专利名称：一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及太阳能电池生产领域，具体的说是一种在等离子体化学气相沉积 设备中沉积PIN层前对太阳能电池逐步加热的装置。
背景技术：
在现有太阳能电池生产过程中，等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进行沉 积PIN层的过程之前，要求太阳能电池达到一定的温度，以方便下一步工序沉积的速度和 达到沉积的效果，所以在沉积工序之前要对太阳能电池进行加热。 以往的加热过程为让太阳能电池通过设置一定温度的加热炉，对太阳能电池进 行加热。因为加热温度一般在18(TC，所以加热炉的温度要稍大于18(TC，而电池直接进入 该温度的加热炉，急剧的温度变化会使电池的表面应力产生很大的变化，严重时会发生碎 片现象。所以需要寻找一种合适的加热装置对太阳能电池进行加热，而不会对太阳能电池 造成损害。
发明内容本实用新型的目的是要提供一种在等离子体化学气相沉积设备对太阳能电池进 行沉积前的加热装置，该装置能够对太阳能电池进行循序渐进的分级加热，不会导致电池 的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。 本实用新型的目的是这样实现的该加热装置包括并排设置的三个加热箱、电池 挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨 上。 所述的前面加热箱的加热温度设置为6(TC，中间加热箱的加热温度设置为 12(TC，后面加热箱的加热温度设置为180°C。 本实用新型由于采用上述结构使得太阳能电池在等离子体化学气相沉积设备中 沉积PIN层前对太阳能电池逐步加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太 阳能电池损害。
图1为本实用新型整体结构示意图。 图2为本实用新型侧视图。
具体实施方式由附图所示该加热装置包括并排设置的三个加热箱1、2、3电池挂片箱4、传送导 轨5，所述的传送导轨5设置在两个加热箱1、2、3的上面，电池挂片箱4挂装在传送导轨5 上。 所述的加热箱1的加热温度设置为60°C ，加热箱2的加热温度设置为120°C ，加热箱3的加热温度设置为180°C。 工作过程描述如下电池被装在电池挂片箱4内，电池挂片箱4在传送导轨5的作 用下运动，在进行等离子体化学气相沉积PIN层之前，电池温度需要达到大约18(TC，所以 对其进行加热，加热过程如下先通过第一个加热箱1对其进行加热，使太阳能电池升温至 60°C ，再通过第二个加热箱2，升温至120°C ，最后进入第三个加热箱3进行加热，从第三个 加热箱3出来以后，温度达到18(TC，达到对太阳能电池加热的目的，然后就可以很安全的 进入到沉积仓室中。
权利要求一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置，其特征在于该加热装置包括并排设置的三个加热箱(1)、(2)、(3)电池挂片箱(4)、传送导轨(5)，所述的传送导轨(5)设置在两个加热箱(1)、(2)、(3)的上面，电池挂片箱(4)挂装在传送导轨(5)上。
2. 根据权利要求1所述的一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置，其特 征在于所述的加热箱(1)的加热温度设置为6(TC，加热箱(2)的加热温度设置为120°C， 加热箱(3)的加热温度设置为1S(TC。
专利摘要本实用新型涉及一种等离子体化学气相沉积前的太阳能电池加热装置，该加热装置包括并排设置的三个加热箱、电池挂片箱、传送导轨，所述的传送导轨设置在两个加热箱的上面，电池挂片箱挂装在传送导轨上。本实用新型由于采用上述结构使得太阳能电池在等离子体化学气相沉积设备中沉积PIN层前对太阳能电池逐步加热，不会导致电池的表面应力产生过大的变化和造成太阳能电池损害。
文档编号H01L31/18GK201532961SQ20092009471
公开日2010年7月21日 申请日期2009年11月17日 优先权日2009年11月17日
发明者刘万学, 刘志才, 张兵, 朱艳伟, 杨继泽, 王德宏, 钟福建, 魏含芳 申请人:吉林庆达新能源电力股份有限公司