专利名称：气缸式升降机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种气缸式升降机构，更具体地涉及一种适用于真空系统领域内真空设备腔体盖的升降或者载物台的升降等的气缸式升降机构。
背景技术：
随着现代科学技术的迅猛发展，对产品质量和生产工艺要求不断提高，真空技术 在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求极高的数码 显示技术产业中。有机电致发光(Organic ElectroluminescentLight，简称为0EL)技术 是高新数码显示领域的新兴技术，其具有两个技术分支，一个是分子量在500 2000之间 的小分子有机发光二极管(Organic LightEmitting Diode)简称为OLED或SM-OLED ；另 一个是分子量在10000 100000之间的高分子(又称聚合物)有机发光二极管(Polymer Light-Emitting Diode)简称为PLED或P-OLED。OLED显示技术是OEL显示技术的一种， 在过去的十多年里发展迅猛，取得了巨大的成就。近年来，由于OLED显示器件具有主动发 光、发光效率较高、功耗低、轻、无视角限制等优点，被业内人士认为是最有可能在未来的显 示器件市场上占据霸主地位的新一代显示器件。所以全球越来越多的显示器厂家纷纷投入 此技术的研发，大大的推动了 OLED的产业化进程。目前OLED已到大规模量产。OLED显示 器件是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在ITO玻璃上制作一层 几十纳米厚的有机发光材料作发光层，发光层上方有一层低功函数的金属电极。当电极上 加有电压时，发光层就产生光辐射。OLED显示器件制备过程中很多工序要求在真空环境下完成，通过利用真空设备来 实现高精度工艺要求，其中有很多工序涉及到升降机构，比如承载ITO玻璃的承载台的升 降调节，腔体设备中腔盖的升降操作等。现有技术中升降机构主要有机械升降机构，所述升 降机构一般采用电机经皮带减速后带动丝杠旋转，螺母连同立柱作升降运动。立柱上端通 过设置托架或者挂钩等来完成特定的产品的升降调节。现有的升降机构传动结构复杂维护 成本较高，传动平稳性不高，不能满足平稳精确的升降调节需要。因此，有必要提供一种整体结构紧凑，易于控制，传动简单、平稳、精确、可靠的气 缸式升降机构。
发明内容
本发明的目的是提供一种整体结构紧凑，易于控制，传动简单、平稳、精确、可靠的 气缸式升降机构。为实现上述目的，本发明的技术方案为提供一种气缸式升降机构，包括安装座、 气缸马达、托架及导向组件，所述气缸马达安装在所述安装座上，所述气缸马达具有活塞 杆，所述活塞杆一端与所述气缸马达活动连接，另一端与所述托架固定连接，所述导向组件 包括导向轴以及滑动地套于所述导向轴外的轴套，所述导向轴的一端与所述托架固定连 接，所述导向轴的另一端悬空，所述导向轴的轴向平行于所述活塞杆的长度方向，所述轴套固定地设置在所述托架与所述安装座之间。较佳地，所述导向组件还包括支承座，所述支承座固定地设置在所述托架与所述安装座之间，所述轴套固定在所述支承座上。所述支承座方便所述轴套的固定。较佳地，所 述支承座邻近所述托架。由于导向轴需要随托架的运动在轴套内运动，相应的支承座邻近 所述托架而设，可大大减小所需导向轴的轴体长度，从而节约成本，使结构紧凑。在本发明的一实施例中，所述支承座固定在已固定的外接设备上。所述轴套固定 在所述支承座上，所述支承座通过与所述外接设备固定连接将所述轴套固定在外接设备 上，为所述导向组件提供导向支点，当气缸马达推动活塞杆带动所述托架做升降运动时，由 于托架与导向轴固定连接、导向轴与轴套配合，从而使所述托架在导向轴的导向作用下作 平稳、准确、可靠的升降运动。在本发明的另一实施例中，所述支承座与所述气缸马达固定连接，所述轴套固定 在所述支承座上，所述支承座通过与所述气缸马达固定连接将所述轴套固定在气缸马达 上，为所述导向组件提供了导向支点，当气缸马达推动活塞杆带动所述托架做升降运动时， 由于托架与导向轴固定连接、导向轴与轴套配合，从而使所述托架在导向轴的导向作用下 作平稳、准确、可靠的升降运动。较佳地，所述安装座上设有支架，所述气缸马达通过所述支架安装到所述安装座 上。通过支架，进一步将气缸马达稳固地固定在所述安装座上，使升降更平稳。较佳地，所述导向轴为滚珠花键轴，所述轴套为滚珠花键套。所述滚珠花键轴、滚 珠花键套采用了高精度的配合，且具有较高的刚性、耐用性，具有平滑、强力的转矩传递从 而使精度得到飞跃性的提高。与现有技术相比，由于本发明的气缸式升降机构利用气缸马达提供动力，通过活 塞杆输出动力来使托架做升降运动，从而实现腔体盖的升降运动或产品的升降运动，其传 动简单，且所述气缸式升降机构还具有导向组件，通过导向轴与托架的固定连接，轴套固定 设置在托架与安装座之间以及导向轴与轴套的配合，对托架的运动起导向作用，有效的保 障了升降的平稳、精确、可靠。其组合新颖，整体结构紧凑，推动距离可根据需要选择不同行 程的气缸马达和导向组件进行调节，易于控制，传动平稳、精确、可靠。
