专利名称：用于低温制程的具有传动功能的真空装置的制作方法
技术领域：
用于低温制程的具有传动功能的真空装置
技术领域：
本实用新型涉及一种真空装置，特别是涉及一种适合应用在光电产业 的低温制程中，并可驱动一个加工物件沿着一移送方向前进的具有传动功 能的真空装置。
背景技术：
参阅图1、 2，以往用于光电产业相关制程的真空设备1通常是利用载 具来夹持加工物件，并使加工物件可以沿着一个移送方向19前进，所述真
空设备1包含数个并排连接的真空装置10，以及数个安装在相靠近的真
空装置10间但图中未示出的阀门，由于本实用新型的改良和阀门的设计以 及载具的结构无关，此处不再说明。以往真空设备1的真空装置10基本上
包括 一个基座11，以及两个安装在基座11的相反侧的传动机构12。每
个基座11都具有一个界定出一真空腔室111的腔壁112，该腔壁112具有 两片平行间隔的基壁部113，每个基壁部113都具有数个架设孔114。为了 清楚显示该真空腔室111内部元件的配置关系，图1是将构成腔壁112 — 部份的一个顶盖板115画成假想线。
而以往真空装置10的每个传动机构12都包括一个架设在腔壁112靠 近下方位置的马达121、数个可转动地安装在基壁部113的其中一个架设孔 114上的传动轴122、 一条动力衔接该马达121及其中一个传动轴122的马 达皮带123，以及数条动力衔接相靠近的传动轴122的从动皮带124。每个 传动轴122都具有一个位在基壁部113外侧的皮带衔接端125，以及一个往 真空腔室111内突出并用来带动载具沿着移送方向19前进的载具驱动端 126。
早期光电产业相关制程在进行各项加工作业时，除了必需在真空状态 下进行外，通常会伴随着较高的环境温度，也就是说，该真空装置10的真 空腔室111的制程温度通常高达摄氏四百多度，这种制程温度不但限制设 备的应用范围，在许多元件的安装及设置上，也需要特别考虑高温制程的问题。以图1、 2所示的以往真空装置10为例，其架设的传动机构12除了 要能够驱动载具移动外，还需要考虑到元件的耐热度，以及架设后该真空 腔室lll内部的真空度的种种问题。为了因应以上问题，以往真空装置IO 是在腔壁112的基壁部113上设置数个架设孔114，然后将数支传动轴122 以不漏气的方式架设在所述架设孔114上，并且只让传动轴122的载具驱 动端126伸入真空腔室111内部，其余的元件及构造都设在高温环境的真 空腔室lll的外侧，如此一来，就可以顾及元件必需耐高温的问题。
这种设计虽然可以因应真空、高温的环境，但是要将传动轴122以不 漏气的方式架设在腔壁112上需要复杂、精密设计，而以往真空装置10必 需将数个传动轴122 —一地安装在架设孔114上，此项设计不但制造成本 较高，要让每个传动轴122都不漏气的被架设，其困难度也较高。此外， 近年来光电产业为了扩大真空设备1的可应用领域，乃发展出一种制程温 度低于摄氏150度的低温制程，这种制程虽然可以采用结构相当复杂的传 动机构12来移送加工物件，但这样的设计不但不必要，也存在着制造成本 高以及制造困难度高等等的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是在提供一种可以降低制造成本及组装困难度的用 于低温制程的具有传动功能的真空装置。
本实用新型具有传动功能的真空装置可以传送一个加工物件沿着一个 移送方向前进，该真空装置包含 一基座，以及一个架设在基座上的传动 机构。该基座包括一个界定出一真空腔室的腔壁，该腔壁具有一个架设孔， 而该传动机构包括一个架设在基座上并位在真空腔室外的动力源。
本实用新型的特征在于该传动机构还包括数支可转动地架设在真 空腔室内并用来移动加工物件的从动轴，以及一个架设在该腔壁的架设孔 上的动力主轴，该动力主轴具有一个位在真空腔室内的入力端，以及一个 位在真空腔室外侧并且和动力源动力衔接的马达衔接端，而该传动机构还 包括一个位在真空腔室内并且动力衔接所述从动轴及动力主轴的入力端的 动力衔接单元。
本实用新型的有益功效在于由于本实用新型只需在腔壁上设置单个 架设孔来供动力主轴安装，故该项设计不但适合应用在光电产业的低温制程中，也可以让具有传动功能的真空装置在制造上更为简单，同时降低制 造成本。
图1是一种以往真空设备的一个俯视示意图； 图2是该以往真空设备的一个前视示意图3是本实用新型真空装置的一较佳实施例的使用状态参考图，主要
显示当数个真空装置并排成一真空设备时的状态；
图4是沿图3中4-4线所取的一个组合剖视图；及
图5是该较佳实施例的一局部立体示意图，主要显示该真空装置的一
动力主轴与其他配合元件间的相对关系。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型进行详细说明
参阅图3、 4、 5，本实用新型真空装置20的一较佳实施例是多数个并 排连接以组合成为一台真空设备2，所述真空设备2适合用来执行一系列的 低温加工制程，以便带动例如基板等等的加工物件沿着一个移送方向21前 进，并进行各项加工。而本实施例的真空装置20包含 一个基座3，以及 一个安装在该基座3上的传动机构4。
本实施例的基座3包括一个界定出一真空腔室30的腔壁31，该腔壁 31具有两片直立且与该移送方向21平行间隔的基壁部311,在其中一个基 壁部311上开设一个架设孔312。相同道理，为了达到真空密封的目的，该 腔壁31同样具有一片位在上方的顶盖板，但为了清楚显示真空腔室30内 的元件配置关系，图中是以假想线显示该顶盖板。
