专利名称：可变陶瓷真空电容器结构改良的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种可变陶瓷真空电容器，特别涉及一 种可变陶瓷真空电容器结构改良。
背景技术：
目前，根据国家标准GB/T 3788-1995的要求，可变陶瓷 真空电容器的机械寿命为五千至两万次。此标准适用于广播发 射与髙频加热设备中可变陶瓷真空电容器的寿命要求。随着科 学技术的进步，目前可变陶瓷真空电容器已经大量应用于半导 体加工设备，对可变陶瓷真空电容器的机械寿命提出了更高的 要求，此要求是现有的通用结构无法满足的。
发明内容
为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种可变陶瓷真空 电容器结构改良，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命大大提 高，从而降低了半导体加工设备的使用成本。
本实用新型为了解决其技术问题所采用的技术方案是一 种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套 筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和 外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮 合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连， 拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外 侧并与外壳固连，调节螺杆在传动件带动下正反交替旋转，调 节螺杆的旋转则带动调节螺母上下做直线运动，调节螺母则通 过带动拉杆上下运动而带动电极上下作直线运动，从而调节可 变陶瓷真空电容器的电容，定位导套、套筒和拉杆上分别设有 至少一个气孔，当拉杆带动电极上下直线运动时，由于摩擦会 产生热量，气孔可将热量排出，防止拉杆与定位导套因摩擦产 生的热量影响材料表面从而导致滑动不顺畅。
作为本实用新型的进一步改进，定位导套与拉杆之间及调 节螺杆与调节螺母之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂，可有效 防止零件在反复的机械运动中卡死，使运动更加顺畅。
作为本实用新型的进一步改进，调节螺母采用耐磨材料， 调节螺杆和拉杆表面进行耐磨处理，耐磨处理方法有很多，都 是此领域普通工程技术人员所熟知的，比如采用气相沉积方法 在零件表面涂覆一层耐磨物质，使表面坚硬且光滑平整。
作为本实用新型的进一步改进，波纹管单波位移量提高到
1.8mm，有效提高了波纹管的密封性。
本实用新型的有益技术效果是本实用新型在不改变产品 安装尺寸的情况下，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提髙到 两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期， 降低半导体加工设备的使用成本。
图1为本实用新型的内部结构示意图。
具体实施方式
实施例 一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真
空电容器包括套筒l、调节螺杆2、调节螺母3、拉杆4、定位 导套5、波纹管6、电极7和外壳8，调节螺杆2—端与传动 件固连，另一端与调节螺母3自由啮合，调节螺母3与拉杆4 一端固连，拉杆4另一端与电极7 —端固连，拉杆4外侧套设 有定位导套5，定位导套5—端与外壳8内壁固连，定位导套 5外侧套设有波纹管6，套筒1套设于调节螺杆2和调节螺母 3外侧并与外壳8固连，调节螺杆2在传动件带动下正反交替 旋转，调节螺杆2的旋转则带动调节螺母3上下做直线运动， 调节螺母3则通过带动拉杆4上下运动而带动电极7上下作直 线运动，从而调节可变陶瓷真空电容器的电容，定位导套5、 套筒1和拉杆4上分别设有至少一个气孔9，当拉杆4带动电 极7上下直线运动时，由于摩擦会产生热量，气孔9可将热量 排出，防止拉杆4与定位导套5因摩擦产生的热量影响材料表 面从而导致滑动不顺畅。
所述定位导套5与拉杆4之间及调节螺杆2与调节螺母3
之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂，可有效防止零件在反复的 机械运动中卡死，使运动更加顺畅。
所述调节螺母3采用耐磨材料，调节螺杆2和拉杆4表面 进行耐磨处理，耐磨处理方法有很多，都是此领域普通工程技 术人员所熟知的，比郊采用气相沉积方法在零件表面涂覆一层 耐磨物质，使表面坚硬且光滑平整。 所述波纹管6单波位移量提高到1. 8mm，有效提高了波纹 管的密封性。
权利要求1.一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒(1)、调节螺杆(2)、调节螺母(3)、拉杆(4)、定位导套(5)、波纹管(6)、电极(7)和外壳(8)，调节螺杆(2)一端与传动件固连，另一端与调节螺母(3)自由啮合，调节螺母(3)与拉杆(4)一端固连，拉杆(4)另一端与电极(7)一端固连，拉杆(4)外侧套设有定位导套(5)，定位导套(5)一端与外壳(8)内壁固连，定位导套(5)外侧套设有波纹管(6)，套筒(1)套设于调节螺杆(2)和调节螺母(3)外侧并与外壳(8)固连，其特征为定位导套(5)、套筒(1)和拉杆(4)上分别设有至少一个气孔(9)。
2. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为定位导套与拉杆之间及调节螺杆与调节螺母 之间设有耐高温耐磨损的润滑油脂。
3. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为调节螺母采用耐磨材料，调节螺杆和拉杆表 面进行耐磨处理。
4. 根据权利要求1所述的一种可变陶瓷真空电容器结构 改良，其特征为波纹管单波位移量提高到1. 8mm。
专利摘要本实用新型公开了一种可变陶瓷真空电容器结构改良，可变陶瓷真空电容器包括套筒、调节螺杆、调节螺母、拉杆、定位导套、波纹管、电极和外壳，调节螺杆一端与传动件固连，另一端与调节螺母自由啮合，调节螺母与拉杆一端固连，拉杆另一端与电极一端固连，拉杆外侧套设有定位导套，定位导套一端与外壳内壁固连，定位导套外侧套设有波纹管，套筒套设于调节螺杆和调节螺母外侧并与外壳固连，定位导套、套筒和拉杆上分别设有至少一个气孔，可快速释放因摩擦产生的热量，使滑动更顺畅，使可变陶瓷真空电容器的机械寿命提高到两百万次以上，从而提高了可变陶瓷真空电容器的使用周期，降低半导体加工设备的使用成本。
文档编号H01G5/16GK201374254SQ200920035689
公开日2009年12月30日 申请日期2009年3月16日 优先权日2009年3月16日
发明者尹剑平, 张立云, 涛 方, 王淮飞, 赖萍南, 浩 黄, 黄清河 申请人:昆山国力真空电器有限公司