图1为本发明气缸式升降机构一实施例的立体图。图2为图1所示气缸式升降机构的结构示意图。图3为图1所示气缸式升降机构的另一角度的结构示意图。图4为图1所示气缸式升降机构的一状态示意图。图5为本发明气缸式升降机构另一实施例的立体图。
具体实施例方式为了详细说明本发明的技术内容、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进 一步说明，其中不同图中相同的标号代表相同的部件。如上所述，本发明提供了一种气缸式 升降机构，包括安装座、气缸马达、托架及导向组件，通过所述气缸式升降机构可以实现产 品或设备工件或腔盖等的平稳升降调节，其利用气缸马达提供动力，通过活塞杆输出动力来使托架做升降运动，传动简单，通过导向组件对托架的运动起导向作用，有效的保障了升 降的平稳、精确、可靠。其组合新颖，整体结构紧凑，推动距离可根据需要选择不同行程的气 缸马达和导向组件进行调节，易于控制，传动平稳、精确、可靠。所述气缸式升降机构尤其适 用于真空系统领域内真空设备腔体盖的升降或者载物台的升降。详细参考图1至图3，本发明第一实施例的气缸式升降机构IOa包括安装座10、支架20、气缸马达30、托架40及导向组件50，所述安装座10根据需要固定在某一固定位置 上，所述气缸马达30呈大致长方体状，其下端通过所述支架20安装在安装座10上，通过支 架20可进一步将气缸马达30稳固地固定在所述安装座10上，使升降更平稳。所述气缸马 达30具有活塞杆32，所述活塞杆32 —端与所述气缸马达30的上端活动连接，另一端与托 架40固定连接，具体地，如图2中截面部分所示，所述活塞杆32通过锁紧螺母34、36与所 述托架40相连接。所述托架40位于所述气缸马达30的上方，所述托架40连接腔体盖或 者需要升降的产品、设备。所述托架40可以外接任何设备来实现产品或者腔盖的升降运 动，如外接载置台，或者小型容器等等，外接的设备是根据实际需要来设置。所述导向组件 50包括滚珠花键副52与支承座57a，所述滚珠花键副52包括滚珠花键轴53以及滑动地套 于所述滚珠花键轴53外的滚珠花键套54，所述滚珠花键轴53的一端与所述托架40固定 连接，另一端悬空。所述滚珠花键轴53、滚珠花键套54采用了高精度的配合，且具有较高 的刚性、耐用性，具有平滑、强力的转矩传递从而使精度得到飞跃性的提高。所述滚珠花键 轴53与所述托架40固定连接，且所述滚珠花键轴53的轴向平行于所述活塞杆32的长度 方向。具体地，如图3中截面部分所示，所述滚珠花键轴53的顶端通过螺钉55与所述托架 40固定，所述滚珠花键轴53活动套设在滚珠花键套54内。所述滚珠花键套54固定在所述 支承座57a上，所述支承座57a设置在某一已固定的外接设备(图未示)上，例如设置在腔 体上。所述支承座57a设置在托架40与安装座10之间，较佳地，所述支承座57a邻近所述 托架40。由于滚珠花键轴53需要随托架40的运动在滚珠花键套54内运动，相应的支承 座57a邻近所述托架40而设，可大大减小所需滚珠花键轴53的轴体长度，从而节约成本， 使结构紧凑。所述支承座57a通过与所述外接设备固定连接将所述滚珠花键套54固定在 外接设备上，为所述滚珠花键副52提供导向支点，当气缸马达30推动活塞杆32带动所述 托架40做升降运动时，由于托架40与滚珠花键轴53的一端固定连接、滚珠花键轴53与滚 珠花键套54高精度配合，从而使所述托架40在滚珠花键轴53的导向作用下作平稳、准确、 可靠的升降运动。参考图4，以下对上述实施例的气缸式升降机构Ia的原理作进一步说明，在该实 施例中，支承座57a与外界设备固定连接，为滚珠花键副52提供导向支点，在气缸马达30 的作用下，推动活塞杆32开始做升降运动，使固定在活塞杆32的一端的托架40随活塞杆 32 一起做升降运动，从而使与托架40连接的腔体盖或放置在托架上的产品实现升降调节。 如图4中箭头所示，托架40做升降运动时带动滚珠花键轴53在滚珠花键套54内做精确的 升降运动，进而确保腔体盖开启、关闭或产品在升降运动过程中平稳、精确、可靠。