本实施例的传动机构4包括两个平行于移送方向21且间隔地位在该 基座3的真空腔室30内的架板41、数支可转动地架设在所述架板41间并 且垂直于该移送方向21的从动轴42、 一个架设在该基座3上并位在真空腔 室30外的动力源43、 一个动力主轴44、 一个穿套在该动力主轴44上的密 封环45、 一个将动力主轴44以可转动方式架设在基座3的架设孔312上的 外轴盖46，以及一个位在该真空腔室30内并且动力衔接所述动力主轴44 及从动轴42的动力衔接单元47，其中该外轴盖46并将密封环45压向基壁部311。
又本实施例的动力源43具有一个提供动力的马达431，以及一条马达 皮带432，该马达431并具有一出力端433，而该动力主轴44是架设在所 述基座3的架设孔312上，并且具有一个突出于外轴盖46同时和出力端433 平行间隔的马达衔接端441，以及一个位在该真空腔室30内的入力端442， 而该马达皮带432是连接该出力端433及马达衔接端441，以便将马达431 的动力传递到动力主轴44。而所述从动轴42都具有一个靠近该动力源43 的动力衔接端421，该动力衔接单元47包括两条跨连在入力端442及相靠 近的从动轴42的动力衔接端421间的第一衔接皮带471，以及数条动力衔 接相靠近的从动轴42的动力衔接端421的第二衔接皮带472，上述马达皮 带432、第一衔接皮带471及第二衔接皮带472也可以是齿形、V形等等不 同形式的皮带。
本实施例的真空装置20在使用时是依照制程的需要，数个以左右并接 设置的方式连接形成该真空设备2，并且利用真空装置20的传动机构4来 带动加工物件沿着该移送方向21行进，而在动力的传递上，该马达431的 出力端433将借由马达皮带432的传递带动该动力主轴44旋转，然后借由 第一衔接皮带471的衔接，带动相靠近的两支从动轴42旋转，最后借由第 二衔接皮带472的衔接，带动其他的i^动轴42同步同方向旋转，如此一来， 就可以带动架设在所述从动轴42上的加工物件沿着移送方向21移动。
由以上说明可知，本实用新型只要在腔壁31上设置一个架设孔312， 并且将单支的动力主轴44架设在该架设孔312上，就可以动力衔接位在真 空腔室30内的所有从动轴42同步同方向转动的设计，不但未见于以往具 有传动功能的真空装置，也可以将架设在腔壁31上的元件减少至最低，因 此，本实用新型不但可以让组装更为容易，也可降低制造时的成本。特别 说明的是，本实用新型该真空装置20除了具有以上的优点外，也适合应用 在制程温度相对较低的光电相关产业的低温制程，因为在此制程中，真空 腔室30内部的温度不高，故可以确保动力衔接单元47正常的运转，也就 是说，本实用新型该真空装置20不但适合应用在低温制程中，也具有降低 制造成本及组装容易度的功效。
权利要求1.一种用于低温制程的具有传动功能的真空装置，能够传送一个加工物件沿着一移送方向前进，并包含一个基座，以及一个架设在该基座上的传动机构，该基座包括一个界定出一真空腔室的腔壁，该腔壁并具有一个架设孔，而该传动机构包括一个架设在基座上并位在真空腔室外的动力源；其特征在于该传动机构还包括一个架设在该基座的架设孔上并且和动力源动力衔接的动力主轴、数支可转动地架设在真空腔室内并用来传送加工物件移动的从动轴，以及一个位在该真空腔室内并且动力衔接所述从动轴及动力主轴的动力衔接单元。
2. 如权利要求l所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在 于该动力主轴具有一个位在真空腔室内并且和动力衔接单元动力衔接 的入力端，以及一个突出于真空腔室外的马达衔接端，而该动力源包括 一个架设在腔壁外的马达，以及一个动力衔接该马达的一个出力端以及 动力主轴的马达衔接端的马达皮带。
3. 如权利要求l所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在于该动力主轴具有一个位在真空腔壁内的入力端，而该传动机构还包括两个平行于该移送方向并且供所述从动轴架设的架板，而所述动力衔 接单元具有两个动力衔接在动力主轴的入力端及所述从动轴中的其中两支间的第一衔接皮带，以及数条动力衔接相靠近的两支从动轴的第二 衔接皮带。
4. 如权利要求3所述用于低温制程的具有传动功能的真空装置，其特征在于该传动机构还包括一个穿套在动力主轴上的密封环，以及一个将动 力主轴安装在基座的腔壁上并将该密封环压向腔壁的外轴盖。
专利摘要一种用于低温制程的具有传动功能的真空装置，可传送一个加工物件沿着一移送方向前进，并包含一基座及一传动机构。该基座包括一个界定出一真空腔室的腔壁，而传动机构包括一个架设在腔壁外的动力源、数支可驱动加工物件前进并位在真空腔室内的从动轴、一个架设腔壁的一架设孔上并和动力源动力衔接的动力主轴，以及一个位在真空腔室内并动力衔接从动轴及动力主轴的动力衔接单元。由于本实用新型只要在腔壁上设置单个架设孔就可以让动力主轴安装，故该项设计除了适合应用在光电产业的低温制程上外，也具有组装简单及降低制造成本的功效。
文档编号H01L21/677GK201430130SQ200920153309
公开日2010年3月24日 申请日期2009年6月12日 优先权日2009年6月12日
发明者郑博仁, 黄泳钊 申请人:北儒精密股份有限公司