804)、第二真空锁(72)、第一隔离室(101)、第三真空锁(73)、第五中频电源溅射靶(805)、第六中频电源溅射靶(806)、第七中频电源溅射靶(807)、第八中频电源溅射靶(808)、第四真空锁(74)、第二隔离室(102)、第五真空锁(75)、第一直流电源(121)、第二直流电源(122)、第三直流电源(123)、第六真空锁(76)、第三隔离室(103)、第七真空锁(77)、第九中频电源溅射靶(809)、第十中频电源溅射靶(810)、第十一中频电源溅射靶(811)、第十二中频电源溅射靶(812)、第八真空锁(78)、第二等离子源(52)、后锁定室(13)、后出片室(14)，在每相邻两中频电源溅射靶之间设有屏蔽隔板(9)。
2. 根据权利要求1所述的一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃 生产线，其特征在于第一直流电源(121 )、第二直流电源(122)、第三直流电源(123) 之间可以互换。
3、 根据权利要求1所述的一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生 产线，其特征在于在前进片室(2)和前锁定室(4)设加热装置，温度《20(TC。
全文摘要
一体化连续生产氧化锌绒面透明导电镀膜玻璃生产线采用卧式基片移动方式，由十个独立模块串联组合而成。它装有三个直流溅射电源和十二个中频溅射电源，电源之间可以互换；在溅射镀膜室的前、后锁定室和缓冲室增加等离子体源产生装置，该等离子体源产生的等离子体能够对玻璃基片进行轰击处理，在玻璃表面形成绒面；也能对溅射镀制的ZnO膜面进行轰击处理，形成ZnO绒面透明导电玻璃；各溅射室之间装真空锁，避免串气、以及根据需要开启各室的真空系统，降低电耗；在进片和前锁定室有加热装置、在传输辊上套装无水冷却就可耐热200℃的含氟橡胶轮。
文档编号H01L31/18GK101549961SQ200910026059
公开日2009年10月7日 申请日期2009年3月18日 优先权日2009年3月18日
发明者卢秀强, 董玉红, 赵青南 申请人:江苏秀强玻璃工艺有限公司