图5为本发明另一实施例的气缸式升降机构lb，与上述实施例不同的是，支承座 57b固定在所述气缸马达30上，所述滚珠花键套54固定在所述支承座57b上，所述支承座 57b通过与所述气缸马达30固定连接将所述滚珠花键套54固定在气缸马达30上，为所述 滚珠花键副52提供导向支点，当气缸马达30推动活塞杆32带动所述托架40做升降运动时，由于托架40与滚珠花键轴53固定连接、滚珠花键轴53与滚珠花键套54配合，从而使 所述托架40在滚珠花键轴53的导向作用下作平稳、准确、可靠的升降运动。该实施例的气 缸式升降机构Ib的运动原理与上述实施例类似，不同之处在于支承座57b固定在气缸马达 上30，在托架40随活塞杆32做升降运动过程中，滚珠花键轴53在通过支承座57b固定在 气缸马达30上的滚珠花键套54内活动，使所述托架40在滚珠花键轴53的导向作用下作 平稳、准确、可靠的升降运动，从而使与托架40连接的腔体盖或放置在托架上的产品实现 升降调节。与现有技术相比，由于本发明的气缸式升降机构利用气缸马达30提供动力，通过 活塞杆32输出动力来使托架40做升降运动，从而实现腔体盖的升降运动或产品的升降运 动，其传动简单，且所述气缸式升降机构还具有滚珠花键副52作为导向，通过滚珠花键轴 53与托架40的固定连接，滚珠花键套54固定设置在托架40与安装座10之间以及滚珠 花键轴53与滚珠花键套54的配合，对托架40的运动起导向作用，有效的保障了升降的平 稳、精确、可靠。其组合新颖，整体结构紧凑，推动距离可根据需要选择不同行程的气缸马达 30和滚珠花键副52进行调节，易于控制，传动平稳、精确、可靠。可以代替传统的机械式开 盖机构，也可用于需要实现产品做升降运动的设备中，实用范围相当广泛，有利于实现程序 化、自动化的控制要求。以上所揭露的仅为本发明的较佳实例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范 围，因此依本发明权利要求所作的等同变化，仍属于本发明所涵盖的范围。
权利要求
一种气缸式升降机构，其特征在于，包括安装座、气缸马达、托架及导向组件，所述气缸马达安装在所述安装座上，所述气缸马达具有活塞杆，所述活塞杆一端与所述气缸马达活动连接，另一端与所述托架固定连接，所述导向组件包括导向轴以及滑动地套于所述导向轴外的轴套，所述导向轴的一端与所述托架固定连接，所述导向轴的另一端悬空，所述导向轴的轴向平行于所述活塞杆的长度方向，所述轴套固定地设置在所述托架与所述安装座之间。
2.如权利要求1所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述导向组件还包括支承座，所 述支承座固定地设置在所述托架与所述安装座之间，所述轴套固定在所述支承座上。
3.如权利要求2所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述支承座邻近所述托架。
4.如权利要求3所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述支承座固定在已固定的外 接设备上。
5.如权利要求3所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述支承座与所述气缸马达固 定连接。
6.如权利要求1所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述安装座上设有支架，所述气 缸马达通过所述支架安装到所述安装座上。
7.如权利要求1所述的气缸式升降机构，其特征在于，所述导向轴为滚珠花键轴，所述 轴套为滚珠花键套。
全文摘要
本发明公开了一种气缸式升降机构，包括安装座、气缸马达、托架及导向组件，气缸马达安装在安装座上，所述气缸马达具有活塞杆，活塞杆一端与气缸马达活动连接，另一端与托架固定连接，导向组件包括导向轴以及滑动地套于导向轴外的轴套，导向轴的一端与托架固定连接，导向轴的另一端悬空，导向轴的轴向平行于活塞杆的长度方向，轴套固定设置在托架与安装座之间。由于本发明的气缸式升降机构利用气缸马达提供动力，通过活塞杆输出动力来使托架做升降运动，传动简单，通过导向组件对托架的运动起导向作用，有效的保障了升降的平稳、精确、可靠。其组合新颖，整体结构紧凑且易于控制，推动距离可根据需要选择不同行程的气缸马达和导向组件进行调节。
文档编号H01L51/56GK101813107SQ200910246918
公开日2010年8月25日 申请日期2009年12月1日 优先权日2009年12月1日
发明者刘惠森, 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 雷振宇 申请人:东莞宏威数码机械有限公司